一種自清洗過濾器的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種自清洗過濾器，至少包括：具有側壁、上蓋及下底面的過濾器外殼；所述過濾器外殼的側壁外設有與其內部貫通的進、出水口；所述過濾器外殼的側壁內設有托臺；具有側壁和傾斜的上開口的中空濾芯；所述側壁具有過濾孔；所述中空濾芯位于所述過濾器外殼內部、所述進、出水口之間且卡持于所述托臺上，并且所述上開口與所述進水口相對；與所述出水口貫通的進氣裝置；設置于所述過濾器外殼下表面且與所述中空濾芯底部貫通的排污裝置；該過濾器外殼下表面還設有排水裝置。該裝置將積累于中空濾芯中的雜質通過氣流進行清洗，最后通過排污裝置排出，實現(xiàn)自動化的清洗過程，不需要人工拆洗，節(jié)省時間并提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】一種自清洗過濾器

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種過濾器，特別是涉及一種半導體制造領域中的自清洗過濾 器。

【背景技術】
[0002] 在半導體生產(chǎn)過程中，經(jīng)常在生產(chǎn)工藝水排放系統(tǒng)與廢水系統(tǒng)的管路之間安裝一 個過濾器?，F(xiàn)有技術中的過濾器的結構如圖1所示，其工作方式為：生產(chǎn)工藝水排放系統(tǒng)中 的水從位于過濾器外殼10外側壁的進水口進入到該過濾器裝置中，經(jīng)過位于過濾器外殼 10內部中空濾芯15 (中空濾芯15卡持于過濾器外殼內側壁的托臺13和托臺14上，且該中 空濾芯15的上端為傾斜的開口，該傾斜的開口與進水口 11相對，該中空濾芯的側壁具有過 濾孔），之后雜質被截流至中空濾芯15中，經(jīng)過過濾的廢水從過濾孔出去后從位于過濾器 外殼外側壁的出水口 12流出過濾器。
[0003] 該過濾器用來去除廢水里體積較大的雜質。當雜質堵塞過濾器時，會導致機臺排 水不暢造成機臺停機，通常會在固定的周期通過人工拆洗的方式將雜質從過濾器中取出， 而通常情況下，拆卸過濾器時需要將用于固定過濾器上蓋101的螺栓102拆卸開，人工通過 位于中空濾芯上的提手151將中空濾芯取出后清洗干凈。
[0004] 人工拆洗操作非常困難，每次清洗需要至少半個工作日，影響生產(chǎn)；同時，在清洗 期間，生產(chǎn)工藝水排放系統(tǒng)中的廢水只能直接排到廢水系統(tǒng)中，當有較大雜質進入廢水系 統(tǒng)設備里，有可能造成設備不可恢復性的損傷，從而給生產(chǎn)帶來了損失。 實用新型內容
[0005] 鑒于以上所述現(xiàn)有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種自清洗過濾器， 用于解決現(xiàn)有技術中由于人工清洗過濾器裝置費時費力而導致影響生產(chǎn)進度以及在清洗 期間雜質進入廢水系統(tǒng)設備中導致機臺不可恢復性損傷的問題。
[0006] 為實現(xiàn)上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種自清洗過濾器，所述自清 洗過濾器至少包括：具有側壁、上蓋以及下底面的過濾器外殼；所述過濾器外殼的側壁外 設有與該過濾器外殼內部貫通的進水口和出水口；所述過濾器外殼的側壁內設有托臺；具 有側壁和傾斜的上開口的中空濾芯；所述側壁具有過濾孔；所述中空濾芯位于所述過濾器 外殼內部、所述進水口與所述出水口之間且卡持于所托臺上，并且所述上開口與所述進水 口相對；與所述出水口貫通的進氣裝置；設置于所述過濾器外殼下表面且與所述中空濾芯 底部貫通的排污裝置；該過濾器外殼下表面還設有排水裝置。
[0007] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述過濾器外殼內部的側壁上 設有兩個托臺；所述中空濾芯上開口的最高端與其最低端分別卡持于所述過濾器內部的所 述兩個托臺上。
[0008] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述進水口和出水口沿垂直水 流方向的截面形狀為圓形；所述兩個托臺分別設于所述過濾器外殼內部側壁的所述進水口 底部和所述出水口的頂部。
[0009] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述進水口的頂部高度與所述 中空濾芯上開口最1?端的1?度相等；所述出水口的底部1?度與所述中空濾芯上開口最低端 的1?度相等。
[0010] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述中空濾芯的底部與所述過 濾器外殼的下底面留有間隙。
[0011] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述中空濾芯還設有提手。
[0012] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述過濾器外殼的上蓋采用螺 栓固定的方式固定于該過濾器外殼的側壁上。
[0013] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述過濾器外殼的上蓋設有調 節(jié)該過濾器內部氣壓的安全閥。
[0014] 作為本實用新型的自清洗過濾器的一種優(yōu)選方案，所述進氣裝置為壓縮空氣進氣 裝直。
[0015] 如上所述，本實用新型的自清洗過濾器，具有以下有益效果：本實用新型將現(xiàn)有技 術中的過濾器裝置增加進氣裝置、排污裝置以及排水裝置等，通過進氣裝置的氣體將阻塞 在中空濾芯中雜質進行清洗，最后通過位于中空濾芯底部的排污裝置將雜質排出，實現(xiàn)自 動化的清洗過程，不需要人工拆洗，節(jié)省時間，同時避免在拆洗的同時，較大體積的雜質對 廢水系統(tǒng)設備的損傷并提高生產(chǎn)效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1為現(xiàn)有技術中的過濾器結構示意圖。
[0017] 圖2為本實用新型的自清洗過濾器結構示意圖。
[0018] 元件標號說明
[0019] 10、20 過濾器外殼
[0020] 101、201 上蓋
[0021] 102、202 螺栓
[0022] 203 安全閥
[0023] 11、21 進水口
[0024] 12、22 出水口
[0025] 13、14、23、24 托臺
[0026] 15,25 中空濾芯
[0027] 151、251 提手
[0028] 26 進氣裝置
[0029] 27 排污裝置
[0030] 28 排水裝置

【具體實施方式】
[0031] 以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說 明書所揭露的內容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。本實用新型還可以通過另 外不同的【具體實施方式】加以實施或應用，本說明書中的各項細節(jié)也可以基于不同觀點與應 用，在沒有背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。
[0032] 請參閱圖2。需要說明的是，本實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本實用新 型的基本構想，遂圖式中僅顯示與本實用新型中有關的組件而非按照實際實施時的組件數(shù) 目、形狀及尺寸繪制，其實際實施時各組件的型態(tài)、數(shù)量及比例可為一種隨意的改變，且其 組件布局型態(tài)也可能更為復雜。
[0033] 如圖2所示，表示的是本實用新型的一種自清潔過濾器的結構示意圖。圖2中，所 述過濾器外殼20為具有側壁、上蓋201以及下底面的過濾器外殼；所述過濾器外殼的側壁 外設有進水口 21和出水口 22,所述進水口 21和所述出水口 22與該過濾器外殼內部貫通， 該進水口用于連接生產(chǎn)工藝水排放系統(tǒng)的排水管道，廢水從該進水口 21進入該過濾器中， 經(jīng)過濾后再從所述出水口 22排出。所述過濾器外殼的側壁內設有托臺23和托臺24 ;所述 過濾器外殼內部還設有中空濾芯25,所述中空濾芯25為中空濾芯且其具有側壁和上開口， 所述上開口呈傾斜狀，如圖2所示，所述上開口所在的平面不是水平面，而是與水平面呈一 定傾斜角度的斜面；所述中空濾芯25的側壁具有若干過濾孔，優(yōu)選地，本實用新型的所述 中空濾芯側壁的若干過濾孔分布均勻。所述過濾器外殼內部的所述中空濾芯25位于所述 進水口 21與所述出水口 22之間；所述中空濾芯在所述過濾器外殼內部的固定方式是通過 卡持于所述過濾器外殼內部側壁上的托臺23和托臺24而固定，同時所述傾斜的上開口與 所述進水口相對放置，即如圖2所示，所述中空濾芯的上開口在所述過濾器外殼側壁內的 投影位于該進水口在該過濾器外殼內的側壁上的位置。
[0034] 作為本實用新型的一種優(yōu)選方式，本實施例中，所述托臺的個數(shù)為兩個，即所述過 濾器外殼內部的側壁上設有兩個托臺；由于所述中空濾芯的上開口傾斜，因此有其最高端 與最低端，該最高端與最低端分別依次卡持于所述過濾器內部的該兩個托臺23和托臺24 上；作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，本實施例中，所述進水口 21和出水口 22沿水流方向 的截面形狀為圓形；所述兩個托臺分別設于所述過濾器外殼內部側壁的所述進水口底部和 所述出水口的頂部。如圖2所示，所述托臺23設于所述出水口 22的頂部，所述托臺24設 于所述進水口 21的底部，所述中空濾芯上開口的最高端卡持于所述托臺23上，其最低端卡 持于所述托臺24上。同時，作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述進水口的頂部高度與所 述中空濾芯上開口最1?端的1?度相等；所述出水口的底部1?度與所述中空濾芯上開口最低 端的高度相等。亦即，所述進水口 21的底部設有托臺24,所述托臺24卡持所述中空濾芯上 開口的最低端，同時，該進水口 21的頂部與所述中空濾芯上開口的最1?端1?度相等；所述 出水口 22的頂部設有托臺23,所述托臺23卡持所述中空濾芯上開口的最高端，同時，該出 水口 22的底部與所述中空濾芯上開口的最低端1?度相等。
[0035] 本實用新型的所述過濾器還包含有與所述出水口貫通的進氣裝置26,如圖2所 示，所述進氣裝置與所述出水口 22相連接并且貫通于所述過濾器外殼的內部，所述進氣裝 置具有開關閥，其作用是將氣體輸送至所述過濾器中，優(yōu)選地，本實施例中所述氣體為壓縮 空氣。本實用新型的自清洗過濾器還包括設置于所述過濾器外殼下表面且與所述中空濾芯 25底部貫通的排污裝置27,所述排污裝置具有排污口以及與該排污口配合的活塞，當需要 將雜質從所述過濾器內部排出時，所述活塞27會被打開，不用時，該排污裝置中的活塞會 將排污口堵上。本實用新型的所述過濾器外殼的下表面還設有排水裝置28。作為本實用新 型的一種優(yōu)選方案，所述中空濾芯的底部與所述過濾器外殼的下底面留有間隙。該優(yōu)選方 案的作用是使得在使用氣體清潔該過濾器的過程中，所述中空濾芯的底部與所述過濾器外 殼的下底面留有間隙可以有效使該過濾器存留的廢水從所述排水裝置排出，若中空濾芯的 底部與所述過濾器外殼的下底面沒有間隙則降低了廢水的排出速度。
[0036] 作為本實用新型的一種優(yōu)選方案，所述過濾器外殼的上蓋201設有保護該過濾器 內部氣壓的安全閥203,當用氣體自動清洗時，所述氣壓安全閥可以調節(jié)所述過濾器內部的 氣壓，避免因氣壓太大而損壞裝置。
[0037] 本實用新型的自清洗過濾器的工作方式為：如圖2所示，當生產(chǎn)工藝水排放系統(tǒng) 中的廢水從所述進水口 21進入該過濾器裝置中，廢水從所述中空濾芯25的傾斜的上開口 進入該中空濾芯中，由于該中空濾芯側壁上具有過濾孔，因此，廢水中的雜質不能從過濾孔 穿過而滯留在中空濾芯中，被過濾后的廢水穿過中空濾芯側壁的過濾孔之后又從所述過濾 器外殼側壁上的出水口 22出去，該過程中，所述自清洗過濾器裝置中的其他部件例如：進 氣裝置、排污裝置、排水裝置以及安全裝置等處于不工作狀態(tài)。
[0038] 當需要對所述中空濾芯進行清洗時，所述進水口 21和所述出水口 22關閉；首先打 開放水裝置28,將滯留在所述過濾器內部的廢水先排出；之后打開進氣裝置26,給所述過 濾器內部輸送氣體，同時打開排污裝置27,氣體進入所述中空濾芯，阻塞在所述中空濾芯中 的雜質在氣流的作用下進入排污裝置27中，直到所述中空濾芯中的雜質排干凈為止，再恢 復該過濾器的正常工作。所述自清洗過濾器在自清洗的過程中，為防止過濾器內部因氣壓 太大而導致部件受損，因此優(yōu)選地，可以將安裝在該過濾器外殼上的安全閥打開，保證過濾 器內部能正常清洗。
[0039] 另外，當需要更換中空濾芯或因其他原因不得不拆卸所述過濾器的時候，本實用 新型優(yōu)選地，所述過濾器外殼的上蓋采用螺栓固定的方式固定于該過濾器外殼的側壁上， 當需要拆卸時，通過擰開其上蓋的螺栓將上蓋取下；同時，優(yōu)選地，所述中空濾芯還設有提 手，技術人員通過所述中空濾芯上的提手即可將中空濾芯取出。
[0040] 綜上所述，本實用新型將現(xiàn)有技術中的過濾器裝置增加進氣裝置、排污裝置以及 排水裝置等，通過進氣裝置的氣體將阻塞在中空濾芯中雜質進行清洗，最后通過位于中空 濾芯底部的排污裝置將雜質排出，實現(xiàn)自動化的清洗過程，不需要人工拆洗，節(jié)省時間，同 時避免在拆洗的同時，較大體積的雜質對廢水系統(tǒng)設備的損傷并提高生產(chǎn)效率。所以，本實 用新型有效克服了現(xiàn)有技術中的種種缺點而具高度產(chǎn)業(yè)利用價值。
[0041] 上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用于限制本實用新 型。任何熟悉此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及范疇下，對上述實施例進行 修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術領域】中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精 神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
【權利要求】
1. 一種自清洗過濾器，其特征在于，所述自清洗過濾器至少包括： 具有側壁、上蓋以及下底面的過濾器外殼； 所述過濾器外殼的側壁外設有與該過濾器外殼內部貫通的進水口和出水口； 所述過濾器外殼的側壁內設有托臺； 具有側壁和傾斜的上開口的中空濾芯；所述側壁具有過濾孔；所述中空濾芯位于所述 過濾器外殼內部、所述進水口與所述出水口之間且卡持于所托臺上，并且所述上開口與所 述進水口相對； 與所述出水口貫通的進氣裝置；設置于所述過濾器外殼下表面且與所述中空濾芯底部 貫通的排污裝置；該過濾器外殼下表面還設有排水裝置。
2. 根據(jù)權利要求1所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述過濾器外殼內部的側壁上 設有兩個托臺；所述中空濾芯上開口的最高端與其最低端分別卡持于所述過濾器內部的所 述兩個托臺上。
3. 根據(jù)權利要求2所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述進水口和出水口沿垂直水 流方向的截面形狀為圓形；所述兩個托臺分別設于所述過濾器外殼內部側壁的所述進水口 底部和所述出水口的頂部。
4. 根據(jù)權利要求3所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述進水口的頂部高度與所述 中空濾芯上開口最1?端的1?度相等；所述出水口的底部1?度與所述中空濾芯上開口最低端 的1?度相等。
5. 根據(jù)權利要求1所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述中空濾芯的底部與所述過 濾器外殼的下底面留有間隙。
6. 根據(jù)權利要求1所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述中空濾芯還設有提手。
7. 根據(jù)權利要求1所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述過濾器外殼的上蓋采用螺 栓固定的方式固定于該過濾器外殼的側壁上。
8. 根據(jù)權利要求7所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述過濾器外殼的上蓋設有調 節(jié)該過濾器內部氣壓的安全閥。
9. 根據(jù)權利要求1所述的自清洗過濾器，其特征在于：所述進氣裝置為壓縮空氣進氣 裝直。
【文檔編號】B01D29/35GK203842372SQ201420234854
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年5月9日 優(yōu)先權日:2014年5月9日
【發(fā)明者】余翔 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司