一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置，在無塵室內(nèi)設(shè)有過濾裝置，過濾裝置把無塵室的腔體分割成第一腔室和第二腔室，第一腔室通過第一管道連接氣源，在第一管道上設(shè)有第一過濾器，第二腔室連接第二管道，在第二管道上鏈接第二過濾器，第二管道還與所述第一管道連通，氣源還通過第三管道連接過濾裝置，在第三管道上連接第一閥門，過濾裝置還連接第四管道，在第四管道上連接第二閥門。本實用新型的優(yōu)點：本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比簡化了結(jié)構(gòu)和降低了成本，給無塵室提供了一個高潔凈度的無塵空間，其潔凈度滿足ISO1級的技術(shù)要求。
【專利說明】
一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及無塵室技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]無塵室亦稱為無塵室或清凈室，它是污染控制的基礎(chǔ)，控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。
[0003]在電子行業(yè)中為了提高產(chǎn)品性能，通常都需要在無塵室中加工制造或進行相關(guān)科學(xué)實驗。目前在無塵室中使用的一些過濾設(shè)備，雖然可以滿足過濾要求，但是對于一些小型的設(shè)備，例如手套箱等，其內(nèi)部空間較小，傳統(tǒng)的過濾設(shè)備在體積上與其存在矛盾，并且傳統(tǒng)的過濾設(shè)備普遍結(jié)構(gòu)都較為復(fù)雜，在使用成本和維護成本上也無法適應(yīng)手套箱等的要求。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案:
[0006]—種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置，包括無塵室，其特征在于:在無塵室內(nèi)設(shè)有過濾裝置，過濾裝置把無塵室的腔體分割成第一腔室和第二腔室，第一腔室通過第一管道連接氣源，在第一管道上設(shè)有第一過濾器，第二腔室連接第二管道，在第二管道上鏈接第二過濾器，第二管道還與所述第一管道連通，氣源還通過第三管道連接過濾裝置，在第三管道上連接第一閥門，過濾裝置還連接第四管道，在第四管道上連接第二閥門。
[0007]優(yōu)選地，所述過濾裝置包括過濾箱，在過濾箱內(nèi)設(shè)有過濾層，所述第三管道和所述第四管道分別設(shè)置在過濾箱的兩側(cè)。
[0008]優(yōu)選地，所述第一過濾器和所述第二過濾器相同，它們均采用FFU過濾器。
[0009]本實用新型的優(yōu)點在于:本實用新型所提供的一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置與現(xiàn)有技術(shù)相比，簡化了結(jié)構(gòu)和降低了成本，給無塵室提供了一個高潔凈度的無塵空間，其潔凈度滿足ISOl級的技術(shù)要求。
【附圖說明】

[0010]圖1是本實用新型所提供的一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0012]如圖1所示，本實用新型提供的一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置，包括無塵室1，在無塵室I內(nèi)設(shè)有過濾裝置7，過濾裝置7把無塵室I的腔體分割成第一腔室1.1和第二腔室1.2，第一腔室1.1通過第一管道3連接氣源2，在第一管道3上設(shè)有第一過濾器4，第二腔室
1.2連接第二管道6，在第二管道6上鏈接第二過濾器8，所述第一過濾器4和所述第二過濾器8相同，它們均采用FFU過濾器。第二管道6還與所述第一管道3連通，氣源2還通過第三管道9連接過濾裝置7，在第三管道9上連接第一閥門10，過濾裝置7還連接第四管道11，第四管道11的出氣口與大氣連通，在第四管道11上連接第二閥門12。
[0013]所述過濾裝置7包括過濾箱，在過濾箱內(nèi)設(shè)有過濾層，過濾層也采用FFU過濾器。所述第三管道9和所述第四管道11分別設(shè)置在過濾箱的兩側(cè)。
【主權(quán)項】
1.一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置，包括無塵室(I)，其特征在于:在無塵室(I)內(nèi)設(shè)有過濾裝置(7)，過濾裝置(7)把無塵室(I)的腔體分割成第一腔室(1.1)和第二腔室(1.2)，第一腔室(1.1)通過第一管道(3)連接氣源(2)，在第一管道(3)上設(shè)有第一過濾器(4)，第二腔室(1.2)連接第二管道(6)，在第二管道(6)上鏈接第二過濾器(8)，第二管道(6)還與所述第一管道(3)連通，氣源(2)還通過第三管道(9)連接過濾裝置(7)，在第三管道(9)上連接第一閥門(10)，過濾裝置(7)還連接第四管道(11)，在第四管道(11)上連接第二閥門(12)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置，其特征在于:所述過濾裝置(7)包括過濾箱，在過濾箱內(nèi)設(shè)有過濾層，所述第三管道(9)和所述第四管道(11)分別設(shè)置在過濾箱的兩側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于無塵室的循環(huán)過濾裝置，其特征在于:所述第一過濾器(4)和所述第二過濾器(8)相同，它們均采用FFU過濾器。
【文檔編號】B01D46/00GK205699841SQ201620675180
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月28日
【發(fā)明人】任濟波
【申請人】鄭州中冠技術(shù)工程有限公司