本實用新型涉及一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：
隨著科學(xué)技術(shù)發(fā)展不斷推動半導(dǎo)體自動化和計算機(jī)等技術(shù)的發(fā)展，硅片微電子技術(shù)被越來越廣泛地應(yīng)用于航空、航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防領(lǐng)域中，產(chǎn)生巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。在硅片生產(chǎn)加工過程中，硅塊需經(jīng)過拋光、倒角保護(hù)、切割成片、清洗檢驗等步驟，其中切片過程是制約硅片質(zhì)量的重要一環(huán)，其核心是在切割砂漿的配合下，利用超細(xì)高強(qiáng)度切割線組成切割線網(wǎng)，以馬達(dá)驅(qū)動導(dǎo)線輪控制切割線的速度和運(yùn)動軌跡對硅錠進(jìn)行砂漿浸沒式切片加工。在硅片切片機(jī)工作過程中，需濾去切割后的漿料，控制漿料進(jìn)料流量，以保證砂漿的浸沒量和有效性穩(wěn)定，現(xiàn)有技術(shù)中的硅片切片機(jī)用砂漿過濾裝置存在大塊雜物造成堵塞砂漿流出，導(dǎo)致砂漿溢流，難以保證切割漿料進(jìn)料的穩(wěn)定性，和減少機(jī)臺清理砂漿雜質(zhì)的及時性，制約切割生產(chǎn)效率；過濾效果不佳，砂漿質(zhì)量不穩(wěn)定可靠，雜質(zhì)易隨砂漿摻入硅片切割過程中，造成硅片不良率增加；濾袋使用壽命短，裝換不便，費(fèi)時費(fèi)力等問題，從而降低生產(chǎn)效率和效益。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本實用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，結(jié)構(gòu)合理、占用空間小，適裝于切片機(jī)上充分過濾砂漿，避免堵塞，利于保證砂漿有效性及硅片質(zhì)量穩(wěn)定性，提高生產(chǎn)效益。本實用新型是通過如下的技術(shù)方案予以實現(xiàn)的：一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，包括初級過濾支架、過濾網(wǎng)、過濾袋和緊固螺釘，其中，所述初級過濾支架包括蓋板、筒體和法蘭，所述蓋板上設(shè)有若干第一安裝孔，所述若干第一安裝孔繞蓋板邊緣一周均勻間隔設(shè)置，所述第一安裝孔上設(shè)有吊環(huán)螺母，所述法蘭與筒體頂部相連，所述法蘭上設(shè)有若干第二安裝孔，通過緊固螺釘穿過第二安裝孔和第一安裝孔實現(xiàn)法蘭與蓋板相連，所述緊固螺釘外設(shè)有緊固螺母；所述筒體側(cè)壁頂部設(shè)有漿料進(jìn)口，所述筒體底部設(shè)有漿料出口，所述漿料出口上設(shè)有濾板，所述濾板上設(shè)有若干篩孔，所述筒體內(nèi)部設(shè)有空腔，所述過濾網(wǎng)置于空腔內(nèi)，且與空腔內(nèi)壁間隙配合，所述過濾網(wǎng)上設(shè)有若干濾孔，所述過濾網(wǎng)頂部設(shè)有圍圈，所述過濾袋置于過濾網(wǎng)內(nèi)，且頂部邊緣置于圍圈上；所述過濾袋內(nèi)設(shè)有濾袋支撐，所述濾袋支撐包括緊固環(huán)和若干支撐桿，所述若干支撐桿均勻設(shè)置于緊固環(huán)底部，且與過濾網(wǎng)內(nèi)壁間隙配合，通過緊固環(huán)與圍圈配合實現(xiàn)過濾袋與過濾網(wǎng)相連，所述濾袋支撐與蓋板之間設(shè)有彈簧座，所述彈簧座底部設(shè)有若干彈簧，所述若干彈簧位于緊固環(huán)處。上述一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，其中，所述緊固螺釘為內(nèi)六角螺釘，所述緊固螺母為外六角螺母。上述一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，其中，所述篩孔和濾孔均呈圓形，篩孔直徑為d1，濾孔直徑為d2，所述d1>d2=5mm。上述一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，其中，所述緊固環(huán)內(nèi)設(shè)有加強(qiáng)筋，所述加強(qiáng)筋有兩根，且交叉設(shè)置。本實用新型的有益效果為：從初級過濾支架的漿料進(jìn)口流入漿料，由過濾袋濾除大顆粒雜質(zhì)進(jìn)行初級過濾，再由過濾網(wǎng)進(jìn)行次級過濾，從漿料出口流出過濾漿料，篩孔直徑較大，可保證砂漿無阻礙地流出，實現(xiàn)漿料逐層過濾。本實用新型采用吊環(huán)螺母、內(nèi)六角螺釘和外六角螺母方便裝置提拉更換；采用濾袋支撐這種仿形結(jié)構(gòu)可使過濾袋充分撐開，充分利用過濾袋過濾效果，提高過濾袋使用壽命；加強(qiáng)筋提高裝置剛性和抗壓例；利用蓋板與法蘭連接使彈簧座的彈簧壓縮，彈簧反作用力保證濾袋支撐將過濾袋邊緣沿壓于過濾網(wǎng)圍圈上，防止過濾袋脫落，便于過濾袋拆換。綜上，本實用新型結(jié)構(gòu)合理、占用空間小，適裝于切片機(jī)上逐層過濾漿料，及時清理機(jī)臺砂漿雜物，且過濾效果好，保證過濾砂漿時的流量，可有效防止大塊雜物堵塞砂漿流出，避免砂漿堵塞溢流，以便控制切割砂漿的總量穩(wěn)定性和質(zhì)量有效性，從而提高硅片切割質(zhì)量和穩(wěn)定性，提高加工效率和生產(chǎn)效益。附圖說明圖1為本實用新型裝配結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型仰視示意圖。具體實施方式下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式作進(jìn)一步說明。一種硅片切片機(jī)用高效砂漿過濾裝置，包括初級過濾支架1、過濾網(wǎng)2、過濾袋3和緊固螺釘4，其中，所述初級過濾1支架包括蓋板5、筒體6和法蘭7，所述蓋板5上設(shè)有若干第一安裝孔8，所述若干第一安裝孔8繞蓋板5邊緣一周均勻間隔設(shè)置，所述第一安裝孔8上設(shè)有吊環(huán)螺母9，所述法蘭7與筒體頂部相連，所述法蘭7上設(shè)有若干第二安裝孔10，通過緊固螺釘4穿過第二安裝孔10和第一安裝孔8實現(xiàn)法蘭7與蓋板5相連，所述緊固螺釘4外設(shè)有緊固螺母11，所述緊固螺釘4為內(nèi)六角螺釘，所述緊固螺母11為外六角螺母；所述筒體6側(cè)壁頂部設(shè)有漿料進(jìn)口12，所述筒體6底部設(shè)有漿料出口13，所述漿料出口13上設(shè)有濾板14，所述濾板14上設(shè)有若干篩孔15，所述筒體6內(nèi)部設(shè)有空腔16，所述過濾網(wǎng)2置于空腔16內(nèi)，且與空腔16內(nèi)壁間隙配合，所述過濾網(wǎng)2上設(shè)有若干濾孔17，所述篩孔15和濾孔17均呈圓形，篩孔15直徑為d1=8mm，濾孔17直徑為d2=5mm，所述過濾網(wǎng)2頂部設(shè)有圍圈18，所述過濾袋3置于過濾網(wǎng)2內(nèi)，且頂部邊緣置于圍圈18上；所述過濾袋3內(nèi)設(shè)有濾袋支撐19，所述濾袋支撐19包括緊固環(huán)20和若干支撐桿21，所述若干支撐桿21均勻設(shè)置于緊固環(huán)20底部，且與過濾網(wǎng)2內(nèi)壁間隙配合，通過緊固環(huán)20與圍圈18配合實現(xiàn)過濾袋3與過濾網(wǎng)2相連，所述緊固環(huán)20內(nèi)設(shè)有加強(qiáng)筋22，所述加強(qiáng)筋22有兩根，且交叉設(shè)置，所述濾袋支撐19與蓋板5之間設(shè)有彈簧座23，所述彈簧座23底部設(shè)有若干彈簧24，所述若干彈簧24位于緊固環(huán)20處。本實用新型的工作方式為：從初級過濾支架的漿料進(jìn)口流入漿料，由過濾袋濾除大顆粒雜質(zhì)進(jìn)行初級過濾，再由過濾網(wǎng)進(jìn)行次級過濾，從漿料出口流出過濾漿料，篩孔直徑較大，可保證砂漿無阻礙地流出，實現(xiàn)漿料逐層過濾。以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本實用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。