半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備的制作方法
【專利摘要】一種半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，包含一連接于一半導(dǎo)體加工設(shè)備的入口洗滌單元、一與該入口洗滌單元連通的反應(yīng)單元、一與該反應(yīng)單元連通的出口洗滌單元，及一水槽單元。該入口洗滌單元用于洗滌該半導(dǎo)體加工設(shè)備所排出的廢氣，該反應(yīng)單元是對廢氣進(jìn)行加熱分解處理，該出口洗滌單元是用于洗滌廢氣并將廢氣排出。該水槽單元包括一與該入口洗滌單元、出口洗滌單元連通的水槽，一用于排水的排水管，及一設(shè)置于該排水管中的排水比例閥，該排水比例閥能在一開啟過程中使排水量漸漸增加至一定值，而在一關(guān)閉過程中，能使排水量自該定值漸漸降低至零而關(guān)閉，避免因瞬間關(guān)閉排水閥而產(chǎn)生水錘效應(yīng)，防止該排水管因水錘效應(yīng)而破裂損壞。
【專利說明】半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種廢氣的處理設(shè)備，特別是涉及一種半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體制程中所排出的廢氣，不但對人體以及環(huán)境有害，且具有可燃性、爆炸性，及腐蝕性，站在保護(hù)生活環(huán)境以及永續(xù)經(jīng)營的立場而言，必須使所述廢氣經(jīng)過特殊處理，消除廢氣的有害性，才得以排放至環(huán)境中。
[0003]參閱圖1，為一現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備1，包含一與前端制造設(shè)備(圖未示)連通的入口洗漆單元U、一與該入口洗漆單元11連通的反應(yīng)單元12、一與該反應(yīng)單元12連通的出口洗滌單元13，及一用于盛接洗滌廢水的水槽單元14。
[0004]該入口洗滌單元11包括一第一洗滌本體111、一設(shè)置于該第一洗滌本體111中的第一噴嘴112，及一連接于該第一噴嘴112，并用于引入外界水源且自該第一噴嘴112噴出的第一入水管113。該第一噴嘴112能以灑水的方式，對導(dǎo)入該第一洗滌本體111中的廢氣進(jìn)行洗滌動(dòng)作。
[0005]該反應(yīng)單元12包括一反應(yīng)爐121、一分別連通該第一洗漆本體111及該反應(yīng)爐121的輸入管122,及一用于輸出反應(yīng)后的氣體的輸出管123。該輸入管122用于將由該入口洗滌單元11洗滌后的氣體輸入該反應(yīng)爐121。
[0006]該出口洗滌單元13包括一借由該輸出管123與該反應(yīng)爐121連通的第二洗滌本體131、一設(shè)置于該第二洗滌本體131中的第二噴嘴132、一連接于該第二噴嘴132并用于引入外界水源且自該第二噴嘴132噴出的第二入水管133、一用于將外界空氣引入該第二洗滌本體131的閥門134，及一用于將該第二洗滌本體131內(nèi)的氣體排至外界的風(fēng)扇135。
[0007]該水槽單元14包括一水槽141、一與該輸入管122及該水槽141連通的第一廢液管142、一與該輸出管123及該水槽141連通的第二廢液管143、一用于將該水槽141中的水排出的排水管144，及一設(shè)置于該排水管144中，并用于控制排水與否的排水閥145。
[0008]廢氣導(dǎo)入該入口洗滌單元11后，在該第一洗滌本體111中洗滌的氣體會(huì)經(jīng)過該輸入管122而進(jìn)入該反應(yīng)爐121，而洗滌氣體的廢液則經(jīng)由該第一廢液管142流入該水槽141。接著在該反應(yīng)爐121中反應(yīng)的氣體會(huì)經(jīng)由該輸出管123而進(jìn)入該出口洗滌單元13，在該第二洗滌本體131中洗滌，并與自該閥門134導(dǎo)入的外界空氣混合的氣體，會(huì)借由該風(fēng)扇135排至外界，而洗滌氣體的廢液則經(jīng)由該第二廢液管143流入該水槽141。
[0009]當(dāng)該廢氣處理設(shè)備I處理定量的廢氣后，該水槽141中會(huì)儲(chǔ)存許多洗滌廢氣后產(chǎn)生的廢液，因此必須排出該水槽141中所盛裝的廢液，通常的做法是在該水槽141中設(shè)置一液面高度計(jì)(圖未示)，在液面高度超過一第一設(shè)定值時(shí)即自動(dòng)開啟該排水閥145而進(jìn)行廢液排出。而由于排出廢液的同時(shí)，洗滌廢氣的動(dòng)作亦持續(xù)，仍然會(huì)繼續(xù)產(chǎn)生流入該水槽141中的廢液，故通常并非直接將所有廢液完全排出，而是在液面低于一低于該第一設(shè)定值的第二設(shè)定值時(shí)，則自動(dòng)關(guān)閉該排水閥145。
[0010]然而，由于該水槽141所盛裝的廢液量相當(dāng)多，該排水管144也相當(dāng)長，若是在廢液量的液面低于該第二設(shè)定值的同時(shí)，瞬間關(guān)閉該排水閥145，會(huì)因?yàn)樗鲬T性而產(chǎn)生使水互相推擠的動(dòng)量，此情況會(huì)造成該排水管144內(nèi)的水壓急速提升，也就是所謂的水錘效應(yīng)(Water Hammer)，該排水管144容易因此破裂損壞，甚至發(fā)生管路爆裂的危險(xiǎn)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本實(shí)用新型的目的在于提供一種防止排水時(shí)發(fā)生水錘效應(yīng)而使排水管路損壞的半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備。
[0012]本實(shí)用新型半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，適用于配合一半導(dǎo)體加工設(shè)備，并包含:一連接于該半導(dǎo)體加工設(shè)備的入口洗滌單元、一與該入口洗滌單元連通的反應(yīng)單元、一與該反應(yīng)單元連通的出口洗滌單元，及一用于盛接并排出洗滌廢氣所產(chǎn)生的廢液的水槽單元。
[0013]該入口洗滌單元是用于洗滌該半導(dǎo)體加工設(shè)備所排出的廢氣，經(jīng)過該入口洗滌單元進(jìn)行初步洗滌后的廢氣，是輸送至該反應(yīng)單元中進(jìn)行加熱分解處理，經(jīng)過加熱分解處理后的廢氣，再輸送至該出口洗滌單元再次洗滌，并且將廢氣排出。
[0014]該水槽單元包括一與該入口洗漆單元及該出口洗漆單元連通的水槽、一與該水槽連通并用于排水的排水管，及一設(shè)置于該排水管中的排水比例閥。該水槽是用于盛接該入口洗滌單元及該出口洗滌單元進(jìn)行洗滌所產(chǎn)生的廢液。在排出該水槽所儲(chǔ)存的廢液時(shí)，該排水比例閥是在一開啟過程中使排水量自零增加至呈一定值而排水，并在一關(guān)閉過程中，使排水量自該定值漸漸降低至零而關(guān)閉，避免在排水時(shí)因所采用的排水閥瞬間關(guān)閉而產(chǎn)生的水錘效應(yīng)，借此防止該排水管因水錘效應(yīng)而破裂損壞。
[0015]本實(shí)用新型的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
[0016]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該排水比例閥在該開啟過程中，是以一個(gè)固定的第一速率使排水量自零增加至該定值，而在該關(guān)閉過程中，是自該定值以一個(gè)固定的第二速率減少排水量至零。
[0017]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該入口洗滌單元包括一個(gè)與該半導(dǎo)體加工設(shè)備連通的第一洗滌本體、一個(gè)用于提高該第一洗滌本體的溫度的加熱帶、一個(gè)設(shè)置于該第一洗滌本體上的溫度偵測器，及多個(gè)設(shè)置于該第一洗滌本體內(nèi)并位于該溫度偵測器后的灑水器，該溫度偵測器會(huì)依據(jù)所偵測的溫度發(fā)出提示。
[0018]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該反應(yīng)單元包括一個(gè)與該入口洗滌單元及該出口洗滌單元連通的反應(yīng)爐，及一個(gè)配合該反應(yīng)爐設(shè)置，并用于刮除因廢氣的加熱分解反應(yīng)而附著于該反應(yīng)爐的結(jié)晶的刮刀機(jī)構(gòu)，該刮刀機(jī)構(gòu)所刮除的結(jié)晶是掉落至該水槽中。
[0019]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該反應(yīng)爐具有一個(gè)內(nèi)壁面及一個(gè)外壁面，而該刮刀機(jī)構(gòu)具有一個(gè)貼附于該內(nèi)壁面的內(nèi)刮除件、一個(gè)貼附于該外壁面的外刮除件，及一個(gè)連接該內(nèi)刮除件及該外刮除件，并能帶動(dòng)該內(nèi)刮除件及該外刮除件一同旋轉(zhuǎn)的帶動(dòng)件。
[0020]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該出口洗滌單元包括一個(gè)與該反應(yīng)單元連通的第二洗滌本體、至少一個(gè)設(shè)置于該第二洗滌本體內(nèi)的灑水機(jī)構(gòu)、至少一個(gè)對應(yīng)該灑水機(jī)構(gòu)而設(shè)置于該第二洗滌本體內(nèi)的過濾環(huán)、一個(gè)設(shè)置于該第二洗滌本體上且用于導(dǎo)入外界空氣的進(jìn)氣閥，及一個(gè)設(shè)置于該第二洗滌本體的一端，并用于將經(jīng)洗滌的廢氣排出至外界的排氣機(jī)構(gòu)。
[0021]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該灑水機(jī)構(gòu)具有一條主管，及多個(gè)連接于該主管上，且分別呈不同角度朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)的噴頭。
[0022]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該水槽單元還包括一個(gè)設(shè)置于該水槽中，并用于偵測液面高度的液面計(jì)。
[0023]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該液面計(jì)與該排水比例閥電信連接，當(dāng)該液面計(jì)所偵測的液面高度大于一個(gè)第一設(shè)定值時(shí)，該排水比例閥則開始該開啟過程而排出廢液，當(dāng)該液面計(jì)所偵測的液面高度小于一個(gè)小于該第一設(shè)定值的第二設(shè)定值時(shí)，該排水比例閥則開始該關(guān)閉過程。
[0024]較佳地，前述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其中，該水槽單元還包括一個(gè)設(shè)置于該排水管中的流量計(jì)。
[0025]本實(shí)用新型的有益效果在于:該水槽單元的水槽中所儲(chǔ)存的大量廢液，借由在該排水管中所設(shè)置的排水比例閥，能在排出預(yù)定水量而關(guān)閉該排水比例閥的過程中，使排水量自呈一定值的排水量漸漸降低至零而關(guān)閉，避免因瞬間關(guān)閉該排水比例閥而產(chǎn)生水錘效應(yīng)，防止該排水管因水錘效應(yīng)而破裂損壞。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1是一系統(tǒng)配置圖，說明一現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備；
[0027]圖2是一系統(tǒng)配置圖，說明本實(shí)用新型半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備的一實(shí)施例；
[0028]圖3是一剖視圖，說明該實(shí)施例的一反應(yīng)單元；
[0029]圖4是一局部放大圖，說明該實(shí)施例的一出口洗滌單元的一灑水機(jī)構(gòu)；
[0030]圖5是一立體圖，說明該灑水機(jī)構(gòu)的組件組成；
[0031]圖6是一折線圖，說明該實(shí)施例的一排水比例閥的排水過程。

【具體實(shí)施方式】
[0032]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0033]參閱圖2，本實(shí)用新型半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備2的實(shí)施例，適用于配合一半導(dǎo)體加工設(shè)備(圖未示)，并包含:一連接于該半導(dǎo)體加工設(shè)備的入口洗滌單元21、一與該入口洗滌單元21連通的反應(yīng)單元22、一與該反應(yīng)單元22連通的出口洗滌單元23，及一用于盛接并排出洗滌廢氣所產(chǎn)生的廢液的水槽單元24。
[0034]該實(shí)施例是以濕式洗滌，及加熱分解的方式處理該半導(dǎo)體加工設(shè)備所產(chǎn)生的廢氣。該入口洗滌單元21是用于洗滌該半導(dǎo)體加工設(shè)備所排出的廢氣，目的主要是為了以清水沖洗的方式去除廢氣中的粉塵，或者水溶性氣體等成分。經(jīng)過該入口洗滌單元21進(jìn)行初步洗滌后的廢氣，是輸送至該反應(yīng)單元22中進(jìn)行加熱分解處理，使廢氣分解為無害的氣體。經(jīng)過加熱分解處理后的廢氣，再輸送至該出口洗滌單元23再次洗滌。再次進(jìn)行洗滌的目的除了去除熱分解反應(yīng)所產(chǎn)生的粉塵或者水溶性氣體外，還有降低經(jīng)熱分解處理后的廢氣溫度的功能。經(jīng)過上述的濕式洗滌以及加熱分解后的廢氣，才能符合所規(guī)定的排放標(biāo)準(zhǔn)而排出。
[0035]該入口洗滌單元21包括一與該半導(dǎo)體加工設(shè)備連通的第一洗滌本體211、一用于提高該第一洗滌本體211的溫度的加熱帶212、一設(shè)置于該第一洗滌本體211上的溫度偵測器213，及多個(gè)設(shè)置于該第一洗滌本體211內(nèi)并位于該溫度偵測器213后的灑水器214。其中，該加熱帶212是包覆于該第一洗滌本體211外表，目的是提高該第一洗滌本體211的溫度，避免廢氣接觸到溫度較低的第一洗滌本體211的內(nèi)壁面時(shí)產(chǎn)生冷凝，而使粉塵大量附著于該第一洗漆本體211的內(nèi)壁面。
[0036]然而，由于該入口洗滌單元21的組成組件中，有部分是以塑料制成，在過高的溫度下會(huì)影響到正常的運(yùn)作。設(shè)置于該第一洗滌本體211上的溫度偵測器213，會(huì)依據(jù)所偵測的溫度發(fā)出提示，避免因該加熱帶212故障或者人為控制不當(dāng)，發(fā)生塑料組件在高溫下?lián)p毀的情況。該溫度偵測器213的提示方式，能依據(jù)溫度的高低進(jìn)行不同的設(shè)定。例如可設(shè)定一第一溫度，使得該溫度偵測器213在所偵測的溫度達(dá)到該第一溫度時(shí)以燈號(hào)或者警告聲進(jìn)行提示，若是溫度低于該第一溫度則自動(dòng)熄滅燈號(hào)或者停止警告聲。亦可再另外設(shè)定一高于該第一溫度的第二溫度，使得溫度偵測器213在所偵測的溫度達(dá)到該第二溫度時(shí)發(fā)出特別的警報(bào)，而此警報(bào)則必須在進(jìn)行過人工維護(hù)或者人為處理后才能手動(dòng)解除。該溫度偵測器213是分階段地偵測溫度并且發(fā)出提示，借此保護(hù)該入口洗滌單元21。要特別說明的是，該溫度偵測器213可自行設(shè)定多個(gè)溫度的設(shè)定值，配合所設(shè)定的設(shè)定值發(fā)出不同類型的提示或者警報(bào)，并依據(jù)溫度的高低所必須配合的處理，而設(shè)定解除提示或者警報(bào)的方法，實(shí)施的方式不以上述所舉的方式為限。
[0037]參閱圖3并配合圖2,該反應(yīng)單元22包括一與該入口洗漆單元21及該出口洗漆單元23連通的反應(yīng)爐221，及一配合該反應(yīng)爐221設(shè)置，并用于刮除因廢氣的加熱分解反應(yīng)而附著于該反應(yīng)爐221的結(jié)晶的刮刀機(jī)構(gòu)222。要說明的是，附著于該反應(yīng)爐221的結(jié)晶的形成原因，是因?yàn)閺U氣在該反應(yīng)爐221所進(jìn)行的加熱分解反應(yīng)中，除了生成無害的氣體外，還會(huì)產(chǎn)生固體的結(jié)晶鹽，而結(jié)晶鹽則通常附著于該反應(yīng)爐221上。其中，該反應(yīng)爐221具有一內(nèi)壁面2211及一外壁面2212，而該刮刀機(jī)構(gòu)222具有一貼附于該內(nèi)壁面2211的內(nèi)刮除件223、一貼附于該外壁面2212的外刮除件224，及一連接該內(nèi)刮除件223及該外刮除件224，并能帶動(dòng)該內(nèi)刮除件223及該外刮除件224 —同旋轉(zhuǎn)的帶動(dòng)件225。該帶動(dòng)件225是以螺旋驅(qū)動(dòng)的方式轉(zhuǎn)動(dòng)，并帶動(dòng)該內(nèi)刮除件223及該外刮除件224旋轉(zhuǎn)，以該內(nèi)刮除件223刮除該反應(yīng)爐221的內(nèi)壁面2211所附著的結(jié)晶，且以該外刮除件224刮除該反應(yīng)爐221的外壁面2212所附著的結(jié)晶。
[0038]參閱圖2與圖4，該出口洗滌單元23包括一與該反應(yīng)單元22連通的第二洗滌本體231、二設(shè)置于該第二洗滌本體231內(nèi)的灑水機(jī)構(gòu)232、二分別對應(yīng)該灑水機(jī)構(gòu)232而設(shè)置于該第二洗滌本體231內(nèi)的過濾環(huán)233、一設(shè)置于該第二洗滌本體231上且用于導(dǎo)入外界空氣的進(jìn)氣閥234，及一設(shè)置于該第二洗滌本體231的一端，并用于將經(jīng)洗滌的廢氣排出至外界的排氣機(jī)構(gòu)235。要特別說明的是，為了便于說明每一灑水機(jī)構(gòu)232的組件，并且描述與對應(yīng)的過濾環(huán)233的相互關(guān)系，圖4僅繪示一個(gè)灑水機(jī)構(gòu)232及其對應(yīng)的過濾環(huán)233。
[0039]參閱圖4與圖5并配合圖2，所述過濾環(huán)233的用途在于盛接所述灑水機(jī)構(gòu)232所灑出的清水，并且配合其填充的過濾材而過濾氣體。因此，所述灑水機(jī)構(gòu)232能否均勻且完整地分別將清水噴灑至所述過濾環(huán)233上，會(huì)影響到所述過濾環(huán)233過濾氣體的效果。如圖5所示，每一灑水機(jī)構(gòu)232具有一主管236，及四個(gè)連接于該主管236上，且分別呈不同角度朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)233的噴頭237。分別呈不同角度的噴頭237，能彼此配合而分別向?qū)?yīng)的過濾環(huán)233上的不同范圍進(jìn)行噴灑，達(dá)到均勻且完整地向?qū)?yīng)的過濾環(huán)233灑水的效果。另外，由于所述灑水機(jī)構(gòu)232是需要定期更換的消耗品，借由設(shè)置呈各個(gè)不同角度的噴頭237，還能避免因所連接的既有水源的水壓不足而無法均勻噴灑的問題，且當(dāng)其中一噴頭237堵塞或者故障時(shí)，也能借由其他的噴頭237補(bǔ)足噴灑的范圍。因此，裝設(shè)有所述灑水機(jī)構(gòu)232的出口洗滌單元23，不需頻繁地進(jìn)行人工檢測及維修，能借由所述噴頭237的彼此配合來補(bǔ)足噴灑的范圍，使得定期檢測維修的時(shí)程能拉長，有效節(jié)省檢測維修所需要耗費(fèi)的人工及耗材成本。
[0040]重新參閱圖2，經(jīng)過所述過濾環(huán)233過濾并且由所述灑水機(jī)構(gòu)232洗滌的氣體，會(huì)與自該進(jìn)氣閥234所導(dǎo)入的外界空氣混合，借此降低所述氣體中各種成分的濃度。其中，該排氣機(jī)構(gòu)235具有一抽風(fēng)馬達(dá)238，及一配合該抽風(fēng)馬達(dá)238的變頻控制件239。該抽風(fēng)馬達(dá)238是用于提供排氣動(dòng)力，將氣體排至外界環(huán)境，而該變頻控制件239是配合排氣的需求而控制該抽風(fēng)馬達(dá)238，在不同的時(shí)機(jī)點(diǎn)改變該抽風(fēng)馬達(dá)238的轉(zhuǎn)速，避免使該抽風(fēng)馬達(dá)238在待排出氣體較少時(shí)仍然維持高轉(zhuǎn)速，借此達(dá)到節(jié)省能源的效果。
[0041]該水槽單元24包括一與該入口洗漆單元21及該出口洗漆單元23連通的水槽241、一與該水槽241連通并用于排水的排水管242、一設(shè)置于該排水管242中的排水比例閥243、一設(shè)置于該水槽241中并用于偵測液面高度的液面計(jì)244，及一設(shè)置于該排水管242中的流量計(jì)245。該水槽241用于盛接該入口洗滌單元21及該出口洗滌單元23進(jìn)行洗滌所產(chǎn)生的廢液，而以該刮刀機(jī)構(gòu)222刮除附著于該反應(yīng)爐221的結(jié)晶時(shí)，所刮除的結(jié)晶亦是落入于該水槽241中。在排出該水槽241所儲(chǔ)存的廢液時(shí)，該排水比例閥243是在一開啟過程中使排水量自零增加至呈一定值而排水，并在一關(guān)閉過程中，使排水量自該定值漸漸降低至零而關(guān)閉。
[0042]其中，該液面計(jì)244與該排水比例閥243電信連接，當(dāng)該液面計(jì)244所偵測的液面高度大于一第一設(shè)定值時(shí)，該排水比例閥243則開始該開啟過程而排出廢液，當(dāng)該液面計(jì)244所偵測的液面高度小于一小于該第一設(shè)定值的第二設(shè)定值時(shí)，該排水比例閥243則開始該關(guān)閉過程。參閱圖6并配合圖2，該排水比例閥243在該開啟過程中(時(shí)間O至?xí)r間tl)，是以一固定的第一速率使排水量自零增加至該定值(如圖6中所示的X)，而在該關(guān)閉過程中(時(shí)間t2至?xí)r間t3)，是自該定值以一固定的第二速率減少排水量至零。該流量計(jì)245能在該開啟過程及該關(guān)閉過程中測量流量，提供流量數(shù)據(jù)供監(jiān)控并且用于后續(xù)設(shè)定參考。該排水比例閥243在該關(guān)閉過程中，是以該第二速率漸漸減少排水量而關(guān)閉，能避免瞬間關(guān)閉排水閥門而產(chǎn)生水錘效應(yīng)，由于該排水管242不需承受因水錘效應(yīng)所產(chǎn)生的高壓，能有效延長該排水管242的使用壽命，且該排水管242也較不易因水壓過高而發(fā)生爆管的情況，能維持現(xiàn)場作業(yè)人員的安全。要特別說明的是，該排水比例閥243在該開啟過程及該關(guān)閉過程中，是以程控的方式控制開關(guān)的動(dòng)作，借此在該開啟過程中維持以該第一速率增加排水量，并在該關(guān)閉過程中維持以該第二速率減少排水量。該第一速率、該第二速率、時(shí)間tl、時(shí)間t2、時(shí)間t3，及該排水量的定值(如圖6中所示的X)，皆能配合需求而更改程控的設(shè)定，使該排水比例閥243能借由更改設(shè)定而配合各種不同的排水需求。
[0043]綜上所述，設(shè)置于該排水管242中的排水比例閥243，能在排出該水槽241中的定量廢液后，以該第二速率自一定值減少排水量，緩慢關(guān)閉而防止因瞬間關(guān)閉而產(chǎn)生的水錘效應(yīng)，避免該排水管242因水錘效應(yīng)而損壞，故確實(shí)能達(dá)成本實(shí)用新型的目的。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，適用于配合一個(gè)半導(dǎo)體加工設(shè)備，并包含:一個(gè)連接于該半導(dǎo)體加工設(shè)備并用于洗滌該半導(dǎo)體加工設(shè)備所排出的廢氣的入口洗滌單元、一個(gè)與該入口洗滌單元連通并對經(jīng)由該入口洗滌單元洗滌后的廢氣進(jìn)行加熱分解處理的反應(yīng)單元、一個(gè)與該反應(yīng)單元連通且用于洗滌經(jīng)由該反應(yīng)單元進(jìn)行加熱分解處理后的廢氣并將廢氣排出的出口洗漆單元，及一個(gè)與該入口洗漆單元及該出口洗漆單元連通的水槽單元，該水槽單元包括一個(gè)與該入口洗滌單元及該出口洗滌單元連通的水槽、一條與該水槽連通并用于排水的排水管；其特征在于:該水槽單元還包括一個(gè)設(shè)置于該排水管中的排水比例閥，該水槽用于盛接該入口洗滌單元及該出口洗滌單元進(jìn)行洗滌所產(chǎn)生的廢液，在排出該水槽所儲(chǔ)存的廢液時(shí)，該排水比例閥是在一開啟過程中使排水量自零增加至呈一定值而排水，并在一關(guān)閉過程中，使排水量自該定值漸漸降低至零而關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該排水比例閥在該開啟過程中，是以一個(gè)固定的第一速率使排水量自零增加至該定值，而在該關(guān)閉過程中，是自該定值以一個(gè)固定的第二速率減少排水量至零。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該入口洗滌單元包括一個(gè)與該半導(dǎo)體加工設(shè)備連通的第一洗滌本體、一個(gè)用于提高該第一洗滌本體的溫度的加熱帶、一個(gè)設(shè)置于該第一洗滌本體上的溫度偵測器，及多個(gè)設(shè)置于該第一洗滌本體內(nèi)并位于該溫度偵測器后的灑水器，該溫度偵測器會(huì)依據(jù)所偵測的溫度發(fā)出提示。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該反應(yīng)單元包括一個(gè)與該入口洗滌單元及該出口洗滌單元連通的反應(yīng)爐，及一個(gè)配合該反應(yīng)爐設(shè)置，并用于刮除因廢氣的加熱分解反應(yīng)而附著于該反應(yīng)爐的結(jié)晶的刮刀機(jī)構(gòu)，該刮刀機(jī)構(gòu)所刮除的結(jié)晶是掉落至該水槽中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該反應(yīng)爐具有一個(gè)內(nèi)壁面及一個(gè)外壁面，而該刮刀機(jī)構(gòu)具有一個(gè)貼附于該內(nèi)壁面的內(nèi)刮除件、一個(gè)貼附于該外壁面的外刮除件，及一個(gè)連接該內(nèi)刮除件及該外刮除件，并能帶動(dòng)該內(nèi)刮除件及該外刮除件一同旋轉(zhuǎn)的帶動(dòng)件。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該出口洗滌單元包括一個(gè)與該反應(yīng)單元連通的第二洗滌本體、至少一個(gè)設(shè)置于該第二洗滌本體內(nèi)的灑水機(jī)構(gòu)、至少一個(gè)對應(yīng)該灑水機(jī)構(gòu)而設(shè)置于該第二洗滌本體內(nèi)的過濾環(huán)、一個(gè)設(shè)置于該第二洗滌本體上且用于導(dǎo)入外界空氣的進(jìn)氣閥，及一個(gè)設(shè)置于該第二洗滌本體的一端，并用于將經(jīng)洗滌的廢氣排出至外界的排氣機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該灑水機(jī)構(gòu)具有一條主管，及多個(gè)連接于該主管上，且分別呈不同角度朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)的噴頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該水槽單元還包括一個(gè)設(shè)置于該水槽中，并用于偵測液面高度的液面計(jì)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該液面計(jì)與該排水比例閥電信連接，當(dāng)該液面計(jì)所偵測的液面高度大于一個(gè)第一設(shè)定值時(shí)，該排水比例閥則開始該開啟過程而排出廢液，當(dāng)該液面計(jì)所偵測的液面高度小于一個(gè)小于該第一設(shè)定值的第二設(shè)定值時(shí)，該排水比例閥則開始該關(guān)閉過程。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體廢氣的處理設(shè)備，其特征在于:該水槽單元還包括一個(gè)設(shè)置于該排水管中的流量計(jì)。
【文檔編號(hào)】B01D53/74GK204034529SQ201420442574
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年8月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月7日
【發(fā)明者】李建霖 申請人:漢科系統(tǒng)科技股份有限公司