本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種固化設(shè)備及固化方法。

背景技術(shù)：

在顯示技術(shù)領(lǐng)域，PI(聚酰亞胺樹脂)膜(配向膜)用于控制液晶分子排列方向，通過取向?qū)佑∷C(jī)將配向膜原液涂布于陣列基板和彩膜基板上，然后在一定溫度的預(yù)固化爐中進(jìn)行一定時(shí)間的溶劑揮發(fā)而固化形成。

目前的預(yù)固化爐采用支撐頂針來支撐基板，進(jìn)入預(yù)固化爐的基板放置在支撐頂針上，且在基板位于預(yù)固化爐的整個(gè)時(shí)間段內(nèi)支撐頂針一直與基板相接觸，直至基板離開預(yù)固化爐，這種支撐頂針與基板接觸式的支撐方式能夠利用支撐頂針的支撐完成固化過程，但是由于支撐頂針和空氣的熱傳導(dǎo)系數(shù)有差異，導(dǎo)致基板和支撐頂針接觸的位置出現(xiàn)受熱不均，導(dǎo)致配向膜固化不均勻，影響到基板表面配向膜干燥的均一性，從而產(chǎn)生姆拉不良，另外，由于支撐頂針必需與基板相接觸，使得基板的表面容易被頂針劃傷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種固化設(shè)備及固化方法，該固化設(shè)備在固化工藝過程中采用氣體支撐基板，使得基板在懸浮狀態(tài)下完成固化，以避免在固化過程中第一頂針與基板相接觸，進(jìn)而減少姆拉不良，提高產(chǎn)品良率。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

一種固化設(shè)備，用于對涂覆有配向膜原液的基板進(jìn)行固化，包括固化腔室和設(shè)置在所述固化腔室內(nèi)的基臺以及加熱板，所述加熱板用于加熱所述基板，還包括用于支撐所述基板的多個(gè)第一頂針和多個(gè)第二頂針以及控制裝置，所述第一頂針和第二頂針交錯(cuò)排列，其中：

所述第一頂針的底端可移動地安裝于所述基臺，且多個(gè)所述第一頂針的頂端配合形成基板支撐面；

所述第二頂針的底端固定安裝于所述基臺，且在所述第二頂針內(nèi)設(shè)有與氣源相連的氣流通道，且所述第二頂針的頂端設(shè)有與所述氣流通道相連通用于噴出氣體的開口，沿垂直于所述基板支撐面的方向，所述第二頂針的頂端與基臺的距離小于所述第一頂針的頂端與基臺的距離；

所述控制裝置與所述第一頂針、第二頂針以及加熱板相連，用于控制所述第一頂針的移動以及第二頂針的開口噴氣，在所述基板進(jìn)入所述固化腔室時(shí)控制所述第一頂針沿垂直于所述基板支撐面的方向向下運(yùn)動，在基板向下運(yùn)動至設(shè)定高度時(shí)控制所述第二頂針的開口噴出氣體以支撐所述基板且所述基板處于懸浮狀態(tài)時(shí)控制加熱板加熱所述基板，在固化完成后控制裝置控制第一頂針沿垂直于所述基板支撐面的方向向上運(yùn)動，且控制所述第二頂針的開口噴氣停止不早于所述第一頂針與基板的接觸。

在上述固化設(shè)備中，在基板進(jìn)入固化腔室時(shí)，由于沿垂直于基板支撐面的方向，第二頂針的頂端與基臺的距離小于第一頂針的頂端與基臺的距離，基板先于第一頂針相接觸，且在基板位于基板支撐面上時(shí)，控制裝置控制第一頂針沿垂直于基板支撐面的方向向下運(yùn)動至設(shè)定高度，然后控制裝置控制第二頂針的開口噴出氣體以支撐基板，接著在基板處于懸浮狀態(tài)時(shí)控制加熱板加熱基板，由于此時(shí)第一頂針與基板不接觸避免了姆拉不良的產(chǎn)生，最后在完成固化后控制裝置控制第一頂針沿垂直于基板支撐面的方向向上運(yùn)動，且控制裝置控制第二頂針的開口噴氣停止不早于第一頂針與基板的接觸，以避免基板直接掉落在第一頂針上，造成基板損傷。

因此，上述固化設(shè)備在固化工藝過程中采用氣體支撐基板，使得基板在懸浮狀態(tài)下完成固化，以避免在固化過程中第一頂針與基板相接觸，進(jìn)而減少姆拉不良，提高產(chǎn)品良率。優(yōu)選地，所述氣源為氣泵，所述氣泵與所述第二頂針相連。

優(yōu)選地，還包括加熱裝置，所述加熱裝置與所述氣泵相連，用于加熱所述氣泵內(nèi)的氣體。

優(yōu)選地，所述第二頂針為中空腔體，且所述開口連通所述中空腔體，所述中空腔體與所述氣泵相連接。

優(yōu)選地，所述控制裝置與所述氣泵相連，用于控制所述氣泵輸入所述中空腔體的氣體量。

優(yōu)選地，所述控制裝置包括調(diào)節(jié)閥，所述調(diào)節(jié)閥安裝于所述氣泵與所述中空腔體之間，用于調(diào)節(jié)氣泵輸入所述中空腔體的氣體量。

優(yōu)選地，位于所述基板周邊的第一頂針?biāo)鶉姵龅臍怏w量大于位于所述基板中間區(qū)域的第二頂針?biāo)鶉姵龅臍怏w量。

優(yōu)選地，還包括驅(qū)動模塊，所述驅(qū)動模塊與所述第一頂針以及控制裝置相連接，所述驅(qū)動模塊用于驅(qū)動所述第一頂針沿垂直于所述基板支撐面的方向移動，所述控制裝置用于控制所述驅(qū)動模塊的驅(qū)動量。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動模塊包括氣缸和行程開關(guān)，所述氣缸與所述第一頂針相連接，用于驅(qū)動所述第一頂針沿垂直于所述基板承載面的方向運(yùn)動，所述行程開關(guān)設(shè)置在固化腔室的設(shè)定高度位置，用于控制所述氣缸的動作量。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動模塊為驅(qū)動馬達(dá)。

優(yōu)選地，所述第二頂針采用Peek材料制成。

一種的固化設(shè)備的固化方法，包括：

控制承載涂覆有配向膜原液的基板的第一頂針沿垂直于所述基板支撐面的方向向下運(yùn)動，直至所述基板到達(dá)設(shè)定高度；

控制第二頂針的開口噴出氣體以支撐所述基板，直至所述基板處于懸浮狀態(tài)，且控制第二頂針的開口繼續(xù)以所述基板處于懸浮狀態(tài)時(shí)的氣流量噴出氣體；

控制加熱板加熱所述基板，直至固化完成；

控制第一頂針沿垂直于所述基板支撐面的方向向上運(yùn)動；

控制第二頂針的開口噴出氣體的氣流量減少，且所述第二頂針的開口噴氣停止不早于所述第一頂針與基板的接觸。

優(yōu)選地，所述第二頂針的開口噴氣停止不早于所述第一頂針與基板的接觸，具體包括：在所述第一頂針運(yùn)動至與基板相接觸時(shí)，第二頂針的開口噴氣停止。

優(yōu)選地，所述第二頂針的開口噴氣停止不早于所述第一頂針與基板的接觸，具體包括：所述第一頂針至與基板的接觸早于第二頂針的開口噴氣停止。

優(yōu)選地，所述控制第二頂針的開口噴出氣體的氣流量緩慢變化。

附圖說明

圖1為本發(fā)明提供的一種固化設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明提供的一種固化方法的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖1所示，一種固化設(shè)備，用于對涂覆有配向膜原液的基板1進(jìn)行固化，包括固化腔室和設(shè)置在固化腔室內(nèi)的基臺以及加熱板2，加熱板2用于加熱基板1，還包括用于支撐基板1的多個(gè)第一頂針3和多個(gè)第二頂針4以及控制裝置，第一頂針3和第二頂針4交錯(cuò)排列，其中：

第一頂針3的底端可移動地安裝于基臺，且多個(gè)第一頂針3的頂端配合形成基板支撐面；

第二頂針4的底端固定安裝于基臺，且在第二頂針4內(nèi)設(shè)有與氣源相連的氣流通道42，且第二頂針4的頂端設(shè)有與氣流通道42相連通用于噴出氣體的開口41，沿垂直于基板支撐面的方向，第二頂針4的頂端與基臺的距離小于第一頂針3的頂端與基臺的距離；

控制裝置與第一頂針3、第二頂針4以及加熱板2相連，用于控制第一頂針3的移動以及第二頂針4的開口41噴氣，在基板1進(jìn)入固化腔室時(shí)控制第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向下運(yùn)動，在基板1向下運(yùn)動至設(shè)定高度時(shí)控制第二頂針4的開口41噴出氣體以支撐基板1且基板1處于懸浮狀態(tài)時(shí)控制加熱板2加熱基板1，在固化完成后控制裝置控制第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向上運(yùn)動，且控制第二頂針4的開口41噴氣停止不早于第一頂針3與基板1的接觸。

在上述固化設(shè)備中，在基板1進(jìn)入固化腔室時(shí)，由于沿垂直于基板支撐面的方向，第二頂針4的頂端與基臺的距離小于第一頂針3的頂端與基臺的距離，基板1先于第一頂針3相接觸，且在基板1位于基板支撐面上時(shí)，控制裝置控制第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向下運(yùn)動至設(shè)定高度，然后控制裝置控制第二頂針4的開口41噴出氣體以支撐基板1，接著在基板1處于懸浮狀態(tài)時(shí)控制加熱板2加熱基板1，由于此時(shí)第一頂針3與基板1不接觸避免了姆拉不良的產(chǎn)生，最后在完成固化后控制裝置控制第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向上運(yùn)動，且控制裝置控制第二頂針4的開口41噴氣停止不早于第一頂針3與基板1的接觸，以避免基板1直接掉落在第一頂針3上，造成基板1損傷。

因此，上述固化設(shè)備在固化工藝過程中采用氣體支撐基板1，使得基板1在懸浮狀態(tài)下完成固化，以避免在固化過程中第一頂針3與基板1相接觸，進(jìn)而減少姆拉不良，提高產(chǎn)品良率。

一種優(yōu)選實(shí)施方式中，氣源為氣泵，氣泵與第二頂針4相連。氣源能夠?yàn)榈诙斸?提供清潔干凈的壓縮氣體，根據(jù)固化設(shè)備的實(shí)際情況，氣源可以為氣泵，也可以為能夠提供清潔干凈的壓縮氣體的其他裝置。

具體地，還包括加熱裝置，加熱裝置與氣泵相連，用于加熱氣泵內(nèi)的氣體。加熱裝置將氣泵內(nèi)的氣體加熱以使氣泵向第二頂針4輸送的氣體為具有一定溫度的氣體，進(jìn)而使基板1能夠較快地完成固化，且使得固化效果較好。

具體地，第二頂針4為中空腔體，且開口41連通中空腔體，中空腔體與氣泵相連接。氣泵向中體腔體提供清潔干凈的壓縮氣體，氣體通過中空腔體到達(dá)第二頂針4的開口41，并從開口41噴出以支撐基板1。

具體地，控制裝置與氣泵相連，用于控制氣泵輸入中空腔體的氣體量?？刂蒲b置控制氣泵輸入中空腔體的氣流量緩慢變化，在基板1下降到設(shè)定高度時(shí)，控制裝置控制第二頂針4的開口41噴出氣體，吹出的氣流量由小到大緩慢增加，且在基板1處于懸浮狀態(tài)時(shí)保持該氣流量，以保證的基板1平穩(wěn)，固化完成后第一頂針3升起，控制裝置控制第二頂針4的開口41噴出的氣流量由大到小緩慢降低，以保證基板1處于平穩(wěn)狀態(tài)。

具體地，控制裝置包括調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)閥安裝于氣泵與中空腔體之間，用于調(diào)節(jié)氣泵輸入中空腔體的氣體量。調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)氣泵輸入中空腔體的氣流量，使得氣流量能夠緩慢變化，以保證基板1移至處于平穩(wěn)狀態(tài)。

一種優(yōu)選實(shí)施方式中，位于基板1周邊的第一頂針3所噴出的氣體量大于位于基板1中間區(qū)域的第二頂針4所噴出的氣體量以保證基板1四周受到的氣體壓力大于中間區(qū)域受到的氣體壓力，從而保證基板1在處于懸浮狀態(tài)時(shí)不會發(fā)生漂移，使得基板1處于平穩(wěn)狀態(tài)。

一種優(yōu)選實(shí)施方式中，還包括驅(qū)動模塊，驅(qū)動模塊與第一頂針3以及控制裝置相連接，驅(qū)動模塊用于驅(qū)動第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向移動，控制裝置用于控制驅(qū)動模塊的驅(qū)動量。

具體地，驅(qū)動模塊包括氣缸和行程開關(guān)，氣缸與第一頂針3相連接，用于驅(qū)動第一頂針3沿垂直于基板1承載面的方向運(yùn)動，行程開關(guān)設(shè)置在固化腔室的設(shè)定高度位置，用于控制氣缸的動作量?？刂蒲b置控制氣缸動作，氣缸驅(qū)動第一頂針3沿垂直于基板1承載面的方向向下運(yùn)動，當(dāng)基板1運(yùn)動至固化腔室的設(shè)定高度位置時(shí)行程開關(guān)動作并控制氣缸停止動作，此時(shí)，第一頂針3的運(yùn)動停止，第二頂針4的開口41開始噴氣，故驅(qū)動模塊能夠?qū)崿F(xiàn)基板1的精確定位。

具體地，驅(qū)動模塊為驅(qū)動馬達(dá)。驅(qū)動馬達(dá)的驅(qū)動速度可控且位置精度非常準(zhǔn)確，可以用于實(shí)現(xiàn)基板1的精確定位。

一種優(yōu)選實(shí)施方式中，第二頂針4采用Peek材料制成。由于第二頂針4必需能夠耐高溫，故可以采用能夠耐高溫的PI(聚酰亞胺樹脂)或者Peek(聚醚醚酮)材料制成，也可以采用其他耐高溫材料制成。

如圖2所示，一種固化設(shè)備的固化方法，包括：

步驟S201，承載涂覆有配向膜原液的基板1的第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向下運(yùn)動，直至基板1到達(dá)設(shè)定高度；

步驟S202，控制第二頂針4的開口41噴出氣體以支撐基板1，直至基板1處于懸浮狀態(tài)，且控制第二頂針4的開口41繼續(xù)以基板1處于懸浮狀態(tài)時(shí)的氣流量噴出氣體；

步驟S203，控制加熱板2加熱基板1，直至固化完成；

步驟S204，控制第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向上運(yùn)動；

步驟S205，控制第二頂針4的開口41噴出氣體的氣流量減少，且第二頂針4的開口41噴氣停止不早于第一頂針3與基板1的接觸。

在上述固化方法中，在基板1進(jìn)入固化腔室且在基板1位于基板支撐面上時(shí)，通過步驟S201控制裝置控制第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向下運(yùn)動至設(shè)定高度，然后通過步驟S202控制裝置控制第二頂針4的開口41噴出氣體以支撐基板1，接著通過步驟S203在基板1處于懸浮狀態(tài)時(shí)控制加熱板2加熱基板1，由于此時(shí)第一頂針3與基板1不接觸避免了姆拉不良的產(chǎn)生，然后通過步驟S204在完成固化后控制裝置控制第一頂針3沿垂直于基板支撐面的方向向上運(yùn)動，最后通過步驟S205控制裝置控制第二頂針4的開口41噴氣停止不早于第一頂針3與基板1的接觸，以避免基板1直接掉落在第一頂針3上，造成基板1損傷。

一種優(yōu)選實(shí)施方式中，第二頂針4的開口41噴氣停止不早于第一頂針3與基板1的接觸，具體包括：在第一頂針3運(yùn)動至與基板1相接觸時(shí)，第二頂針4的開口41噴氣停止，以避免基板1直接掉落在第一頂針3上，造成基板1損傷。

一種優(yōu)選實(shí)施方式中，第二頂針4的開口41噴氣停止不早于第一頂針3與基板1的接觸，具體包括：第一頂針3至與基板1的接觸早于第二頂針4的開口41噴氣停止，以避免基板1直接掉落在第一頂針3上，造成基板1損傷。

一種優(yōu)選實(shí)施方式中，控制第二頂針4的開口41噴出氣體的氣流量緩慢變化，以保證基板1一直處于平穩(wěn)狀態(tài)。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明實(shí)施例進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。