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一種單晶爐過濾器的清洗裝置的制作方法

文檔序號:12218016閱讀:795來源:國知局

本實用新型涉及一種單晶爐過濾器的清洗裝置。



背景技術:

單晶爐大罐過濾器用于過濾大直徑雜質(zhì),以防止其對真空泵的運行造成影響,同時還對真空泵油起到潔凈的作用,其形狀與汽車過濾器類似,體積較大,一般附著物包括硅的不完全氧化物,硅、石墨熱場碳的粉塵物,密度小,體積小,質(zhì)量小,容易產(chǎn)生“塵土”效果。不及時清理會造成單晶爐爐壓偏高,真空度不足的隱患,造成爐內(nèi)拉制過程中雜質(zhì)不能由真空泵抽去,進而影響硅單晶的拉制過程,要求每5-10爐清掃一次,目前,單晶爐過濾器的清掃均為用清掃刷清掃并用吸塵器進行吸附,清掃工序繁瑣、清掃效果差,工作效率低,對環(huán)境產(chǎn)生影響,并且此工序繁瑣。



技術實現(xiàn)要素:

本實用新型要解決的技術問題是提供一種單晶爐過濾器的清洗裝置,它具有便于操作、清洗效率高等特點。

為解決上述技術問題,本實用新型所采取的技術方案是:

一種單晶爐過濾器的清洗裝置,包括上端開口的清洗桶,在清洗桶的桶壁設有噴水孔,噴水孔通過管路與高壓水源連通;還包括用于密封并固定在清洗桶上端的開口上的清洗桶桶蓋,在清洗桶的底部中央設有與電機傳動連接的主動轉(zhuǎn)軸,在桶蓋上設從動轉(zhuǎn)軸,主動轉(zhuǎn)軸與從動轉(zhuǎn)軸的軸線位于同一條鉛垂線上,在清洗桶內(nèi)設有過濾器固定裝置,過濾器固定裝置包括位于從動轉(zhuǎn)軸上的過濾器頂部固定件和位于主動轉(zhuǎn)軸上的過濾器底部固定件,過濾器固定裝置將單晶爐過濾器固定后,單晶爐過濾器的中心線與鉛垂線重合,在清洗桶的底部設有出水口。

本實用新型進一步改進在于:

過濾器固定裝置中的過濾器頂部固定件包括其中央與從動轉(zhuǎn)軸固定連接的頂部固定盤,在頂部固定盤的底部設有與單晶爐過濾器頂部凹槽相適配的凸臺;過濾器固定裝置中的過濾器底部固定件包括底部固定盤,在底部固定盤的中部上方設有與單晶爐過濾器底部圓孔相適配的圓柱,并設有與圓柱滑配連接的固定筒,在圓柱的軸心設有螺紋孔,與螺紋孔螺紋連接的調(diào)節(jié)手柄將固定筒與圓柱連接在一起。

噴水孔為對稱設置的兩組,每組由多個豎向排列在清洗桶的桶壁上的噴水孔組成。

在與噴水孔連通的管路上設有受時鐘控制的電磁閥。

采用上述技術方案所產(chǎn)生的有益效果在于:

本實用新型在清洗桶的底部中央設有與電機傳動連接的主動轉(zhuǎn)軸,在桶蓋上設從動轉(zhuǎn)軸,主動轉(zhuǎn)軸與從動轉(zhuǎn)軸的軸線位于同一條鉛垂線上,清洗桶內(nèi)設有過濾器固定裝置,過濾器固定裝置包括位于從動轉(zhuǎn)軸上的過濾器頂部固定件和位于主動轉(zhuǎn)軸上的過濾器底部固定件,過濾器固定裝置將單晶爐過濾器固定后,單晶爐過濾器的中心線與鉛垂線重合,將單晶爐過濾器固定在清洗桶內(nèi)后,當電機帶動主動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時,過濾器會在清洗桶內(nèi)高速平穩(wěn)旋轉(zhuǎn);在清洗桶的桶壁設有噴水孔,噴水孔通過管路與高壓水源連通,在清洗桶的底部設有出水口,在過濾器高速旋轉(zhuǎn)的同時,噴水口對準過濾器噴水,利用過濾器附著物溶解于水的物理性質(zhì),完成對過濾器的清洗。本實用新型具有便于操作、清洗效率高等特點。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

在附圖中:1、清洗桶;2、噴水孔;3、管路;4、清洗桶桶蓋;5、電機;6、主動轉(zhuǎn)軸;7、從動轉(zhuǎn)軸;8、單晶爐過濾器;9、出水口;10、頂部固定盤;11、凸臺;12、底部固定盤;13、圓柱;14、固定筒;15、調(diào)節(jié)手柄;16、電磁閥。

具體實施方式

下面將結合附圖和具體實施例對本實用新型進行進一步詳細說明。

通過對過濾器上揮發(fā)物進行研究,發(fā)現(xiàn)用水對過濾器進行沖洗,即可避免對空氣環(huán)境的污染,又可提高工作效率。

由圖1所示的實施例可知,本實施例包括上端開口的清洗桶1,在清洗桶1的桶壁設有噴水孔2,噴水孔2通過管路3與高壓水源連通;還包括用于密封并固定在清洗桶1上端的開口上的清洗桶桶蓋4,在清洗桶1的底部中央設有與電機5傳動連接的主動轉(zhuǎn)軸6,在桶蓋4上設從動轉(zhuǎn)軸7,主動轉(zhuǎn)軸6與從動轉(zhuǎn)軸7的軸線位于同一條鉛垂線上,在清洗桶1內(nèi)設有過濾器固定裝置,過濾器固定裝置包括位于從動轉(zhuǎn)軸7上的過濾器頂部固定件和位于主動轉(zhuǎn)軸6上的過濾器底部固定件,過濾器固定裝置將單晶爐過濾器8固定后,單晶爐過濾器8的中心線與鉛垂線重合,在清洗桶1的底部設有出水口9。

過濾器固定裝置中的過濾器頂部固定件包括其中央與從動轉(zhuǎn)軸7固定連接的頂部固定盤10,在頂部固定盤10的底部設有與單晶爐過濾器8頂部凹槽相適配的凸臺11;過濾器固定裝置中的過濾器底部固定件包括底部固定盤12,在底部固定盤12的中部上方設有與單晶爐過濾器8底部圓孔相適配的圓柱13,并設有與圓柱13滑配連接的固定筒14,在圓柱13的軸心設有螺紋孔,與螺紋孔螺紋連接的調(diào)節(jié)手柄15將固定筒14與圓柱13連接在一起。

噴水孔2為對稱設置的兩組,每組由多個豎向排列在清洗桶1的桶壁上的噴水孔2組成。

在與噴水孔2連通的管路3上設有受時鐘控制的電磁閥16。

操作方法:

1、將單晶爐過濾器置于清洗桶1內(nèi),并通過過濾器固定裝置對其進行固定。

2、開啟電機5使單晶爐過濾器8旋轉(zhuǎn),打開電磁閥16使噴水孔2連通高壓水源對單晶爐過濾器8進行清洗,根據(jù)過濾器上揮發(fā)物數(shù)量調(diào)節(jié)受時鐘控制的電磁閥16的開啟間隔時間及單晶爐過濾器8的旋轉(zhuǎn)速度。

3、單晶爐過濾器8達到水滴不掛壁的效果認定清洗干凈,之后關閉電機5及電磁閥16,打開清洗桶桶蓋4取出單晶爐過濾器8,完成對單晶爐過濾器8的清洗。

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