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一種涂膠系統(tǒng)及其涂膠修復(fù)方法與流程

文檔序號(hào):12355986閱讀:274來(lái)源:國(guó)知局

本文涉及面板技術(shù)領(lǐng)域,尤指一種涂膠系統(tǒng)和一種涂膠系統(tǒng)的涂膠修復(fù)方法。



背景技術(shù):

目前的液晶面板大型產(chǎn)線中,涂膠系統(tǒng)一般自帶Particle(粒子)檢測(cè)功能,涂膠后的液晶面板在粒子檢測(cè)完成后繼續(xù)下行并且對(duì)涂膠不良的液晶面板進(jìn)行標(biāo)記,對(duì)于不良的液晶面板到下一工序進(jìn)行清洗,清除液晶面板上的全部涂膠,然后再重新涂膠和離子檢測(cè),直至涂膠后的液晶面板合格為止。這種方法對(duì)于涂膠不良的液晶面板的修復(fù)時(shí)間較長(zhǎng),生產(chǎn)效率較低。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題中的至少之一,本文提供了一種涂膠系統(tǒng),在涂膠基板時(shí)可縮短不良的涂膠基板的修復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。

為了達(dá)到本文目的,本文提供了一種涂膠系統(tǒng),包括:用于對(duì)固定在安裝臺(tái)上的基板進(jìn)行涂膠的涂膠單元;用于對(duì)基板的涂膠進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)單元;用于對(duì)檢測(cè)單元檢測(cè)到的基板上的不合格涂膠進(jìn)行除膠的清潔單元;用于對(duì)除膠后的清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù)的修復(fù)單元;驅(qū)動(dòng)單元,所述檢測(cè)單元、所述清潔單元和所述修復(fù)單元安裝在所述驅(qū)動(dòng)單元上,所述驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)動(dòng)所述檢測(cè)單元、所述清潔單元和所述修復(fù)單元移動(dòng);控制單元,與所述涂膠單元、所述檢測(cè)單元、所述清潔單元、所述修復(fù)單元和所述驅(qū)動(dòng)單元連接,用于控制所述涂膠單元對(duì)固定在安裝臺(tái)上的基板進(jìn)行涂膠,所述檢測(cè)單元對(duì)基板上的涂膠進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到存在不合格涂膠時(shí),所述清潔單元清除基板上不合格涂膠區(qū)域的涂膠,所述修復(fù)單元對(duì)基板上清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù)。

可選地,所述驅(qū)動(dòng)單元包括:第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),均安裝在所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上,所述檢測(cè)單元、所述清潔單元和所述修復(fù)單元對(duì)應(yīng)安裝在所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上;所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述檢測(cè)單元、所述清潔單元和所述修復(fù)單元一起沿所述基板的縱向移動(dòng),所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可對(duì)應(yīng)帶動(dòng)所述檢測(cè)單元、所述清潔單元和所述修復(fù)單元沿所述基板的橫向移動(dòng)。

可選地,所述驅(qū)動(dòng)單元還包括:第五驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第六驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第七驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),對(duì)應(yīng)安裝在所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上,所述檢測(cè)單元、所述清潔單元和所述修復(fù)單元對(duì)應(yīng)安裝在所述第五驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第六驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第七驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上;所述第五驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第六驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第七驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可對(duì)應(yīng)帶動(dòng)所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿所述基板的高度方向移動(dòng)。

可選地,所述涂膠系統(tǒng)還包括:安裝在所述驅(qū)動(dòng)單元上的干燥單元,用于對(duì)基板上的涂膠進(jìn)行干燥。

可選地,所述涂膠系統(tǒng)還包括:所述安裝臺(tái)。

可選地,所述清潔單元和所述修復(fù)單元均包括有噴嘴,且所述清潔單元和所述修復(fù)單元的噴嘴的口徑相同。

可選地,所述檢測(cè)單元為粒子掃描檢測(cè)裝置,所述基板為玻璃基板。

本發(fā)明還提供了一種涂膠系統(tǒng)的涂膠修復(fù)方法,控制單元控制檢測(cè)單元對(duì)基板上的涂膠進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到基板上的涂膠存在不合格涂膠時(shí),控制單元控制清潔單元清除基板上不合格涂膠區(qū)域的涂膠,控制單元再控制修復(fù)單元對(duì)清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù)。

可選地,在涂膠修復(fù)完成后,所述控制單元控制檢測(cè)單元再對(duì)基板上涂膠修復(fù)區(qū)域的涂膠進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到涂膠修復(fù)區(qū)域的涂膠存在不合格涂膠時(shí),對(duì)涂膠修復(fù)區(qū)域重復(fù)進(jìn)行清潔涂膠、涂膠修復(fù)和檢測(cè)的動(dòng)作,直至檢測(cè)到基板上的涂膠不存在不合格涂膠為止。

可選地,采用涂膠單元對(duì)基板的表面進(jìn)行涂膠。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的涂膠系統(tǒng),在控制單元的控制下,涂膠單元對(duì)固定在安裝臺(tái)上的基板進(jìn)行涂膠,檢測(cè)單元對(duì)基板上的涂膠進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到存在不合格涂膠時(shí),清潔單元清除基板上不合格涂膠區(qū)域的涂膠,修復(fù)單元對(duì)基板上清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù),以縮短不良的涂膠基板的修復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。

本文的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書(shū)中闡述,并且,部分地從說(shuō)明書(shū)中變得顯而易見(jiàn),或者通過(guò)實(shí)施本文而了解。本文的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過(guò)在說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求書(shū)以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。

附圖說(shuō)明

附圖用來(lái)提供對(duì)本文技術(shù)方案的進(jìn)一步理解,并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分,與本申請(qǐng)的實(shí)施例一起用于解釋本文的技術(shù)方案,并不構(gòu)成對(duì)本文技術(shù)方案的限制。

圖1為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例所述的涂膠系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意框圖。

其中,圖1中附圖標(biāo)記與部件名稱(chēng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為:

1涂膠單元,2檢測(cè)單元,3清潔單元,4修復(fù)單元,5驅(qū)動(dòng)單元,6安裝臺(tái),7基板。

具體實(shí)施方式

為使本文的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,下文中將結(jié)合附圖對(duì)本文的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。需要說(shuō)明的是,在不沖突的情況下,本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互任意組合。

在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本文,但是,本文還可以采用其他不同于在此描述的方式來(lái)實(shí)施,因此,本文的保護(hù)范圍并不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。

下面結(jié)合附圖描述本文一些實(shí)施例的涂膠系統(tǒng)和涂膠系統(tǒng)的涂膠修復(fù)方法。

本文提供的涂膠系統(tǒng),如圖1所示,應(yīng)用于面板(如:液晶面板)領(lǐng)域,包括:用于對(duì)固定在安裝臺(tái)6上的基板7進(jìn)行涂膠的涂膠單元1;用于對(duì)基板7的涂膠進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)單元2;用于對(duì)檢測(cè)單元2檢測(cè)到的基板7上的不合格涂膠進(jìn)行除膠的清潔單元3;用于對(duì)除膠后的清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù)的修復(fù)單元4;驅(qū)動(dòng)單元5,檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4安裝在驅(qū)動(dòng)單元5上,驅(qū)動(dòng)單元5用于驅(qū)動(dòng)檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4移動(dòng);控制單元,與涂膠單元1、檢測(cè)單元2、清潔單元3、修復(fù)單元4和驅(qū)動(dòng)單元5連接。

本發(fā)明提供的涂膠系統(tǒng),在控制單元的控制下,涂膠單元1對(duì)固定在安裝臺(tái)6上的基板7進(jìn)行涂膠,檢測(cè)單元2對(duì)基板7上的涂膠進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到存在不合格涂膠時(shí),清潔單元3清除基板7上不合格涂膠區(qū)域的涂膠,修復(fù)單元4對(duì)基板7上清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù),以縮短不良的涂膠基板7的修復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。

可選地,驅(qū)動(dòng)單元5包括:第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),均安裝在第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上,檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4對(duì)應(yīng)安裝在第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上;第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4一起沿基板7的縱向移動(dòng),第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可對(duì)應(yīng)帶動(dòng)檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4沿基板7的橫向移動(dòng),以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4均能夠沿基板7的橫向和縱向移動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)基板7上任意位置的不合格涂膠區(qū)域的涂膠進(jìn)行修復(fù)(可覆蓋基板7表面的全部區(qū)域)。

可選地,驅(qū)動(dòng)單元5還包括:第五驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第六驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第七驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),對(duì)應(yīng)安裝在第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上,檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4對(duì)應(yīng)安裝在第五驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第六驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第七驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上;第五驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第六驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第七驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可對(duì)應(yīng)帶動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第三驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第四驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)沿基板7的高度方向移動(dòng),實(shí)現(xiàn)檢測(cè)單元2、清潔單元3和修復(fù)單元4均能夠進(jìn)行三維移動(dòng)。

可選地,涂膠系統(tǒng)還包括:安裝在驅(qū)動(dòng)單元5上的干燥單元,用于對(duì)基板7上的涂膠進(jìn)行干燥;和安裝臺(tái)6。

可選地,清潔單元3和修復(fù)單元4均包括有噴嘴,且清潔單元3和修復(fù)單元4的噴嘴的口徑相同。

可選地,檢測(cè)單元2為粒子掃描檢測(cè)裝置,基板7為玻璃基板7。

具體地,在檢測(cè)單元2旁,增加兩個(gè)滴管式噴頭,其中一個(gè)噴頭連通清洗劑管路(清潔單元3),清洗劑可以為稀釋劑或者顯影液,其主要作用為去除檢測(cè)到的不合格涂膠區(qū)域的涂膠,并且進(jìn)行清潔后噴灑冷空氣進(jìn)行干燥(干燥單元),另外一個(gè)噴頭連通涂膠管路確保在清除涂膠區(qū)域進(jìn)行重新噴涂涂膠(也稱(chēng):光刻膠),其工藝與量產(chǎn)原噴涂工藝保持一致,這樣可以保持(涂膠)膜厚及其他測(cè)試指標(biāo)的均勻性。.

本發(fā)明提供的涂膠系統(tǒng)的涂膠修復(fù)方法,控制單元控制檢測(cè)單元2對(duì)基板7上的涂膠(由涂膠單元1對(duì)基板7的表面進(jìn)行涂膠)進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到基板7上的涂膠存在不合格涂膠時(shí),控制單元控制清潔單元3清除基板7上不合格涂膠區(qū)域的涂膠,控制單元再控制修復(fù)單元4對(duì)清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù)(并非采用涂膠單元1對(duì)清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù)),以縮短不良的涂膠基板7的修復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。

進(jìn)一步地,在涂膠修復(fù)完成后,控制單元控制檢測(cè)單元2再對(duì)基板7上涂膠修復(fù)區(qū)域的涂膠進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到涂膠修復(fù)區(qū)域的涂膠存在不合格涂膠時(shí),對(duì)涂膠修復(fù)區(qū)域重復(fù)進(jìn)行清潔涂膠、涂膠修復(fù)和檢測(cè)的動(dòng)作,直至檢測(cè)到基板7上的涂膠不存在不合格涂膠為止。

可選地,采用涂膠單元1對(duì)基板7的表面進(jìn)行涂膠。

綜上所述,本發(fā)明提供的涂膠系統(tǒng),在控制單元的控制下,涂膠單元對(duì)固定在安裝臺(tái)上的基板進(jìn)行涂膠,檢測(cè)單元對(duì)基板上的涂膠進(jìn)行檢測(cè),在檢測(cè)到存在不合格涂膠時(shí),清潔單元清除基板上不合格涂膠區(qū)域的涂膠,修復(fù)單元對(duì)基板上清除涂膠區(qū)域進(jìn)行涂膠修復(fù),以縮短不良的涂膠基板的修復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)效率。

在本文的描述中,術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等均應(yīng)做廣義理解,例如,“連接”可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是直接相連,也可以通過(guò)中間媒介間接相連。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本文中的具體含義。

在本說(shuō)明書(shū)的描述中,術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“具體實(shí)施例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或特點(diǎn)包含于本文的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中,對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或?qū)嵗?。而且,描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

雖然本文所揭露的實(shí)施方式如上,但所述的內(nèi)容僅為便于理解本文而采用的實(shí)施方式,并非用以限定本文。任何本文所屬領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員,在不脫離本文所揭露的精神和范圍的前提下,可以在實(shí)施的形式及細(xì)節(jié)上進(jìn)行任何的修改與變化,但本文的專(zhuān)利保護(hù)范圍,仍須以所附的權(quán)利要求書(shū)所界定的范圍為準(zhǔn)。

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