一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)，包括蒸發(fā)設(shè)備的筒體（4），在筒體（4）的下方設(shè)有加熱器（7），筒體（4）底部裝有硅油（1），硅油（1）液面以上的筒壁上設(shè)有排氣口（2），筒體（4）內(nèi)設(shè)有蒸汽導(dǎo)管（3），蒸汽導(dǎo)管（3）頂部設(shè)有噴嘴（5），筒體（4）的外壁設(shè)有冷卻水管（6）；所述蒸汽導(dǎo)管（3）與筒體（4）之間設(shè)有冷阱（8）。本實(shí)用新型通過在蒸發(fā)設(shè)備內(nèi)加裝冷阱的方法來控制油分子上返，可以更快速的凝結(jié)真空系統(tǒng)中的水蒸汽和其它高沸點(diǎn)氣體，減少擴(kuò)散泵返油造成的真空室污染，提高真空系統(tǒng)的抽速，提高系統(tǒng)真空度。
【專利說明】一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備改造【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的蒸發(fā)設(shè)備外壁設(shè)有放開式循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，該冷卻水系統(tǒng)中的冷卻水管太細(xì)，使用一段時間之后，冷卻水管通常會被污染和腐蝕，冷卻水管內(nèi)充滿了污泥和菌藻類物質(zhì)，造成冷卻水管堵塞，致使制冷效果變差，蒸發(fā)設(shè)備經(jīng)常出現(xiàn)問題，影響產(chǎn)品質(zhì)量，降低了產(chǎn)品的成品率，會給企業(yè)帶來很大的損失。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于，提供一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)，以解決蒸發(fā)設(shè)備冷卻水系統(tǒng)失效后制冷效果變差的問題，從而克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案:
[0005]本實(shí)用新型的一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)，包括蒸發(fā)設(shè)備的筒體，筒體的下方設(shè)有加熱器，筒體底部裝有硅油，硅油液面以上的筒壁上設(shè)有排氣口，筒體內(nèi)設(shè)有蒸汽導(dǎo)管，蒸汽導(dǎo)管頂部設(shè)有噴嘴，筒體的外壁設(shè)有冷卻水管；所述蒸汽導(dǎo)管與筒體之間設(shè)有冷阱。
[0006]上述的蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)中，所述排氣口以上的筒體內(nèi)壁設(shè)有油分子擋板，冷阱坐落在油分子擋板上。
[0007]上述的蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)中，所述冷阱的形狀為底大頂小的螺旋管，冷阱底端設(shè)有進(jìn)水口，冷阱頂端設(shè)有出水口。
[0008]由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型通過在蒸發(fā)設(shè)備內(nèi)加裝冷阱的方法來控制油分子上返，可以更快速的凝結(jié)真空系統(tǒng)中的水蒸汽和其它高沸點(diǎn)氣體，減少擴(kuò)散泵返油造成的真空室污染，提高真空系統(tǒng)的抽速，提高系統(tǒng)真空度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中的標(biāo)記為:1_硅油、2-排氣口、3-蒸汽導(dǎo)管、4-筒壁、5-噴嘴、6-冷卻水管、
7-電爐、8-冷講、9-油分子擋板、10-進(jìn)水口、11-出水口。

【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明，但不作為對本實(shí)用新型的任何限制。
[0012]本實(shí)用新型是根據(jù)下述的一種蒸發(fā)設(shè)備冷卻水系統(tǒng)失效的改造方法所構(gòu)建的，如圖1所示，該方法是在蒸發(fā)設(shè)備內(nèi)加裝一套冷阱，以便更快速的凝結(jié)蒸發(fā)設(shè)備中的水蒸汽和其它高沸點(diǎn)氣體，提高蒸發(fā)設(shè)備的抽速，提高系統(tǒng)真空度。冷阱底部設(shè)有油分子擋板，通過油分子擋板減少擴(kuò)散泵返油造成的真空室污染。冷阱的形狀底部直徑大于頂部直徑的螺旋管，冷卻水從冷阱底部的螺旋管入口進(jìn)入從冷阱頂部的螺旋管出口流出，通過冷卻水使冷阱始終處于低溫狀態(tài)，加速蒸發(fā)設(shè)備中水蒸汽在冷阱表面的凝結(jié)。
[0013]根據(jù)上述方法構(gòu)成的本實(shí)用新型的一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，該蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)包括筒體4，筒體4的下方設(shè)有加熱器7，筒體4底部裝有硅油I，硅油I液面以上的筒壁上設(shè)有排氣口 2，筒體4內(nèi)設(shè)有蒸汽導(dǎo)管3，蒸汽導(dǎo)管3頂部設(shè)有噴嘴5，筒體4的外壁設(shè)有冷卻水管6 ;所述蒸汽導(dǎo)管3與筒體4之間設(shè)有冷阱8。排氣口 2以上的筒體4內(nèi)壁設(shè)有油分子擋板9，冷阱8坐落在油分子擋板9上，冷阱8的形狀為底大頂小的螺旋管，冷阱8底端設(shè)有進(jìn)水口 10，冷阱8頂端設(shè)有出水口 11。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)，包括蒸發(fā)設(shè)備的筒體(4)，其特征在于:在筒體(4)的下方設(shè)有加熱器(7)，筒體(4)底部裝有硅油(1)，硅油(I)液面以上的筒壁上設(shè)有排氣口(2)，筒體(4)內(nèi)設(shè)有蒸汽導(dǎo)管(3)，蒸汽導(dǎo)管(3)頂部設(shè)有噴嘴(5)，筒體(4)的外壁設(shè)有冷卻水管(6);所述蒸汽導(dǎo)管(3)與筒體(4)之間設(shè)有冷阱(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述排氣口(2)以上的筒體(4)內(nèi)壁設(shè)有油分子擋板(9)，冷阱(8)坐落在油分子擋板(9)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述冷阱(8)的形狀為底大頂小的螺旋管，冷阱(8 )底端設(shè)有進(jìn)水口( 10 )，冷阱(8 )頂端設(shè)有出水口( 11)。
【文檔編號】B01D1/30GK203954702SQ201420205783
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】賀波, 劉態(tài)銘, 朱建凱, 蔣秀英 申請人:中國振華集團(tuán)永光電子有限公司