本實用新型涉及的是一種涂布頭清潔器，屬于機電設備領域。

背景技術：

彩色綠光片涂布機在涂布中因涂布完成后需要對涂布機的NOZZLER(涂布頭)實施清潔，現有的清潔裝置無法有效清潔，造成產品大量不良，導致涂布機在涂布過程中涂布不均勻及光阻殘嚴重。

現有對涂布機的涂布頭清潔原理如下：清潔裝置通過使用洗劑及CDA（干燥空氣）對涂布頭實施藥劑清潔后再使用橡膠墊塊實施擦拭清潔，從而達到清潔涂布頭前端光阻的需求。

因現有的設計洗劑+CDA（干燥空氣）的出口孔為線型，噴出后洗劑呈扇形，雖然清潔面積大，但無法有效、準確的對涂布頭的尖端實施定點清潔，且洗劑的流量不好控制，如果流量過小的時候容易造成無洗劑噴出只有CDA（干燥空氣）噴出；如果流量過大就會造成干燥空氣將洗劑噴出飛濺，因其噴口孔徑過大導致洗劑會濺到涂布頭造成涂布頭的再次污染而無法有效清潔 ；清潔的干燥單元置于藥劑清潔的上端只能對涂布頭尖端的上部分實施干燥，不能對整個涂布頭尖端實施干燥；清潔后，涂布頭尖端仍有光阻及洗劑殘留，造成涂布機再次涂布基板時，因涂布頭尖端有異物殘留導致涂布的光阻不均。

技術實現要素：

本實用新型提出的是一種涂布頭清潔裝置，其目的旨在解決涂布機的涂布頭不能徹底清潔干凈的問題。

本實用新型的技術解決方案：一種涂布頭清潔裝置，包括清潔噴口（1）、干燥單元（2）、橡膠墊（3）；其中，清潔噴口（1）位于涂布頭清潔裝置的前端，干燥單元（2）位于涂布頭清潔裝置的后端，橡膠墊塊（3）位于涂布頭清潔裝置中間的兩側。

本實用新型的優(yōu)點：

1）從線狀清潔方式變更為點狀清潔方式，這樣更容易控制、更能精確、有效的對NOZZLER實施清潔；

2）干燥單元位置變更可以有效防止洗劑飛濺造成的涂布頭污染，且在清潔完成后對涂布頭的尖端能夠實施整體干燥。

附圖說明

附圖1是涂布頭清潔器的結構示意圖。

附圖中1是清潔噴口、2是干燥單元、3是橡膠墊。

具體實施方式

對照附圖，一種涂布頭清潔裝置，包括清潔噴口1、干燥單元2、橡膠墊3；其中，清潔噴口1位于涂布頭清潔裝置的前端，干燥單元2位于涂布頭清潔裝置的后端，橡膠墊3位于涂布頭清潔裝置中間的兩側。

所述的清潔噴口1呈圓孔狀。

所述的干燥單元2的結構為兩個線形噴嘴，對清潔后整個涂布頭實施干燥，且將點狀干燥變更為線狀，增大了干燥面積，能夠對涂布頭的尖端實施整體干燥。

清潔噴口使用洗劑及干燥空氣對涂布頭實施清洗后在使用橡膠墊對涂布頭實施刮擦清潔，最后使用干燥空氣對涂布頭實施吹掃；干燥單元的形狀必須呈線形而非圓形 這樣可以最大面積的對涂布頭實施吹掃，其次干燥單元要保護的是干燥氣體為可以調整壓力的干燥空氣或氮氣。

涂布清潔裝置：涂布頭將光阻（光刻膠）均勻的涂與玻璃基板上，在每次涂布完成一枚玻璃基板的涂布后涂布后的前端均后粘有光阻，所以就需要對涂布頭實施清潔；如果不使用該裝置實施清潔的話涂布頭前端的光阻越堆積越多就會造成涂布不均勻 造成不良產品；

本裝置就是對涂布頭均勻涂布完成后對涂布頭實施清潔從而保證每次涂布頭涂布時都比較干凈不會造成涂布不均的發(fā)生。

當涂布頭完成均勻涂布后，涂布頭會自動移動到設定對的位置，此時清潔裝置會移動到涂布頭的下端設定的位置，從左向右移動對整個涂布頭實施清潔，清潔完成后會高速回到設定的安全位置，涂布頭移動到涂布位置實施涂布；涂完一枚玻璃后會再次來到清潔位置實施清潔。

所述流體是清洗的化學洗劑與干燥空氣的混合體。流體噴口的形狀從線性變更為圓孔狀后，流體從圓孔噴出后呈線型，流體的流量比較容易控制，且其清潔的位置也比較容易控制，可以準確的對涂布頭的尖端實施定點清潔。

干燥單元的位置從涂布頭的前端變更為后端，可以對清潔后整個涂布頭實施干燥，且將點狀干燥變更為線狀，增大了干燥面積，能夠對涂布頭的尖端實施整體干燥。