相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用

本申請(qǐng)要求于2011年12月22日提交的美國(guó)申請(qǐng)no.61/579,233的優(yōu)先權(quán)。該申請(qǐng)要求于1月5日提交且于2010年8月12日作為us2010/0201749公布的美國(guó)申請(qǐng)no.12/652,040的優(yōu)先權(quán)，其又要求于2008年6月13日提交且于2008年12月18日作為us2008/0311307公布的美國(guó)申請(qǐng)no.12/139,391的優(yōu)先權(quán)，且還要求于2009年1月5日提交的美國(guó)申請(qǐng)no.61/142,575的優(yōu)先權(quán)。本文列舉的所有交叉引用的申請(qǐng)作為參考全文引入。

本教導(dǎo)涉及氣密密封氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，所述氣體封閉組件和系統(tǒng)能夠容易地輸送和組裝，且設(shè)置成保持最小惰性氣體體積且最大程度地接近其中封裝的各個(gè)裝置和設(shè)備。

背景技術(shù)：

對(duì)oled顯示技術(shù)的潛能的興趣由oled顯示技術(shù)屬性驅(qū)動(dòng)，包括展現(xiàn)的顯示面板具有高度飽和的顏色，是高對(duì)比度的、超薄的、快速響應(yīng)的以及能量高效的。此外，各種基底材料，包括柔性聚合材料，可以用于oled顯示技術(shù)的制造。雖然用于小屏幕應(yīng)用（主要是蜂窩電話）的顯示器的展現(xiàn)已經(jīng)用來(lái)強(qiáng)調(diào)該技術(shù)的潛能，但是在將該制造縮放到較大幅面時(shí)仍然是有挑戰(zhàn)的。例如，在比gen5.5基底（具有大約130cm×150cm的尺寸）更大的基底上制造oled顯示器仍然有待論證。

有機(jī)發(fā)光二極管（oled）裝置可以通過(guò)使用oled打印系統(tǒng)在基底上打印各種有機(jī)薄膜以及其它材料來(lái)制造。這種有機(jī)材料可能易于受到氧化和其它化學(xué)過(guò)程的損害。以能夠縮放用于各種基底尺寸且能夠在惰性、基本上沒(méi)有顆粒的打印環(huán)境中進(jìn)行的方式容納oled打印系統(tǒng)可能具有多個(gè)挑戰(zhàn)。因?yàn)橛糜诖蛴〈蠓婷姘寤状蛴〉脑O(shè)施需要大量的空間，從而將大的設(shè)施保持在連續(xù)地需要?dú)怏w凈化以去除反應(yīng)性環(huán)境物質(zhì)（例如，水蒸汽和氧氣）以及有機(jī)溶劑蒸汽的惰性環(huán)境下具有顯著的工程挑戰(zhàn)。例如，提供被氣密密封的大設(shè)施可能具有工程挑戰(zhàn)。此外，饋送進(jìn)出oled打印系統(tǒng)以便操作打印系統(tǒng)的各種纜線、線和管線可能具有挑戰(zhàn)，以便使得氣體封閉裝置有效地達(dá)到關(guān)于環(huán)境成分（例如，氧氣和水蒸汽）的水平的規(guī)格，因?yàn)樗鼈兛赡墚a(chǎn)生可以截留這種反應(yīng)性物質(zhì)的顯著死容積。此外，期望保持在用于過(guò)程的惰性環(huán)境中的這種設(shè)施易于接近，以便用最小的停機(jī)時(shí)間維護(hù)。除了基本上沒(méi)有反應(yīng)性物質(zhì)之外，oled裝置的打印環(huán)境需要顯著低的顆粒環(huán)境。在這方面，在完全封閉系統(tǒng)中提供和保持基本上沒(méi)有顆粒的環(huán)境具有可以在大氣條件中（例如在開(kāi)放空氣、高流量層流過(guò)濾罩下）進(jìn)行的顆粒減少過(guò)程所沒(méi)有的附加挑戰(zhàn)。

因此，需要?dú)怏w封閉裝置的多個(gè)實(shí)施例，所述氣體封閉裝置可以在惰性、基本上沒(méi)有顆粒的環(huán)境中容納oled打印系統(tǒng)，且能夠容易縮放以在各種基底尺寸和基底材料上制造oled面板，同時(shí)在過(guò)程期間還易于從外部接近oled打印系統(tǒng)且易于接近內(nèi)部，以便用最小的停機(jī)時(shí)間維護(hù)。

附圖說(shuō)明

通過(guò)參考附圖，將獲得本公開(kāi)的特征和優(yōu)點(diǎn)的更好理解，附圖旨在說(shuō)明而不是限制本教導(dǎo)。

圖1是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)的示意圖。

圖2是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)的左前立體圖。

圖3是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的右前立體圖。

圖4是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的分解圖。

圖5是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的框架構(gòu)件組件的分解前部立體圖，圖示了各個(gè)面板框架部段和部段面板。

圖6a是手套端口罩蓋（gloveportcap）的后部立體圖，而圖6b是根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的手套端口罩蓋的肩部螺釘?shù)姆糯髨D。

圖7a是手套端口罩蓋組件的卡扣閂鎖（bayonetlatch）的放大立體圖，而圖7b是手套端口罩蓋組件的截面圖，示出了肩部螺釘?shù)念^部與卡扣閂鎖中的凹部接合。

圖8a－8c是用于形成接頭的墊片密封的各個(gè)實(shí)施例的示意性俯視圖。

圖9a和圖9b是圖示根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的框架構(gòu)件的密封的各個(gè)立體圖。

圖10a－10b是與根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的用于接收可容易拆卸維修窗口的部段面板的密封有關(guān)的各個(gè)圖。

圖11a－11b是與根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的用于接收插入面板或窗口面板的部段面板的密封有關(guān)的放大立體截面圖。

圖12a是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的基部，所述基部包括盤(pán)和坐置在其上的多個(gè)墊塊。圖12b是圖12a所示的墊塊的放大立體圖。

圖13是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的與盤(pán)有關(guān)的壁框架構(gòu)件和頂板構(gòu)件的分解圖。

圖14a是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的構(gòu)建階段的立體圖，其中，提升器組件處于升高位置。圖14b是圖14a所示的提升器組件的分解圖。

圖15是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的假想前部立體圖，示出了安裝在氣體封閉組件內(nèi)部中的管道系統(tǒng)。

圖16是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的假想俯視立體圖，示出了安裝在氣體封閉組件內(nèi)部中的管道系統(tǒng)。

圖17是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的假想仰視立體圖，示出了安裝在氣體封閉組件內(nèi)部中的管道系統(tǒng)。

圖18a是示出了多束纜線、線和管線等的示意圖。圖18b示出了氣體掃過(guò)被饋送通過(guò)根據(jù)本教導(dǎo)的管道系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的這種束。

圖19是示意圖，示出了截留在多束纜線、線路和管線等的死區(qū)中的反應(yīng)性物質(zhì)（a）如何從掃過(guò)管道的惰性氣體（b）主動(dòng)吹掃，所述束布線通過(guò)所述管道。

圖20a是根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的布線通過(guò)管道的纜線和管線的假想立體圖。圖20b是根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的圖20a所示的開(kāi)口的放大圖，示出了用于封閉在開(kāi)口上的蓋的細(xì)節(jié)。

圖21是包括根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)的照明系統(tǒng)的頂板的視圖。

圖22是曲線圖，圖示了根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)部件的照明系統(tǒng)的led光譜。

圖23是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的視圖的前部立體圖。

圖24圖示了根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的圖23所示的氣體封閉組件和有關(guān)系統(tǒng)部件的各個(gè)實(shí)施例的分解圖。

圖25是本教導(dǎo)的氣體封閉組件和有關(guān)系統(tǒng)部件的各個(gè)實(shí)施例的示意圖。

圖26是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)的示意圖，圖示了通過(guò)氣體封閉組件的氣體循環(huán)的實(shí)施例。

圖27是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)的示意圖，圖示了通過(guò)氣體封閉組件的氣體循環(huán)的實(shí)施例。

圖28是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件的截面示意圖。

圖29是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)的示意圖。

圖30是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)的示意圖。

具體實(shí)施方式

本教導(dǎo)公開(kāi)了氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，所述氣體封閉組件能夠可密封地構(gòu)建和整體形成有氣體循環(huán)、過(guò)濾和凈化部件以形成可以保持惰性、基本上沒(méi)有顆粒環(huán)境的氣體封閉組件和系統(tǒng)，用于需要這種環(huán)境的過(guò)程。氣體封閉組件和系統(tǒng)的這種實(shí)施例可以將各種反應(yīng)性物質(zhì)（包括各種反應(yīng)性環(huán)境氣體，例如水蒸汽和氧氣，以及有機(jī)溶劑蒸汽）的每種物質(zhì)的水平保持在例如100ppm或更低、10ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。此外，氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以提供滿足iso14644的3級(jí)和4級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的低顆粒環(huán)境。

各個(gè)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可想到氣體封閉組件的實(shí)施例在各個(gè)技術(shù)領(lǐng)域的實(shí)用性。雖然極度不同的領(lǐng)域（例如，化學(xué)、生物技術(shù)、高新技術(shù)和制藥領(lǐng)域）可受益于本教導(dǎo)，但是oled打印用于例示根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的實(shí)用性。可容納oled打印系統(tǒng)的氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以提供例如但不限于如下特征：密封經(jīng)過(guò)多個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)提供氣密密封的封閉裝置，最小化封閉容積，且在過(guò)程期間以及在維護(hù)期間易于從外部接近內(nèi)部。如隨后討論的，氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的這種特征可具有對(duì)功能的影響，例如但不限于，結(jié)構(gòu)整體性使得在過(guò)程期間易于保持反應(yīng)性物質(zhì)的低水平，以及快速封裝容積周轉(zhuǎn)最小化維護(hù)循環(huán)期間的停機(jī)時(shí)間。因而，提供oled面板打印的實(shí)用性的各個(gè)特征和說(shuō)明還可以給各種技術(shù)領(lǐng)域提供益處。

如前文所述，例如，在比gen5.5基底（具有大約130cm×150cm的尺寸）更大的基底上制造oled顯示器仍然有待論證。對(duì)于由oled之外的打印制造的平板顯示器，樣品玻璃基底尺寸的代自大約20世紀(jì)90年代早期以來(lái)經(jīng)受演變。樣品玻璃基底的第一代（表示為gen1）是大約30cm×40cm，因而可以生產(chǎn)15’’面板。大約20世紀(jì)90年代中期，生產(chǎn)平板顯示器的現(xiàn)有技術(shù)已經(jīng)發(fā)展為gen3.5的樣品玻璃基底尺寸，具有大約60cm×72cm的尺寸。

隨著各代的推進(jìn)，用于gen7.5和gen8.5的樣品玻璃尺寸生產(chǎn)用于oled之外的打印制造過(guò)程。gen7.5樣品玻璃具有大約195cm×225cm的尺寸，且每個(gè)基底可以切割成八個(gè)42’’或六個(gè)47’’平板。gen8.5中使用的樣品玻璃是大約220×250cm，且每個(gè)基底可以切割成六個(gè)55’’或八個(gè)46’’平板。oled平板顯示器對(duì)質(zhì)量（例如，更純的顏色、更高的對(duì)比度、薄、柔性、透明度和能量效率）的承諾已經(jīng)實(shí)現(xiàn)，同時(shí)，oled制造在實(shí)踐中限于gen3.5和更小。當(dāng)前，oled打印被認(rèn)為是突破該限制的最佳制造技術(shù)，且允許oled面板制造不僅用于gen3.5和更小的樣品玻璃尺寸，而且用于最大樣品玻璃尺寸，例如，gen5.5、gen7.5和gen8.5。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，oled面板打印的一個(gè)特征包括可以使用各種基底材料，例如但不限于，各種玻璃基底材料以及各種聚合物基底材料。在這方面，源于使用基于玻璃的基底的術(shù)語(yǔ)記載的尺寸可以應(yīng)用于適用于oled打印的任何材料的基底。

關(guān)于oled打印，根據(jù)本教導(dǎo)，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)保持顯著低水平的反應(yīng)性物質(zhì)（例如但不限于，環(huán)境成分，例如氧氣和水蒸汽，以及oled墨中使用的各種有機(jī)溶劑蒸汽）與提供滿足必要壽命規(guī)格的oled平板顯示器有關(guān)。壽命規(guī)格對(duì)于oled面板技術(shù)特別重要，因?yàn)檫@與顯示器產(chǎn)品期限直接相關(guān)；所有面板技術(shù)的產(chǎn)品規(guī)格當(dāng)前對(duì)于oled面板技術(shù)難以滿足。借助于本教導(dǎo)的氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，為了提供滿足必要壽命規(guī)格的面板，每種反應(yīng)性物質(zhì)（例如，水蒸汽、氧氣、以及有機(jī)溶劑蒸汽）的水平可以保持在例如100ppm或更低、10ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。此外，oled打印需要基本上沒(méi)有顆粒的環(huán)境。對(duì)于oled打印來(lái)說(shuō)，保持基本上沒(méi)有顆粒的環(huán)境特別重要，因?yàn)榧词狗浅Ｐ〉念w粒也可能導(dǎo)致oled面板上的可視缺陷。當(dāng)前，oled顯示器滿足商業(yè)化所需低缺陷水平是有挑戰(zhàn)的。在完全封閉系統(tǒng)中保持基本上沒(méi)有顆粒環(huán)境具有可以在大氣條件中（例如在開(kāi)放空氣、高流量層流過(guò)濾罩下）進(jìn)行的顆粒減少過(guò)程所沒(méi)有的附加挑戰(zhàn)。因而，在大的設(shè)施中保持惰性、無(wú)顆粒環(huán)境的必要規(guī)格可能具有各種挑戰(zhàn)。

在每種反應(yīng)性物質(zhì)（例如，水蒸汽、氧氣、以及有機(jī)溶劑蒸汽）的水平可以保持在例如100ppm或更低、10ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低的設(shè)施中打印oled面板的需要可以在查看表1中概述的信息時(shí)說(shuō)明。表1上概述的數(shù)據(jù)源于對(duì)于紅色、綠色和藍(lán)色中的每種在包括以大像素、旋轉(zhuǎn)涂層裝置幅面制造的有機(jī)薄膜成分的每個(gè)測(cè)試試樣進(jìn)行測(cè)試。這種測(cè)試試樣顯著地更易于制造和測(cè)試，以用于各種制劑和過(guò)程的快速評(píng)估目的。雖然測(cè)試試樣測(cè)試不應(yīng)與打印面板的壽命測(cè)試混淆，但是其可以表示各種制劑和過(guò)程對(duì)壽命的影響。下表中所示的結(jié)果表示測(cè)試試樣制造的過(guò)程步驟的變化，其中，與類似地（但是在空氣中而不是在氮?dú)猸h(huán)境中）制造的測(cè)試試樣相比，僅僅旋轉(zhuǎn)涂層環(huán)境對(duì)于在氮?dú)猸h(huán)境（其中，反應(yīng)性物質(zhì)小于1ppm）中制造的測(cè)試試樣變化。

通過(guò)查看表1中的用于在不同過(guò)程環(huán)境下制造的測(cè)試試樣的數(shù)據(jù)可以清楚，尤其是在紅色和藍(lán)色的情況下，在有效地減少有機(jī)薄膜成分暴露于反應(yīng)性物質(zhì)的環(huán)境中打印可對(duì)各種el的穩(wěn)定性和因而對(duì)壽命具有顯著影響。

表1：惰性氣體過(guò)程對(duì)oled面板壽命的影響。

因而，在將oled打印從gen3.5縮放到gen8.5和更大同時(shí)提供可以在惰性基本上沒(méi)有顆粒的氣體封閉環(huán)境中容納oled打印系統(tǒng)的穩(wěn)固封閉系統(tǒng)方面存在挑戰(zhàn)?？稍O(shè)想的是，根據(jù)本教導(dǎo)，這種氣體封閉裝置將具有包括例如但不限于如下的屬性：氣體封閉裝置可以易于縮放以提供用于oled打印系統(tǒng)的優(yōu)化工作空間，同時(shí)提供最小的惰性氣體體積，且在過(guò)程期間還易于從外部接近oled打印系統(tǒng)，同時(shí)易于接近內(nèi)部以便用最小的停機(jī)時(shí)間維護(hù)。

根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，提供一種用于需要惰性環(huán)境的各種空氣敏感過(guò)程的氣體封閉組件，可以包括能夠密封在一起的多個(gè)壁框架和頂板框架構(gòu)件。在一些實(shí)施例中，多個(gè)壁框架和頂板框架構(gòu)件可以使用可再次使用的緊固件緊固在一起，例如螺栓和螺紋孔。對(duì)于根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，多個(gè)框架構(gòu)件可以構(gòu)建成限定氣體封閉框架組件，每個(gè)框架構(gòu)件包括多個(gè)面板框架部段。

本教導(dǎo)的氣體封閉組件可以設(shè)計(jì)成以能夠最小化系統(tǒng)周圍的封閉容積的方式容納系統(tǒng)，例如oled打印系統(tǒng)。氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以以最小化氣體封閉組件的內(nèi)部容積且同時(shí)優(yōu)化工作空間以容納各種oled打印系統(tǒng)的各種占地面積（footprint，或足跡）的方式構(gòu)建。如此構(gòu)建的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例還在過(guò)程期間易于從外部接近氣體封閉組件的內(nèi)部且易于接近內(nèi)部以便維護(hù)，同時(shí)最小化停機(jī)時(shí)間。在這方面，根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以關(guān)于各種oled打印系統(tǒng)的各種占地面積定輪廓。根據(jù)各個(gè)實(shí)施例，一旦定輪廓框架構(gòu)件被構(gòu)建以形成氣體封閉框架組件，各種類型的面板就可以可密封地安裝在包括框架構(gòu)件的多個(gè)面板部段中，以完成氣體封閉組件的安裝。在氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例中，可以在一個(gè)位置或多個(gè)位置制造多個(gè)框架構(gòu)件（包括例如但不限于，多個(gè)壁框架構(gòu)件和至少一個(gè)頂板框架構(gòu)件）以及用于安裝在面板框架部段中的多個(gè)面板，且然后在另一個(gè)位置構(gòu)建。此外，給定用于構(gòu)建本教導(dǎo)的氣體封閉組件的部件的可輸送性質(zhì)，氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以經(jīng)過(guò)多個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)重復(fù)地安裝和拆卸。

為了確保氣體封閉裝置被氣密密封，本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例提供用于結(jié)合每個(gè)框架構(gòu)件以提供框架密封。通過(guò)各個(gè)框架構(gòu)件之間的緊密裝配交叉部（包括墊片或其它密封件），內(nèi)部可以被充分密封，例如氣密密封。一旦完全構(gòu)建，密封的氣體封閉組件可以包括內(nèi)部和多個(gè)內(nèi)部角邊緣，至少一個(gè)內(nèi)部角邊緣設(shè)置在每個(gè)框架構(gòu)件與相鄰框架構(gòu)件的交叉部處?？蚣軜?gòu)件中的一個(gè)或多個(gè)，例如框架構(gòu)件中的至少一半，可以包括沿其一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)邊緣固定的一個(gè)或多個(gè)可壓縮墊片。所述一個(gè)或多個(gè)可壓縮墊片可以配置成一旦多個(gè)框架構(gòu)件結(jié)合在一起且安裝不透氣體的面板就產(chǎn)生氣密密封氣體封閉組件。密封的氣體封閉組件可以形成為使得框架構(gòu)件的角邊緣由多個(gè)可壓縮墊片密封。對(duì)于每個(gè)框架構(gòu)件，例如但不限于內(nèi)部壁框架表面、頂壁框架表面、豎直側(cè)壁框架表面、底壁框架表面及其組合，可以設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)可壓縮墊片。

對(duì)于氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，每個(gè)框架構(gòu)件可以包括多個(gè)部段，所述多個(gè)部段被設(shè)計(jì)和制造成接收能夠可密封地安裝在每個(gè)部段中的各種面板類型中的任一種，以提供用于每個(gè)面板的不透氣體的面板密封。在本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例中，每個(gè)部段框架可以具有部段框架墊片，所述部段框架墊片借助于選定緊固件確保安裝在每個(gè)部段框架中的每個(gè)面板可以提供用于每個(gè)面板和從而用于完全構(gòu)建氣體封閉裝置的不透氣體的密封。在各個(gè)實(shí)施例中，氣體封閉組件可以在每個(gè)壁面板中具有窗口面板或維修面板中的一種或多種；其中，每個(gè)窗口面板或維修面板可以具有至少一個(gè)手套端口。在氣體封閉組件組裝期間，每個(gè)手套端口可以具有附連的手套，從而手套可以延伸到內(nèi)部中。根據(jù)各個(gè)實(shí)施例，每個(gè)手套端口可以具有用于安裝手套的硬件，其中，這種硬件在每個(gè)手套端口周圍使用墊片密封，其提供不透氣體的密封以最小化通過(guò)手套端口的泄漏或分子擴(kuò)散。對(duì)于本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，所述硬件還設(shè)計(jì)成易于罩蓋和揭開(kāi)終端用戶的手套端口。

根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以包括從多個(gè)框架構(gòu)件和面板部段形成的氣體封閉組件以及氣體循環(huán)、過(guò)濾和凈化部件。對(duì)于氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，管道系統(tǒng)可以在組裝過(guò)程期間安裝。根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，管道系統(tǒng)可以安裝在從多個(gè)框架構(gòu)件構(gòu)建的氣體封閉框架組件內(nèi)。在各個(gè)實(shí)施例中，管道系統(tǒng)可以在多個(gè)框架構(gòu)件結(jié)合以形成氣體封閉框架組件之前安裝在多個(gè)框架構(gòu)件上。氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的管道系統(tǒng)可以配置成使得從一個(gè)或多個(gè)管道系統(tǒng)入口抽吸到管道系統(tǒng)中的基本上所有氣體移動(dòng)通過(guò)氣體過(guò)濾回路的各個(gè)實(shí)施例，用于去除氣體封閉組件和系統(tǒng)內(nèi)部的顆粒物質(zhì)。此外，氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的管道系統(tǒng)可以配置成將氣體封閉組件外部的氣體凈化回路的入口和出口從氣體封閉組件內(nèi)部的氣體過(guò)濾回路隔開(kāi)。

例如，氣體封閉組件和系統(tǒng)可以具有在氣體封閉組件內(nèi)部的氣體循環(huán)和過(guò)濾系統(tǒng)。這種內(nèi)部過(guò)濾系統(tǒng)可以具有在內(nèi)部中的多個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元，且可以配置成在內(nèi)部中提供氣體層流。層流可以是從內(nèi)部的頂部到內(nèi)部的底部的方向或者是任何其它方向。雖然通過(guò)循環(huán)系統(tǒng)產(chǎn)生的氣體流不需要是層流，但是氣體層流可以用于確保內(nèi)部中氣體的徹底和完全周轉(zhuǎn)。氣體層流還可以用于最小化紊流，這種紊流是不希望的，因?yàn)槠淇梢允沟铆h(huán)境中的顆粒收集在這種紊流區(qū)域，從而防止過(guò)濾系統(tǒng)從環(huán)境去除那些顆粒。此外，為了在內(nèi)部中保持期望溫度，可以提供使用多個(gè)熱交換器的熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，例如借助于風(fēng)扇或另一個(gè)氣體循環(huán)裝置操作，靠近風(fēng)扇或另一個(gè)氣體循環(huán)裝置，或者與風(fēng)扇或另一個(gè)氣體循環(huán)裝置結(jié)合使用。氣體凈化回路可以配置成通過(guò)在封閉裝置外部的至少一個(gè)氣體凈化部件從氣體封閉組件內(nèi)部循環(huán)氣體。在這方面，氣體封閉組件內(nèi)部的過(guò)濾和循環(huán)系統(tǒng)與氣體封閉組件外部的氣體凈化回路結(jié)合可以提供貫穿氣體封閉組件內(nèi)的顯著低顆粒惰性氣體的連續(xù)循環(huán)，其具有顯著低水平的反應(yīng)性物質(zhì)。氣體凈化系統(tǒng)可以配置成保持非常低水平的不希望成分，例如有機(jī)溶劑及其蒸汽以及水、水蒸汽、氧氣等。

除了設(shè)置用于氣體循環(huán)、過(guò)濾和凈化部件之外，管道系統(tǒng)可以定尺寸和定形為在其中容納電線、線束以及各種流體容納管中的至少一個(gè)，其在束捆時(shí)可能具有大量死容積，其中，環(huán)境成分（例如，水、水蒸汽、氧氣等）可能被截留且難以由凈化系統(tǒng)去除。在一些實(shí)施例中，纜線、電線和線束中的任一種以及流體容納管的組合可以基本上設(shè)置在管道系統(tǒng)中，且可以分別與設(shè)置在內(nèi)部中的電氣系統(tǒng)、機(jī)械系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)中的至少一個(gè)操作性地相連。由于氣體循環(huán)、過(guò)濾和凈化部件可以配置成使得基本上所有循環(huán)惰性氣體都抽吸通過(guò)管道系統(tǒng)，因此截留在各種束捆材料的死容積中的環(huán)境成分可以通過(guò)使得這種束捆材料容納在管道系統(tǒng)內(nèi)而從這種束捆材料的大量死容積有效地吹掃。

根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可包括從多個(gè)框架構(gòu)件和面板部段形成的氣體封閉組件以及氣體循環(huán)、過(guò)濾和凈化部件，且附加地包括加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例。這種加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以在oled打印系統(tǒng)的操作中使用，用于各種氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置和設(shè)備，如隨后更詳細(xì)所述。

根據(jù)本教導(dǎo)，解決了多個(gè)工程挑戰(zhàn)，以便在氣體封閉組件和系統(tǒng)中提供加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例。首先，在沒(méi)有加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的典型操作下，氣體封閉組件可以相對(duì)于外部壓力保持在輕微正內(nèi)部壓力，以便在氣體封閉組件和系統(tǒng)中產(chǎn)生任何泄漏時(shí)防止外側(cè)氣體或空氣進(jìn)入內(nèi)部。例如，對(duì)于本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，在典型操作下，氣體封閉組件的內(nèi)部可以相對(duì)于封閉系統(tǒng)外部的周圍環(huán)境保持在例如至少2mbarg的壓力，例如至少4mbarg的壓力，至少6mbarg的壓力，至少8mbarg的壓力，或更高壓力。在氣體封閉組件系統(tǒng)內(nèi)保持加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)可能是有挑戰(zhàn)的，因?yàn)槠渚哂信c保持氣體封閉組件和系統(tǒng)的輕微正內(nèi)部壓力有關(guān)的動(dòng)態(tài)和持續(xù)進(jìn)行的平衡動(dòng)作，而同時(shí)連續(xù)地引入加壓氣體到氣體封閉組件和系統(tǒng)中。此外，各個(gè)裝置和設(shè)備的可變需求可能形成本教導(dǎo)的各種氣體封閉組件和系統(tǒng)的不規(guī)則壓力曲線。在這種條件下將相對(duì)于外部環(huán)境保持在輕微正壓的氣體封閉組件保持動(dòng)態(tài)壓力平衡可以提供用于持續(xù)進(jìn)行的oled打印過(guò)程的整體性。

對(duì)于氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，根據(jù)本教導(dǎo)的加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)可包括加壓惰性氣體回路的各個(gè)實(shí)施例，可以使用壓縮機(jī)、貯存器和鼓風(fēng)機(jī)中的至少一種及其組合。包括加壓惰性氣體回路的各個(gè)實(shí)施例的加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以具有專門(mén)設(shè)計(jì)的壓力控制旁通回路，其可以在本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)中提供處于穩(wěn)定限定值的惰性氣體內(nèi)部壓力。在氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例中，加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以配置成在加壓惰性氣體回路的貯存器內(nèi)的惰性氣體壓力超過(guò)預(yù)設(shè)閾值壓力時(shí)經(jīng)由壓力控制旁通回路再循環(huán)加壓惰性氣體。閾值壓力可以例如在大約25psig至大約200psig之間的范圍內(nèi)，或者更具體地在大約75psig至大約125psig之間的范圍內(nèi)，或者更具體地在大約90psig至大約95psig之間的范圍內(nèi)。在這方面，具有帶有專門(mén)設(shè)計(jì)的壓力控制旁通回路的各個(gè)實(shí)施例的加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的本教導(dǎo)氣體封閉組件和系統(tǒng)可以保持在氣密密封氣體封閉裝置中具有加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的平衡。

根據(jù)本教導(dǎo)，各種裝置和設(shè)備可以設(shè)置在內(nèi)部中，且與具有各種加壓惰性氣體回路的加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例流體連通，所述加壓惰性氣體回路可以使用各種加壓氣體源，例如壓縮機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)及其組合中的至少一種。對(duì)于本教導(dǎo)的氣體封閉裝置和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，使用各種氣動(dòng)操作的裝置和設(shè)備可以提供低顆粒生成性能以及低維護(hù)成本?？梢栽O(shè)置在氣體封閉組件和系統(tǒng)內(nèi)部中且與各種加壓惰性氣體回路流體連通的示例性裝置和設(shè)備可以包括，例如但不限于，氣動(dòng)機(jī)器人、基底懸浮臺(tái)、空氣軸承、空氣襯套、壓縮氣體工具、氣動(dòng)致動(dòng)器中的一種或多種、及其組合?；讘腋∨_(tái)以及空氣軸承可以用于操作根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的oled打印系統(tǒng)的各個(gè)方面。例如，使用空氣軸承技術(shù)的基底懸浮臺(tái)可以用于將基底輸送到打印頭腔室中的合適位置以及在oled打印過(guò)程期間支撐基底。

如前文所述，基底懸浮臺(tái)以及空氣軸承的各個(gè)實(shí)施例對(duì)容納在根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件中的oled打印系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的操作可能是有用的。如圖1針對(duì)氣體封閉組件和系統(tǒng)2000示意性地所示，使用空氣軸承技術(shù)的基底懸浮臺(tái)可以用于將基底輸送到打印頭腔室中的合適位置以及在oled打印過(guò)程期間支撐基底。在圖1中，氣體封閉組件1500可以是載荷鎖定系統(tǒng)，其可以具有用于通過(guò)第一入口閘門(mén)1512和1514接收基底的入口腔室1510，用于將基底從入口腔室1510移動(dòng)到氣體封閉組件1500，以便打印。根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)閘門(mén)可以用于將腔室彼此隔離以及從外部環(huán)境隔離。根據(jù)本教導(dǎo)，各個(gè)閘門(mén)可以從物理閘門(mén)和氣簾選擇。

在基底接收過(guò)程期間，閘門(mén)1512可以打開(kāi)，而閘門(mén)1514可以處于關(guān)閉位置，以便防止環(huán)境氣體進(jìn)入氣體封閉組件1500。一旦基底接收在入口腔室1510中，閘門(mén)1512和1514兩者都可以關(guān)閉且入口腔室1510可以用惰性氣體吹掃，例如氮?dú)?、任何稀有氣體及其任何組合，直到反應(yīng)性環(huán)境氣體的水平處于例如100ppm或更低、10ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。在環(huán)境氣體達(dá)到足夠低的水平之后，閘門(mén)1514可以打開(kāi)，而1512仍然關(guān)閉，以允許基底1550從入口腔室1510輸送到氣體封閉組件腔室1500，如圖1所示?；讖娜肟谇皇?510輸送到氣體封閉組件腔室1500可以經(jīng)由例如但不限于設(shè)置在腔室1500和1510中的懸浮臺(tái)?；讖娜肟谇皇?510輸送到氣體封閉組件腔室1500還可以經(jīng)由例如但不限于基底輸送機(jī)器人，其可以將基底1550放置在設(shè)置于腔室1500中的懸浮臺(tái)上?；?550在打印過(guò)程期間可以保持支撐在基底懸浮臺(tái)上。

氣體封閉組件和系統(tǒng)2000的各個(gè)實(shí)施例可以具有通過(guò)閘門(mén)1524與氣體封閉組件和系統(tǒng)1500流體連通的出口腔室1520。根據(jù)氣體封閉組件和系統(tǒng)2000的各個(gè)實(shí)施例，在打印過(guò)程完成之后，基底1550可以從氣體封閉組件1500通過(guò)閘門(mén)1524輸送到出口腔室1520。基底從氣體封閉組件腔室1500輸送到出口腔室1520可以經(jīng)由例如但不限于設(shè)置在腔室1500和1520中的懸浮臺(tái)。基底從氣體封閉組件腔室1500輸送到出口腔室1520還可以經(jīng)由例如但不限于基底輸送機(jī)器人，其可以將基底1550從設(shè)置于腔室1500中的懸浮臺(tái)上拾起且將其輸送到腔室1520。對(duì)于氣體封閉組件和系統(tǒng)2000的各個(gè)實(shí)施例，當(dāng)閘門(mén)1524處于關(guān)閉位置以防止反應(yīng)性環(huán)境氣體進(jìn)入氣體封閉組件1500時(shí)，基底1550可以從出口腔室1520經(jīng)由閘門(mén)1522取回。

除了包括分別經(jīng)由閘門(mén)1514和1524與氣體封閉組件1500流體連通的入口腔室1510和出口腔室1520的載荷鎖定系統(tǒng)之外，氣體封閉組件和系統(tǒng)2000可包括系統(tǒng)控制器1600。系統(tǒng)控制器1600可以包括與一個(gè)或多個(gè)存儲(chǔ)器電路（未示出）連通的一個(gè)或多個(gè)處理器電路（未示出）。系統(tǒng)控制器1600還可以與包括入口腔室1510和出口腔室1520的載荷鎖定系統(tǒng)連通，且最終與oled打印系統(tǒng)的打印噴嘴連通。由此，系統(tǒng)控制器1600可以協(xié)調(diào)閘門(mén)1512、1514、1522和1524的打開(kāi)和關(guān)閉。系統(tǒng)控制器1600還可以控制至oled打印系統(tǒng)的打印噴嘴的墨分配?；?550可以通過(guò)本教導(dǎo)的載荷鎖定系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例輸送，經(jīng)由例如但不限于使用空氣軸承技術(shù)的基底懸浮臺(tái)或空氣軸承技術(shù)的基底懸浮臺(tái)和基底輸送機(jī)器人的組合，載荷鎖定系統(tǒng)包括分別經(jīng)由閘門(mén)1514和1524與氣體封閉組件1500流體連通的入口腔室1510和出口腔室1520。

圖1的載荷鎖定系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例還可以包括氣動(dòng)控制系統(tǒng)1700，其可以包括真空源和惰性氣體源，可以包括氮?dú)狻⑷魏蜗∮袣怏w及其任何組合。容納在氣體封閉組件和系統(tǒng)2000內(nèi)的基底懸浮系統(tǒng)可包括通常設(shè)置在平坦表面上的多個(gè)真空端口和氣體軸承端口?；?550可以通過(guò)惰性氣體（例如，氮?dú)?、任何稀有氣體及其任何組合）的壓力提升和保持離開(kāi)硬表面。流出軸承容積的流動(dòng)借助于多個(gè)真空端口完成。基底1550在基底懸浮臺(tái)上的懸浮高度通常根據(jù)氣體壓力和氣體流量而變。氣動(dòng)控制系統(tǒng)1700的真空和壓力可以用于在圖1的載荷鎖定系統(tǒng)中氣體封閉組件1500內(nèi)操控期間支撐基底1550，例如在打印期間?？刂葡到y(tǒng)1700還可以用于在通過(guò)圖1的載荷鎖定系統(tǒng)輸送期間支撐基底1550，載荷鎖定系統(tǒng)包括分別經(jīng)由閘門(mén)1514和1524與氣體封閉組件1500流體連通的入口腔室1510和出口腔室1520。為了控制基底1550輸送通過(guò)氣體封閉組件和系統(tǒng)2000，系統(tǒng)控制器1600分別通過(guò)閥1712和1722與惰性氣體源1710和真空1720連通。未示出的附加真空和惰性氣體供應(yīng)線路和閥可以提供給氣體封閉組件和系統(tǒng)2000，由圖1的載荷鎖定系統(tǒng)圖示，以進(jìn)一步提供控制封閉環(huán)境所需的各種氣體和真空設(shè)施。

為了給根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例提供更多維的立體圖，圖2是氣體封閉組件和系統(tǒng)2000的各個(gè)實(shí)施例的左前立體圖。圖2示出了包括氣體封閉組件1500、入口腔室1510和第一閘門(mén)1512的載荷鎖定系統(tǒng)。圖2的氣體封閉組件和系統(tǒng)2000可包括氣體凈化系統(tǒng)2130，用于給氣體封閉系統(tǒng)1500提供具有顯著低水平的反應(yīng)性環(huán)境物質(zhì)（例如水蒸汽和氧氣）以及從oled打印過(guò)程得到的有機(jī)溶劑蒸汽的惰性氣體恒定供應(yīng)。圖2的氣體封閉組件和系統(tǒng)2000還具有控制器系統(tǒng)1600，用于系統(tǒng)控制功能，如前文所述。

圖3是根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的完全構(gòu)建氣體封閉組件100的右前立體圖。氣體封閉組件100可以容納一種或多種氣體，用于保持氣體封閉組件內(nèi)部中的惰性環(huán)境。本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)可以在保持內(nèi)部中的惰性氣體環(huán)境方面是有用的。惰性氣體可以是在一組限定條件下不經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的任何氣體。惰性氣體的一些通常使用示例可以包括氮?dú)?、任何稀有氣體及其任何組合。氣體封閉組件100配置成包圍和保護(hù)空氣敏感過(guò)程，例如使用工業(yè)打印系統(tǒng)打印有機(jī)發(fā)光二極管（oled）墨。對(duì)oled墨是反應(yīng)性的環(huán)境氣體的示例包括水蒸汽和氧氣。如前文所述，氣體封閉組件100可以配置成保持密封環(huán)境且允許部件或打印系統(tǒng)有效地操作，同時(shí)避免污染、氧化和損害否則反應(yīng)性的材料和基底。

如圖3所示，氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可包括以下部件部分，包括前部或第一壁面板210’、左側(cè)或第二壁面板（未示出）、右側(cè)或第三壁面板230’、后部或第四壁面板（未示出）、以及頂板面板250’，該氣體封閉組件可以附連到盤(pán)204，盤(pán)204坐置在基部（未示出）上。如隨后更詳細(xì)所述，圖1的氣體封閉組件100的各個(gè)實(shí)施例可從前部或第一壁框架210、左側(cè)或第二壁框架（未示出）、右側(cè)或第三壁框架230、后部或第四壁面板（未示出）、以及頂板框架250構(gòu)建。頂板框架250的各個(gè)實(shí)施例可以包括風(fēng)扇過(guò)濾器單元蓋103以及第一頂板框架管道105、和第一頂板框架管道107。根據(jù)本教導(dǎo)的實(shí)施例，各種類型的部段面板可以安裝在包括框架構(gòu)件的多個(gè)面板部段中的任一個(gè)中。在圖1的氣體封閉組件100的各個(gè)實(shí)施例中，金屬片面板部段109可以在框架構(gòu)建期間焊接到框架構(gòu)件中。對(duì)于氣體封閉組件100的各個(gè)實(shí)施例，可以經(jīng)過(guò)氣體封閉組件的數(shù)個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)重復(fù)地安裝和拆卸的部段面板類型可包括針對(duì)壁面板210’示出的插入面板110以及針對(duì)壁面板230’示出的窗口面板120和可容易拆卸維修窗口130。

雖然可容易拆卸維修窗口130可以易于接近封閉裝置100的內(nèi)部，但是可以使用可拆卸的任何面板以接近氣體封閉組件和系統(tǒng)的內(nèi)部，以用于修理和常規(guī)維修目的。維修或修理的這種接近由于通過(guò)例如窗口面板120和可容易拆卸維修窗口130的面板提供的接近而不同，其可以使得終端用戶手套在使用期間從氣體封閉組件外部接近氣體封閉組件內(nèi)部。例如，附連到手套端口140的任何手套，例如手套142，如圖3中針對(duì)面板230所示，可以在氣體封閉組件系統(tǒng)使用期間使得終端用戶接近內(nèi)部。

圖4圖示了圖3所示的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的分解圖。氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以具有多個(gè)壁面板，包括前部壁面板210’的外側(cè)立體圖，左側(cè)壁面板220’的外側(cè)立體圖，右側(cè)壁面板230’的內(nèi)部立體圖，后部壁面板240’的內(nèi)部立體圖，以及頂板面板250’的俯視立體圖，如圖3所示，氣體封閉組件可以附連到盤(pán)204，盤(pán)204坐置在基部202上。oled打印系統(tǒng)可以安裝在盤(pán)204頂部上，打印過(guò)程已知對(duì)環(huán)境條件是敏感的。根據(jù)本教導(dǎo)，氣體封閉組件可以從框架構(gòu)件構(gòu)建，例如壁面板210’的壁框架210、壁面板220’的壁框架220、壁面板230’的壁框架230、壁面板240’的壁框架240、以及頂板面板250’的頂板框架250，其中然后可以安裝多個(gè)部段面板。在這方面，可期望流線化可以經(jīng)過(guò)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的數(shù)個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)重復(fù)地安裝和拆卸的部段面板的設(shè)計(jì)。此外，可以進(jìn)行氣體封閉組件100的定輪廓以容納oled打印系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的占地面積，以便最小化氣體封閉組件內(nèi)所需的惰性氣體體積，以及使得終端用戶易于接近（在氣體封閉組件使用期間以及在維護(hù)期間兩者都是如此）。

使用前部壁面板210’和左側(cè)壁面板220’作為示例，框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例可以具有在框架構(gòu)件構(gòu)建期間焊接到框架構(gòu)件中的金屬片面板部段109。插入面板110、窗口面板120和可容易拆卸維修窗口130可以安裝在每個(gè)壁框架構(gòu)件中，且可以經(jīng)過(guò)圖4的氣體封閉組件100的數(shù)個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)重復(fù)地安裝和拆卸。可以看出：在壁面板210’和壁面板220’的示例中，壁面板可以具有靠近可容易拆卸維修窗口130的窗口面板120。類似地，如示例性后部壁面板240’中所示，壁面板可以具有窗口面板，例如窗口面板125，其具有兩個(gè)相鄰的手套端口140。對(duì)于根據(jù)本教導(dǎo)的壁框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例，且對(duì)于圖3的氣體封閉組件100可以看出，手套的這種設(shè)置可以易于從氣體封閉裝置的外部接近封閉系統(tǒng)內(nèi)的部件部分。因此，氣體封閉裝置的各個(gè)實(shí)施例可以提供兩個(gè)或更多手套端口，從而終端用戶可以將左手套和右手套伸入內(nèi)部中且操控內(nèi)部中的一個(gè)或多個(gè)物項(xiàng)，而不干擾內(nèi)部中的氣體環(huán)境的成分。例如，窗口面板120和維修窗口130中的任一個(gè)可以定位成利于從氣體封閉組件的外部接近氣體封閉組件內(nèi)部中的可調(diào)節(jié)部件。根據(jù)窗口面板（例如，窗口面板120和維修窗口130）的各個(gè)實(shí)施例，當(dāng)不需要終端用戶通過(guò)手套端口的手套接近時(shí)，這種窗口可不包括手套端口和手套端口組件。

如圖4所示，壁和頂板面板的各個(gè)實(shí)施例可具有多個(gè)插入面板110。在圖4中可以看出，插入面板可以具有各種形狀和縱橫比。除了插入面板之外，頂板面板250’可以具有安裝、螺栓連接、螺紋連接、固定或以其他方式緊固到頂板框架250的風(fēng)扇過(guò)濾器單元蓋103以及第一頂板框架管道105和第二頂板框架管道107。如隨后更詳細(xì)所述，與頂板面板250’的管道107流體連通的管道系統(tǒng)可以安裝在氣體封閉組件的內(nèi)部中。根據(jù)本教導(dǎo)，這種管道系統(tǒng)可以是氣體封閉組件內(nèi)部的氣體循環(huán)系統(tǒng)的一部分，以及提供用于分開(kāi)離開(kāi)氣體封閉組件的流動(dòng)流，用于循環(huán)通過(guò)氣體封閉組件外部的至少一個(gè)氣體凈化部件。

圖5是框架構(gòu)件組件200的分解前部立體圖，其中，壁框架220可以構(gòu)建成包括面板的完全補(bǔ)充。雖然不限于所示設(shè)計(jì)，但是使用壁框架220的框架構(gòu)件組件200可以用于例示根據(jù)本教導(dǎo)的框架構(gòu)件組件的各個(gè)實(shí)施例。根據(jù)本教導(dǎo)，框架構(gòu)件組件的各個(gè)實(shí)施例可以由各個(gè)框架構(gòu)件和安裝在各個(gè)框架構(gòu)件的各個(gè)框架面板部段中的部段面板構(gòu)成。

根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)框架構(gòu)件組件的各個(gè)實(shí)施例，框架構(gòu)件組件200可以包括框架構(gòu)件，例如壁框架220。對(duì)于氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，例如圖3的氣體封閉組件100，可以使用容納在這種氣體封閉組件中的設(shè)施的過(guò)程可能不僅需要提供惰性環(huán)境的氣密密封封閉裝置，而且需要基本上沒(méi)有顆粒物質(zhì)的環(huán)境。在這方面，根據(jù)本教導(dǎo)的框架構(gòu)件可使用用于構(gòu)建框架的各個(gè)實(shí)施例的各種尺寸金屬管材料。這種金屬管材料解決了期望材料屬性，包括但不限于，將不會(huì)降級(jí)以產(chǎn)生顆粒物質(zhì)的高整體性材料，以及產(chǎn)生具有高強(qiáng)度而具有最佳重量的框架構(gòu)件，便于從一個(gè)地點(diǎn)到另一個(gè)地點(diǎn)進(jìn)行輸送、構(gòu)建和解構(gòu)包括各個(gè)框架構(gòu)件和面板部段的氣體封閉組件。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以容易理解，滿足這些要求的任何材料可以用于形成根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)框架構(gòu)件。

例如，根據(jù)本教導(dǎo)的框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例，例如框架構(gòu)件組件200，可以從擠壓金屬管構(gòu)建。根據(jù)框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例，可以使用鋁、鋼和各種金屬?gòu)?fù)合材料來(lái)構(gòu)建框架構(gòu)件。在各個(gè)實(shí)施例中，可以使用具有例如但不限于如下尺寸以及具有1/8”至1/4”壁厚的金屬管：2”wx2”h、4”wx2”h和4”wx4”h，以構(gòu)建根據(jù)本教導(dǎo)的框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例。此外，具有各種管或其它形式的各種纖維增強(qiáng)聚合物復(fù)合材料是可用的，其具有包括但不限于如下的材料屬性：將不會(huì)降級(jí)以產(chǎn)生顆粒物質(zhì)的高整體性材料，以及產(chǎn)生具有高強(qiáng)度而具有最佳重量的框架構(gòu)件，便于從一個(gè)地點(diǎn)到另一個(gè)地點(diǎn)進(jìn)行輸送、構(gòu)建和解構(gòu)。

關(guān)于從各種尺寸金屬管材料構(gòu)建各個(gè)框架構(gòu)件，可設(shè)想的是，可以焊接以形成框架焊接部的各個(gè)實(shí)施例。此外，從各種尺寸構(gòu)建材料構(gòu)建各個(gè)框架構(gòu)件可以使用合適工業(yè)粘合劑進(jìn)行?？稍O(shè)想的是，構(gòu)建各個(gè)框架構(gòu)件應(yīng)當(dāng)以將不會(huì)固有地形成通過(guò)框架構(gòu)件的泄漏路徑的方式進(jìn)行。在這方面，對(duì)于氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，構(gòu)建各個(gè)框架構(gòu)件可以使用將不會(huì)固有地形成通過(guò)框架構(gòu)件的泄漏路徑的任何方法進(jìn)行。此外，根據(jù)本教導(dǎo)的框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例，例如圖4的壁框架220，可以被涂刷或涂層。對(duì)于從例如易于氧化（其中，在表面處形成的材料可形成顆粒物質(zhì)）的金屬管材料制成的框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例，可以進(jìn)行涂刷或涂層或其它表面處理，例如陽(yáng)極電鍍，以防止形成顆粒物質(zhì)。

框架構(gòu)件組件，例如圖5的框架構(gòu)件組件200，可以具有框架構(gòu)件，例如壁框架220。壁框架220可以具有頂部226（頂部壁框架墊板227可以緊固在其上）以及底部228（底部壁框架墊板229可以緊固在其上）。如隨后更詳細(xì)所述，安裝在框架構(gòu)件表面上的墊板是墊片密封系統(tǒng)的一部分，其與安裝在框架構(gòu)件部段中的面板的墊片密封結(jié)合，提供用于根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的氣密密封?？蚣軜?gòu)件，例如圖5的框架構(gòu)件組件200的壁框架220，可以具有多個(gè)面板框架部段，其中，每個(gè)部段可以制造成接收各種類型的面板，例如但不限于插入面板110、窗口面板120和可容易拆卸維修窗口130。在構(gòu)建框架構(gòu)件時(shí)，可以形成各種類型的面板部段。面板部段的類型可以包括例如但不限于用于接收插入面板110的插入面板部段10、用于接收窗口面板120的窗口面板部段20和用于接收可容易拆卸維修窗口130的維修窗口面板部段30。

每種類型的面板部段可以具有接收面板的面板部段框架，且可以設(shè)置成每個(gè)面板可以可密封地緊固到根據(jù)本教導(dǎo)的每個(gè)面板部段中，用于構(gòu)建氣密密封氣體封閉組件。例如，在示出了根據(jù)本教導(dǎo)的框架組件的圖5中，插入面板部段10顯示為具有框架12，窗口面板部段20顯示為具有框架22，維修窗口面板部段30顯示為具有框架32。對(duì)于本教導(dǎo)的壁框架組件的各個(gè)實(shí)施例，各個(gè)面板部段框架可以是用連續(xù)焊珠焊接到面板部段中的金屬片材料，以提供氣密密封。對(duì)于壁框架組件的各個(gè)實(shí)施例，各個(gè)面板部段框架可以由各種片材料制成，包括選自纖維增強(qiáng)聚合物復(fù)合材料的構(gòu)建材料，其可以使用合適工業(yè)粘合劑安裝在面板部段中。如隨后涉及密封的教導(dǎo)更詳細(xì)所述，每個(gè)面板部段框架可以具有設(shè)置在其上的可壓縮墊片，以確保對(duì)于安裝和緊固在每個(gè)面板部段中的每個(gè)面板可以形成不透氣體的密封。除了面板部段框架之外，每個(gè)框架構(gòu)件部段可以具有與定位面板以及在面板部段中牢固地緊固面板有關(guān)的硬件。

插入面板110以及窗口面板120的面板框架122的各個(gè)實(shí)施例可以從金屬片材料構(gòu)建，例如但不限于鋁、各種鋁和不銹鋼的合金。面板材料的屬性可以與用于構(gòu)成框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)材料相同。在這方面，具有用于各種面板構(gòu)件的屬性的材料包括但不限于：將不會(huì)降級(jí)以產(chǎn)生顆粒物質(zhì)的高整體性材料，以及產(chǎn)生具有高強(qiáng)度而具有最佳重量的面板，以便于從一個(gè)地點(diǎn)到另一個(gè)地點(diǎn)進(jìn)行輸送、構(gòu)建和解構(gòu)。例如，蜂窩芯片材料的各個(gè)實(shí)施例可以具有用作構(gòu)建插入面板110以及窗口面板120的面板框架122的面板材料的所需屬性。蜂窩芯片材料可以由各種材料制成；金屬以及金屬?gòu)?fù)合物和聚合物，以及聚合物復(fù)合蜂窩芯片材料。在從金屬材料制成時(shí)可拆卸面板的各個(gè)實(shí)施例可具有包括在面板中的接地連接，以確保在氣體封閉組件構(gòu)建時(shí)整個(gè)結(jié)構(gòu)接地。

給定用于構(gòu)建本教導(dǎo)的氣體封閉組件的氣體封閉組件部件的可輸送性質(zhì)，本教導(dǎo)的部段面板的各個(gè)實(shí)施例中的任一個(gè)可以在氣體封閉組件和系統(tǒng)使用期間重復(fù)安裝和拆卸，以接近氣體封閉組件的內(nèi)部。

例如，用于接收可容易拆卸維修窗口面板130的面板部段30可以具有一組四個(gè)墊，其中一個(gè)顯示為窗口引導(dǎo)墊34。此外，構(gòu)建用于接收可容易拆卸維修窗口面板130的面板部段30可具有一組四個(gè)夾板36，其可以用于使用安裝在每個(gè)可容易拆卸維修窗口130的維修窗口框架132上的一組四個(gè)反向作用鉸接夾136將維修窗口130夾持在維修窗口面板部段30中。此外，兩個(gè)窗口把手138中的每個(gè)可以安裝在可容易拆卸維修窗口框架132上，以使得終端用戶易于拆卸和安裝維修窗口130?？刹鹦毒S修窗口把手的數(shù)量、類型和設(shè)置可以變化。此外，用于接收可容易拆卸維修窗口面板130的維修窗口面板部段30可以使得窗口夾子35中的至少兩個(gè)選擇性地安裝在每個(gè)維修窗口面板部段30中。雖然顯示在每個(gè)維修窗口面板部段30的頂部和底部，但是至少兩個(gè)窗口夾子可以以用以在面板部段框架32中緊固維修窗口130的任何方式安裝。工具可以用于拆卸和安裝窗口夾子35，以便允許維修窗口130拆卸和再次安裝。

維修窗口130的反向作用鉸接夾136以及安裝在面板部段30上的硬件（包括夾板36、窗口引導(dǎo)墊34和窗口夾子35）可以由任何合適材料以及材料組合構(gòu)建。例如，一個(gè)或多個(gè)這種元件可以包括至少一種金屬、至少一種陶瓷、至少一種塑料及其組合。可拆卸維修窗口把手138可以由任何合適材料以及材料組合構(gòu)建。例如，一個(gè)或多個(gè)這種元件可以包括至少一種金屬、至少一種陶瓷、至少一種塑料、至少一種橡膠及其組合。封閉窗口，例如窗口面板120的窗口124或維修窗口130的窗口134，可以包括任何合適材料以及材料組合。根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，封閉窗口可包括透明和半透明材料。在氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例中，封閉窗口可包括基于硅石的材料（例如但不限于玻璃和石英）以及各種類型的基于聚合物的材料（例如但不限于各種級(jí)別的聚碳酸酯、丙烯酸、和乙烯基材料）。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解，示例性窗口材料的各種成分及其組合還可以用作根據(jù)本教導(dǎo)的透明和半透明材料。

在圖5中針對(duì)框架構(gòu)件組件200可以看出，可容易拆卸維修窗口面板130可以具有帶罩蓋150的手套端口。雖然圖3中顯示所有手套端口具有向外延伸的手套，但是如圖5所示，取決于終端用戶是否需要遠(yuǎn)程接近氣體封閉組件的內(nèi)部，手套端口還可以被罩蓋。如圖6a－7b所示的罩蓋組件的各個(gè)實(shí)施例在終端用戶不使用手套時(shí)將罩蓋牢固地閂鎖在手套上，且同時(shí)在終端用戶希望使用手套時(shí)便于接近。

在圖6a中，示出了罩蓋150，其可以具有內(nèi)表面151、外表面153和可以定輪廓用于抓握的側(cè)面152。三個(gè)肩部螺釘156從罩蓋150的邊緣154延伸。如圖6b所示，每個(gè)肩部螺釘固定在邊緣154中，使得柄部155從邊緣154延伸設(shè)定距離，從而頭部157不鄰接邊緣154。在圖7a-7b中，手套端口硬件組件160可以被修改以提供罩蓋組件，其包括用于在封閉裝置被加壓以相對(duì)于封閉裝置外部具有正壓力時(shí)罩蓋手套端口的鎖定機(jī)構(gòu)。

對(duì)于圖6a的手套端口硬件組件160的各個(gè)實(shí)施例，卡扣夾持可以使得罩蓋150封閉在手套端口硬件組件160上，且同時(shí)提供終端用戶易于接近手套的快速聯(lián)接設(shè)計(jì)。在圖7a所示的手套端口硬件組件160的俯視放大圖中，手套端口組件160可包括后板161和前板163，前板163具有用于安裝手套的帶螺紋螺釘頭部162和凸緣164。在凸緣164上示出了卡扣閂鎖166，具有槽165，用于接收肩部螺釘156（圖6b）肩部螺釘頭部157。每個(gè)肩部螺釘156可以與手套端口硬件組件160的卡扣閂鎖166中的每個(gè)對(duì)齊且接合?？坶V鎖166的槽168具有位于一端處的開(kāi)口165和位于槽168的另一端處的鎖定凹部167。一旦每個(gè)肩部螺釘頭部157插入每個(gè)開(kāi)口165中，罩蓋150就可以旋轉(zhuǎn)，直到肩部螺釘頭部鄰接槽168的靠近鎖定凹部167的端部處。圖7b所示的截面圖示出了用于在氣體封閉組件系統(tǒng)使用時(shí)罩蓋手套的鎖定特征。在使用期間，封閉裝置中的惰性氣體的內(nèi)部氣體壓力比氣體封閉組件外部的壓力大于設(shè)定量。正壓力可以填充手套（圖3），從而在手套在本教導(dǎo)的氣體封閉組件的使用期間在罩蓋150下壓縮時(shí)，肩部螺釘頭部157移動(dòng)到鎖定凹部167中，從而確保手套端口窗口被可靠地罩蓋。然而，終端用戶可以通過(guò)定輪廓用于抓握的側(cè)面152來(lái)抓握罩蓋150，且在不使用時(shí)容易地脫離緊固在卡扣閂鎖中的罩蓋。圖7b還示出了在窗口134的內(nèi)表面131上的后板161以及在窗口134的外表面上的前板163，兩個(gè)板都具有o形環(huán)密封件169。

如在圖8a－9b的以下教導(dǎo)中討論的，壁和頂板框架構(gòu)件密封件與不透氣體的部段面板框架密封件結(jié)合一起提供用于需要惰性環(huán)境的空氣敏感過(guò)程的氣密密封氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例。有助于提供顯著低濃度的反應(yīng)性物質(zhì)以及顯著低的顆粒環(huán)境的氣體封閉組件和系統(tǒng)的部件可以包括但不限于，氣密密封氣體封閉組件以及高效氣體循環(huán)和顆粒過(guò)濾系統(tǒng)，包括管道系統(tǒng)。提供用于氣體封閉組件的有效氣密密封可能是有挑戰(zhàn)的；尤其是在三個(gè)框架構(gòu)件一起形成三面接頭時(shí)。因而，三面接頭密封在提供用于可以經(jīng)過(guò)數(shù)個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)組裝和拆卸的氣體封閉組件的容易安裝氣密密封方面具有特別困難的挑戰(zhàn)。

在這方面，根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例通過(guò)接頭的有效墊片密封以及在負(fù)載支承構(gòu)建部件周圍提供有效墊片密封而提供完全構(gòu)建的氣體封閉組件和系統(tǒng)的氣密密封。與常規(guī)接頭密封不同，根據(jù)本教導(dǎo)的接頭密封：1）包括在頂部和底部終端框架接頭結(jié)合部（其中，三個(gè)框架構(gòu)件被結(jié)合）處鄰接墊片部段與垂直取向的墊片長(zhǎng)度的一致平行對(duì)齊，從而避免角向縫對(duì)齊和密封，2）提供用于沿接頭的整個(gè)寬度形成鄰接長(zhǎng)度，從而增加三面接頭結(jié)合部處的密封接觸面積，3）設(shè)計(jì)有墊板，所述墊板沿所有豎直和水平以及頂部和底部三面接頭墊片密封提供一致的壓縮力。此外，墊片材料的選擇可以影響提供氣密密封的有效性，這將在隨后討論。

圖8a－8c是圖示常規(guī)三面接頭密封與根據(jù)本教導(dǎo)的三面接頭密封的對(duì)比的俯視示意圖。根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，可以有例如但不限于至少四個(gè)壁框架構(gòu)件、頂板框架構(gòu)件和盤(pán)，其可以被結(jié)合以形成氣體封閉組件，從而產(chǎn)生需要?dú)饷苊芊獾亩鄠€(gè)豎直、水平和三面接頭。在圖8a中，常規(guī)三面墊片密封的俯視示意圖由第一墊片i形成，第一墊片i在x－y平面中與墊片ii垂直取向。如圖8a所示，在x－y平面中由垂直取向形成的縫在兩個(gè)部段之間具有由墊片寬度尺寸限定的接觸長(zhǎng)度w1。此外，墊片iii（在豎直方向與墊片i和墊片ii兩者垂直取向的墊片）的終端部分可以鄰接墊片i和墊片ii，由陰影表示。在圖8b中，常規(guī)三面接頭墊片密封的俯視示意圖由第一墊片長(zhǎng)度i形成，第一墊片長(zhǎng)度i與第二墊片長(zhǎng)度ii垂直，且具有兩個(gè)長(zhǎng)度的45°縫結(jié)合面，其中，縫在兩個(gè)部段之間具有大于墊片材料寬度的接觸長(zhǎng)度w2。類似地圖8a的配置，墊片iii（在豎直方向與墊片i和墊片ii兩者垂直）的端部分可以鄰接墊片i和墊片ii，由陰影表示。假定墊片寬度在圖8a和圖8b中相同，圖8b的接觸長(zhǎng)度w2大于圖8a的接觸長(zhǎng)度w1。

圖8c是根據(jù)本教導(dǎo)的三面接頭墊片密封的俯視示意圖。第一墊片長(zhǎng)度i可以具有垂直于墊片長(zhǎng)度i的方向形成的墊片部段i’，其中，墊片部段i’具有的長(zhǎng)度可以大約為被結(jié)合的結(jié)構(gòu)部件的寬度的尺寸，例如用于形成本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)壁框架構(gòu)件的4”wx2”h或4”wx4”h金屬管。墊片ii在x－y平面中與墊片i垂直，且具有墊片部段ii’，墊片部段ii’與墊片部段i’的疊置長(zhǎng)度大約為被結(jié)合的結(jié)構(gòu)部件的寬度。墊片部段i’和ii’的寬度是所選擇可壓縮墊片材料的寬度。墊片iii在豎直方向與墊片i和墊片ii兩者垂直取向。墊片部段iii’是墊片iii的端部分。墊片部段iii’由墊片部段iii’與墊片iii的豎直長(zhǎng)度垂直取向形成。墊片部段iii’可以形成為使得其具有與墊片部段i’和ii’大約相同的長(zhǎng)度，且寬度是所選擇可壓縮墊片材料的厚度。在這方面，圖8c所示的三個(gè)對(duì)齊部段的接觸長(zhǎng)度w3大于分別具有接觸長(zhǎng)度w1和w2的圖8a或圖8b所示常規(guī)三角接頭密封。

在這方面，根據(jù)本教導(dǎo)的三面接頭墊片密封在終端接頭結(jié)合部處形成墊片部段的一致平行對(duì)齊（否則將是垂直對(duì)齊的墊片，如圖8a和圖8b的情況所示）。三面接頭墊片密封部段的這種一致平行對(duì)齊跨過(guò)所述部段施加一致橫向密封力，以促進(jìn)由壁框架構(gòu)件形成的接頭的頂部和底部角部處的氣密三面接頭密封。此外，每個(gè)三面接頭密封的一致對(duì)齊墊片部段的每個(gè)部段被選擇大約為被結(jié)合的結(jié)構(gòu)部件的寬度，從而提供一致對(duì)齊部段的最大接觸長(zhǎng)度。此外，根據(jù)本教導(dǎo)的接頭密封設(shè)計(jì)有墊板，所述墊板沿構(gòu)建接頭的所有豎直、水平以及三面墊片密封提供一致的壓縮力?？勺C明的是，選擇用于圖8a和圖8b的示例給出的常規(guī)三面密封的墊片材料的寬度可以至少為被結(jié)合的結(jié)構(gòu)部件的寬度。

圖9a的分解立體圖示出了在所有框架構(gòu)件被結(jié)合之前根據(jù)本教導(dǎo)的密封組件300，從而墊片顯示處于未壓縮狀態(tài)。在圖9a中，在從氣體封閉組件的各個(gè)部件構(gòu)建氣體封閉裝置的第一步驟中，多個(gè)壁框架構(gòu)件，例如壁框架310、壁框架350以及頂板框架370，可以被可密封地結(jié)合。根據(jù)本教導(dǎo)的框架構(gòu)件密封是提供氣體封閉組件一旦完全構(gòu)建就被氣密密封以及提供可以經(jīng)過(guò)氣體封閉組件的數(shù)個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)實(shí)施的密封的重要部分。雖然在圖9a－9b的以下教導(dǎo)中給出的示例是用于密封氣體封閉組件的一部分，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，這種教導(dǎo)適用于本教導(dǎo)的氣體封閉組件中的全部任一個(gè)。

圖9a所示的第一壁框架310可以具有安裝墊板312的內(nèi)側(cè)面311、豎直側(cè)面314、和安裝墊板316的頂表面315。第一壁框架310可以具有第一墊片320，第一墊片320設(shè)置在由墊板312形成的空間中且粘附到由墊板312形成的空間。在第一墊片320設(shè)置在由墊板312形成的空間中且粘附到由墊板312形成的空間之后留下的間隙302可以延伸第一墊片320的豎直長(zhǎng)度，如圖9a所示。如圖9a所示，柔順墊片320可以設(shè)置在由墊板312形成的空間中且粘附到由墊板312形成的空間，且可以具有豎直墊片長(zhǎng)度321、曲線墊片長(zhǎng)度323、以及在內(nèi)部框架構(gòu)件311上與豎直墊片長(zhǎng)度321在平面內(nèi)形成90°且終止于壁框架310的豎直側(cè)面314的墊片長(zhǎng)度325。在圖9a中，第一壁框架310可以具有安裝墊板316的頂表面315，從而在表面315上形成空間，第二墊片340豎直在所述空間中且靠近壁框架310的內(nèi)邊緣317粘附到所述空間。在第二墊片340設(shè)置在由墊板316形成的空間中且粘附到由墊板316形成的空間之后留下的間隙304可以延伸第二墊片340的水平長(zhǎng)度，如圖9a所示。此外，如陰影線所示，墊片340的長(zhǎng)度345與墊片320的長(zhǎng)度325一致地平行且鄰接地對(duì)齊。

圖9a所示的第二壁框架350可以具有外部框架側(cè)面353、豎直側(cè)面354、和安裝墊板356的頂表面355。第二壁框架350可以具有第一墊片360，第一墊片360設(shè)置在由墊板356形成的空間中且粘附到由墊板356形成的空間。在第一墊片360設(shè)置在由墊板356形成的空間中且粘附到由墊板356形成的空間之后留下的間隙306可以延伸第一墊片360的水平長(zhǎng)度，如圖9a所示。如圖9a所示，柔順墊片360可以具有豎直長(zhǎng)度361、曲線長(zhǎng)度363、以及與頂表面355在平面內(nèi)形成90°且終止于外部框架構(gòu)件353的長(zhǎng)度365。

如圖9a的分解立體圖所示，壁框架310的內(nèi)部框架構(gòu)件311可以結(jié)合到壁框架350的豎直側(cè)面354以形成氣體封閉框架組件的一個(gè)構(gòu)建接頭。關(guān)于這樣形成的構(gòu)建接頭的密封，在根據(jù)本教導(dǎo)的壁框架構(gòu)件的終端接頭結(jié)合部處的墊片密封的各個(gè)實(shí)施例中，如圖9a所示，墊片320的長(zhǎng)度325、墊片360的長(zhǎng)度365以及墊片340的長(zhǎng)度345均鄰接地且一致地對(duì)齊。此外，如隨后更詳細(xì)所述，本教導(dǎo)的墊板的各個(gè)實(shí)施例可以提供用于氣密密封本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的可壓縮墊片材料的大約20％至大約40％偏轉(zhuǎn)之間的一致壓縮。

圖9b圖示了在所有框架構(gòu)件結(jié)合之后根據(jù)本教導(dǎo)的密封組件300，從而墊片顯示為壓縮狀態(tài)。圖9b是示出了在第一壁框架310、第二壁框架350和頂板框架370（以假想圖示出）之間的頂部終端接頭結(jié)合部處形成的三面接頭的角部密封的細(xì)節(jié)的立體圖。如圖9b所示，由墊板限定的墊片空間可以確定一定寬度，從而在結(jié)合壁框架310、壁框架350和頂板框架370后；如假想圖所示，用于形成豎直、水平和三面墊片密封的可壓縮墊片材料的大約20％至大約40％偏轉(zhuǎn)之間的一致壓縮確保在壁框架構(gòu)件的接頭處密封的所有表面處的墊片密封可以提供氣密密封。此外，墊片間隙302、304和306（未示出）定尺寸為使得在可壓縮墊片材料的大約20％至大約40％偏轉(zhuǎn)之間的最佳壓縮后，每個(gè)墊片可以填充墊片間隙，如圖9b中針對(duì)墊片340和墊片360所示。因而，除了通過(guò)限定每個(gè)墊片設(shè)置和粘附的空間來(lái)提供一致壓縮之外，設(shè)計(jì)成提供間隙的墊板的各個(gè)實(shí)施例還確保每個(gè)壓縮墊片可以順應(yīng)在由墊板限定的空間中，而不會(huì)以將形成泄漏路徑的方式在壓縮狀態(tài)起皺或隆起或以其它方式不規(guī)則地成型。

根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，各種類型的部段面板都可以使用設(shè)置在每個(gè)面板部段框架上的可壓縮墊片材料密封。結(jié)合框架構(gòu)件墊片密封，用于在各個(gè)部段面板和面板部段框架之間形成密封的可壓縮墊片的位置和材料可以提供具有很少或沒(méi)有氣體泄漏的氣密密封氣體封閉組件。此外，用于所有類型的面板（例如，圖5的插入面板110、窗口面板120和可容易拆卸維修窗口130）的密封設(shè)計(jì)可以在這種面板重復(fù)拆卸和安裝（為了接近氣體封閉組件內(nèi)部可能需要，例如為了維護(hù)）之后提供耐用面板密封。

例如，圖10a是示出了維修窗口面板部段30和可容易拆卸維修窗口130的分解圖。如前文所述，維修窗口面板部段30可以制造用于接收可容易拆卸維修窗口130。對(duì)于氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，面板部段，例如可拆卸維修面板部段30，可以具有面板部段框架32以及設(shè)置在面板部段框架32上的可壓縮墊片38。在各個(gè)實(shí)施例中，與在可拆卸維修窗口面板部段30中緊固可容易拆卸維修窗口130有關(guān)的硬件可以使得終端用戶便于安裝和再次安裝，且同時(shí)確保在可容易拆卸維修窗口130根據(jù)需要通過(guò)需要直接接近氣體封閉組件內(nèi)部的終端用戶安裝和再次安裝在面板部段30中時(shí)保持不透氣體的密封?？扇菀撞鹦毒S修窗口130可以包括剛性窗口框架132，其可以由例如但不限于針對(duì)構(gòu)建本教導(dǎo)的任何框架構(gòu)件所述的金屬管材料構(gòu)建。維修窗口130可以使用快速作用緊固硬件，例如但不限于反向作用鉸接夾136，以便使得終端用戶便于拆卸和再次安裝維修窗口130。圖10a中示出了前述圖7a－7b的手套端口硬件組件160，示出了一組3個(gè)卡扣閂鎖166。

如圖10a的可拆卸維修窗口面板部段30的前視圖所示，可容易拆卸維修窗口130可以具有緊固在窗口框架132上的一組四個(gè)鉸接夾136。維修窗口130可以定位在面板部段框架30中限定距離處，用于確保抵靠墊片38的合適壓縮力。使用一組四個(gè)窗口引導(dǎo)墊34，如圖10b所示，其可以安裝在面板部段30的每個(gè)角部中，用于在面板部段30中定位維修窗口130。一組夾板36中的每個(gè)可以設(shè)置成接收可容易拆卸維修窗口136的反向作用鉸接夾136。根據(jù)用于在數(shù)個(gè)安裝和拆卸循環(huán)氣密密封維修窗口130的各個(gè)實(shí)施例，維修窗口框架132的機(jī)械強(qiáng)度與維修窗口130相對(duì)于可壓縮墊片38的限定位置（通過(guò)一組窗口引導(dǎo)墊34提供）結(jié)合可以確保一旦維修窗口130緊固到位，例如但不限于使用緊固在相應(yīng)夾板36中的反向作用鉸接夾136，維修窗口框架132就可以在面板部段框架32上用限定壓縮（由一組窗口引導(dǎo)墊34設(shè)定）提供均勻的力。該組窗口引導(dǎo)墊34定位成使得窗口130在墊片38上的壓縮力在大約20％至大約40％之間偏轉(zhuǎn)可壓縮墊片38。在這方面，維修窗口130的構(gòu)建以及面板部段30的制造提供用于維修窗口130在面板部段30中的不透氣體的密封。如前文所述，窗口夾子35可以在維修窗口130緊固在面板部段30中之后安裝在面板部段30中，且在維修窗口130需要拆卸時(shí)拆卸。

反向作用鉸接夾136可以使用任何合適手段以及手段組合緊固到可容易拆卸維修窗口框架132?？梢允褂玫暮线m緊固手段的示例包括至少一種粘合劑（例如但不限于，環(huán)氧樹(shù)脂或水泥粘結(jié)劑）、至少一個(gè)螺栓、至少一個(gè)螺釘、至少一個(gè)其它緊固件、至少一個(gè)槽、至少一個(gè)軌道、至少一個(gè)焊接部及其組合。反向作用鉸接夾136可以直接連接到可拆卸維修窗口框架132或者通過(guò)適配器板間接地連接。反向作用鉸接夾136、夾板36、窗口引導(dǎo)墊34和窗口夾子35可以由任何合適材料以及材料組合構(gòu)建。例如，一個(gè)或多個(gè)這種元件可以包括至少一種金屬、至少一種陶瓷、至少一種塑料及其組合。

除了密封可容易拆卸維修窗口之外，不透氣體的密封還可以提供用于插入面板和窗口面板?？梢栽诿姘宀慷沃兄貜?fù)地安裝和拆卸的其它類型的部段面板包括例如但不限于圖5所示的插入面板110和窗口面板120。在圖5中可以看出，窗口面板120的面板框架122與插入面板110類似地構(gòu)建。因而，根據(jù)氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，用于接收插入面板和窗口面板的面板部段的制造可以相同。在這方面，插入面板和窗口面板的密封可以使用相同原理實(shí)施。

參考圖11a和11b，且根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，氣體封閉裝置（例如，圖1的氣體封閉組件100）的任何面板可以包括一個(gè)或多個(gè)插入面板部段10，其可以具有配置成接收相應(yīng)插入面板110的框架12。圖11a是指出圖11b所示的放大部分的立體圖。在圖11a中，插入面板110顯示為相對(duì)于插入框架12定位。在圖11b可以看出，插入面板110附連到框架12，其中，框架12可以是例如由金屬構(gòu)建。在一些實(shí)施例中，金屬可以包括鋁、鋼、銅、不銹鋼、鉻、合金及其組合等。多個(gè)盲車螺紋孔14可以在插入面板部段框架12中形成。面板部段框架12構(gòu)建成包括在插入面板110和框架12之間的墊片16，可壓縮墊片18可以設(shè)置在這里。盲車螺紋孔14可以是m5類型。螺釘15可以由盲車螺紋孔14接收，從而在插入面板110和框架12之間壓縮墊片16。一旦抵靠墊片16緊固到位，插入面板110就在插入面板部段10內(nèi)形成不透氣體的密封。如前文所述，這種面板密封可以對(duì)各種部段面板實(shí)施，包括但不限于，圖5所示的插入面板110和窗口面板120。

根據(jù)依照本教導(dǎo)的可壓縮墊片的各個(gè)實(shí)施例，用于框架構(gòu)件密封和面板密封的可壓縮墊片材料可以選自各種可壓縮聚合材料，例如但不限于任何封閉氣室聚合材料類別，本領(lǐng)域也稱為膨脹橡膠材料或膨脹聚合物材料。簡(jiǎn)而言之，封閉氣室聚合物以氣體封閉在分立氣室中的方式制備；其中每個(gè)分立氣室由聚合材料封閉。期望用于框架和面板部件的不透氣體密封的可壓縮封閉氣室聚合墊片材料的屬性包括但不限于，它們對(duì)寬范圍的化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)攻擊是穩(wěn)固的，具有非常好的防潮屏障屬性，在寬溫度范圍內(nèi)是有彈性的，且抵抗永久性壓縮形變?？偟膩?lái)說(shuō)，與開(kāi)口氣室結(jié)構(gòu)聚合材料相比，封閉氣室聚合材料具有較高尺寸穩(wěn)定性、較低水分吸收系數(shù)和較高強(qiáng)度?？梢灾瞥煞忾]氣室聚合材料的各種類型聚合材料包括例如但不限于：硅樹(shù)脂、氯丁二稀橡膠、乙烯-丙烯-二烯三元共聚物（ept）（使用三元乙丙二烯單體（epdm，或三元乙丙橡膠）制成的聚合物和復(fù)合物）、乙烯腈、丁苯橡膠（sbr）及其各種共聚物和共混物。

封閉氣室聚合物的期望材料屬性僅僅在構(gòu)成塊體材料的氣室在使用期間保持完好無(wú)損時(shí)保持。在這方面，以可能超過(guò)封閉氣室聚合物設(shè)定的材料規(guī)格（例如，超過(guò)在指定溫度或壓縮范圍內(nèi)使用的規(guī)格）的方式使用這種材料可引起墊片密封的降級(jí)。在用于密封框架構(gòu)件和框架面板部段中的部段面板的封閉氣室聚合物墊片的各個(gè)實(shí)施例中，這種材料的壓縮應(yīng)當(dāng)不超過(guò)大約50％至大約70％偏轉(zhuǎn)之間，為了最佳性能可以在大約20％至大約40％偏轉(zhuǎn)之間。

除了封閉氣室可壓縮墊片材料之外，具有用于構(gòu)建根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的實(shí)施例的期望屬性的可壓縮墊片材料類別的另一個(gè)示例包括中空擠壓型可壓縮墊片材料類別。中空擠壓型墊片材料作為材料類別具有期望屬性，包括但不限于，它們對(duì)寬范圍的化學(xué)物質(zhì)的化學(xué)攻擊是穩(wěn)固的，具有非常好的防潮屏障屬性，在寬溫度范圍內(nèi)是有彈性的，且抵抗永久性壓縮形變。這種中空擠壓型可壓縮墊片材料可以以寬范圍的各種形狀因數(shù)出現(xiàn)，例如但不限于，u形氣室、d形氣室、方形氣室、矩形氣室以及各種常規(guī)形狀因數(shù)中空擠壓型墊片材料中的任一種。各種中空擠壓型墊片材料可以由用于制造封閉氣室可壓縮墊片材料的聚合材料制成。例如但不限于，中空擠壓型墊片的各個(gè)實(shí)施例可以由硅樹(shù)脂、氯丁二稀橡膠、乙烯-丙烯-二烯三元共聚物（ept）（使用三元乙丙二烯單體（epdm）制成的聚合物和復(fù)合物）、乙烯腈、丁苯橡膠（sbr）及其各種共聚物和共混物制成。這種中空氣室墊片材料的壓縮應(yīng)當(dāng)不超過(guò)大約50％偏轉(zhuǎn)，以便保持期望屬性。

本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以容易地理解，雖然封閉氣室可壓縮墊片材料類別和中空擠壓型可壓縮墊片材料類別作為示例給出，但是具有期望屬性的任何可壓縮墊片材料都可以用于密封本教導(dǎo)提供的結(jié)構(gòu)部件（例如各種壁和頂板框架構(gòu)件）以及密封面板部段框架中的各個(gè)面板。

可以從多個(gè)框架構(gòu)件構(gòu)建氣體封閉組件，例如圖3和圖4的氣體封閉組件100或者如隨后討論的圖23和圖24的氣體封閉組件1000，以便最小化損壞系統(tǒng)部件（例如但不限于，墊片密封、框架構(gòu)件、管道和部段面板）的風(fēng)險(xiǎn)。例如，墊片密封是在從多個(gè)框架構(gòu)件構(gòu)建氣體封閉裝置期間可能易于損壞的部件。根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，材料和方法設(shè)置成最小化或消除在構(gòu)建根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉裝置期間損壞氣體封閉組件的各個(gè)部件的風(fēng)險(xiǎn)。

圖12a是氣體封閉組件（例如圖3的氣體封閉組件100）的構(gòu)建初始階段的立體圖。雖然氣體封閉組件（例如氣體封閉組件100）用于例示本教導(dǎo)的氣體封閉組件的構(gòu)建，但是普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到，這種教導(dǎo)適用于氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例。如圖12a所示，在氣體封閉組件的構(gòu)建初始階段期間，多個(gè)墊塊首先放置在由基部202支撐的盤(pán)204上。墊塊可以比設(shè)置在安裝于盤(pán)204上的各個(gè)壁框架構(gòu)件上的可壓縮墊片材料更厚。一系列墊塊可以放置在盤(pán)204的周邊邊緣上多個(gè)位置，在所述位置，組裝期間氣體封閉組件的各個(gè)壁框架構(gòu)件可以放置在一系列墊塊上且靠近盤(pán)204的位置，而不與盤(pán)204接觸。期望以可以保護(hù)以免設(shè)置在各個(gè)壁框架構(gòu)件上的可壓縮墊片材料（為了與盤(pán)204密封目的）受到任何損害的方式在盤(pán)204組裝各個(gè)壁框架構(gòu)件。因而，使用墊塊（各個(gè)壁面板部件可以在墊塊上放置在盤(pán)204上的初始位置）防止設(shè)置在各個(gè)壁框架構(gòu)件上的可壓縮墊片材料（為了與盤(pán)204形成氣密密封目的）受到任何損害。例如但不限于，如圖12a所示，前部周邊邊緣201可以具有墊93、95和97，前部壁框架構(gòu)件可以坐置在墊93、95和97上；右側(cè)周邊邊緣205可以具有墊89和91，右側(cè)壁框架構(gòu)件可以坐置在墊89和91上；后部周邊邊緣207可以具有兩個(gè)墊，后部壁框架墊可以坐置在其上，其中示出了墊87?？梢允褂脡|塊的任何數(shù)量、類型和組合。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，根據(jù)本教導(dǎo)，墊塊可以定位在盤(pán)204上，盡管在圖12a－圖14b中的每個(gè)都未示出不同的墊塊。

用于從部件框架構(gòu)件組裝氣體封閉裝置的根據(jù)本教導(dǎo)各個(gè)實(shí)施例的示例性墊塊在圖12b中示出，其是圖9a的圈出部分所示的第三墊塊91的立體圖。示例性墊塊91可包括附連到墊塊橫向側(cè)面92的墊塊條（strap）90。墊塊可以由任何合適材料以及材料組合制成。例如，每個(gè)墊塊可以包括超高分子重量的聚乙烯。墊塊條90可以由任何合適材料以及材料組合制成。在一些實(shí)施例中，墊塊條90包括尼龍材料、聚亞烷材料等。墊塊91具有頂表面94和底表面96。墊塊87、89、93、95、97和使用的任何其它墊塊可以以相同或類似物理屬性構(gòu)造，且可以包括相同或類似材料。墊塊可以以允許穩(wěn)定放置到盤(pán)204的周邊上邊緣而便于拆卸的方式坐置、夾持或其其他方式便利地設(shè)置。

在圖13提供的分解立體圖中，框架構(gòu)件可包括可以附連到坐置在基部202上的盤(pán)204上的前部壁框架210、左側(cè)壁框架220、右側(cè)壁框架230、后部壁框架240以及頂板或頂部框架250。oled打印系統(tǒng)50可以安裝在盤(pán)204頂部上。

根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的oled打印系統(tǒng)50可以包括例如：花崗石基部；可以支撐oled打印裝置的可移動(dòng)橋；從加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例延伸的一個(gè)或多個(gè)裝置和設(shè)備，例如，基底懸浮臺(tái)、空氣軸承、軌道、導(dǎo)軌；用于將oled膜形成材料沉積在基底上的噴墨打印機(jī)系統(tǒng)，包括oled墨供應(yīng)子系統(tǒng)和噴墨打印頭；一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人等。給出可以包括oled打印系統(tǒng)50的各個(gè)部件，oled打印系統(tǒng)50的各個(gè)實(shí)施例可以具有各種占地面積和形狀因數(shù)。

oled噴墨打印系統(tǒng)可以包括允許將墨滴可靠設(shè)置在基底上特定位置的多個(gè)裝置和設(shè)備。這些裝置和設(shè)備可包括但不限于，打印頭組件、墨輸送系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、基底裝載和卸載系統(tǒng)、以及打印頭維護(hù)系統(tǒng)。打印頭組件包括至少一個(gè)噴墨頭，帶有能夠?qū)⒛我允芸厮俾省⑺俣群统叽鐕娚涞闹辽僖粋€(gè)孔口。噴墨頭由墨供應(yīng)系統(tǒng)供給，墨供應(yīng)系統(tǒng)將墨提供給噴墨頭。打印需要打印頭組件和基底之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。這借助于運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)完成，通常是龍門(mén)架或分離軸xyz系統(tǒng)。打印頭組件可以在固定基底上移動(dòng)（龍門(mén)架型），或者在分離軸配置的情況下，打印頭和基底兩者都可以移動(dòng)。在另一個(gè)實(shí)施例中，打印站可以固定，且基底可以在x和y軸相對(duì)于打印頭移動(dòng)，而z軸運(yùn)動(dòng)在基底或者打印頭處提供。當(dāng)打印頭相對(duì)于基底移動(dòng)時(shí)，墨滴在正確時(shí)間噴射以沉積在基底上期望位置?；资褂没籽b載和卸載系統(tǒng)插入打印機(jī)和從打印機(jī)移開(kāi)。取決于打印機(jī)配置，這可以用機(jī)械輸送器、基底懸浮臺(tái)或具有末端執(zhí)行器的機(jī)器人完成。打印頭維護(hù)系統(tǒng)可以包括多個(gè)子系統(tǒng)，其允許諸如墨滴容積標(biāo)定、噴墨噴嘴表面的刮擦、啟動(dòng)將墨噴射到廢池的維護(hù)任務(wù)。

根據(jù)組裝氣體封閉裝置的本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，如圖13所示的前部或第一壁框架210、左側(cè)或第二壁框架220、右側(cè)或第三壁框架230、后部或第四壁框架250以及頂板框架250可以在系統(tǒng)順序構(gòu)建在一起，然后附連到安裝在基部202上的盤(pán)204?？蚣軜?gòu)件的各個(gè)實(shí)施例可以使用龍門(mén)起重機(jī)定位在墊塊上以便防止損壞可壓縮墊片材料，如前文所述。例如，使用龍門(mén)起重機(jī)，前部壁框架210可以坐置在至少三個(gè)墊塊上，例如圖12a所示的盤(pán)204的周邊上邊緣201上的墊93、95和97。在前部壁框架210放置在墊塊上后，壁框架220和壁框架230可以接連或者以任何順序依次放置在分別已經(jīng)設(shè)置在盤(pán)204的周邊邊緣203和周邊邊緣205上的墊塊上。根據(jù)從部件框架構(gòu)件組裝氣體封閉裝置的本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，前部壁框架210可以放置在墊塊上，隨后將左側(cè)壁框架220和右側(cè)壁框架230放置在墊塊上，使得它們到位以被螺栓連接或以其他方式緊固到前部壁框架210。在各個(gè)實(shí)施例中，后部壁框架240可以放置在墊塊上，使得它們到位以被螺栓連接或以其他方式緊固到左側(cè)壁框架220和右側(cè)壁框架230。對(duì)于各個(gè)實(shí)施例，一旦壁框架構(gòu)件緊固在一起以形成鄰接壁框架封閉組件，頂部頂板框架250就可以固定到這種壁框架封閉組件以形成完整氣體封閉框架組件。在用于構(gòu)建氣體封閉組件的本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例中，在該組裝階段，完整氣體封閉框架組件坐置在所述多個(gè)墊塊上以便保護(hù)各個(gè)框架構(gòu)件墊片的整體性。

如圖14a所示，對(duì)于用于構(gòu)建氣體封閉組件的本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，氣體封閉框架組件400然后可以定位成使得墊可以移開(kāi)以準(zhǔn)備將氣體封閉框架組件400附連到盤(pán)204。圖14a示出了氣體封閉框架組件400使用提升器組件402、提升器組件404和提升器組件406升高至從墊塊提升且離開(kāi)墊塊的位置。在本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例中，提升器組件402、404和406可以在氣體封閉框架組件400的周邊周圍附連。在提升器組件附連之后，完全構(gòu)建的氣體封閉框架組件可以通過(guò)致動(dòng)每個(gè)提升器組件以升高或伸出每個(gè)提升器組件而提離墊塊，從而升高氣體封閉框架組件400。如圖14a所示，氣體封閉框架組件400顯示為被提升到先前坐置在其上的多個(gè)墊塊上方。所述多個(gè)墊塊然后可以從盤(pán)204上的坐置位置移開(kāi)，從而框架然后可以降低到盤(pán)204上且然后附連到盤(pán)204。

圖14b是根據(jù)本教導(dǎo)的提升器組件的各個(gè)實(shí)施例的相同提升器組件402的分解圖，如圖11a所示。如圖所示，提升器組件402包括防磨襯墊408、安裝板410、第一夾子支座412和第二夾子支座413。第一夾子414和第二夾子415顯示為與相應(yīng)夾子支座412和413成直線。千斤頂曲軸416附連到千斤頂軸418的頂部。拖車千斤頂520（trailerjack）顯示為垂直于千斤頂軸418且附連到千斤頂軸418。千斤頂基部422顯示為千斤頂軸418的下端部的一部分。在千斤頂基部422下方是足部支座424，其配置成接收千斤頂軸418的下端部且可連接到其上。校平足部（levelingfoot）426也被示出且配置成由足部支座424接收。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以容易認(rèn)識(shí)到，適合于提升操作的任何手段都可以用于從墊塊升高氣體封閉框架組件，從而墊塊可以被移開(kāi)且完好無(wú)損的氣體封閉組件可以降低到盤(pán)上。例如，取代上述一個(gè)或多個(gè)提升器組件，例如402、404和406，可以使用液壓、氣動(dòng)或電動(dòng)提升器。

根據(jù)用于構(gòu)建氣體封閉組件的本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，多個(gè)緊固件可以提供且配置成將所述多個(gè)框架構(gòu)件緊固在一起，且然后將氣體封閉框架組件緊固到盤(pán)。所述多個(gè)緊固件可以包括沿每個(gè)框架構(gòu)件的每個(gè)邊緣設(shè)置在相應(yīng)框架構(gòu)件配置成與多個(gè)框架構(gòu)件中的相鄰框架構(gòu)件交叉的位置處的一個(gè)或多個(gè)緊固件部分。所述多個(gè)緊固件和可壓縮墊片可以配置成使得在框架構(gòu)件結(jié)合在一起時(shí)可壓縮墊片設(shè)置靠近內(nèi)部且硬件靠近外部，從而硬件不會(huì)提供本教導(dǎo)的不透氣體封閉組件的多個(gè)泄漏路徑。

所述多個(gè)緊固件可包括沿一個(gè)或多個(gè)框架構(gòu)件的邊緣的多個(gè)螺栓、以及沿多個(gè)框架構(gòu)件中的一個(gè)或多個(gè)不同框架構(gòu)件的邊緣的多個(gè)螺紋孔。所述多個(gè)緊固件可包括多個(gè)螺帽固定螺栓（capturedbolt）。所述螺栓可包括延伸離開(kāi)相應(yīng)面板的外表面的螺栓頭部。螺栓可以沉入框架構(gòu)件中的凹部中。夾子、螺釘、鉚釘、粘合劑和其它緊固件可以用于將框架構(gòu)件緊固在一起。螺栓或其它緊固件可以延伸通過(guò)一個(gè)或多個(gè)框架構(gòu)件的外壁且進(jìn)入一個(gè)或多個(gè)相鄰框架構(gòu)件的側(cè)壁或頂壁中的螺紋孔或其它互補(bǔ)緊固件特征中。

如圖15－17所示，對(duì)于構(gòu)建氣體封閉裝置的方法的各個(gè)實(shí)施例，管道系統(tǒng)可以安裝在由壁框架和頂板框架構(gòu)件結(jié)合形成的內(nèi)部部分中。對(duì)于氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，管道系統(tǒng)可以在構(gòu)建過(guò)程期間安裝。根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，管道系統(tǒng)可以安裝在由多個(gè)框架構(gòu)件構(gòu)建的氣體封閉框架組件中。在各個(gè)實(shí)施例中，管道系統(tǒng)可以在多個(gè)框架構(gòu)件結(jié)合以形成氣體封閉框架組件之前安裝在多個(gè)框架構(gòu)件上。氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的管道系統(tǒng)可以配置成使得從一個(gè)或多個(gè)管道系統(tǒng)入口抽吸到管道系統(tǒng)中的基本上所有氣體都移動(dòng)通過(guò)氣體過(guò)濾回路的各個(gè)實(shí)施例，用于去除氣體封閉組件內(nèi)的顆粒物質(zhì)。此外，氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的管道系統(tǒng)可以配置成將氣體封閉組件外部的氣體凈化回路的入口和出口從氣體過(guò)濾回路分開(kāi)，氣體過(guò)濾回路用于去除氣體封閉組件內(nèi)的顆粒物質(zhì)。根據(jù)本教導(dǎo)的管道系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以由金屬片制成，例如但不限于具有大約80mil厚度的鋁片。

圖15示出了氣體封閉組件100的管道系統(tǒng)組件500的右前假想立體圖。封閉管道系統(tǒng)組件500可以具有前部壁面板管道系統(tǒng)組件510。如圖所示，前部壁面板管道系統(tǒng)組件510可以具有前部壁面板入口管道512、第一前部壁面板立管514和第二前部壁面板立管516，其兩者都與前部壁面板入口管道512流體連通。第一前部壁面板立管514顯示為具有出口515，出口515與風(fēng)扇過(guò)濾器單元蓋103的頂板管道505可密封地接合。以類似方式，第二前部壁面板立管516顯示為具有出口517，出口517與風(fēng)扇過(guò)濾器單元蓋103的頂板管道507可密封地接合。在這方面，前部壁面板管道系統(tǒng)組件510提供用于將氣體封閉組件內(nèi)的惰性氣體從底部循環(huán)，使用前部壁面板入口管道512，通過(guò)每個(gè)前部壁面板立管514和516，且分別將空氣輸送通過(guò)出口505和507，從而空氣可以通過(guò)例如風(fēng)扇過(guò)濾器單元752過(guò)濾。如隨后更詳細(xì)所述，風(fēng)扇過(guò)濾器單元的數(shù)量、尺寸和形狀可以根據(jù)在過(guò)程期間打印系統(tǒng)中的基底的物理位置來(lái)選擇。熱交換器742靠近風(fēng)扇過(guò)濾器單元752，作為熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一部分，可以將循環(huán)通過(guò)氣體封閉組件100的惰性氣體保持在期望溫度。

右側(cè)壁面板管道系統(tǒng)組件530可以具有右側(cè)壁面板入口管道532，其通過(guò)右側(cè)壁面板第一立管534和右側(cè)壁面板第二立管536與右側(cè)壁面板上部管道538流體連通。右側(cè)壁面板上部管道538可以具有第一管道入口端部535和第二管道出口端部537，第二管道出口端部537與后部壁管道系統(tǒng)組件540的后部壁面板上部管道536流體連通。左側(cè)壁面板管道系統(tǒng)組件520可以具有與針對(duì)右側(cè)壁面板組件530所述相同的部件，其中，在圖15可看到通過(guò)第一左側(cè)壁面板立管524與左側(cè)壁面板上部管道（未示出）流體連通的左側(cè)壁面板入口管道522和第一左側(cè)壁面板立管524。后部壁面板管道系統(tǒng)組件540可以具有后部壁面板入口管道542，后部壁面板入口管道542與左側(cè)壁面板組件520和右側(cè)壁面板組件530流體連通。此外，后部壁面板管道系統(tǒng)組件540可以具有后部壁面板底部管道544，后部壁面板底部管道544可具有后部壁面板第一入口541和后部壁面板第二入口543。后部壁面板底部管道544可以經(jīng)由第一艙壁547和第二艙壁549與后部壁面板上部管道536流體連通，所述艙壁結(jié)構(gòu)可以用于將例如但不限于纜線、線和管線等的各種束從氣體封閉組件100的外部饋送給內(nèi)部。管道開(kāi)口533設(shè)置用于將纜線、線和管線等的束移出后部壁面板上部管道536，其可以經(jīng)由艙壁549穿過(guò)上部管道536。艙壁547和艙壁549可以在外部上使用可拆卸插入面板氣密密封，如前文所述。后部壁面板上部管道通過(guò)通風(fēng)口545（圖15中示出了其一個(gè)角部）與例如但不限于風(fēng)扇過(guò)濾器單元754流體連通。在這方面，左側(cè)壁面板管道系統(tǒng)組件520、右側(cè)壁面板管道系統(tǒng)組件530和后部壁面板管道系統(tǒng)組件540提供用于將氣體封閉組件內(nèi)的惰性氣體從底部循環(huán)，分別使用壁面板入口管道522、532和542以及后部面板下部管道544，其通過(guò)前述的各個(gè)立管、管道、艙壁通道等與通風(fēng)口545流體連通，從而空氣可以通過(guò)例如風(fēng)扇過(guò)濾器單元755過(guò)濾。熱交換器745靠近風(fēng)扇過(guò)濾器單元755，作為熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一部分，可以將循環(huán)通過(guò)氣體封閉組件100的惰性氣體保持在期望溫度。

在圖15中，示出了通過(guò)開(kāi)口533的纜線饋送。如隨后更詳細(xì)所述，本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例提供用于使得纜線、線和管線等的束通過(guò)管道系統(tǒng)。為了消除在這種束周圍形成的泄漏路徑，可以使用用于使用順應(yīng)材料密封束中的不同尺寸纜線、線和管線的各個(gè)方法。圖15中還示出了用于封閉管道系統(tǒng)組件500的管i和管ii，其顯示為風(fēng)扇過(guò)濾器單元蓋103的一部分。管i提供至外部氣體凈化系統(tǒng)的惰性氣體出口，而管ii提供至氣體封閉組件100內(nèi)部的過(guò)濾和循環(huán)回路的凈化惰性氣體返回。

圖16中示出了封閉管道系統(tǒng)組件500的假想俯視立體圖?？梢钥闯鲎髠?cè)壁面板管道系統(tǒng)組件520和右側(cè)壁面板管道系統(tǒng)組件530的對(duì)稱性質(zhì)。對(duì)于右側(cè)壁面板管道系統(tǒng)組件530，右側(cè)壁面板入口管道532通過(guò)右側(cè)壁面板第一立管534和右側(cè)壁面板第二立管536與右側(cè)壁面板上部管道538流體連通。右側(cè)壁面板上部管道538可以具有第一管道入口端部535和第二管道出口端部537，第二管道出口端部537與后部壁管道系統(tǒng)組件540的后部壁面板上部管道536流體連通。類似地，左側(cè)壁面板管道系統(tǒng)組件520可以具有左側(cè)壁面板入口管道522，左側(cè)壁面板入口管道522通過(guò)左側(cè)壁面板第一立管524和左側(cè)壁面板第二立管526與左側(cè)壁面板上部管道528流體連通。左側(cè)壁面板上部管道528可以具有第一管道入口端部525和第二管道出口端部527，第二管道出口端部527與后部壁管道系統(tǒng)組件540的后部壁面板上部管道536流體連通。此外，后部壁面板管道系統(tǒng)組件可以具有后部壁面板入口管道542，后部壁面板入口管道542與左側(cè)壁面板組件520和右側(cè)壁面板組件530流體連通。此外，后部壁面板管道系統(tǒng)組件540可以具有后部壁面板底部管道544，后部壁面板底部管道544可具有后部壁面板第一入口541和后部壁面板第二入口543。后部壁面板底部管道544可以經(jīng)由第一艙壁547和第二艙壁549與后部壁面板上部管道536流體連通。圖15和圖16所示的管道系統(tǒng)組件500可以提供惰性氣體從前部壁面板管道系統(tǒng)組件510的有效循環(huán)（其將惰性氣體從前部壁面板入口管道512分別經(jīng)由前部壁面板出口515和517循環(huán)到頂板面板管道505和507）以及從左側(cè)壁面板組件520、右側(cè)壁面板組件530和后部壁面板管道系統(tǒng)組件540的有效循環(huán)（將空氣分別從入口管道522、532和542循環(huán)到通風(fēng)口545）。一旦惰性氣體經(jīng)由頂板面板管道505和507和通風(fēng)口545排出到封閉裝置100的風(fēng)扇過(guò)濾器單元蓋103下的封閉區(qū)域，這樣排出的惰性氣體可以通過(guò)風(fēng)扇過(guò)濾器單元752和754過(guò)濾。此外，循環(huán)的惰性氣體可以通過(guò)熱交換器742和744（是熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)的一部分）保持在期望溫度。

圖17是封閉管道系統(tǒng)組件500的假想仰視圖。入口管道系統(tǒng)組件502包括彼此流體連通的前部壁面板入口管道512、左側(cè)壁面板入口管道522、右側(cè)壁面板入口管道532以及后部壁面板入口管道542。對(duì)于入口管道系統(tǒng)組件502中包括的每個(gè)入口管道，存在沿每個(gè)管道底部均勻分布的清楚開(kāi)口，多組開(kāi)口被特別強(qiáng)調(diào)，以用于本教導(dǎo)的目的，如前部壁面板入口管道512的開(kāi)口511、左側(cè)壁面板入口管道522的開(kāi)口521、右側(cè)壁面板入口管道532的開(kāi)口531以及右側(cè)壁面板入口管道542的開(kāi)口541。在每個(gè)入口管道的底部可以看到，這種開(kāi)口提供用于惰性氣體在封閉裝置100內(nèi)有效攝取，以用于連續(xù)循環(huán)和過(guò)濾。氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的惰性氣體的連續(xù)循環(huán)和過(guò)濾提供用于保持氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例內(nèi)的基本上沒(méi)有顆粒的環(huán)境。氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例對(duì)于顆粒物質(zhì)可以保持在iso14644的4級(jí)。氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例對(duì)于顆粒污染特別敏感的過(guò)程可以保持在iso14644的3級(jí)規(guī)格。如前文所述，管i提供至外部氣體凈化系統(tǒng)的惰性氣體出口，而管ii提供至氣體封閉組件100內(nèi)部的過(guò)濾和循環(huán)回路的凈化惰性氣體返回。

在根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例中，纜線、線和管線等的束可以饋送通過(guò)管道，以便吹掃截留在纜線、線和管線等的束的死區(qū)中的反應(yīng)性環(huán)境氣體，例如水蒸汽和氧氣。根據(jù)本教導(dǎo)，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)在纜線、線和管線的束內(nèi)形成的死區(qū)形成所截留反應(yīng)性物質(zhì)的貯存器，其可以顯著地延長(zhǎng)使得氣體封閉組件符合執(zhí)行空氣敏感過(guò)程的規(guī)格所需的時(shí)間。對(duì)于用于打印oled裝置的本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，各種反應(yīng)性物質(zhì)（包括各種反應(yīng)性環(huán)境氣體，例如水蒸汽和氧氣，以及有機(jī)溶劑蒸汽）中的每種物質(zhì)都可以保持在例如100ppm或更低、10ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。

為了理解通過(guò)管道的纜線饋送可以如何導(dǎo)致減少?gòu)氖|線、線和管線等的死容積吹掃截留反應(yīng)性環(huán)境氣體所需的時(shí)間，參考圖18a－19。圖18a示出了束i的放大圖，束i可以是可包括管線（例如，用于將各種墨、溶劑等輸送給打印系統(tǒng)（如圖13的打印系統(tǒng)50）的管線a）的束。圖18a的束i還可以包括電線（例如電線b）和纜線（例如同軸電纜c）。這種管線、線和纜線可以束捆在一起且從外部布線到內(nèi)部以連接到各種裝置和設(shè)備（包括oled打印系統(tǒng)）。在圖18a的陰影區(qū)域可以看出，這種束可以形成大量的死區(qū)d。在圖18b的示意性立體圖中，當(dāng)纜線、線和管線束i饋送通過(guò)管道ii時(shí)，惰性氣體iii可以連續(xù)地掃過(guò)所述束。圖19的放大截面圖示出了連續(xù)掃過(guò)束捆管線、線和纜線的惰性氣體可以如何有效地增加從這種束中形成的死容積去除所截留反應(yīng)性物質(zhì)的速率。反應(yīng)性物質(zhì)a離開(kāi)死容積（在圖19中通過(guò)由物質(zhì)a占據(jù)的總區(qū)域表示）的擴(kuò)散速率與死容積外（在圖19中通過(guò)由惰性氣體物質(zhì)b占據(jù)的總區(qū)域表示）的反應(yīng)性物質(zhì)濃度成反比。即，如果在剛好在死容積外的容積中反應(yīng)性物質(zhì)的濃度高，那么擴(kuò)散速率減少。如果這種區(qū)域中的反應(yīng)性物質(zhì)濃度從剛好在死容積空間外的容積連續(xù)降低（通過(guò)惰性氣體的流動(dòng)流，于是通過(guò)質(zhì)量作用），那么反應(yīng)性物質(zhì)從死容積擴(kuò)散的速率增加。此外，通過(guò)相同原理，惰性氣體可以擴(kuò)散到死容積中，因?yàn)樗亓舴磻?yīng)性物質(zhì)有效地從這些空間去除。

圖20a是氣體封閉組件600的各個(gè)實(shí)施例的后角部的立體圖，假想圖穿過(guò)返回管道605進(jìn)入氣體封閉組件600的內(nèi)部。對(duì)于氣體封閉組件600的各個(gè)實(shí)施例，后部壁面板640可以具有插入面板610，插入面板610配置成提供至例如電氣艙壁的通路。纜線、線和管線等的束可以饋送通過(guò)艙壁進(jìn)入纜線布線管道，例如在右側(cè)壁面板630中所示的管道632，為此，可拆卸插入面板已經(jīng)拆卸以暴露布線到第一纜線、線和管線束管道進(jìn)口636中的束。從這里，所述束可以饋送到氣體封閉組件600的內(nèi)部，且在假想圖中通過(guò)氣體封閉組件600的內(nèi)部中的返回管道605示出。用于纜線、線和管線束布線的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以具有多于一個(gè)纜線、線和管線束進(jìn)口，如圖20a所示，其示出了第一束管道進(jìn)口634和用于另一束的第二束管道進(jìn)口636。圖20b示出了用于纜線、線和管線束的束管道進(jìn)口634的放大圖。束管道進(jìn)口634可以具有設(shè)計(jì)成與滑動(dòng)蓋633形成密封的開(kāi)口631。在各個(gè)實(shí)施例中，開(kāi)口631可以容納柔性密封模塊，例如由用于纜線進(jìn)口密封的roxteccompany提供的，其可以容納束中的各種直徑的纜線、線和管線等?？蛇x地，滑動(dòng)蓋633的頂部635和開(kāi)口631的上部部分637可以具有設(shè)置在每個(gè)表面上的順應(yīng)材料，從而順應(yīng)材料可以在饋送通過(guò)進(jìn)口（如，束管道進(jìn)口634）的束中的各種尺寸直徑的纜線、線和管線等周圍形成密封。

圖21是本教導(dǎo)的頂板面板的各個(gè)實(shí)施例的仰視圖，例如圖3的氣體封閉組件和系統(tǒng)100的頂板面板250’。根據(jù)組裝氣體封閉裝置的本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，照明裝置可以安裝在頂板面板（例如圖3的氣體封閉組件和系統(tǒng)100的頂板面板250’）的內(nèi)部頂表面上。如圖21所示，具有內(nèi)部部分251的頂板框架250可以將照明裝置安裝在各個(gè)框架構(gòu)件的內(nèi)部部分上。例如，頂板框架250可具有兩個(gè)頂板框架部段40，頂板框架部段40通常具有兩個(gè)頂板框架梁42和44。每個(gè)頂板框架部段40可以具有朝向頂板框架250內(nèi)部定位的第一側(cè)41和朝向頂板框架250外部定位的第二側(cè)43。對(duì)于為氣體封閉裝置提供照明的根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，可以安裝照明元件46對(duì)。每對(duì)照明元件46可以包括靠近第一側(cè)41的第一照明元件45和靠近頂板框架部段40的第二側(cè)43的第二照明元件47。圖21所示的照明元件的數(shù)量、定位和分組是示例性的。照明元件的數(shù)量和分組可以以任何期望或合適方式變化。在各個(gè)實(shí)施例中，照明元件可以平直地安裝，而在其它實(shí)施例中，可以安裝成使得它們可以移動(dòng)到各個(gè)位置和角度。照明元件的設(shè)置并不限于頂部面板頂板433，但是除此之外或者取而代之可以位于圖3所示的氣體封閉組件和系統(tǒng)100的任何其它內(nèi)表面、外表面和表面組合上。

各種照明元件可以包括任何數(shù)量、類型的燈或組合，例如鹵光燈、白燈、白熾光、弧光燈、或發(fā)光二極管或裝置（led）。例如，每個(gè)照明元件可以包括1個(gè)led至大約100個(gè)led，大約10個(gè)led至大約50個(gè)led，或者大于100個(gè)led。led或其它照明裝置可以發(fā)出色譜中、色譜外或其組合的任何顏色或顏色組合。根據(jù)用于噴墨打印oled材料的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，因?yàn)橐恍┎牧蠈?duì)一些波長(zhǎng)的光敏感，因而安裝在氣體封閉組件中的照明裝置的光波長(zhǎng)可以被特定地選擇，以避免過(guò)程期間材料降級(jí)。例如，可以使用4x冷白色led，也可以使用4x黃色led或其任何組合。4x冷白色led的示例是可從ideccorporationofsunnyvale,california獲得的lf1b-d4s-2thww4。可以使用的4x黃色led的示例是也可以從ideccorporation獲得的lf1b-d4s-2shy6。led或其它照明元件可以從頂板框架250的內(nèi)部部分251上或者氣體封閉組件的另一表面上的任何位置定位或懸置。照明元件并不限于led?？梢允褂萌魏魏线m照明元件或照明元件的組合。圖22是idecled光譜的曲線圖，且示出了在峰值強(qiáng)度為100％時(shí)與強(qiáng)度相對(duì)應(yīng)的x軸和與波長(zhǎng)（單位：納米）相對(duì)應(yīng)的y軸。示出了lf1b黃色類型、黃色熒光燈、lf1b白色類型led、lf1b冷白色類型led和lf1b紅色類型led的頻譜。根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例，可以使用其它光譜和光譜組合。

回憶一下，氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以以最小化氣體封閉組件的內(nèi)部容積且同時(shí)優(yōu)化工作空間以容納各種oled打印系統(tǒng)的各種占地面積的方式構(gòu)建。如此構(gòu)建的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例還在過(guò)程期間易于從外部接近氣體封閉組件的內(nèi)部且易于接近內(nèi)部以便維護(hù)，同時(shí)最小化停機(jī)時(shí)間。在這方面，根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以關(guān)于各種oled打印系統(tǒng)的各種占地面積定輪廓。

普通技術(shù)人員可以理解，用于框架構(gòu)件構(gòu)建、面板構(gòu)建、框架和面板密封以及氣體封閉組件（例如，圖3的氣體封閉組件100）的構(gòu)建的本教導(dǎo)可以應(yīng)用于具有各種尺寸和設(shè)計(jì)的氣體封閉組件。例如但不限于，涵蓋基底尺寸gen3.5至gen10的本教導(dǎo)的定輪廓?dú)怏w封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以具有在大約6m³至大約95m³之間的內(nèi)部容積，且可以針對(duì)未定輪廓且具有相當(dāng)毛尺寸的封閉裝置節(jié)省容積在大約30％至大約70％之間。氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以使得各個(gè)框架構(gòu)件構(gòu)建成提供用于氣體封閉組件的輪廓，以便容納oled打印系統(tǒng)用于其功能且同時(shí)優(yōu)化工作空間以最小化惰性氣體體積，且還允許在過(guò)程期間便于從外部接近oled打印系統(tǒng)。在這方面，本教導(dǎo)的各個(gè)氣體封閉組件可以在輪廓布局和容積方面變化。

圖23提供根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的示例。氣體封閉組件1000可包括前部框架組件1100、中間框架組件1200和后部框架組件1300。前部框架組件1100可包括前部框架基部1120、前部壁框架1140和前部頂板框架1160，前部壁框架1140具有用于接收基底的開(kāi)口1142。中間框架組件1200可包括中間框架基部1220、右端壁框架1240、中間壁框架1260和左端壁框架1280。后部框架組件1300可包括后部框架基部1320、后部壁框架1340和后部頂板框架1360。陰影所示的區(qū)域示出了氣體封閉組件1000的可用工作容積，其是可用于容納oled打印系統(tǒng)的容積。氣體封閉組件1000的各個(gè)實(shí)施例定輪廓為最小化操作空氣敏感過(guò)程（例如，oled打印過(guò)程）所需的再循環(huán)惰性氣體的體積，且同時(shí)允許便于接近oled打印系統(tǒng)（在操作期間遠(yuǎn)程地或者直接通過(guò)可容易拆卸面板容易地接近）。對(duì)于涵蓋基底尺寸gen3.5至gen10的本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，根據(jù)本教導(dǎo)的定輪廓?dú)怏w封閉組件的各個(gè)實(shí)施例可以具有在大約6m³至大約95m³之間的氣體封閉容積，例如但不限于在大約15m³至大約30m³之間，對(duì)于例如gen5.5至gen8.5基底尺寸的oled打印來(lái)說(shuō)這可能是有用的。

氣體封閉組件1000可以具有在本教導(dǎo)中針對(duì)示例性氣體封閉組件100所記載的所有特征。例如但不限于，氣體封閉組件1000可以使用根據(jù)本教導(dǎo)的密封，以提供經(jīng)過(guò)數(shù)個(gè)構(gòu)建和解構(gòu)循環(huán)的氣密密封封閉裝置。基于氣體封閉組件1000的氣體封閉系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以具有氣體凈化系統(tǒng)，其可以將各種反應(yīng)性物質(zhì)（包括各種反應(yīng)性環(huán)境氣體，例如水蒸汽和氧氣，以及有機(jī)溶劑蒸汽）的每種物質(zhì)的水平保持在例如100ppm或更低、10ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。

此外，基于氣體封閉組件1000的氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以具有循環(huán)和過(guò)濾系統(tǒng)，其可以提供滿足iso14644的3級(jí)和4級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的無(wú)顆粒環(huán)境。此外，如隨后更詳細(xì)所示，基于本教導(dǎo)的氣體封閉組件（例如，氣體封閉組件100和氣體封閉組件1000）的氣體封閉組件系統(tǒng)可以具有加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，其可以用于操作例如但不限于以下中的一種或多種：氣動(dòng)機(jī)器人、基底懸浮臺(tái)、空氣軸承、空氣襯套、壓縮氣體工具、氣動(dòng)致動(dòng)器、及其組合。對(duì)于本教導(dǎo)的氣體封閉裝置和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，使用各種氣動(dòng)操作的裝置和設(shè)備可以提供低顆粒生成性能以及低維護(hù)成本。

圖24是根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件1000的分解圖，圖示了可以被構(gòu)建以提供氣密密封氣體封閉裝置的各個(gè)框架構(gòu)件。如前文針對(duì)圖3和圖13的氣體封閉裝置100的各個(gè)實(shí)施例所述，oled噴墨打印系統(tǒng)50可以包括允許將墨滴可靠設(shè)置在基底（例如基底60）上特定位置的多個(gè)裝置和設(shè)備，在基底懸浮臺(tái)54附近示出。給出可以包括oled打印系統(tǒng)50的各個(gè)部件，oled打印系統(tǒng)50的各個(gè)實(shí)施例可以具有各種占地面積和形狀因數(shù)。根據(jù)oled噴墨打印系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，各種基底材料可以用于基底60，例如但不限于各種玻璃基底材料以及各種聚合物基底材料。

根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，如前文針對(duì)氣體封閉裝置100所述，氣體封閉組件的構(gòu)建可以在整個(gè)oled打印系統(tǒng)周圍進(jìn)行，以最小化氣體封閉組件的容積以及便于接近內(nèi)部。在圖24中，定輪廓的示例可以考慮oled打印系統(tǒng)50給出。

如圖24所示，在oled打印系統(tǒng)50上可以存在六個(gè)隔離器，可以看到其中兩個(gè)：第一隔離器51和第二隔離器53，其支撐oled打印系統(tǒng)50的基底懸浮臺(tái)54。除了均與可見(jiàn)第一隔離器51和第二隔離器53相對(duì)的兩個(gè)附加隔離器之外，存在支撐oled打印系統(tǒng)基部52的兩個(gè)隔離器。前部封閉基部1120可以具有支撐第一前部封閉隔離器壁框架1123的第一前部封閉隔離器支座1121。第二前部封閉隔離器壁框架1127由第二前部封閉隔離器支座（未示出）支撐。類似地，中間封閉基部1220可以具有支撐第一中間封閉隔離器壁框架1223的第一中間封閉隔離器支座1221。第二中間封閉隔離器壁框架1227由第二中間封閉隔離器支座（未示出）支撐。最后，后部封閉基部1320可以具有支撐后部中間封閉隔離器壁框架1323的第一后部封閉隔離器支座1321。第二后部封閉隔離器壁框架1327由第二后部封閉隔離器支座（未示出）支撐。隔離器壁框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例可以在每個(gè)隔離器周圍定輪廓，從而最小化每個(gè)隔離器支撐構(gòu)件周圍的容積。此外，針對(duì)基部1120、1220和1320的每個(gè)隔離器壁框架示出的陰影面板部段是可以拆卸的可拆卸面板，例如以便維修隔離器。前部封閉組件基部1120可以具有盤(pán)1122，同時(shí)中間封閉組件基部1220可以具有盤(pán)1222，且后部封閉組件基部1320可以具有盤(pán)1322。當(dāng)基部完全構(gòu)建以形成鄰接基部時(shí)，oled打印系統(tǒng)可以安裝在由此形成的鄰接盤(pán)上，以類似于將oled打印系統(tǒng)50安裝在圖13的盤(pán)204上的方式。如前文所述，壁和頂板框架構(gòu)件，例如前部框架組件1100的壁框架1140、頂板框架1160；中間框架組件1200的壁框架1240、1260和1280；以及后部框架組件1300的壁框架1340、頂板框架1360，然后可以在oled打印系統(tǒng)50周圍結(jié)合在一起。因而，本教導(dǎo)的氣密密封定輪廓壁框架構(gòu)件的各個(gè)實(shí)施例有效地減少氣體封閉組件100中的惰性氣體體積，而同時(shí)便于接近oled打印系統(tǒng)的各個(gè)裝置和設(shè)備。

根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)可以具有在氣體封閉組件內(nèi)部的氣體循環(huán)和過(guò)濾系統(tǒng)。這種內(nèi)部過(guò)濾系統(tǒng)可以具有在內(nèi)部中的多個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元，且可以配置成在內(nèi)部中提供氣體層流。層流可以是從內(nèi)部的頂部到內(nèi)部的底部的方向或者是任何其它方向。雖然通過(guò)循環(huán)系統(tǒng)產(chǎn)生的氣體流不需要是層流，但是氣體層流可以用于確保內(nèi)部中的氣體的徹底和完全周轉(zhuǎn)。氣體層流還可以用于最小化紊流，這種紊流是不希望的，因?yàn)槠淇梢允沟铆h(huán)境中的顆粒收集在這種紊流區(qū)域，從而防止過(guò)濾系統(tǒng)從環(huán)境去除那些顆粒。此外，為了在內(nèi)部中保持期望溫度，可以提供使用多個(gè)熱交換器的熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)，例如借助于風(fēng)扇或另一個(gè)氣體循環(huán)裝置操作，靠近風(fēng)扇或另一個(gè)氣體循環(huán)裝置，或者與風(fēng)扇或另一個(gè)氣體循環(huán)裝置結(jié)合使用。氣體凈化回路可以配置成通過(guò)在封閉裝置外部的至少一個(gè)氣體凈化部件從氣體封閉組件內(nèi)部循環(huán)氣體。在這方面，氣體封閉組件內(nèi)部的過(guò)濾和循環(huán)系統(tǒng)與氣體封閉組件外部的氣體凈化回路結(jié)合可以提供貫穿氣體封閉組件內(nèi)的顯著低顆粒惰性氣體的連續(xù)循環(huán)，其具有顯著低水平的反應(yīng)性物質(zhì)。氣體凈化系統(tǒng)可以配置成保持非常低水平的不希望成分，例如有機(jī)溶劑及其蒸汽以及水、水蒸汽、氧氣等。

圖25是示出了氣體封閉組件和系統(tǒng)2100的示意圖。氣體封閉組件和系統(tǒng)2100的各個(gè)實(shí)施例可以包括根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件1500、與氣體封閉組件1500流體連通的氣體凈化回路2130、以及至少一個(gè)熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140。此外，氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以具有加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)2169，其可以供應(yīng)惰性氣體以操作各個(gè)裝置，例如oled打印系統(tǒng)的基底懸浮臺(tái)。加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)2169的各個(gè)實(shí)施例可以使用壓縮機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)和兩者組合，作為惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)2169的各個(gè)實(shí)施例的源，如隨后更詳細(xì)所述。此外，氣體封閉組件和系統(tǒng)2100可以具有在氣體封閉組件和系統(tǒng)2100內(nèi)部的過(guò)濾和循環(huán)系統(tǒng)（未示出）。

如圖25所示，對(duì)于根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，管道的設(shè)計(jì)可以將循環(huán)通過(guò)氣體凈化回路2130的惰性氣體從在氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例內(nèi)部連續(xù)過(guò)濾和循環(huán)的惰性氣體分開(kāi)。氣體凈化回路2130包括出口線路2131，其從氣體封閉組件1500到溶劑去除部件2132且然后到氣體凈化系統(tǒng)2134。被凈化溶劑和其它反應(yīng)性氣體物質(zhì)（例如氧氣和水蒸汽）的惰性氣體然后通過(guò)入口線路2133返回氣體封閉組件1500。氣體凈化回路2130還可以包括合適管和連接，以及傳感器，例如氧氣、水蒸汽和溶劑蒸汽傳感器。氣體循環(huán)單元，例如風(fēng)扇、鼓風(fēng)機(jī)或馬達(dá)等，可以獨(dú)立設(shè)置或整體形成在例如氣體凈化系統(tǒng)2134中，以將氣體循環(huán)通過(guò)氣體凈化回路2130。根據(jù)氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，雖然溶劑去除系統(tǒng)2132和氣體凈化系統(tǒng)2134在圖25所示的示意圖中顯示為獨(dú)立單元，但是溶劑去除系統(tǒng)2132和氣體凈化系統(tǒng)2134可以作為單個(gè)凈化單元容納在一起。熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140可包括至少一個(gè)冷卻器2141，其可以具有用于將冷卻劑循環(huán)到氣體封閉組件中的流體出口線路2143和用于使冷卻劑返回冷卻器的流體入口線路2145。

圖25的氣體凈化回路2130可以具有設(shè)置在氣體凈化系統(tǒng)2134上游的溶劑去除系統(tǒng)2132，從而從氣體封閉組件1500循環(huán)的惰性氣體經(jīng)由出口線路2131通過(guò)溶劑去除系統(tǒng)2132。根據(jù)各個(gè)實(shí)施例，溶劑去除系統(tǒng)2132可以是基于從通過(guò)圖25的溶劑去除系統(tǒng)2132的惰性氣體吸收溶劑蒸汽的溶劑捕獲系統(tǒng)。吸收劑床或多個(gè)床，例如但不限于活性炭、分子篩等，可以有效地去除寬范圍的各種有機(jī)溶劑蒸汽。對(duì)于氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，可以采用冷捕獲技術(shù)，以去除溶劑去除系統(tǒng)2132中的溶劑蒸汽。如前文所述，對(duì)于根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，可以使用傳感器，例如氧氣、水蒸汽和溶劑蒸汽傳感器，以監(jiān)測(cè)這種物質(zhì)從連續(xù)地循環(huán)通過(guò)氣體封閉組件系統(tǒng)（例如，圖25的氣體封閉組件系統(tǒng)2100）的惰性氣體的有效去除。溶劑去除系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以指示吸收劑（例如活性炭、分子篩等）何時(shí)到達(dá)容量，從而吸收劑床或多個(gè)床可以再生或更換。分子篩的再生可包括加熱分子篩，使得分子篩與合成氣體接觸，及其組合等。配置成捕獲各個(gè)物質(zhì)（包括氧氣、水蒸汽和溶劑）的分子篩可以通過(guò)加熱和暴露于包括氫氣的合成氣體（例如，包括大約96％的氮?dú)夂?％的氫氣的合成氣體）而再生，所述百分比是體積比或重量比?；钚蕴康奈锢碓偕梢允褂迷诙栊原h(huán)境下加熱的類似過(guò)程完成。

任何合適氣體凈化系統(tǒng)都可以用于圖25的氣體凈化回路2130的氣體凈化系統(tǒng)2134。例如，可從mbrauninc.,ofstatham,newhampshire或innovativetechnologyofamesbury,massachusetts獲得的氣體凈化系統(tǒng)可用于整體形成在根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例中。氣體凈化系統(tǒng)2134可以用于凈化氣體封閉組件和系統(tǒng)2100內(nèi)的一種或多種惰性氣體，例如，以凈化氣體封閉組件內(nèi)的全部氣體環(huán)境。如前文所述，為了使得氣體循環(huán)通過(guò)氣體凈化回路2130，氣體凈化系統(tǒng)2134可具有氣體循環(huán)單元，例如風(fēng)扇、鼓風(fēng)機(jī)或馬達(dá)等。在這方面，氣體凈化系統(tǒng)可以根據(jù)封閉裝置的容積選擇，其可以限定用于使得惰性氣體移動(dòng)通過(guò)氣體凈化系統(tǒng)的體積流率。對(duì)于包括具有一直到大約4m³的容積的氣體封閉組件的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例；可以使用能夠移動(dòng)大約84m³/h的氣體凈化系統(tǒng)。對(duì)于包括具有一直到大約10m³的容積的氣體封閉組件的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例；可以使用能夠移動(dòng)大約155m³/h的氣體凈化系統(tǒng)。對(duì)于具有大約52-114m³之間的容積的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例；可以使用多于一個(gè)氣體凈化系統(tǒng)。

任何合適氣體過(guò)濾器或凈化裝置可以包括在本教導(dǎo)的氣體凈化系統(tǒng)2134中。在一些實(shí)施例中，氣體凈化系統(tǒng)可包括兩個(gè)并聯(lián)凈化裝置，從而一個(gè)裝置可以離線拿開(kāi)以用于維護(hù)，而另一個(gè)裝置可以用于繼續(xù)系統(tǒng)操作，而沒(méi)有中斷。在一些實(shí)施例中，例如，氣體凈化系統(tǒng)可包括一個(gè)或多個(gè)分子篩。在一些實(shí)施例中，氣體凈化系統(tǒng)可至少包括第一分子篩和第二分子篩，從而在一個(gè)分子篩雜質(zhì)飽和或以其他方式認(rèn)為不能足夠有效地操作時(shí)，系統(tǒng)可以切換到另一個(gè)分子篩，同時(shí)再生飽和或低效的分子篩?？刂茊卧梢蕴峁┯糜诖_定每個(gè)分子篩的操作效率，用于在不同分子篩的操作之間切換，用于再生一個(gè)或多個(gè)分子篩，或用于其組合。如前文所述，分子篩可以被再生和再次使用。

關(guān)于圖25的熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140，可以設(shè)置至少一個(gè)流體冷卻器2141，用于冷卻氣體封閉組件和系統(tǒng)2100內(nèi)的氣體環(huán)境。對(duì)于本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，流體冷卻器2141將冷卻流體輸送給封閉裝置內(nèi)的熱交換器，其中，惰性氣體經(jīng)過(guò)封閉裝置內(nèi)部的過(guò)濾系統(tǒng)。至少一個(gè)流體冷卻器還可以設(shè)置在氣體封閉組件和系統(tǒng)2100內(nèi)，以冷卻源于氣體封閉裝置2100內(nèi)封裝的設(shè)備的熱量。例如但不限于，至少一個(gè)流體冷卻器還可以設(shè)置用于氣體封閉組件和系統(tǒng)2100，以冷卻源于oled打印系統(tǒng)的熱量。熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140可包括熱交換或peltier裝置，且可以具有各種冷卻容量。例如，對(duì)于氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，冷卻器可以提供在大約2kw至大約20kw之間的冷卻容量。流體冷卻器1136和1138可以冷卻一種或多種流體。在一些實(shí)施例中，流體冷卻器可以使用多種流體作為冷卻劑，例如但不限于，水、防凍劑、制冷劑及其組合，作為熱交換流體。合適的無(wú)泄漏鎖定連接可以用于連接有關(guān)管和系統(tǒng)部件。

如圖26和圖27所示，一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元可以配置成提供通過(guò)內(nèi)部的氣體的大致層流。根據(jù)按照本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例，一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇單元設(shè)置靠近氣體環(huán)境封閉裝置的第一內(nèi)表面，一個(gè)或多個(gè)管道系統(tǒng)入口設(shè)置靠近氣體環(huán)境封閉裝置的相對(duì)第二內(nèi)表面。例如，氣體環(huán)境封閉裝置可以包括內(nèi)部頂板和底部?jī)?nèi)周邊，所述一個(gè)或多個(gè)風(fēng)扇單元可以設(shè)置靠近內(nèi)部頂板，所述一個(gè)或多個(gè)管道系統(tǒng)入口可以包括設(shè)置靠近底部?jī)?nèi)周邊的多個(gè)入口開(kāi)口，其是管道系統(tǒng)的一部分，如圖15－17所示。

圖26是沿根據(jù)本教導(dǎo)的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)2000的長(zhǎng)度截取的截面圖。圖26的氣體封閉組件和系統(tǒng)2000可包括可以容納oled打印系統(tǒng)50的氣體封閉裝置1500、以及氣體凈化系統(tǒng)2130（也參見(jiàn)圖25）、熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140、過(guò)濾和循環(huán)系統(tǒng)2150以及管道系統(tǒng)2170。熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140可包括與冷卻器出口線路2143和冷卻器入口線路2145流體連通的流體冷卻器2141。冷卻流體可以離開(kāi)流體冷卻器2141，流動(dòng)通過(guò)冷卻器出口線路2143，且輸送給熱交換器，對(duì)于圖26所示的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，其可以位于多個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元中的每個(gè)附近。流體可以從風(fēng)扇過(guò)濾器單元附近的熱交換器通過(guò)冷卻器入口線路2145返回冷卻器2141，以保持在恒定期望溫度。如前文所述，冷卻器出口線路2141和冷卻器入口線路2143與多個(gè)熱交換器流體連通，包括第一熱交換器2142、第二熱交換器2144和第三熱交換器2146。根據(jù)圖26所示的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，第一熱交換器2142、第二熱交換器2144和第三熱交換器2146分別與過(guò)濾系統(tǒng)2150的第一風(fēng)扇過(guò)濾器單元2152、第二風(fēng)扇過(guò)濾器單元2154和第三風(fēng)扇過(guò)濾器單元2156熱連通。

在圖26中，許多箭頭示出了往返各個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元的流動(dòng)，且還示出了在包括第一管道系統(tǒng)管2173和第二管道系統(tǒng)管2174的管道系統(tǒng)2170內(nèi)的流動(dòng)，如圖26的簡(jiǎn)化示意圖所示。第一管道系統(tǒng)管2173可以通過(guò)第一管道入口2171接收氣體且可以通過(guò)第一管道出口2175排出。類似地，第二管道系統(tǒng)管2174可以通過(guò)第二管道入口2172接收氣體且通過(guò)第二管道出口2176排出。此外，如圖26所示，管道系統(tǒng)2170通過(guò)有效地限定空間2180而將在內(nèi)部再次循環(huán)通過(guò)過(guò)濾系統(tǒng)2150的惰性氣體分開(kāi)，空間2180經(jīng)由氣體凈化出口線路2131與氣體凈化系統(tǒng)2130流體連通。這種包括針對(duì)圖15－17所述的管道系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的循環(huán)系統(tǒng)提供大致層流，最小化紊流，促進(jìn)在封閉裝置內(nèi)部中的氣體環(huán)境的顆粒物質(zhì)的循環(huán)、周轉(zhuǎn)和過(guò)濾，且提供通過(guò)氣體封閉組件外部的氣體凈化系統(tǒng)的循環(huán)。

圖27是沿根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例的氣體封閉組件和系統(tǒng)23000的長(zhǎng)度截取的截面圖。與圖26的氣體封閉組件2200類似，圖27的氣體封閉組件系統(tǒng)2300可包括氣體封閉裝置1500，其可以容納oled打印系統(tǒng)50、以及氣體凈化系統(tǒng)2130（也參見(jiàn)圖25）、熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140、過(guò)濾和循環(huán)系統(tǒng)2150以及管道系統(tǒng)2170。對(duì)于氣體封閉組件2300的各個(gè)實(shí)施例，熱調(diào)節(jié)系統(tǒng)2140可包括與冷卻器出口線路2143和冷卻器入口線路2145流體連通的流體冷卻器2141，可以與多個(gè)熱交換器流體連通，例如第一熱交換器2142和第二熱交換器2144，如圖27所示。根據(jù)圖27所示的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，各個(gè)熱交換器，例如第一熱交換器2142和第二熱交換器2144，可以與循環(huán)的惰性氣體熱連通，通過(guò)定位靠近管道出口，例如管道系統(tǒng)2170的第一管道出口2175和第二管道出口2176。在這方面，從管道入口（例如管道系統(tǒng)2170的第一管道入口2171和第二管道入口2172）返回以便過(guò)濾的惰性氣體可以在分別循環(huán)通過(guò)例如圖27的過(guò)濾系統(tǒng)2150的第一風(fēng)扇過(guò)濾器單元2152、第二風(fēng)扇過(guò)濾器單元2154和第三風(fēng)扇過(guò)濾器單元2156之前被熱調(diào)節(jié)。

從示出了循環(huán)通過(guò)圖26和27的封閉裝置的惰性氣體的方向的箭頭可以看出，風(fēng)扇過(guò)濾器單元配置成提供從封閉裝置頂部向下朝向底部的大致層流。例如，可從flanderscorporation,ofwashington,northcarolina或envircocorporationofsanford,northcarolina獲得的風(fēng)扇過(guò)濾器單元可用于整體形成到根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例中。風(fēng)扇過(guò)濾器單元的各個(gè)實(shí)施例可以交換通過(guò)每個(gè)單元的惰性氣體的大約350立方英尺/分（cfm）至大約700cfm之間。如圖26和27所示，由于風(fēng)扇過(guò)濾器單元處于并聯(lián)而不是串聯(lián)設(shè)置，因而可以在包括多個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元的系統(tǒng)中交換的惰性氣體的量與使用的單元數(shù)量成比例。在封閉裝置的底部附近，氣體流朝向多個(gè)管道系統(tǒng)入口引導(dǎo)，在圖26和27中示意性地表示為第一管道入口2171和第二管道入口2172。如前文針對(duì)圖15－17所述，將管道入口定位在封閉裝置的大致底部且使得氣體從上部風(fēng)扇過(guò)濾器單元向下流動(dòng)利于封閉裝置內(nèi)的氣體環(huán)境的良好周轉(zhuǎn)，且促進(jìn)通過(guò)與封閉裝置結(jié)合使用的氣體凈化系統(tǒng)的全部氣體環(huán)境的徹底周轉(zhuǎn)和移動(dòng)。通過(guò)使用過(guò)濾和循環(huán)系統(tǒng)2150使得氣體環(huán)境循環(huán)通過(guò)管道系統(tǒng)且促進(jìn)封閉裝置內(nèi)的氣體環(huán)境的層流和徹底周轉(zhuǎn)，管道系統(tǒng)將循環(huán)通過(guò)氣體凈化回路2130的惰性氣體流分開(kāi)，反應(yīng)性物質(zhì)（例如水和氧氣，以及每種溶劑）的每種的水平在氣體封閉組件的各個(gè)實(shí)施例中可以保持在例如100ppm或更低、例如1.0ppm或更低、0.1ppm或更低。

根據(jù)用于oled打印系統(tǒng)的氣體封閉組件系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，風(fēng)扇過(guò)濾器單元的數(shù)量可以根據(jù)在過(guò)程期間打印系統(tǒng)中的基底的物理位置來(lái)選擇。因此，雖然在圖26和27中示出了3個(gè)風(fēng)扇過(guò)濾器單元，但是風(fēng)扇過(guò)濾器單元的數(shù)量可以變化。例如，圖28是沿氣體封閉組件和系統(tǒng)2400的長(zhǎng)度截取的截面圖，其與圖23和圖24所示的氣體封閉組件和系統(tǒng)類似。氣體封閉組件和系統(tǒng)2400可包括氣體封閉組件1500，其容納支撐在基部52上的oled打印系統(tǒng)50。oled打印系統(tǒng)的基底懸浮臺(tái)54限定在基底的oled打印期間基底可以移動(dòng)通過(guò)系統(tǒng)2400的行程。因而，氣體封閉組件和系統(tǒng)2400的過(guò)濾系統(tǒng)2150具有合適數(shù)量的風(fēng)扇過(guò)濾器單元；以2151-2155所示，與在過(guò)程期間基底通過(guò)oled打印系統(tǒng)50的物理行程相對(duì)應(yīng)。此外，圖28的示意性截面圖示出了氣體封閉裝置的各個(gè)實(shí)施例的定輪廓可以有效地減少在oled打印過(guò)程期間所需的惰性氣體體積，而同時(shí)便于接近氣體封閉裝置1500的內(nèi)部（在過(guò)程期間遠(yuǎn)程地接近，例如使用安裝在各個(gè)手套端口中的手套，或者在維護(hù)操作的情況下通過(guò)各種可拆卸面板直接接近）。

氣體封閉裝置和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以使用加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)，用于操作各種氣動(dòng)操作裝置和設(shè)備。此外，如前文所述，本教導(dǎo)的氣體封閉組件的實(shí)施例可以相對(duì)于外部環(huán)境保持在輕微正壓，例如但不限于在大約2mbarg至大約8mbarg之間。在氣體封閉組件系統(tǒng)內(nèi)保持加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)可能是有挑戰(zhàn)的，因?yàn)槠渚哂信c保持氣體封閉組件和系統(tǒng)的輕微正內(nèi)部壓力有關(guān)的動(dòng)態(tài)和持續(xù)進(jìn)行的平衡動(dòng)作，而同時(shí)連續(xù)地引入加壓氣體到氣體封閉組件和系統(tǒng)中。此外，各個(gè)裝置和設(shè)備的可變需求可能形成本教導(dǎo)的各種氣體封閉組件和系統(tǒng)的不規(guī)則壓力曲線。在這種條件下將相對(duì)于外部環(huán)境保持在輕微正壓的氣體封閉組件保持動(dòng)態(tài)壓力平衡可以提供用于持續(xù)進(jìn)行的oled打印過(guò)程的整體性。

如圖29所示，氣體封閉組件和系統(tǒng)3000的各個(gè)實(shí)施例可以具有外部氣體回路2500，用于整合和控制用于氣體封閉組件和系統(tǒng)3000的操作的各個(gè)方面的惰性氣體源2509和清潔干燥空氣（cda）源2512。本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將理解，氣體封閉系統(tǒng)3000還可以包括內(nèi)部顆粒過(guò)濾和氣體循環(huán)系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例以及外部氣體凈化系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，如前文所述。除了用于整合和控制惰性氣體源2509和cda源2512的外部回路2500之外，氣體封閉組件和系統(tǒng)3000可以具有壓縮機(jī)回路2160，其可以供應(yīng)惰性氣體，用于操作可能設(shè)置在氣體封閉組件和系統(tǒng)3000內(nèi)部中的各個(gè)裝置和設(shè)備。

圖29的壓縮機(jī)回路2160可包括配置成流體連通的壓縮機(jī)2162、第一貯存器2164和第二貯存器2168。壓縮機(jī)2162可以配置成將從氣體封閉組件1500抽吸的惰性氣體壓縮至期望壓力。壓縮機(jī)回路2160的入口側(cè)可以經(jīng)由氣體封閉組件出口2501通過(guò)具有閥2505和止回閥2507的線路2503與氣體封閉組件1500流體連通。壓縮機(jī)回路2160可以在壓縮機(jī)回路2160的出口側(cè)上經(jīng)由外部氣體回路2500與氣體封閉組件1500流體連通。貯存器2164可以設(shè)置在壓縮機(jī)2162和壓縮機(jī)回路2160與外部氣體回路2500的結(jié)合部之間，且可以配置成產(chǎn)生5psig或更高的壓力。第二貯存器2168可以處于壓縮機(jī)回路2160中，用于阻尼由于壓縮機(jī)活塞以大約60hz循環(huán)引起的波動(dòng)。對(duì)于壓縮機(jī)回路2160的各個(gè)實(shí)施例，第一貯存器2164可以具有大約80加侖至大約160加侖之間的容量，而第二貯存器可以具有大約30加侖至大約60加侖之間的容量。根據(jù)氣體封閉組件和系統(tǒng)3000的各個(gè)實(shí)施例，壓縮機(jī)2162可以是零進(jìn)入壓縮機(jī)（zeroingresscompressor）。各種類型的零進(jìn)入壓縮機(jī)可以在沒(méi)有環(huán)境氣體泄漏到本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例中的情況下操作。零進(jìn)入壓縮機(jī)的各個(gè)實(shí)施例可以連續(xù)地運(yùn)行，例如在利用需要壓縮惰性氣體的各個(gè)裝置和設(shè)備的用途的oled打印過(guò)程期間。

貯存器2164可以配置成從壓縮機(jī)2162接收和積聚壓縮惰性氣體。貯存器2164可以在需要時(shí)將壓縮惰性氣體供應(yīng)給氣體封閉組件1500。例如，貯存器2164可以提供氣體以保持氣體封閉組件1500的各個(gè)部件的壓力，例如但不限于如下中的一種或多種：氣動(dòng)機(jī)器人、基底懸浮臺(tái)、空氣軸承、空氣襯套、壓縮氣體工具、氣動(dòng)致動(dòng)器、及其組合。如圖29針對(duì)氣體封閉組件和系統(tǒng)3000所示，氣體封閉組件1500可以具有封裝在其中的oled打印系統(tǒng)50。如圖24所示，oled打印系統(tǒng)50可以由花崗巖級(jí)52支撐，且可以包括基底懸浮臺(tái)54，用于將基底輸送到打印頭腔室中合適位置以及在oled打印過(guò)程期間支撐基底。此外，支撐在橋56上的空氣軸承58可以取代例如線性機(jī)械軸承使用。對(duì)于本教導(dǎo)的氣體封閉裝置和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，使用各種氣動(dòng)操作裝置和設(shè)備可以提供低顆粒生成性能以及低維護(hù)成本。壓縮機(jī)回路2160可以配置成將加壓惰性氣體連續(xù)地供應(yīng)給氣體封閉設(shè)備3000的各個(gè)裝置和設(shè)備。除了供應(yīng)加壓惰性氣體之外，oled打印系統(tǒng)50的基底懸浮臺(tái)54（其使用空氣軸承技術(shù)）還使用真空系統(tǒng)2550，真空系統(tǒng)2550在閥2554處于打開(kāi)位置時(shí)通過(guò)線路2552與氣體封閉組件1500連通。

根據(jù)本教導(dǎo)的加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)可以具有如圖29所示用于壓縮機(jī)回路2160的壓力控制旁通回路2165，其用以在使用期間補(bǔ)償加壓氣體的可變需求，從而提供本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例的動(dòng)態(tài)平衡。對(duì)于根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，旁通回路可以保持貯存器2164內(nèi)的恒定壓力，而不干擾或改變封閉裝置1500內(nèi)的壓力。旁通回路2165可以具有位于旁通回路2165的入口側(cè)上的第一旁通入口閥2162，其關(guān)閉，除非使用旁通回路2165。旁通回路2165還可以具有背壓調(diào)節(jié)器，其可以在第二閥2163關(guān)閉時(shí)使用。旁通回路2165可以具有設(shè)置在旁通回路2165的出口側(cè)處的第二貯存器2168。對(duì)于使用零進(jìn)入壓縮機(jī)的壓縮機(jī)回路2160的實(shí)施例，旁通回路2165可以補(bǔ)償在氣體封閉組件和系統(tǒng)使用期間隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)可能發(fā)生的壓力小偏移。當(dāng)旁通入口閥2161處于打開(kāi)位置時(shí)，旁通回路2165可以在旁通回路2165的入口側(cè)上與壓縮機(jī)回路2160流體連通。當(dāng)旁通入口閥2161打開(kāi)時(shí)，如果來(lái)自于壓縮機(jī)回路2160的惰性氣體不能滿足氣體封閉組件1500內(nèi)部中的需要，那么通過(guò)旁通回路2165分流的惰性氣體可以再循環(huán)到壓縮機(jī)。當(dāng)貯存器2164中的惰性氣體壓力超過(guò)預(yù)設(shè)閾值壓力時(shí)，壓縮機(jī)回路2160配置成將惰性氣體分流通過(guò)旁通回路2165。貯存器2164的預(yù)設(shè)閾值壓力在至少大約1立方英尺/分（cfm）的流率時(shí)可以在大約25psig至大約200psig之間，或者在至少大約1立方英尺/分（cfm）的流率時(shí)可以在大約50psig至大約150psig之間，或者在至少大約1立方英尺/分（cfm）的流率時(shí)可以在大約75psig至大約125psig之間，或者在至少大約1立方英尺/分（cfm）的流率時(shí)可以在大約90psig至大約95psig之間。

壓縮機(jī)回路2160的各個(gè)實(shí)施例可以使用除了零進(jìn)入壓縮機(jī)之外的各種壓縮機(jī)，例如可變速度壓縮機(jī)或可以被控制在打開(kāi)或關(guān)閉狀態(tài)的壓縮機(jī)。如前文所述，零進(jìn)入壓縮機(jī)確保沒(méi)有環(huán)境反應(yīng)性物質(zhì)可以引入氣體封閉組件和系統(tǒng)。因而，防止環(huán)境反應(yīng)性物質(zhì)引入氣體封閉組件和系統(tǒng)的任何壓縮機(jī)配置都可以用于壓縮機(jī)回路2160。根據(jù)各個(gè)實(shí)施例，氣體封閉組件和系統(tǒng)3000的壓縮機(jī)2162可以容納在例如但不限于氣密密封殼體中。殼體內(nèi)部可以配置成與惰性氣體源流體連通，例如形成氣體封閉組件1500的惰性氣體環(huán)境的相同惰性氣體。對(duì)于壓縮機(jī)回路2160的各個(gè)實(shí)施例，壓縮機(jī)2162可以控制在恒定速度以保持恒定壓力。在不使用零進(jìn)入壓縮機(jī)的壓縮機(jī)回路2160的其它實(shí)施例中，壓縮機(jī)2162可以在達(dá)到最大閾值壓力時(shí)關(guān)閉且在達(dá)到最小閾值壓力時(shí)打開(kāi)。

在用于氣體封閉組件和系統(tǒng)3100的圖30中，鼓風(fēng)機(jī)回路2170和鼓風(fēng)機(jī)真空回路2550顯示用于操作oled打印系統(tǒng)50的基底懸浮臺(tái)54，其容納在氣體封閉組件1500中。如前文針對(duì)壓縮機(jī)回路2160所述，鼓風(fēng)機(jī)回路2170可以配置成將加壓惰性氣體連續(xù)地供應(yīng)給基底懸浮臺(tái)54。

可以使用加壓惰性氣體再循環(huán)系統(tǒng)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例可以具有使用各種加壓氣體源的各種回路，例如壓縮機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)及其組合中的至少一種。在用于氣體封閉組件和系統(tǒng)3100的圖30中，壓縮機(jī)回路2160可以與外部氣體回路2500流體連通，其可以供應(yīng)用于高消耗歧管2525以及低消耗歧管2513的惰性氣體。對(duì)于根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，如用于氣體封閉組件和系統(tǒng)3000的圖29所示，高消耗歧管2525可以用于將惰性氣體供應(yīng)給各種裝置和設(shè)備，例如但不限于如下中的一種或多種：基底懸浮臺(tái)、氣動(dòng)機(jī)器人、空氣軸承、空氣襯套、和壓縮氣體工具、及其組合。對(duì)于根據(jù)本教導(dǎo)的氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)實(shí)施例，低消耗歧管2513可以用于將惰性氣體供應(yīng)給各種裝置和設(shè)備，例如但不限于如下中的一種或多種：隔離器和氣動(dòng)致動(dòng)器及其組合。

對(duì)于氣體封閉組件和系統(tǒng)3100的各個(gè)實(shí)施例，鼓風(fēng)機(jī)回路2170可以用于將加壓惰性氣體供應(yīng)給基底懸浮臺(tái)54的各個(gè)實(shí)施例，而與外部氣體回路2500流體連通的壓縮機(jī)回路2160可以用于將加壓惰性氣體供應(yīng)給例如但不限于如下中的一種或多種：氣動(dòng)機(jī)器人、空氣軸承、空氣襯套、和壓縮氣體工具、及其組合。除了供應(yīng)加壓惰性氣體之外，使用空氣軸承技術(shù)的oled打印系統(tǒng)50的基底懸浮臺(tái)54還使用鼓風(fēng)機(jī)真空系統(tǒng)2550，鼓風(fēng)機(jī)真空系統(tǒng)2550在閥2554處于打開(kāi)位置時(shí)通過(guò)線路2552與氣體封閉組件1500連通。鼓風(fēng)機(jī)回路2170的殼體2172可以將惰性氣體加壓源供應(yīng)給基底懸浮臺(tái)54的第一鼓風(fēng)機(jī)2174和用作基底懸浮臺(tái)54的真空源的第二鼓風(fēng)機(jī)2550保持在惰性氣體環(huán)境中?？梢灾圃爝m合用作基底懸浮臺(tái)的各個(gè)實(shí)施例的加壓惰性氣體或真空源的鼓風(fēng)機(jī)的屬性包括例如但不限于：它們具有高可靠性，使得它們具有低維護(hù)成本；具有可變速度控制；以及具有寬范圍的體積流量（能夠提供在大約100m³/h至大約2500m³/h之間的體積流量的各個(gè)實(shí)施例）。鼓風(fēng)機(jī)回路2170的各個(gè)實(shí)施例還可以具有在壓縮機(jī)回路2170的入口端處的第一隔離閥2173以及在壓縮機(jī)回路2170的出口端處的止回閥2175和第二隔離閥2177。鼓風(fēng)機(jī)回路2170的各個(gè)實(shí)施例可以具有可調(diào)節(jié)閥2176（可以是例如但不限于，閘式閥、蝶形閥、針形閥或球形閥）以及用于將從鼓風(fēng)機(jī)組件2170到基底懸浮系統(tǒng)54的惰性氣體保持在限定溫度的熱交換器2178。

圖30示出了也在圖29中示出的外部氣體回路2500，用于整合和控制用于圖29的氣體封閉組件和系統(tǒng)3000和圖30的氣體封閉組件和系統(tǒng)3100的操作的各個(gè)方面的惰性氣體源2509和清潔干燥空氣（cda）源2512。圖29和圖30的外部氣體回路2500可以包括至少四個(gè)機(jī)械閥。這些閥包括第一機(jī)械閥2502、第二機(jī)械閥2504、第三機(jī)械閥2506和第四機(jī)械閥2508。這些各個(gè)閥位于各個(gè)流動(dòng)線路中的位置處，允許控制惰性氣體（例如，氮?dú)?、任何稀有氣體及其任何組合）和空氣源（例如，清潔干燥空氣（cda））兩者。殼體惰性氣體線路2510從殼體惰性氣體源2509延伸。殼體惰性氣體線路2510繼續(xù)作為低消耗歧管線路2152線性地延伸，低消耗歧管線路2152與低消耗歧管2513流體連通。交叉線路第一部段2514從第一流動(dòng)結(jié)合部2516延伸，第一流動(dòng)結(jié)合部2516位于殼體惰性氣體線路2510、低消耗歧管線路2152和交叉線路第一部段2514的交叉部處。交叉線路第一部段2514延伸到第二流動(dòng)結(jié)合部2518。壓縮機(jī)惰性氣體線路2520從壓縮機(jī)回路2160的貯存器2164延伸且終止于第二流動(dòng)結(jié)合部2518。cda線路2522從cda源2512延伸且作為高消耗歧管線路2524繼續(xù)，高消耗歧管線路2524與高消耗歧管2525流體連通。第三流動(dòng)結(jié)合部2526位于交叉線路第二部段2528、清潔干燥空氣線路2522和高消耗歧管線路2524的交叉部處。交叉線路第二部段2528從第二流動(dòng)結(jié)合部2518延伸到第三流動(dòng)結(jié)合部2526。

關(guān)于外部氣體回路2500的描述且參考表2，以下是一些各個(gè)操作模式的概述，表2是氣體封閉組件和系統(tǒng)的各個(gè)操作模式的閥位置的表格。

表2

表2示出了過(guò)程模式，其中，閥狀態(tài)產(chǎn)生僅僅惰性氣體壓縮機(jī)操作模式。在過(guò)程模式，如圖30所示且如表2的閥狀態(tài)所示，第一機(jī)械閥2502和第三機(jī)械閥2506處于關(guān)閉配置。第二機(jī)械閥2504和第四機(jī)械閥2508處于打開(kāi)配置。由于這些具體閥配置，壓縮惰性氣體被允許流動(dòng)到低消耗歧管2513和高消耗歧管2525兩者。在正常操作下，來(lái)自于殼體惰性氣體源的惰性氣體和來(lái)自于cda源的清潔干燥空氣被阻止流動(dòng)到低消耗歧管2513和高消耗歧管2525中的任一個(gè)。

如表2所示且參考圖30，存在用于維護(hù)和恢復(fù)的一系列閥狀態(tài)。本教導(dǎo)的氣體封閉組件可需要不時(shí)地維護(hù)，此外需要從系統(tǒng)故障恢復(fù)。在該具體模式中，第二機(jī)械閥2504和第四機(jī)械閥2508處于關(guān)閉配置。第一機(jī)械閥2502和第三機(jī)械閥2506處于打開(kāi)配置。殼體惰性氣體源和cda源提供惰性氣體，以由低消耗歧管2513供應(yīng)給處于低消耗且還具有在恢復(fù)期間難以有效吹掃的死容積的那些部件。這種部件的示例包括氣動(dòng)致動(dòng)器。相比而言，消耗的那些部件可以在維護(hù)期間借助于高消耗歧管2525供應(yīng)cda。使用閥2504、2508、2530隔離壓縮機(jī)防止反應(yīng)性物質(zhì)（例如，氧氣和水蒸汽）污染壓縮機(jī)和貯存器內(nèi)的惰性氣體。

在維護(hù)或恢復(fù)完成之后，氣體封閉組件必須通過(guò)多個(gè)循環(huán)吹掃，直到反應(yīng)性環(huán)境物質(zhì)（例如，氧氣和水）達(dá)到每種物質(zhì)的足夠低水平，例如100ppm或更低、例如10ppm或更低、1.0ppm或更低、或0.1ppm或更低。如表2所示且參考圖30，在吹掃模式期間，第三機(jī)械閥2506關(guān)閉且第五機(jī)械閥2530也處于關(guān)閉配置。第一機(jī)械閥2502、第二機(jī)械閥2504和第四機(jī)械閥2508處于打開(kāi)配置。由于該具體閥配置，僅僅殼體惰性氣體被允許流動(dòng)且被允許流動(dòng)到低消耗歧管2513和高消耗歧管2525兩者。

如表2所示且參考圖30，“無(wú)流動(dòng)”模式和泄漏測(cè)試模式兩者是根據(jù)需要使用的模式?！盁o(wú)流動(dòng)”模式是具有如下閥狀態(tài)配置的模式：第一機(jī)械閥2502、第二機(jī)械閥2504、第三機(jī)械閥2506和第四機(jī)械閥2508均處于關(guān)閉配置。該關(guān)閉配置導(dǎo)致系統(tǒng)的“無(wú)流動(dòng)”模式，其中，來(lái)自于惰性氣體、cda或壓縮機(jī)源中的任何氣體都不能到達(dá)低消耗歧管2513或高消耗歧管2525。這種“無(wú)流動(dòng)模式”在系統(tǒng)不使用時(shí)可能是有用的，且可以在延長(zhǎng)時(shí)段內(nèi)保持空閑。泄漏測(cè)試模式可以用于檢測(cè)系統(tǒng)中的泄漏。泄漏測(cè)試模式排他地使用壓縮惰性氣體，其將系統(tǒng)從圖30的高消耗歧管2525隔離以便對(duì)低消耗歧管2513的低消耗部件（例如，隔離器和氣動(dòng)致動(dòng)器）進(jìn)行泄漏檢查。在該泄漏測(cè)試模式中，第一機(jī)械閥2502、第三機(jī)械閥2506和第四機(jī)械閥2508均處于關(guān)閉配置。僅僅第二機(jī)械閥2504處于打開(kāi)配置。因此，壓縮氮?dú)饽軌驈膲嚎s機(jī)惰性氣體源2519流動(dòng)到低消耗歧管2513，且沒(méi)有至高消耗歧管2525的氣體流。

該說(shuō)明書(shū)中提到的所有公開(kāi)物、專利和專利申請(qǐng)都在好像每個(gè)獨(dú)立公開(kāi)物、專利和專利申請(qǐng)都專門(mén)和獨(dú)立地指示通過(guò)參考引入那樣相同的程度上通過(guò)參考引入本文。

雖然在本文顯示和描述了本公開(kāi)的實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員將清楚，這種實(shí)施例僅僅通過(guò)示例的方式提供。在不偏離本公開(kāi)的情況下，本領(lǐng)域技術(shù)人員現(xiàn)在將想到許多變型、變化和替代。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)踐本公開(kāi)時(shí)可以采用本文所述的本公開(kāi)實(shí)施例的各種替代方案。所附權(quán)利要求旨在限定本公開(kāi)的范圍，且由此涵蓋在這些權(quán)利要求及其等價(jià)物范圍內(nèi)的方法和結(jié)構(gòu)。