1.一種磁場微波放電等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：在真空室(1)的頂部或側(cè)面安裝圓柱形放電腔(2)；放電腔(2)外部安裝電磁線圈(3)或永久磁鐵；放電腔(2)遠(yuǎn)離真空室的一端安裝有微波窗口(4)，微波窗口(4)與微波波導(dǎo)(5)一端連接，微波波導(dǎo)(5)另一端連接微波源(6)；載體氣體管路(7)一端連接載體氣體源(8)，另一端連接放電腔(2)，并在放電腔(2)遠(yuǎn)離真空室(1)的一端開口；單體蒸汽管路(9)一端連接單體蒸汽源(10)，另一端連接真空室(1)并在真空室(1)內(nèi)靠近放電腔(2)處開口；真空排氣管(11)設(shè)置在真空室(1)遠(yuǎn)離放電腔(2)的一側(cè)，且連接真空泵(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁場微波放電等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述放電腔(2)的直徑為13cm-20cm，材質(zhì)為金屬。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁場微波放電等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述微波源(6)產(chǎn)生的微波頻率為0.3-6GHz。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁場微波放電等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述微波源(6)能夠連續(xù)輸出微波或斷續(xù)輸出微波，微波源(6)斷續(xù)輸出微波時(shí)，微波輸出時(shí)間為2-100μs，微波中斷時(shí)間為1-100ms。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁場微波放電等離子體聚合表面涂層裝置，其特征在于：所述電磁線圈或永久磁鐵的磁感應(yīng)強(qiáng)度B(T)滿足公式B(T)＝0.0357f(GHz)，其中f(GHz)是微波頻率。