一種基板真空干燥裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基板真空干燥裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]涂布機(jī)是用來將光刻膠均勻地涂布在基板的一種工藝設(shè)備，真空干燥裝置是涂布機(jī)的重要組成部分之一。
[0003]現(xiàn)有的真空干燥裝置，如圖1所示，包括一腔室I，腔室I的一側(cè)設(shè)有腔門11，腔室I內(nèi)設(shè)有多個(gè)用于支撐基板5的支撐桿6，腔室I還聯(lián)通有抽真空管2和進(jìn)氣管8。其中，基板5上側(cè)涂布光刻膠后，在基板5下側(cè)連接多個(gè)支撐桿6，打開腔門，將連接有支撐桿6的基板5由機(jī)械手送入腔室I，然后關(guān)閉腔門，抽真空，從而使光刻膠中的溶劑充分揮發(fā)，最終使光刻膠初步固化在基板5表面。
[0004]發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題:在整個(gè)干燥過程中，基板5—直由多個(gè)支撐桿6進(jìn)行支撐，在沒有支撐桿6的區(qū)域由于重力作用會(huì)出現(xiàn)下垂，從而在基板5支撐點(diǎn)處形成凸起，而且支撐桿6與基板5接觸時(shí)間長，基板5的形變會(huì)在抽真空過程進(jìn)一步加劇，使得基板5的接觸位置處與其余位置處的光刻膠厚度不均勻，造成顯示品質(zhì)不良。為避免這一問題，通常支撐桿6必須支撐在基板5的空白區(qū)，即未做顯示元件的位置處。這樣當(dāng)生產(chǎn)不同尺寸、型號(hào)的顯示產(chǎn)品的基板5時(shí)，就需要調(diào)整支撐桿6的位置，不但給生產(chǎn)造成不便，而且一旦支撐桿6的位置調(diào)整錯(cuò)誤，還會(huì)造成較大的損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有的真空干燥裝置在光刻膠干燥固化過程中易導(dǎo)致光刻膠厚度不均勻，造成顯示異常的問題，提供一種基板真空干燥裝置。
[0006]解決本發(fā)明技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0007]—種基板真空干燥裝置，包括腔室，所述腔室包括用于供基板出入腔室的腔門，所述腔室還聯(lián)通氣體管道，所述腔室內(nèi)設(shè)有支撐板，用于承載基板。
[0008]優(yōu)選的，所述氣體管道包括抽氣管道和通氣管道，所述抽氣管道用于將腔室內(nèi)抽真空，所述通氣管道用于給腔室通入氣體。
[0009]優(yōu)選的，所述支撐板連接第一驅(qū)動(dòng)器，所述第一驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)支撐板移動(dòng)。
[00?0] 優(yōu)選的，所述第一驅(qū)動(dòng)器為氣缸。
[0011]優(yōu)選的，所述支撐板上設(shè)有孔，所述孔用于容納連結(jié)在基板上的支撐桿。
[0012]優(yōu)選的，所述腔室內(nèi)部對(duì)應(yīng)氣體管道的管口的位置處設(shè)有擋板，所述擋板的面積大于腔室內(nèi)部氣體管道的管口的面積。
[0013]優(yōu)選的，所述氣體管道聯(lián)通至腔室的上壁，所述擋板與支撐板均平行于腔室的上壁設(shè)置，支撐板比擋板更遠(yuǎn)離腔室的上壁，且擋板與支撐板和上壁均不接觸。
[0014]優(yōu)選的，所述擋板與支撐板的面積均大于基板的面積。
[0015]優(yōu)選的，所述擋板連接第二驅(qū)動(dòng)器，用于驅(qū)動(dòng)擋板移動(dòng)。
[0016]本發(fā)明的基板真空干燥裝置使用時(shí)，將基板移置支撐板上，支撐板可對(duì)基板各位置都進(jìn)行支撐，故基板不會(huì)產(chǎn)生形變，能夠有效避免在光刻膠在真空干燥過程中出現(xiàn)光刻膠厚度不均勻。本發(fā)明的基板真空干燥裝置適用于生產(chǎn)不同尺寸、型號(hào)的顯示產(chǎn)品的基板。
【附圖說明】
[0017]圖1為現(xiàn)有的基板真空干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本發(fā)明的實(shí)施例1的基板真空干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本發(fā)明的實(shí)施例2的基板真空干燥裝置的一種結(jié)構(gòu)的示意圖；
[0020]圖4為本發(fā)明的實(shí)施例2的基板真空干燥裝置的另一種結(jié)構(gòu)的示意圖；
[0021]圖5為本發(fā)明的實(shí)施例2的基板真空干燥裝置的另一種結(jié)構(gòu)的示意圖；
[0022]其中，附圖標(biāo)記為:1、腔室；11、腔門；2、抽氣管道;3、擋板;4、第一驅(qū)動(dòng)器;42、第二驅(qū)動(dòng)器;5、基板;6、支撐桿;7、支撐板;8、通氣管道。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0024]實(shí)施例1:
[0025]本實(shí)施例提供一種基板真空干燥裝置，如圖2所示，包括腔室I，所述腔室I包括用于供基板5出入腔室I的腔門11，腔室I還聯(lián)通氣體管道，腔室I內(nèi)設(shè)有支撐板7，用于承載基板5。
[0026]本實(shí)施例的基板真空干燥裝置使用時(shí)，將基板5移置支撐板7上，支撐板7支撐基板5，基板5不會(huì)產(chǎn)生形變，能夠有效避免在光刻膠在真空干燥過程中出現(xiàn)光刻膠厚度不均勻。本發(fā)明的基板5真空干燥裝置適用于生產(chǎn)不同尺寸、型號(hào)的顯示產(chǎn)品的基板5。
[0027]實(shí)施例2:
[0028]本實(shí)施例提供一種基板真空干燥裝置，如圖2-5所示，包括腔室I，所述腔室I包括用于供基板5出入腔室I的腔門11，腔室I還聯(lián)通氣體管道，腔室I內(nèi)設(shè)有支撐板7，用于承載基板5。
[0029]其中，腔室I提供一個(gè)密閉的空間以進(jìn)行光刻膠的真空干燥。氣體管道的作用是將腔體內(nèi)的空氣抽走形成真空環(huán)境，以及干燥完成后向腔室I內(nèi)通入氣體。本實(shí)施例的基板真空干燥裝置使用時(shí)，將基板5移置支撐板7上，支撐板7支撐基板5，因此基板5不會(huì)產(chǎn)生形變，能夠有效避免在光刻膠在真空干燥過程中出現(xiàn)光刻膠厚度不均勻。本發(fā)明的基板5真空干燥裝置適用于生產(chǎn)不同尺寸、型號(hào)的顯示產(chǎn)品的基板5。
[0030]優(yōu)選的，支撐板7連接第一驅(qū)動(dòng)器4，第一驅(qū)動(dòng)器4用于驅(qū)動(dòng)支撐板7移動(dòng)。更優(yōu)選的，第一驅(qū)動(dòng)器4為氣缸。
[0031]優(yōu)選的，支撐板7上設(shè)有孔，孔用于容納連結(jié)在基板5上的支撐桿6。
[0032]其中，圖2所示的基板5真空干燥裝置中由支撐板7支撐基板5，雖然可以有效避免在光刻膠在真空干燥過程中出現(xiàn)光刻膠厚度不均勻，但是基板5出入腔室I很難使用機(jī)械手進(jìn)行自動(dòng)操作。在此給出一種優(yōu)選方案，如圖3所示，用支撐桿6支撐基板5，實(shí)現(xiàn)機(jī)械手操作基板5出入腔室I。
[0033]具體的，機(jī)械手將有支撐桿6支撐基板5送入腔室I后關(guān)閉腔門，腔室I內(nèi)的支撐板7上設(shè)有孔，支撐桿6穿過孔，此時(shí)基板5依然由支撐桿6支撐，然后第一驅(qū)動(dòng)器4驅(qū)動(dòng)支撐板7向上移動(dòng)，以使支撐板7上表面與支撐桿6齊平或略高于支撐桿6，以保證支撐板7能夠在真空干燥過程中可以支撐基板5。之后開始進(jìn)行真空干燥，整個(gè)干燥過程中，基板5均由支撐板7支撐。干燥完成后，向腔室I內(nèi)通入氣體，打開腔門，第一驅(qū)動(dòng)器4驅(qū)動(dòng)支撐板7向下移動(dòng)，再由機(jī)械手將支撐桿6支撐的基板5移出腔室I。在此，支撐桿6僅在基板5進(jìn)入或移出腔室I中起作用，即方便機(jī)械手操作基板5進(jìn)入或移出腔室I，而在干燥過程中支撐桿6不起支撐基板5的作用，在干燥過程中是由支撐板7整體支撐基板5。因此，生產(chǎn)不同尺寸、型號(hào)的顯示產(chǎn)品的基板5時(shí)，無需調(diào)整支撐桿6在基板5上的位置。
[0034]優(yōu)選的，氣體管道包括抽氣管道2和通氣管道8，抽氣管道2用于將腔室I內(nèi)抽真空，通氣管道8用于給腔室I通入氣體。
[0035]也就是說，與腔室I聯(lián)通的氣體管道可以只有一個(gè)，即抽真空干燥與干燥完成后向腔室I通氣采用同一個(gè)管道。也可以如圖3所示，抽氣管道2與通氣管道8設(shè)置為兩條不同的氣體管道。在光刻膠完成真空干燥后，通過單獨(dú)的通氣管道8向腔體內(nèi)吹入氣體以破除腔室I的真空環(huán)境。
[0036]優(yōu)選的，腔室I內(nèi)部對(duì)應(yīng)氣體管道的管口的位置處設(shè)有擋板3，擋板3的面積大于腔室I內(nèi)部氣體管道的管口的面積。
[0037]也就是說，在靠近氣體管道的管口的位置處設(shè)置擋板3，使基板5表面保持一個(gè)平穩(wěn)均勻的氣流，干燥初期可以避免由于管口的位置處的相對(duì)較大的氣流對(duì)未固化的光刻膠造成影響。
[0038]優(yōu)選的，擋板3與支撐板7的面積均大于基板5的面積。
[0039]優(yōu)選的，氣體管道聯(lián)通至腔室I的上壁，擋板3與支撐板7均平行于腔室I的上壁設(shè)置，支撐板7比擋板3更遠(yuǎn)離腔室I的上壁，且擋板3與支撐板7和上壁均不接觸。
[0040]也就是說，氣體管道可以聯(lián)通于腔室I的任意位置處，通常氣體管道聯(lián)通于腔室I的上壁更利于方便的操作。
[0041]優(yōu)選的，擋板3連接第二驅(qū)動(dòng)器42，用于驅(qū)動(dòng)擋板3移動(dòng)。
[0042]也就是說，如圖4所示，支撐板7可以固定在腔室I中，當(dāng)機(jī)械手送基板5進(jìn)入腔室I前，第二驅(qū)動(dòng)器42驅(qū)動(dòng)擋板3向上移動(dòng)，以便在豎直的方向上給機(jī)械手和支撐桿6預(yù)留出足夠的空間，等機(jī)械手離開腔室I后，第二驅(qū)動(dòng)器42驅(qū)動(dòng)擋板3向下移動(dòng)，避免基板5表面出現(xiàn)不均勻的氣流。為了方便機(jī)械手操作，這種情況下需要支撐桿6也是可上下移動(dòng)的。當(dāng)然，也可以如圖5所示，第一驅(qū)動(dòng)器4驅(qū)動(dòng)支撐板7，第二驅(qū)動(dòng)器42驅(qū)動(dòng)擋板3，配合使用。
[0043]顯然，上述各實(shí)施例的【具體實(shí)施方式】還可進(jìn)行許多變化;例如:支撐桿的長度、數(shù)量可以根據(jù)基板的大小、型號(hào)進(jìn)行調(diào)整，或者支撐板的面積可以根據(jù)具體實(shí)際進(jìn)行調(diào)整。
[0044]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板真空干燥裝置，包括腔室，所述腔室包括用于供基板出入腔室的腔門，所述腔室還聯(lián)通氣體管道，其特征在于，所述腔室內(nèi)設(shè)有支撐板，用于承載基板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述氣體管道包括抽氣管道和通氣管道，所述抽氣管道用于將腔室內(nèi)抽真空，所述通氣管道用于給腔室通入氣體。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述支撐板連接第一驅(qū)動(dòng)器，所述第一驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)支撐板移動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)器為氣缸。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述支撐板上設(shè)有孔，所述孔用于容納連結(jié)在基板上的支撐桿。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述腔室內(nèi)部對(duì)應(yīng)氣體管道的管口的位置處設(shè)有擋板，所述擋板的面積大于腔室內(nèi)部氣體管道的管口的面積。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述氣體管道聯(lián)通至腔室的上壁，所述擋板與支撐板均平行于腔室的上壁設(shè)置，支撐板比擋板更遠(yuǎn)離腔室的上壁，且擋板與支撐板和上壁均不接觸。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述擋板與支撐板的面積均大于基板的面積。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板真空干燥裝置，其特征在于，所述擋板連接第二驅(qū)動(dòng)器，用于驅(qū)動(dòng)擋板移動(dòng)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種基板真空干燥裝置，屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的真空干燥裝置在光刻膠干燥固化過程中易導(dǎo)致光刻膠厚度不均勻，造成顯示異常的問題。本發(fā)明的基板真空干燥裝置包括腔室，腔室包括用于供基板出入腔室的腔門，所述腔室還聯(lián)通氣體管道，所述腔室內(nèi)設(shè)有支撐板，用于承載基板。使用時(shí)，將基板移置支撐板上，支撐板支撐基板，基板不會(huì)產(chǎn)生形變，能夠有效避免在光刻膠在真空干燥過程中出現(xiàn)光刻膠厚度不均勻。本發(fā)明的基板真空干燥裝置適用于生產(chǎn)不同尺寸、型號(hào)的顯示產(chǎn)品的基板。
【IPC分類】B05D3/04
【公開號(hào)】CN105710019
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610232396
【發(fā)明人】李志強(qiáng), 尹冬冬, 余忠興, 成學(xué)佩, 劉志
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司