本實用新型涉及一種用于制備高純?nèi)倪B續(xù)精餾裝置，屬于化工產(chǎn)品的生產(chǎn)裝置領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5μm的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)良的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物質(zhì)，同時也是非常良好的清洗劑。隨著三氟化氮在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用，應(yīng)用行業(yè)對三氟化氮的純度要求越來越高。而精餾法是最容易實現(xiàn)的提高三氟化氮純度的方法。

目前，提純制備高純?nèi)木s裝置主要采用的是間歇精餾裝置，不能連續(xù)生產(chǎn)，生產(chǎn)效率低，耗用時間長，產(chǎn)出率相對可較低，能耗高。并且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，加工制作比較困難。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型要解決的技術(shù)問題是：提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可連續(xù)生產(chǎn)、產(chǎn)出率高的用于制備高純?nèi)倪B續(xù)精餾裝置。

本實用新型所述的用于制備高純?nèi)倪B續(xù)精餾裝置，包括脫輕塔和脫重塔，脫輕塔包括臥式的脫輕塔塔釜，脫輕塔塔釜上安裝脫輕塔塔節(jié)，脫輕塔塔節(jié)上安裝脫輕塔塔頂冷凝器，脫輕塔塔節(jié)內(nèi)安裝脫輕塔液體分布器，脫輕塔液體分布器底部有脫輕塔填料，脫輕塔塔釜內(nèi)安裝脫輕塔塔釜再沸器；脫重塔包括臥式的脫重塔塔釜，脫重塔塔釜上安裝脫重塔塔節(jié)，脫重塔塔節(jié)上安裝脫重塔塔頂冷凝器，脫重塔塔節(jié)內(nèi)安裝脫重塔液體分布器，脫重塔液體分布器底部有脫重塔填料，脫重塔塔釜內(nèi)安裝脫重塔塔釜再沸器，脫輕塔塔釜底部出料口通過連接管路連接脫重塔塔節(jié)，連接管路上設(shè)有連接閥門。

所述的脫輕塔塔頂冷凝器頂部有脫輕塔出料管，脫重塔塔頂冷凝器頂部有脫重塔出料管，脫輕塔塔節(jié)連通脫輕塔進(jìn)料管，脫重塔塔釜底部連通脫重塔出料管。

本裝置由兩個精餾塔(即脫輕塔、脫重塔)及一個以上的連接閥門和連接管路等組成。兩個精餾塔之間采用管路相連，第一個塔的進(jìn)料與上游設(shè)備相連，第二個塔的出料與后續(xù)設(shè)備相連。第一個塔從塔頂排出輕組分，脫輕塔塔釜物料進(jìn)入第二個塔，第二個塔從塔頂收集成品，從脫重塔塔釜排出重組分。

本實用新型的有益效果是：

流程簡單，設(shè)計合理，使用方便，可連續(xù)生產(chǎn)，產(chǎn)出率高，生產(chǎn)的三氟化氮純度99.99％以上。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、脫輕塔；2、脫輕塔塔頂冷凝器；3、脫輕塔液體分布器；4、脫輕塔填料；5、脫輕塔塔節(jié)；6、脫輕塔塔釜；7、脫輕塔塔釜再沸器；8、脫重塔塔釜再沸器；9、脫重塔塔釜；10、脫重塔塔節(jié)；11、脫重塔填料；12、脫重塔液體分布器；13、脫重塔塔頂冷凝器；14、脫重塔；15、連接閥門；16、連接管路。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型做進(jìn)一步描述：

如圖1所示，本實用新型所述的用于制備高純?nèi)倪B續(xù)精餾裝置，包括脫輕塔1和脫重塔，脫輕塔1包括臥式的脫輕塔塔釜6，脫輕塔塔釜6上安裝脫輕塔塔節(jié)5，脫輕塔塔節(jié)5上安裝脫輕塔塔頂冷凝器2，脫輕塔塔節(jié)5內(nèi)安裝脫輕塔液體分布器3，脫輕塔液體分布器3底部有脫輕塔填料4，脫輕塔塔釜6內(nèi)安裝脫輕塔塔釜再沸器7；脫重塔包括臥式的脫重塔塔釜9，脫重塔塔釜9上安裝脫重塔塔節(jié)10，脫重塔塔節(jié)10上安裝脫重塔塔頂冷凝器13，脫重塔塔節(jié)10內(nèi)安裝脫重塔液體分布器12，脫重塔液體分布器12底部有脫重塔填料11，脫重塔塔釜9內(nèi)安裝脫重塔塔釜再沸器8，脫輕塔塔釜6底部出料口通過連接管路16連接脫重塔塔節(jié)10，連接管路16上設(shè)有連接閥門15。脫輕塔塔頂冷凝器2頂部有脫輕塔出料管，脫重塔塔頂冷凝器13頂部有脫重塔出料管，脫輕塔塔節(jié)5連通脫輕塔進(jìn)料管，脫重塔塔釜9底部連通脫重塔出料管。

使用本實用新型時，首先將三氟化氮粗品升壓至所需壓力，壓入脫輕塔1，進(jìn)入脫輕塔1的氣體在脫輕塔塔頂冷凝器2冷卻，三氟化氮液化后通過脫輕塔塔節(jié)5回流至脫輕塔塔釜6，不能液化的輕組分從由脫輕塔塔頂冷凝器2頂部排出，同時通過脫輕塔塔釜再沸器7對脫輕塔塔釜6內(nèi)的液相物料加熱，使物料不斷汽化形成穩(wěn)定回流。脫輕塔塔釜6內(nèi)的液相物料從塔釜通過連接閥門15和連接管路16進(jìn)入脫重塔，脫重塔塔釜9內(nèi)液相物料在脫重塔塔釜再沸器8的加熱作用下汽化，通過脫重塔塔節(jié)10到達(dá)脫重塔塔頂冷凝器13，成品三氟化氮通過塔頂出料口進(jìn)入后續(xù)設(shè)備，重組分冷凝后通過脫重塔塔節(jié)10回流到脫重塔塔釜9，并最終從底部排出。