自動配料工作站的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及自動配料工作站，包括機體、電控箱、增壓泵、預(yù)溶藥桶、預(yù)溶藥液輸出口、萬向輪、支撐架、連接管道，本實用新型通過螺旋式可調(diào)節(jié)支撐架與萬向輪結(jié)合，在需要移動時，將支撐架調(diào)短，使萬向輪著地，需要進行配料輸出時，將支撐架調(diào)長，使萬向輪離地，機臺主要靠支撐架支撐，這樣可以節(jié)省藥液輸送的管道，而且可以多臺設(shè)備共用一臺配料工作站。另外，本實用新型通過將四個預(yù)溶藥桶兩兩并排設(shè)置在機體內(nèi)，節(jié)省了空間，而且四個預(yù)溶藥桶已經(jīng)能滿足大部分工廠主要藥液配比需求。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。
【專利說明】
自動配料工作站

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體是自動配料工作站。

【背景技術(shù)】
[0002]在硅片生產(chǎn)及其他一些自動化設(shè)備工作過程中，藥液的添加一般分為微量添加與定量添加兩種，其中定量添加主要用于對設(shè)備槽體配液，設(shè)備配液時，會根據(jù)設(shè)定好的藥液配比進行大容積定量添加，定量添加的體積在調(diào)試時已經(jīng)確定，正常生產(chǎn)時不可調(diào)整，定量添加可以是混合藥液，也可以是單一藥液，對于配方固定的生產(chǎn)過程，理論上不需要進行微量添加，但考慮到某些客戶可能需要對槽體進行手動微量添加，從而調(diào)整槽體藥液配方，因此有實現(xiàn)0.r30L之間的任意體積藥水添加的需求，因此有些設(shè)備特別設(shè)置有微量添加功倉泛。
[0003]但是，對于連續(xù)性較強的流水線生產(chǎn)過程中的藥液添加，則需要自動化程度較高的自動控制設(shè)備對藥液添加過程進行精密監(jiān)控?，F(xiàn)在市場上解決此技術(shù)問題多是采用PLC單片機對單個藥液的供給實現(xiàn)自動化精準(zhǔn)控制，這樣造成的后果是設(shè)備復(fù)雜程度高，操作起來比較繁瑣，而且，日常維護也比較困難。
[0004]其實在某些藥液配比要求不是很嚴(yán)格的場合，只需要對較大用量的藥液進行單獨監(jiān)控，并通過增壓泵實現(xiàn)定量供給，就足以解決流水線的連續(xù)性生產(chǎn)問題。但目前還沒有一種可以對藥液實施預(yù)配，并按設(shè)定的比例對規(guī)定各類的藥液按配比進行定量輸出的自動配料工作站。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型正是針對以上技術(shù)問題，提供一種可以對藥液實施預(yù)配，并按設(shè)定的比例對規(guī)定各類的藥液按配比進行定量輸出的自動配料工作站。
[0006]本實用新型通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。
[0007]自動配料工作站，包括機體、電控箱、增壓泵、預(yù)溶藥桶、預(yù)溶藥液輸出口、萬向輪、支撐架、連接管道，其特征在于預(yù)溶藥桶為多個，多個預(yù)溶藥桶分布在機體內(nèi)，預(yù)溶藥桶頂部設(shè)置有藥液添加孔，預(yù)溶藥桶通過連接管道與增壓泵連接，并經(jīng)增壓泵通過設(shè)置在增壓泵一側(cè)的預(yù)溶藥液輸出口進行預(yù)溶藥液的輸出，增壓泵上方設(shè)置有電控箱，增壓泵與電控箱連接，機體下方四角位置設(shè)置有萬向輪，機體下方的每個萬向輪旁邊設(shè)置有一個支撐架。預(yù)溶藥桶為四個。電控箱通過控制增壓泵的動力對增壓泵進行控制。預(yù)溶藥液輸出口設(shè)置在增壓泵下方。
[0008]本實用新型通過螺旋式可調(diào)節(jié)支撐架與萬向輪結(jié)合，在需要移動時，將支撐架調(diào)短，使萬向輪著地，需要進行配料輸出時，將支撐架調(diào)長，使萬向輪離地，機臺主要靠支撐架支撐，這樣可以節(jié)省藥液輸送的管道，而且可以多臺設(shè)備共用一臺配料工作站。另外，本實用新型通過將四個預(yù)溶藥桶兩兩并排設(shè)置在機體內(nèi)，節(jié)省了空間，而且四個預(yù)溶藥桶已經(jīng)能滿足大部分工廠主要藥液配比需求。
[0009]本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]附圖中，圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖，其中:
[0011]1 一機體，2—電控箱，3—增壓泵，4一預(yù)溶藥桶，5—預(yù)溶藥液輸出口，6—萬向輪，7—支撐架，8—連接管道。

【具體實施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。
[0013]自動配料工作站，包括機體1、電控箱2、增壓泵3、預(yù)溶藥桶4、預(yù)溶藥液輸出口5、萬向輪6、支撐架7、連接管道8，其特征在于預(yù)溶藥桶4為多個，多個預(yù)溶藥桶4分布在機體1內(nèi)，預(yù)溶藥桶4頂部設(shè)置有藥液添加孔，預(yù)溶藥桶4通過連接管道8與增壓泵3連接，并經(jīng)增壓泵3通過設(shè)置在增壓泵3 —側(cè)的預(yù)溶藥液輸出口 5進行預(yù)溶藥液的輸出，增壓泵3上方設(shè)置有電控箱2，增壓泵3與電控箱2連接，機體1下方四角位置設(shè)置有萬向輪6，機體1下方的每個萬向輪6旁邊設(shè)置有一個支撐架7。預(yù)溶藥桶4為四個。電控箱2通過控制增壓泵3的動力對增壓泵3進行控制。預(yù)溶藥液輸出口 5設(shè)置在增壓泵3下方。
[0014]本實用新型通過螺旋式可調(diào)節(jié)支撐架7與萬向輪6結(jié)合，在需要移動時，將支撐架7調(diào)短，使萬向輪6著地，需要進行配料輸出時，將支撐架7調(diào)長，使萬向輪6離地，機臺主要靠支撐架7支撐，這樣可以節(jié)省藥液輸送的管道，而且可以多臺設(shè)備共用一臺配料工作站。另外，本實用新型通過將四個預(yù)溶藥桶4兩兩并排設(shè)置在機體1內(nèi)，節(jié)省了空間，而且四個預(yù)溶藥桶4已經(jīng)能滿足大部分工廠主要藥液配比需求。
[0015]本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便。
【權(quán)利要求】
1.自動配料工作站，包括機體、電控箱、增壓泵、預(yù)溶藥桶、預(yù)溶藥液輸出口、萬向輪、支撐架、連接管道，其特征在于預(yù)溶藥桶為多個，多個預(yù)溶藥桶分布在機體內(nèi)，預(yù)溶藥桶頂部設(shè)置有藥液添加孔，預(yù)溶藥桶通過連接管道與增壓泵連接，并經(jīng)增壓泵通過設(shè)置在增壓泵一側(cè)的預(yù)溶藥液輸出口進行預(yù)溶藥液的輸出，增壓泵上方設(shè)置有電控箱，增壓泵與電控箱連接，機體下方四角位置設(shè)置有萬向輪，機體下方的每個萬向輪旁邊設(shè)置有一個支撐架。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述自動配料工作站，其特征在于所述預(yù)溶藥桶為四個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述自動配料工作站，其特征在于所述電控箱通過控制增壓泵的動力對增壓泵進行控制。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述自動配料工作站，其特征在于所述預(yù)溶藥液輸出口設(shè)置在增壓泵下方。
【文檔編號】B01F15/04GK204093402SQ201420487171
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年8月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月27日
【發(fā)明者】韋建晶 申請人:蘇州偉仕泰克電子科技有限公司