本實用新型涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種涂膠設(shè)備。
背景技術(shù):
目前傳統(tǒng)的涂膠設(shè)備無法保證涂膠起始部和結(jié)束部的光刻膠均一性,從而導(dǎo)致產(chǎn)品的線寬均一性較差。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
為了解決上述技術(shù)問題,本實用新型提供一種涂膠設(shè)備,解決了對基板進行涂膠,基板的第一側(cè)和第二側(cè)涂膠不均勻的問題。
為了達到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種涂膠設(shè)備,包括用于承載基板的承載臺,設(shè)置于所述承載臺上方的支架,所述支架上設(shè)有能夠沿著涂膠方向移動以對基板進行涂膠的涂膠噴嘴,沿著涂膠方向基板包括相對設(shè)置的第一側(cè)和第二側(cè),還包括設(shè)于所述基板的第一側(cè)和第二側(cè)的涂膠板,所述涂膠板具有與基板的表面位于同一平面的第一表面。
進一步的,所述涂膠板包括通過一連接桿連接且對稱設(shè)置的第一子涂膠板和第二子涂膠板,
涂膠設(shè)備還包括控制所述涂膠板在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間變化的控制結(jié)構(gòu);
其中,所述第一狀態(tài)下,所述第一子涂膠板遠(yuǎn)離所述第二子涂膠板的第一面為所述第一表面;
所述第二狀態(tài)下,所述第二子涂膠板遠(yuǎn)離所述第一子涂膠板的第二面為所述第一表面。
進一步的,所述控制結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述承載臺一側(cè)的用于驅(qū)動所述涂膠板翻轉(zhuǎn)的伺服馬達,所述伺服馬達通過第一傳動桿與設(shè)置于基板所述第一側(cè)的涂膠板連接,所述伺服馬達通過第二傳動桿與設(shè)置于基板所述第二側(cè)的涂膠板連接。
進一步的,還包括用于對在所述第一狀態(tài)下對所述第二子涂膠板進行清洗干燥,或在所述第二狀態(tài)下對所述第一子涂膠板進行清洗干燥的清洗干燥結(jié)構(gòu)。
進一步的,所述清洗干燥結(jié)構(gòu)包括噴嘴,在清洗狀態(tài)下對所述噴嘴提供清洗液的清洗液供給結(jié)構(gòu),以及在干燥狀態(tài)下對所述噴嘴提供干燥氣體的干燥氣體供給結(jié)構(gòu)。
進一步的,所述第一子涂膠板沿涂膠方向的長度為10mm-50mm,所述第一子涂膠板在與涂膠方向垂直的方向的長度比基板在與涂膠方向垂直的方向上的長度大5mm-10mm,第一子涂膠板的厚度為5mm-10mm。
進一步的,所述第一子涂膠板采用不銹鋼材料制成。
進一步的,沿著涂膠方向在所述承載臺的至少一側(cè)設(shè)有預(yù)噴涂滾輪。
進一步的,所述支架可沿涂膠方向在基板上方移動,所述支架上設(shè)有能夠沿支架在與涂膠方向垂直的方向上移動的、用于檢測基板上異物的異物檢測結(jié)構(gòu)。
進一步的,所述支架上還設(shè)有用于測量基板厚度的基板厚度檢測結(jié)構(gòu)。
本實用新型的有益效果是:涂膠板的設(shè)置解決了對基板進行涂膠,基板的第一側(cè)和第二側(cè)涂膠不均勻的問題。
附圖說明
圖1表示本實用新型實施例中涂膠設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的特征和原理進行詳細(xì)說明,所舉實施例僅用于解釋本實用新型,并非以此限定本實用新型的保護范圍。
如圖1所示,本實施例提供一種涂膠設(shè)備,包括用于承載基板2的承載臺4,設(shè)置于所述承載臺4上方的支架1,所述支架1上設(shè)有能夠沿著涂膠方向(圖1中箭頭方向為涂膠方向)移動以對基板2進行涂膠的涂膠噴嘴11,沿著涂膠方向基板2包括相對設(shè)置的第一側(cè)和第二側(cè),還包括設(shè)于所述基板2的第一側(cè)和第二側(cè)的涂膠板3,所述涂膠板3具有與基板2的表面位于同一平面的第一表面。
所述基板2的第一側(cè)和第二側(cè)均設(shè)置一涂膠板3,在涂膠時,從設(shè)置在基板2的第一側(cè)的涂膠板3開始,并結(jié)束于設(shè)置于基板2第二側(cè)的涂膠板3,從而將涂膠不均勻的區(qū)域從基板2上轉(zhuǎn)移到了涂膠板3上,涂膠板3的設(shè)置解決了對基板2進行涂膠,基板2的第一側(cè)和第二側(cè)涂膠不均勻的問題。
涂膠結(jié)束后,可以將涂膠板向遠(yuǎn)離基板的方向緩慢移動以分離,為了不影響基板上的涂膠質(zhì)量,可以采用切割的方式在涂膠板與基板的接縫處切割分離,然后移開涂膠板,或者可以進行第一子涂膠板31和第二子涂膠板32上光刻膠的去除,可選的有化學(xué)的方法,如用丙二醇甲醚醋酸酯或乙二醇一乙基醚醋酸酯去邊溶劑,噴出少量在邊緣處,并小心控制不要到達基板2的有效區(qū)域,只要能夠?qū)⒌谝蛔油磕z板31和第二子涂膠板32上光刻膠與基板2上的光刻膠分離即可,在此不再贅述。
所述涂膠板3的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種,只要滿實現(xiàn)對基板2的輔助涂膠,且開始涂膠的區(qū)域位于涂膠板3上,結(jié)束涂膠的區(qū)域位于涂膠板3上以轉(zhuǎn)移涂膠不均勻區(qū)域即可,本實施例中,所述涂膠板3包括通過一連接桿33連接且對稱設(shè)置的第一子涂膠板31和第二子涂膠板32,
涂膠設(shè)備還包括控制所述涂膠板3在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間變化的控制結(jié)構(gòu);
其中,所述第一狀態(tài)下,所述第一子涂膠板31遠(yuǎn)離所述第二子涂膠板32的第一面為所述第一表面;
所述第二狀態(tài)下,所述第二子涂膠板32遠(yuǎn)離所述第一子涂膠板31的第二面為所述第一表面。
所述涂膠板3的第一表面與基板2的表面位于同一平面利于涂膠,所述第一狀態(tài)下,所述第一子涂膠板31遠(yuǎn)離所述第二子涂膠板32的第一面為所述第一表面,在對一基板2涂膠結(jié)束后,更換下一基板2,在控制結(jié)構(gòu)的控制下,涂膠板3由所述第一狀態(tài)轉(zhuǎn)換為所述第二狀態(tài),此時,所述第二子涂膠板32遠(yuǎn)離所述第一子涂膠板31的第二面為所述第一表面,所述第一子涂膠板31和第二子涂膠板32交替進入工作狀態(tài),提高工作效率。
優(yōu)選的,為了使得涂膠板3的第一表面與基板2之間緊密接觸無縫隙以防止漏膠以至影響涂膠質(zhì)量,所述基板2在涂膠方向的長度小于承載基臺4在涂膠方向的長度,在進行涂膠時,涂膠板3的第一表面部分覆蓋于所述承載基臺4上,為了配合此設(shè)置,所述連接桿33與所述第一子涂膠板31或第二子涂膠板32在涂膠方向上可相對移動;或者,所述第一子涂膠板31和所述第二子涂膠板32均可彈性伸縮;或者,所述承載基臺4設(shè)置有能夠供涂膠板3中第一子涂膠板31或者第二子涂膠板32的一端插入的插槽,所述插槽在涂膠方向上的深度大于所述涂膠板3的第一表面覆蓋于所述承載基臺4上的部分、在涂膠方向上的長度,即,所述第一狀態(tài)下,所述第一子涂膠板31遠(yuǎn)離所述第二子涂膠板32的第一面為所述第一表面,所述第二子涂膠板32的一端插入所述插槽中以使得所述第一子涂膠板31與基板緊密接觸,基板涂膠結(jié)束后,涂膠板3向遠(yuǎn)離所述承載基臺4的方向移動使得所述第二子涂膠板32從所述插槽中脫離,涂膠板3翻轉(zhuǎn)180度、并向靠近所述承載基臺4的方向移動、使得所述第二子涂膠板32遠(yuǎn)離所述第一子涂膠板31的第二面為所述第一表面、且所述第二子涂膠板32與基板緊密接觸,所述第一子涂膠板31的一端插入所述插槽中,涂膠板3由第一狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第二狀態(tài)。
優(yōu)選的,所述控制結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述承載臺4一側(cè)的用于驅(qū)動所述涂膠板3翻轉(zhuǎn)的伺服馬達6,所述伺服馬達6通過第一傳動桿與設(shè)置于基板2所述第一側(cè)的涂膠板3連接,所述伺服馬達6通過第二傳動桿與設(shè)置于基板2所述第二側(cè)的涂膠板3連接。所述伺服馬達6控制基板2第一側(cè)或第二側(cè)的涂膠板3翻轉(zhuǎn)180度即可控制涂膠板3在第一狀態(tài)和第二狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換。
為了使得所述第一子涂膠板31和所述第二子涂膠板32可以循環(huán)使用,進一步的提高工作效率,本實施例中,涂膠設(shè)備還包括用于對在所述第一狀態(tài)下對所述第二子涂膠板32進行清洗干燥,或在所述第二狀態(tài)下對所述第一子涂膠板31進行清洗干燥的清洗干燥結(jié)構(gòu)。
所述第一狀態(tài)下,所述第一子涂膠板31遠(yuǎn)離所述第二子涂膠板32的第一面為所述第一表面;在一基板2涂膠結(jié)束后,通過控制結(jié)構(gòu)的控制,涂膠板3由所述第一狀態(tài)轉(zhuǎn)換為所述第二狀態(tài),此時,所述第二子涂膠板32遠(yuǎn)離所述第一子涂膠板31的第二面為所述第一表面,第二個基板2進行涂膠;此時,通過清洗干燥結(jié)構(gòu)對所述第一子涂膠板31遠(yuǎn)離所述第二子涂膠板32的第一面進行清洗干燥,以便在另一基板2進行涂膠時,只需通過控制結(jié)構(gòu)控制涂膠板3由所述第二狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第一狀態(tài),即清洗干燥后的所述第一面為所述第一表面再次進行輔助涂膠。如此循環(huán)工作,提高工作效率。
所述清洗干燥結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)形式可以有多種,只要實現(xiàn)對涂膠板3的清洗干燥即可,本實施例中,所述清洗干燥結(jié)構(gòu)包括噴嘴,在清洗狀態(tài)下對所述噴嘴提供清洗液的清洗液供給結(jié)構(gòu),以及在干燥狀態(tài)下對所述噴嘴提供干燥氣體的干燥氣體供給結(jié)構(gòu)
本實施例中,所述干燥氣體優(yōu)選為氮氣。
優(yōu)選的,所述第一子涂膠板31沿涂膠方向的長度為10mm-50mm,所述第一子涂膠板31在與涂膠方向垂直的方向的長度比基板2在與涂膠方向垂直的方向上的長度大5mm-10mm,第一子涂膠板31的厚度為5mm-10mm。
所述第一子涂膠板31與所述第二子涂膠板32為對稱結(jié)構(gòu),所述第二子涂膠板32沿涂膠方向的長度為10mm-50mm,所述第二子涂膠板32在與涂膠方向垂直的方向的長度比基板2在與涂膠方向垂直的方向上的長度大5mm-10mm,第二子涂膠板32的厚度為5mm-10mm。上述數(shù)值的設(shè)定提供了涂膠的質(zhì)量,但并不是對第一子涂膠板31或第二子涂膠板32的限定,具體的數(shù)值設(shè)定可以根據(jù)實際需要選取。
優(yōu)選的,所述第一子涂膠板31采用不銹鋼材料制成,所述第一子涂膠板31和所述第二子涂膠板32均為平面結(jié)構(gòu),利于轉(zhuǎn)移基板2涂膠不均勻的區(qū)域。
優(yōu)選的,沿著涂膠方向在所述承載臺4的至少一側(cè)設(shè)有預(yù)噴涂滾輪5。
承載臺4的一側(cè)設(shè)置有清洗涂膠噴嘴11的預(yù)噴涂滾輪5,在對基板表面進行涂膠時,首先需要將涂膠噴嘴11在預(yù)噴涂滾輪5上進行清洗,并在預(yù)噴涂滾輪5上進行預(yù)涂膠,涂膠噴嘴11在預(yù)噴涂滾輪5上進行清洗及預(yù)噴涂的同時,機械手將基板放置在承載臺4的承載面,基板放好后支架1向承載臺4一側(cè)移動,支架1上的涂膠噴嘴11開始對基板的表面進行正式涂膠;正式涂膠完成后,涂膠噴嘴11抬起隨支架1返回到預(yù)噴涂滾輪5上,在預(yù)噴涂滾輪5上進行清洗以及預(yù)噴涂,而在涂膠噴嘴11進行清洗及預(yù)噴涂的過程中,機械手更換上第二塊基板,然后再開始第二塊基板的涂膠作業(yè);承載臺4的兩側(cè)均設(shè)有預(yù)噴涂滾輪5時,正式涂膠完成后,涂膠噴嘴11在承載臺4另一側(cè)的預(yù)噴涂滾輪5上進行清洗以及預(yù)噴涂,而在涂膠噴嘴11進行清洗及預(yù)噴涂的過程中,機械手更換上第二塊基板,然后再開始第二塊基板的涂膠作業(yè)。
優(yōu)選的,所述支架1可沿涂膠方向在基板2上方移動,所述支架1上設(shè)有能夠沿支架1在與涂膠方向垂直的方向上移動的、用于檢測基板2上異物的異物檢測結(jié)構(gòu)13。異物檢測結(jié)構(gòu)13的設(shè)置便于在對基板2涂膠之前清楚基板2上的異物,以防涂膠不良。
優(yōu)選的,所述支架1上還設(shè)有用于測量基板2厚度的基板2厚度檢測結(jié)構(gòu)12,利于涂膠。
以上所述為本實用新型較佳實施例,需要說明的是,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實用新型所述原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型保護范圍。