過氟化物處理裝置以及過氟化物處理方法
【專利摘要】本發(fā)明提供作為預(yù)處理能夠避免大量的水的使用和排水處理，并且能夠除去含有過氟化物的氣體中的固體成分，過濾器等難以堵塞的過氟化物處理裝置等。一種過氟化物處理裝置（2），其特征在于，具備：對裝置入口排氣進(jìn)行預(yù)處理的預(yù)處理裝置（21）；對裝置入口排氣以及水進(jìn)行加熱，并且利用催化劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱單元（第1加熱器（221）、第2加熱器（222））；配置于加熱單元的前段以及后段，在裝置入口排氣以及水與分解氣體之間進(jìn)行熱交換的熱交換器（231）；和將酸成分干式除去的酸成分除去裝置（232），預(yù)處理裝置（21）具備：對裝置入口排氣進(jìn)行加熱，使裝置入口排氣中所含有的液體的水蒸發(fā)的入口加熱器（211）；和從裝置入口排氣除去固體成分的過濾器（212、212a）。
【專利說明】過氟化物處理裝置以及過氟化物處理方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及例如為了分解處理過氟化物而使用的過氟化物處理裝置等。

【背景技術(shù)】
[0002] 例如，在半導(dǎo)體器件、液晶器件的制造工藝中，為了形成微細(xì)圖案，有時(shí)進(jìn)行蝕刻、 清洗（cleaning)。此時(shí)，使用過氟化物的情況較多。另外，過氟化物一般較穩(wěn)定，大多對人 體無害，所以除此之外還被用于例如空調(diào)的制冷劑等。
[0003] 但是，在這些過氟化物中，當(dāng)被釋放到大氣中時(shí)，對地球環(huán)境造成較大影響的過氟 化物較多。即，由于在大氣中長時(shí)間穩(wěn)定地存在，具有地球溫室化系數(shù)大的性質(zhì)，因此會成 為地球溫室化的一個(gè)因素。并且，如上述那樣，過氟化物一般較穩(wěn)定，其影響長時(shí)間持續(xù)的 情況較多。
[0004] 因而，為了不對地球環(huán)境造成影響，需要分解所使用過的過氟化物，使其成為對地 球環(huán)境無害的狀態(tài)而向大氣中釋放。
[0005] 在專利文獻(xiàn)1中公開了一種含氟化合物的分解處理方法，S卩：在水蒸氣的存在下 使包含作為鹵素僅含有氟的氟化合物的氣流與如由A1和Ni、Al和Ζη、Α1和Ti形成的催化 劑那樣含有A1的催化劑在約200?800°C接觸，將氣流中的氟轉(zhuǎn)化為氟化氫。
[0006] 另外，在專利文獻(xiàn)2中公開了一種過氟化物處理裝置，其特征在于，具備：過氟化 物分解裝置，其設(shè)置有催化劑層，被供給含有過氟化物的排氣(廢氣)，分解過氟化物；和酸 性物除去裝置，其除去在從過氟化物分解裝置排出的排氣中所含有的酸性物質(zhì)與Ca鹽反 應(yīng)而生成的第1反應(yīng)生成物。
[0007] 此外，專利文獻(xiàn)3公開了一種催化式PFC分解處理方法，其特征在于，是用催化劑 分解含有與水反應(yīng)生成固形物的氣體成分、并且含有PFC的氣流中的PFC的方法，至少具 有：使氣流與水接觸，生成固形物的固形物生成工序；除去生成的固形物的固形物捕集工 序；以及PFC的催化分解工序。
[0008] 在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0009] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2001-224926號公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開2008-246485號公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)3 :日本特開2005-111423號公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 在從半導(dǎo)體器件、液晶器件的制造工藝排出的氣體中，除了過氟化物之外還包含 固體成分和/或與水接觸而生成固體成分的物質(zhì)。而且，之外分解過氟化物之前的預(yù)處理， 有下述的以往方法：使氣體與水或者堿水溶液接觸，生成鹵化硅之類的固體成分，由此除去 酸性氣體。但是，該情況下，當(dāng)為了除去生成的固體成分而使用過濾器等時(shí)，存在水分在過 濾器等中凝結(jié)、容易使過濾器等在短期間內(nèi)堵塞的問題。
[0013] 本發(fā)明是鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題而完成的。
[0014] 即，本發(fā)明的目的在于提供一種過氟化物處理裝置，其中，作為預(yù)處理，不需要通 過使含有過氟化物的氣體與水或者堿水溶液接觸而生成固體成分來除去酸性氣體的工序， 能夠避免多量的水的使用和排水處理，并且在含有過氟化物的氣體中，除了過氟化物之外， 即使還含有水分，過濾器等也難以堵塞。
[0015] 這樣，根據(jù)本發(fā)明，提供一種過氟化物處理裝置，其特征在于，具備：對含有過氟化 物的氣體進(jìn)行預(yù)處理的預(yù)處理單元；對含有過氟化物的氣體以及水進(jìn)行加熱，并且利用預(yù) 先確定的催化劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱單元；配置于加熱單 元的前段以及后段，在流入加熱單元之前的含有過氟化物的氣體以及水與從加熱單元流出 后的分解氣體之間進(jìn)行熱交換的熱交換單元；和從自熱交換單元流出后的分解氣體干式除 去酸成分的酸成分除去單元，預(yù)處理單元具備：對含有過氟化物的氣體進(jìn)行加熱，使含有過 氟化物的氣體中所含有的液體的水蒸發(fā)的預(yù)熱單元；和從利用預(yù)熱單元使液體的水蒸發(fā)了 的含有過氟化物的氣體除去固體成分的固體成分除去單元。
[0016] 在此，優(yōu)選預(yù)熱單元在含有過氟化物的氣體的流通路徑中配有翅片（翼片：fin)。 進(jìn)而，優(yōu)選：在預(yù)熱單元和固體成分除去單元之間導(dǎo)入空氣，并使被導(dǎo)入了空氣的含有過氟 化物的氣體在固體成分除去單元中通過。
[0017] 另外，優(yōu)選：熱交換單元使水混合到流入加熱單元之前的含有過氟化物的氣體中。
[0018] 進(jìn)而，優(yōu)選：固體成分除去單元具備：用于除去固體成分的第1過濾器、和在進(jìn)行 第1過濾器的更換時(shí)代替第1過濾器來除去固體成分的第2過濾器；優(yōu)選：在含有過氟化物 的氣體的流通路徑下游側(cè)具備用于采用壓縮空氣進(jìn)行反洗的壓縮空氣口。
[0019] 另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種過氟化物處理方法，其特征在于，具備：對含有過氟化 物的氣體進(jìn)行預(yù)處理的預(yù)處理工序；對含有過氟化物的氣體以及水進(jìn)行加熱，并且利用預(yù) 先確定的催化劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱工序；配置于加熱工 序的前段以及后段，在流入加熱工序之前的含有過氟化物的氣體以及水與從加熱工序流出 后的分解氣體之間進(jìn)行熱交換的熱交換工序；和從自熱交換工序流出后的分解氣體干式除 去酸成分的酸成分除去工序，預(yù)處理工序具備：對含有過氟化物的氣體進(jìn)行加熱，使含有過 氟化物的氣體中所含有的液體的水蒸發(fā)的預(yù)熱工序；和從通過預(yù)熱工序使液體的水蒸發(fā)了 的含有過氟化物的氣體除去固體成分的固體成分除去工序。
[0020] 通過預(yù)處理單元具備：對含有過氟化物的氣體進(jìn)行加熱，使含有過氟化物的氣體 中所含有的液體的水蒸發(fā)的預(yù)熱單元；和從利用預(yù)熱單元使液體的水蒸發(fā)了的含有過氟化 物的氣體除去固體成分的固體成分除去單元，在含有過氟化物的氣體中，除了過氟化物之 夕卜，即使還含有水分，固體成分除去單元也難以堵塞。
[0021] 通過在預(yù)熱單元的含有過氟化物的氣體的流通路徑中配置翅片，含有過氟化物的 氣體在預(yù)熱單元內(nèi)部被攪拌，能夠?qū)岢浞謧鬟f到含有過氟化物的氣體。
[0022] 通過在預(yù)熱單元和固體成分除去單元之間導(dǎo)入空氣，并使被導(dǎo)入了空氣的含有過 氟化物的氣體在固體成分除去單元中通過，在加熱單元中能夠抑制一氧化碳的生成，并且 對于空氣中所含有的固體成分也能夠除去。
[0023] 通過熱交換單元使水混合到流入第1加熱單元之前的含有過氟化物的氣體中，由 此，能夠使用于過氟化物的水解的水更均勻地混合到含有過氟化物的氣體中。
[0024] 通過固體成分除去單元具備：用于除去固體成分的第1過濾器、和在進(jìn)行第1過濾 器的更換時(shí)代替第1過濾器來除去固體成分的第2過濾器，即使是對第1過濾器進(jìn)行更換 時(shí)，通過使用第2過濾器，也能夠不停止裝置的運(yùn)行來進(jìn)行更換。
[0025] 通過固體成分除去單元在含有過氟化物的氣體的流通路徑下游側(cè)具備用于采用 壓縮空氣進(jìn)行反洗的壓縮空氣口，能夠不停止過氟化物的處理來繼續(xù)運(yùn)行，并且能夠延長 過濾器等的更換時(shí)期。
[0026] 通過預(yù)處理工序具備：對含有過氟化物的氣體進(jìn)行加熱，使含有過氟化物的氣體 中所含有的液體的水蒸發(fā)的預(yù)熱工序；和從通過預(yù)熱單元使液體的水蒸發(fā)了的含有過氟化 物的氣體除去固體成分的固體成分除去工序，在含有過氟化物的氣體中，除了過氟化物之 夕卜，即使還含有水分，固體成分除去單元也難以堵塞。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027] 圖1是對應(yīng)用本實(shí)施方式的過氟化物處理裝置的半導(dǎo)體制造車間的總體構(gòu)成進(jìn) 行說明的圖。
[0028] 圖2是對本實(shí)施方式的過氟化物處理裝置的概略構(gòu)成進(jìn)行說明的圖。
[0029] 圖3是表示構(gòu)成本實(shí)施方式的過氟化物處理裝置的各設(shè)備的圖，是對入口加熱器 211的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的圖。
[0030] 圖4 (a)?（b)是對入口加熱器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的圖。
[0031] 圖5是說明反應(yīng)溫度與過氟化物的分解率的關(guān)系的圖。
[0032] 圖6是對過氟化物處理裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明的流程圖。
[0033] 圖7是從上方觀察實(shí)際制造成的過氟化物處理裝置的圖。
[0034] 圖8是從圖7的VII方向觀察實(shí)際制造成的過氟化物處理裝置的圖。
[0035] 附圖標(biāo)記說明
[0036] 1…半導(dǎo)體制造設(shè)備、2…過氟化物處理裝置、3…酸洗滌器、21···預(yù)處理裝置、22··· 過氟化物分解裝置、23?"HF吸附裝置、24···控制裝置、211…入口加熱器、211b···翅片、212、 212a…過濾器、212b···噴嘴、221…第1加熱器、222…第2加熱器、231…熱交換器、232…酸 成分除去裝置、233…排出器（ejector)

【具體實(shí)施方式】
[0037] 以下，對實(shí)施本發(fā)明的方式詳細(xì)地說明。再者，本發(fā)明并不限于以下的實(shí)施方式， 能夠在其主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形來實(shí)施。另外，使用的附圖是用于說明本實(shí)施方式的 圖，并不表示實(shí)際的大小。
[0038] <半導(dǎo)體制造車間的總體構(gòu)成的說明>
[0039] 圖1是對應(yīng)用本實(shí)施方式的過氟化物處理裝置的半導(dǎo)體制造車間的總體構(gòu)成進(jìn) 行說明的圖。
[0040] 如圖所示，本實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造車間具備進(jìn)行半導(dǎo)體的制造的半導(dǎo)體制造設(shè) 備1、分解處理過氟化物的過氟化物處理裝置2、和進(jìn)行酸性氣體的捕集的酸洗滌器3。
[0041] 半導(dǎo)體制造設(shè)備1通常成為清潔室，在圖示的例子中，具備：對作為半導(dǎo)體的硅、 多晶硅進(jìn)行蝕刻的P-Si蝕刻器11 ;對作為絕緣膜的氧化硅（Si02)等氧化膜進(jìn)行蝕刻的氧 化膜蝕刻器12 ;和為了用于布線而對金屬膜進(jìn)行蝕刻的金屬蝕刻器13。
[0042] P-Si蝕刻器11、氧化膜蝕刻器12、金屬蝕刻器13是干式蝕刻(干刻)裝置，例如是 在處理室(工藝室：process chamber)內(nèi)使用反應(yīng)性的蝕刻氣體進(jìn)行蝕刻的反應(yīng)性離子蝕 刻（RIE:Reactive Ion Etching)裝置。
[0043] 在P-Si蝕刻器11、氧化膜蝕刻器12、金屬蝕刻器13中使用的蝕刻氣體分別不同， 但在用各裝置進(jìn)行干式蝕刻后排出的氣體中包含起因于該蝕刻氣體的各種過氟化物（以下 也稱作 PFC (perfluorocompound))。該過氟化物，可例示出 CF4、C2F6、C3F8、C 4F8、C5F8、SF6、 CHF3等。而且，含有過氟化物的被排出的氣體即蝕刻排氣(蝕刻廢氣)，在用毒性氣體消除 裝置14除去了氯氣（Cl 2)等的有毒氣體之后，通過收集管道15被排出到半導(dǎo)體制造設(shè)備1 夕卜。在本實(shí)施方式中，被排出到半導(dǎo)體制造設(shè)備1外的蝕刻排氣，例如是在作為載氣的99% 的隊(duì)（氮）氣中含有1%的過氟化物等的氣體。在本實(shí)施方式中，在蝕刻排氣中所含有的過 氟化物優(yōu)選為1%以下。另外，被排出的蝕刻排氣的流量為例如3000L/min?3500L/min。
[0044] 過氟化物處理裝置2在后面詳細(xì)敘述，通過分解從半導(dǎo)體制造設(shè)備1排出的蝕刻 排氣中所含的過氟化物來消除過氟化物后，作為排氣被排出。因此，從半導(dǎo)體制造設(shè)備1的 各設(shè)備被排出并通過管道所收集的蝕刻排氣，經(jīng)由三通閥4被導(dǎo)入到過氟化物處理裝置2。 過氟化物處理裝置2不需要設(shè)置在清潔室內(nèi)，通常被設(shè)置在半導(dǎo)體制造設(shè)備1的外側(cè)。
[0045] 酸洗滌器3捕集酸性氣體。而且，將進(jìn)行了酸性氣體的捕集之后的無害化了的氣 體排出至半導(dǎo)體制造車間外。酸洗滌器3,在用過氟化物處理裝置2未完全除去過氟化物的 情況下也擔(dān)負(fù)捕集過氟化物的作用。另外，在過氟化物處理裝置2發(fā)生故障等的情況下，還 擔(dān)負(fù)著作為過氟化物處理裝置2的后備(后援：back up)的作用。也就是說，在通常的狀態(tài) 下，含有過氟化物的氣體通過三通閥4被導(dǎo)入到過氟化物處理裝置2中，利用過氟化物處理 裝置2分解、處理過氟化物。但是，在過氟化物處理裝置2發(fā)生故障等的情況下，切換三通 閥4,將含有過氟化物的氣體直接導(dǎo)入到酸洗滌器3中。
[0046] 再者，雖然在圖1中未圖示，但也可以在三通閥4的上游側(cè)設(shè)置捕集從半導(dǎo)體制造 設(shè)備1排出的蝕刻排氣中所含的酸性氣體的堿洗滌器。
[0047] <過氟化物處理裝置的構(gòu)成的說明>
[0048] 以下對過氟化物處理裝置2進(jìn)一步詳細(xì)地說明。
[0049] 圖2是對本實(shí)施方式的過氟化物處理裝置2的概略構(gòu)成進(jìn)行說明的圖。
[0050] 如圖所示，過氟化物處理裝置2具備：預(yù)處理裝置21，其對被導(dǎo)入的裝置入口排氣 (蝕刻排氣)進(jìn)行預(yù)處理；過氟化物分解裝置22,其對在預(yù)處理裝置21中被預(yù)處理了的裝置 入口排氣中所含的過氟化物進(jìn)行分解；和HF吸附裝置23,其通過吸附在過氟化物分解裝置 22中分解過氟化物時(shí)所生成的含有HF(氟化氫)的分解氣體來將其干式除去。而且，利用所 述的各裝置來處理裝置入口排氣進(jìn)行無害化后，作為排氣排出到過氟化物處理裝置2外。
[0051] 圖3是表示構(gòu)成本實(shí)施方式的過氟化物處理裝置2的各設(shè)備的圖。
[0052] 如在圖2中說明的那樣，過氟化物處理裝置2主要具備預(yù)處理裝置21、過氟化物分 解裝置22、和HF吸附裝置23。另外，如圖所示，過氟化物處理裝置2具備控制裝置24,該控 制裝置24進(jìn)行過氟化物處理裝置2中所具備的各設(shè)備以及閥(未圖示）等的控制。
[0053] 預(yù)處理裝置21是對裝置入口排氣進(jìn)行預(yù)處理的預(yù)處理單元的一例。預(yù)處理裝置 21具備進(jìn)行裝置入口排氣的預(yù)熱的入口加熱器211、和進(jìn)行微粒子的除去的過濾器212、 212a。
[0054] 入口加熱器211是預(yù)熱單元的一例，對裝置入口排氣進(jìn)行預(yù)熱而使在裝置入口排 氣中所含的液體的水即微小的水滴(霧)蒸發(fā)。入口加熱器211在裝置入口排氣通過的配管 的周圍具備加熱器211a。而且，裝置入口排氣在通過入口加熱器211時(shí)被加熱器211a加 熱，被預(yù)熱到霧蒸發(fā)的溫度。此時(shí)，被預(yù)熱的裝置入口排氣的溫度可設(shè)為例如60°C。由此， 在接下來的過濾器212中能夠抑制過濾器被霧堵塞。
[0055] 圖4的（a)?（b)是對入口加熱器211的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明的圖。
[0056] 在本實(shí)施方式中，入口加熱器211呈圓筒形狀。而且，從圖中的上部導(dǎo)入裝置入口 排氣。然后，裝置入口排氣向圖中的下方向流通，從圖中的下部排出。而且，在入口加熱器 211中，在裝置入口排氣的流通路徑中配置有翅片211b。
[0057] 在圖4 (a)所圖示的例子中，在入口加熱器211中配有多個(gè)圓盤狀的翅片211b。 該圓盤狀的翅片211b，在其中心部的孔部貫穿有保持構(gòu)件211c。而且，在該孔部中，翅片 211b和保持構(gòu)件211c通過焊接等接合著。由此，翅片211b，在圖中的上下方向上以相互大 致平行且大致等間隔排列成一列。
[0058] 另外，在圖4(b)所圖示的例子中，翅片211b，通過焊接等而接合于入口加熱器211 的內(nèi)壁。該情況下，翅片211b在圖中的上下方向上相互大致平行地排列，在上下方向上排 列成為交錯(cuò)狀。
[0059] 通過設(shè)置這樣的翅片211b，裝置入口排氣的流動(dòng)產(chǎn)生紊亂。因此，裝置入口排氣在 入口加熱器211內(nèi)部被攪拌，能夠?qū)⒓訜崞?11a所產(chǎn)生的熱充分傳遞到裝置入口排氣。另 夕卜，特別是在圖4 (b)所圖示的結(jié)構(gòu)中，加熱器211a所產(chǎn)生的熱，通過翅片211b而進(jìn)一步 傳熱，因此更容易對裝置入口排氣進(jìn)行加熱。而且，通過設(shè)置翅片211b，裝置入口排氣會碰 觸翅片211b，而且在該碰觸的部位水分凝結(jié)，由此也具有除去霧的效果。再者，此時(shí)，凝結(jié)了 的水分有時(shí)向入口加熱器211的下部落下，并積存于入口加熱器211的底部。因此，在本實(shí) 施方式中，在入口加熱器211的底部設(shè)置了閥211d。而且，定期地打開閥211d，排出積存于 入口加熱器211的下部的水。
[0060] 回到圖3,過濾器212從利用入口加熱器211使霧蒸發(fā)了的裝置入口排氣進(jìn)行作為 固體成分的微粒子的除去。在半導(dǎo)體制造設(shè)備1中，產(chǎn)生上述的、進(jìn)行干式蝕刻時(shí)削掉的氧 化硅等的微粒子。而且，該微粒子混入到裝置入口排氣中，因此利用過濾器212進(jìn)行除去。 過濾器212,如果是能夠使裝置入口排氣通過、并且捕集微粒子的過濾器，就沒有特別限定， 例如，能夠使用網(wǎng)式過濾器（mesh filter)等。
[0061] 另外，在本實(shí)施方式中，除了過濾器212之外，還具備作為輔助過濾器的過濾器 212a，在該過濾器212和過濾器212a之間，裝置入口排氣的流路被切換。過濾器212a具有 與過濾器212等同的性能，但相比于過濾器212為小型，能夠使用的期間短。而且，在進(jìn)行 過濾器212的更換等時(shí)，代替過濾器212,而向過濾器212a流通裝置入口排氣來除去固體成 分。由此，能夠不停止過氟化物處理裝置2的運(yùn)行就進(jìn)行過濾器212的更換。在本實(shí)施方 式中，利用作為第1過濾器的過濾器212和作為第2過濾器的過濾器212a構(gòu)成固體成分除 去單元。
[0062] 再者，在本實(shí)施方式中，在入口加熱器211與過濾器212之間導(dǎo)入空氣。然后，使 被導(dǎo)入了空氣的裝置入口排氣在過濾器212或者過濾器212a中通過。為了在接下來的過 氟化物分解裝置22中抑制一氧化碳的生成，有時(shí)需要氧，因此在該階段將空氣與裝置入口 排氣混合。
[0063] 另外，在本實(shí)施方式中，在后面詳細(xì)敘述，通過過濾器212后的裝置入口排氣暫且 進(jìn)入到熱交換器231。然后，通過熱交換器231中的熱交換，裝置入口排氣被加熱。進(jìn)而，以 液體的狀態(tài)添加此時(shí)用于在接下來的過氟化物分解裝置22中分解過氟化物的反應(yīng)所需要 的水。該水在熱交換器231中與裝置入口排氣一起被加熱，變成氣體的水蒸氣。然后，一邊 與裝置入口排氣混合一邊被移送。在本實(shí)施方式中，作為水使用純水，添加量是與后述的反 應(yīng)式相稱的量，為例如350mL/min。另外，該水也可以預(yù)先加熱作為水蒸氣而添加到熱交換 器231中。
[0064] 另外，在本實(shí)施方式中，過濾器212,在裝置入口排氣的流通路徑下游側(cè)具備用于 采用壓縮空氣進(jìn)行反洗的作為壓縮空氣口的一例的噴嘴212b。而且，通過從該噴嘴212b噴 射壓縮空氣，來除去沉積于過濾器212的表面的固體成分。
[0065] 在本實(shí)施方式中，在噴嘴212b上連接有供給壓縮空氣的配管，在該配管的途中設(shè) 有閥212e。而且，在本實(shí)施方式中，設(shè)有：檢測裝置入口排氣通過過濾器212之前和之后的 壓力差的差壓計(jì)212c。而且，在差壓計(jì)212c檢測到的壓力差達(dá)到了規(guī)定的值以上時(shí)，打開 閥212e，從噴嘴212b噴射壓縮空氣，來除去沉積于過濾器212的表面的固體成分。再者，該 處理也能夠自動(dòng)地進(jìn)行。即，利用控制裝置24等監(jiān)視差壓計(jì)212c測到的壓力差，而且在檢 知差壓計(jì)212c測到的壓力差達(dá)到了規(guī)定的值以上時(shí)，送出打開閥212e的控制信號，噴射壓 縮空氣。另外，該情況下，在預(yù)先確定的時(shí)間后送出關(guān)閉閥212e的控制信號，停止壓縮空氣 的噴射。
[0066] 通過如以上那樣噴射壓縮空氣進(jìn)行反洗，過濾器212的裝置入口排氣導(dǎo)入側(cè)的表 面上的固體成分被除去，能夠使差壓降低。而且，通過進(jìn)行該反洗，能夠不停止過氟化物的 處理而繼續(xù)運(yùn)行，并且能夠延長過濾器212的更換時(shí)期。
[0067] 過氟化物分解裝置22,是對裝置入口排氣以及水進(jìn)行加熱，并且利用預(yù)先確定的 催化劑水解過氟化物而生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱單元的一例。而且，過氟化物 分解裝置22具備第1加熱器221和第2加熱器222這兩個(gè)加熱器。
[0068] 第1加熱器221在內(nèi)部配置有加熱器221a，通過該加熱器221a對裝置入口排氣以 及在熱交換器231中被添加而成為水蒸氣的水進(jìn)行加熱。通過第1加熱器221后的裝置入 口排氣，變?yōu)槔?50°C?500°C。在本實(shí)施方式中，將第1加熱器221設(shè)為裝置入口排氣 的流路成為水平方向的臥式的加熱器。
[0069] 第2加熱器222從上方導(dǎo)入裝置入口排氣，首先利用在內(nèi)部具備的加熱器222a對 裝置入口排氣和水蒸氣進(jìn)一步加熱。由此，裝置入口排氣被加熱到例如750°C。
[0070] 然后，被進(jìn)一步加熱了的裝置入口排氣，在配置于第2加熱器222的下方的催化劑 層222b中與混合在裝置入口排氣中的水(水蒸氣）發(fā)生反應(yīng)，被分解。
[0071] 作為此時(shí)的分解反應(yīng)，采取作為過氟化物的CF4、CHF3、C 2F6和SF6的情況為例，以下 示出反應(yīng)式。

【權(quán)利要求】
1. 一種過氟化物處理裝置，其特征在于，具備： 預(yù)處理單元，其對含有過氟化物的氣體進(jìn)行預(yù)處理； 加熱單元，其對含有過氟化物的氣體以及水進(jìn)行加熱，并且利用預(yù)先確定的催化劑水 解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體； 熱交換單元，其配置于所述加熱單元的前段以及后段，在流入該加熱單元之前的含有 過氟化物的氣體以及水與從該加熱單元流出后的分解氣體之間進(jìn)行熱交換；和 酸成分除去單元，其從自所述熱交換單元流出后的分解氣體干式除去酸成分， 所述預(yù)處理單元具備： 預(yù)熱單元，其對含有過氟化物的氣體進(jìn)行加熱，使含有過氟化物的氣體中所含有的液 體的水蒸發(fā)；和 固體成分除去單元，其從利用所述預(yù)熱單元使液體的水蒸發(fā)了的含有過氟化物的氣體 除去固體成分。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，所述預(yù)熱單元在含有過氟 化物的氣體的流通路徑中配有翅片。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，在所述預(yù)熱單元與所 述固體成分除去單元之間導(dǎo)入空氣，并使被導(dǎo)入了空氣的含有過氟化物的氣體在該固體成 分除去單元中通過。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，所述熱交換單元使所 述水混合到流入所述加熱單元之前的含有過氟化物的氣體中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，所述固體成分除去單 元具備： 用于除去固體成分的第1過濾器；和 第2過濾器，其在進(jìn)行該第1過濾器的更換時(shí)代替該第1過濾器來除去固體成分。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，所述固體成分除去單 元在含有過氟化物的氣體的流通路徑下游側(cè)具備用于采用壓縮空氣進(jìn)行反洗的壓縮空氣 □。
7. -種過氟化物處理方法，其特征在于，具備： 預(yù)處理工序，該工序?qū)羞^氟化物的氣體進(jìn)行預(yù)處理； 加熱工序，該工序?qū)羞^氟化物的氣體以及水進(jìn)行加熱，并且利用預(yù)先確定的催化 劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體； 熱交換工序，該工序配置于所述加熱工序的前段以及后段，在流入該加熱工序之前的 含有過氟化物的氣體以及水與從該加熱工序流出后的分解氣體之間進(jìn)行熱交換；和 酸成分除去工序，該工序從自所述熱交換工序流出后的分解氣體干式除去酸成分， 所述預(yù)處理工序具備： 預(yù)熱工序，該工序?qū)羞^氟化物的氣體進(jìn)行加熱，使含有過氟化物的氣體中所含有 的液體的水蒸發(fā)；和 固體成分除去工序，該工序從通過所述預(yù)熱工序使液體的水蒸發(fā)了的含有過氟化物的 氣體除去固體成分。
【文檔編號】B01D53/75GK104056536SQ201410102944
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年3月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月19日
【發(fā)明者】鳥巢純一, 早坂裕二, 加藤健一 申請人:昭和電工株式會社