本發(fā)明涉及流體噴射裝置。

背景技術(shù)：

已知一種通過移動(dòng)體的往復(fù)移動(dòng)而使液滴材料飛翔吐出的流體噴射裝置。作為用于使移動(dòng)體移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)源，多數(shù)情況下使用利用了壓電元件等的致動(dòng)器。由于壓電元件的位移量小，因此，例如在專利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)中，通過增大機(jī)構(gòu)來增大位移量。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特表2014-525831號(hào)公報(bào)

但是，若使用增大機(jī)構(gòu)，則構(gòu)成變得復(fù)雜，可能導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)裝置大型化。因而，期待一種在通過移動(dòng)體的往復(fù)移動(dòng)來吐出液滴的流體噴射裝置中不使用增大機(jī)構(gòu)而能夠充分確保移動(dòng)體的位移量的技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題的至少一部分而提出，可作為以下方式得以實(shí)現(xiàn)。

(1)根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了流體噴射裝置。該流體噴射裝置是用于噴射流動(dòng)性材料的流體噴射裝置，具有：流動(dòng)性材料室，被供給所述流動(dòng)性材料；移動(dòng)體，能夠在所述流動(dòng)性材料室內(nèi)往復(fù)移動(dòng)；噴嘴部，具有與所述流動(dòng)性材料室連通的吐出口，并且所述移動(dòng)體的前端部能夠從所述流動(dòng)性材料室一側(cè)接觸所述吐出口的周圍的內(nèi)壁；致動(dòng)器，通過接觸于所述移動(dòng)體的后端部并使所述移動(dòng)體往復(fù)移動(dòng)，從而使所述流動(dòng)性材料從所述吐出口吐出；以及驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部，輸出用于驅(qū)動(dòng)所述致動(dòng)器的信號(hào)，所述致動(dòng)器包括串聯(lián)連接的第一壓電元件和第二壓電元件，所述第二壓電元件的一端接觸所述移動(dòng)體的后端部，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部能夠向所述第一壓電元件和所述第二壓電元件分別輸出第一驅(qū)動(dòng)波形和第二驅(qū)動(dòng)波形，所述第二驅(qū)動(dòng)波形具有比所述第一驅(qū)動(dòng)波形所包含的電壓變化部分更陡峭的電壓變化部分，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部在將所述第一驅(qū)動(dòng)波形輸出至所述第一壓電元件時(shí)，將所述第二驅(qū)動(dòng)波形輸出至所述第二壓電元件，而在將所述第二驅(qū)動(dòng)波形輸出至所述第一壓電元件時(shí)，將所述第一驅(qū)動(dòng)波形輸出至所述第二壓電元件。如果是這種方式的流體噴射裝置，由于用于使移動(dòng)體往復(fù)移動(dòng)的致動(dòng)器由串聯(lián)連接的多個(gè)壓電元件構(gòu)成，因此能夠在不使用增大機(jī)構(gòu)的情況下充分確保移動(dòng)體的位移量。另外，由于能夠?qū)⒕哂卸盖偷碾妷鹤兓糠值牡诙?qū)動(dòng)波形分別輸出至第一壓電元件和第二壓電元件，因此能夠抑制僅其中一方的壓電元件劣化的情況。因而，致動(dòng)器的耐用性提高。

(2)在上述方式的流體噴射裝置中，也可以是，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部利用所述第一驅(qū)動(dòng)波形的至少一部分，使所述移動(dòng)體的前端部靠近所述內(nèi)壁，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部利用所述第二驅(qū)動(dòng)波形的陡峭的電壓變化部分，使所述移動(dòng)體的前端部碰撞所述內(nèi)壁。如果是這種方式，由于能夠在確保用于填充流動(dòng)性材料的行程量的同時(shí)，使移動(dòng)體高速碰撞內(nèi)壁，因此能夠吐出高粘度的材料。

(3)在上述方式的流體噴射裝置中，也可以是，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部針對(duì)所述第一壓電元件和所述第二壓電元件各自，在輸出所述第一驅(qū)動(dòng)波形后，開始輸出所述第二驅(qū)動(dòng)波形。如果是這種方式，與第一驅(qū)動(dòng)波形和第二驅(qū)動(dòng)波形部分疊加輸出的情況相比，能夠抑制致動(dòng)器產(chǎn)生不必要的振動(dòng)。

(4)在上述方式的流體噴射裝置中，也可以是，所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部具備第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部和第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部，所述第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部將所述第一驅(qū)動(dòng)波形和所述第二驅(qū)動(dòng)波形輸出至所述第一壓電元件，所述第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部將所述第一驅(qū)動(dòng)波形和所述第二驅(qū)動(dòng)波形輸出至所述第二壓電元件。如果是這種方式，由于能夠?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)信號(hào)分別單獨(dú)供給至第一壓電元件和第二壓電元件，因此即使第一壓電元件和第二壓電元件是不同特性的元件，也能夠使其進(jìn)行適應(yīng)各自的元件特性的伸縮動(dòng)作。

(5)在上述方式的流體噴射裝置中，也可以是，所述第一壓電元件和所述第二壓電元件的共振頻率相等。如果是這種方式，能夠使第一壓電元件和第二壓電元件進(jìn)行相同的伸縮動(dòng)作。因而，容易控制致動(dòng)器的伸縮動(dòng)作。

(6)在上述方式的流體噴射裝置中，也可以是，輸出至所述第一壓電元件的所述第一驅(qū)動(dòng)波形和輸出至所述第二壓電元件的所述第一驅(qū)動(dòng)波形是相同波形，并且輸出至所述第一壓電元件的所述第二驅(qū)動(dòng)波形和輸出至所述第二壓電元件的所述第二驅(qū)動(dòng)波形是相同波形。如果是這種方式，由于能夠使第一壓電元件和第二壓電元件使用公共的驅(qū)動(dòng)波形，因此容易控制致動(dòng)器的伸縮動(dòng)作。

(7)在上述方式的流體噴射裝置中，也可以是，所述第一壓電元件和所述第二壓電元件借助接觸部相連接，所述接觸部與所述第一壓電元件和所述第二壓電元件分別點(diǎn)接觸或線接觸。如果是這種方式，由于壓電元件相互的發(fā)熱不會(huì)對(duì)彼此造成影響，因此壓電元件的耐用性提高。

(8)在上述方式的流體噴射裝置中，也可以是，還具有：施力部件，從所述吐出口一側(cè)向所述致動(dòng)器一側(cè)對(duì)所述移動(dòng)體施力。如果是這種方式，由于能夠利用施力部件對(duì)壓電元件施加預(yù)載荷，因此壓電元件的耐用性提高。

需要說明的是，本發(fā)明可通過各種方式實(shí)現(xiàn)，例如，可通過流體噴射系統(tǒng)、噴射流體的方法等方式實(shí)現(xiàn)。

附圖說明

圖1是作為第一實(shí)施方式的包括流體噴射裝置的流體噴射系統(tǒng)的概略構(gòu)成圖。

圖2是示出驅(qū)動(dòng)波形的輪廓的圖。

圖3是示出流動(dòng)性材料被吐出之前的狀態(tài)變化的說明圖。

圖4是示出流動(dòng)性材料被吐出之前的狀態(tài)變化的說明圖。

圖5是作為第二實(shí)施方式的流體噴射裝置的概略構(gòu)成圖。

附圖標(biāo)記說明

10流動(dòng)性材料室11流動(dòng)性材料存積部

12流路13加壓部

14壁面15流動(dòng)性材料

20移動(dòng)體21凸緣部

30噴嘴部31吐出口

32內(nèi)壁40致動(dòng)器

40a第一壓電元件40b第二壓電元件

50a、50b信號(hào)放大部60驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部

60a第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60b第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部

70控制部80施力部件

90接觸部100、100a流體噴射裝置

101殼體200流體噴射系統(tǒng)

pr電壓變化部分w1第一驅(qū)動(dòng)波形

w2第二驅(qū)動(dòng)波形。

具體實(shí)施方式

a.第一實(shí)施方式

圖1是作為本發(fā)明的第一實(shí)施方式的包括流體噴射裝置100的流體噴射系統(tǒng)200的概略構(gòu)成圖。流體噴射裝置100是例如用于打印機(jī)的裝置，并且是針對(duì)從水、溶劑、試劑等粘性低的流動(dòng)性材料到焊錫漿、銀漿、粘結(jié)劑等粘性高的流動(dòng)性材料，不論其是否含有填充劑，都將其以微量高速吐出的裝置。

流體噴射系統(tǒng)200具備流體噴射裝置100、流動(dòng)性材料存積部11、流路12、加壓部13、驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60以及控制部70。流體噴射裝置100具備流動(dòng)性材料室10、移動(dòng)體20、噴嘴部30、致動(dòng)器40以及施力部件80。需要說明的是，也可以將流體噴射系統(tǒng)200視作廣義上的流體噴射裝置。

在流動(dòng)性材料室10內(nèi)存積有流動(dòng)性材料。流動(dòng)性材料從流動(dòng)性材料存積部11通過流路12供給至流動(dòng)性材料室10。存積于流動(dòng)性材料存積部11內(nèi)的流動(dòng)性材料由加壓部13加壓而被供給至流路12。在流動(dòng)性材料室10配置有能夠在該流動(dòng)性材料室10內(nèi)往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)體20的前端部。另外，在流動(dòng)性材料室10的一側(cè)面上，在與移動(dòng)體20的前端側(cè)相對(duì)的位置設(shè)置有噴嘴部30。

噴嘴部30具有與流動(dòng)性材料室10連通的吐出口31。移動(dòng)體20的前端部能夠從流動(dòng)性材料室10一側(cè)接觸吐出口31周圍的內(nèi)壁32。內(nèi)壁32呈錐形傾斜。移動(dòng)體20碰撞該錐形部分，從而流動(dòng)性材料室10內(nèi)的流動(dòng)性材料從噴嘴部30吐出。

移動(dòng)體20是例如前端為平面或球狀、或者在前端設(shè)置有突起的桿狀部件。移動(dòng)體20的后端部具備施力部件80。施力部件80對(duì)移動(dòng)體20從吐出口31向致動(dòng)器40一側(cè)施力。更具體而言，通過以使施力部件80夾在設(shè)置于移動(dòng)體20的后端部的凸緣部21和流動(dòng)性材料室10的致動(dòng)器40一側(cè)的壁面14之間的方式進(jìn)行配置，施力部件80對(duì)移動(dòng)體20向致動(dòng)器40一側(cè)施力。通過該施力部件80所施加的力，對(duì)致動(dòng)器40(第一壓電元件40a、第二壓電元件40b)施加預(yù)載荷。在本實(shí)施方式中，施力部件80由壓縮螺旋彈簧構(gòu)成。需要說明的是，施力部件80也可以由橡膠彈簧等其它彈性部件構(gòu)成。

致動(dòng)器40具備串聯(lián)連接的第一壓電元件40a和第二壓電元件40b。第二壓電元件40b的一端接觸移動(dòng)體20的后端部。第一壓電元件40a的與移動(dòng)體20相反一側(cè)的端部固定于流體噴射裝置100的殼體101。致動(dòng)器40通過使移動(dòng)體20往復(fù)移動(dòng)，使流動(dòng)性材料從吐出口31吐出。

在本實(shí)施方式中，第一壓電元件40a和第二壓電元件40b均為沿長(zhǎng)度方向伸縮的棒狀或塊狀的壓電元件。在本實(shí)施方式中，第一壓電元件40a和第二壓電元件40b是相同特性的壓電元件。具體而言，其共振頻率、伸展速度、最大位移量相同。第一壓電元件40a和第二壓電元件40b通過粘結(jié)劑接合。作為粘結(jié)劑，可以使用例如環(huán)氧樹脂、丙烯酸粘結(jié)劑等。

信號(hào)放大部50a連接于第一壓電元件40a，信號(hào)放大部50b連接于第二壓電元件40b。驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60連接于信號(hào)放大部50a、50b和控制部70。信號(hào)放大部50a、50b輸出用于驅(qū)動(dòng)各自連接的第一壓電元件40a、第二壓電元件40b的信號(hào)。

驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60生成用于驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器40的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60具備第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a和第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60b。第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a生成用于供給至第一壓電元件40a的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60b生成用于供給至第二壓電元件40b的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。由第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a、第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60b生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)通過各信號(hào)放大部50a、50b放大而被施加至各壓電元件40a、40b。由驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a、60b生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)是在控制部70的控制下進(jìn)行的。

圖2是示出本實(shí)施方式中輸出至各壓電元件40a、40b的第一驅(qū)動(dòng)波形w1和第二驅(qū)動(dòng)波形w2的輪廓的圖。在本實(shí)施方式中，在控制部70的控制下，第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a能夠?qū)⒌谝或?qū)動(dòng)波形w1和第二驅(qū)動(dòng)波形w2輸出至第一壓電元件40a，第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60b能夠?qū)⒌谝或?qū)動(dòng)波形w1和第二驅(qū)動(dòng)波形w2輸出至第二壓電元件40b。并且，驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60在將第一驅(qū)動(dòng)波形w1從第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a輸出至第一壓電元件40a時(shí)，將第二驅(qū)動(dòng)波形w2從第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60b輸出至第二壓電元件40b，而在將第二驅(qū)動(dòng)波形w2從第一驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a輸出至第一壓電元件40a時(shí)，將第一驅(qū)動(dòng)波形w1從第二驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60b輸出至第二壓電元件40b。

而且，驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60針對(duì)第一壓電元件40a和第二壓電元件40b各自，在輸出第一驅(qū)動(dòng)波形w1后，開始輸出第二驅(qū)動(dòng)波形w2。因而，在本實(shí)施方式中，第一驅(qū)動(dòng)波形w1和第二驅(qū)動(dòng)波形w2分別交替輸出至第一壓電元件40a和第二壓電元件40b。

在本實(shí)施方式中，輸出至第一壓電元件40a的第一驅(qū)動(dòng)波形和輸出至第二壓電元件40b的第一驅(qū)動(dòng)波形是相同波形，輸出至第一壓電元件40a的第二驅(qū)動(dòng)波形和輸出至第二壓電元件40b的第二驅(qū)動(dòng)波形是相同波形。第二驅(qū)動(dòng)波形w2具有比包含于第一驅(qū)動(dòng)波形w1的電壓變化部分更陡峭的電壓變化部分pr。若該陡峭的電壓變化部分pr施加于第一壓電元件40a或第二壓電元件40b，則第一壓電元件40a或第二壓電元件40b急劇伸展，由此，移動(dòng)體20的移動(dòng)速度提高，流動(dòng)性材料15從吐出口31吐出。

圖3是示出當(dāng)向第一壓電元件40a施加第一驅(qū)動(dòng)波形w1、向第二壓電元件40b施加第二驅(qū)動(dòng)波形w2時(shí)，流動(dòng)性材料15被吐出之前的狀態(tài)變化的說明圖。各圖表的橫軸表示時(shí)間(μs)，圖表的縱軸表示壓電元件40a、40b的位移量(μm)和電壓。最上層所示的圖表示出了將第一壓電元件40a的位移量和第二壓電元件40b的位移量合成而得的合成位移量。需要說明的是，在使驅(qū)動(dòng)波形進(jìn)行與壓電元件的位移量相同的動(dòng)作的前提下使驅(qū)動(dòng)波形簡(jiǎn)單化。另外，為了簡(jiǎn)單示出流體噴射裝置100的動(dòng)作，在圖的下部示出了致動(dòng)器40直接接觸于吐出口31而使流動(dòng)性材料15吐出的狀態(tài)。

從定時(shí)t0到定時(shí)t1的期間是同時(shí)向壓電元件40a、40b施加電壓、壓電元件40a、40b同時(shí)最大程度伸展的狀態(tài)。在從定時(shí)t1到定時(shí)t2的期間(25μs)內(nèi)，第一驅(qū)動(dòng)波形w1和第二驅(qū)動(dòng)波形w2同時(shí)下降，從而第一壓電元件40a和第二壓電元件40b收縮。在定時(shí)t2，第一壓電元件40a和第二壓電元件40b完全收縮。

在從定時(shí)t2到定時(shí)t3的期間(50μs)內(nèi)，第一驅(qū)動(dòng)波形w1、第二驅(qū)動(dòng)波形w2和第一壓電元件40a和第二壓電元件40b均未發(fā)生變化。在這期間，流動(dòng)性材料15從流動(dòng)性材料存積部11填充到流動(dòng)性材料室10內(nèi)。

在從定時(shí)t3到定時(shí)t4的期間(100μs)內(nèi)，第一驅(qū)動(dòng)波形w1逐漸上升，從而第一壓電元件40a伸展。在定時(shí)t4，第一壓電元件40a伸展至最大位移量，然后，第二驅(qū)動(dòng)波形w2的陡峭的電壓變化部分pr施加至第二壓電元件40b。

在從定時(shí)t4到定時(shí)t5的期間(25μs)內(nèi)，由于第二驅(qū)動(dòng)波形w2內(nèi)的陡峭的電壓變化部分pr施加至第二壓電元件40b，前端側(cè)的第二壓電元件40b急劇伸展。因而，在定時(shí)t5，加速的移動(dòng)體20(在圖3中省略)碰撞內(nèi)壁32，流動(dòng)性材料15從吐出口31吐出。

圖4是示出當(dāng)向第一壓電元件40a施加第二驅(qū)動(dòng)波形w2、向第二壓電元件40b施加第一驅(qū)動(dòng)波形w1時(shí)，流動(dòng)性材料15被吐出之前的狀態(tài)變化的說明圖。如圖4所示，在將第二驅(qū)動(dòng)波形w2施加至第一壓電元件40a、將第一驅(qū)動(dòng)波形w1施加至第二壓電元件40b的情況下，首先前端側(cè)的第二壓電元件40b伸展，然后，后端側(cè)的第一壓電元件40a伸展。即使是這樣的動(dòng)作，后端側(cè)的第一壓電元件40a也會(huì)急劇伸展，從而流動(dòng)性材料15從吐出口31吐出。

在本實(shí)施方式中，對(duì)第一壓電元件40a和第二壓電元件40b每次交替重復(fù)進(jìn)行圖3所示的動(dòng)作和圖4所示的動(dòng)作。

根據(jù)以上所說明的本實(shí)施方式的流體噴射裝置100，由于多個(gè)壓電元件40a、40b串聯(lián)連接，因此能夠在不使用增大機(jī)構(gòu)的情況下增大移動(dòng)體20的位移量。結(jié)果，能夠抑制致動(dòng)器40的大小。另外，由于能夠?qū)⒕哂卸盖偷碾妷鹤兓糠謕r的第二驅(qū)動(dòng)波形w2分別輸出至第一壓電元件40a和第二壓電元件40b，因此能夠抑制僅其中一個(gè)壓電元件40a劣化的情況。因而，壓電元件40a的耐用性提高。

另外，在本實(shí)施方式中，利用第一驅(qū)動(dòng)波形w1使移動(dòng)體20的前端部靠近吐出口31周圍的內(nèi)壁32，利用第二驅(qū)動(dòng)波形w2的陡峭的電壓變化部分pr，使移動(dòng)體20的前端部碰撞內(nèi)壁32。因而，能夠在確保用于填充流動(dòng)性材料15的行程量的同時(shí)，使移動(dòng)體20高速碰撞內(nèi)壁32，從而能夠吐出高粘度的材料。

另外，在本實(shí)施方式中，由于針對(duì)各壓電元件40a、40b，在輸出第一驅(qū)動(dòng)波形w1后，開始輸出第二驅(qū)動(dòng)波形w2，因此與第一驅(qū)動(dòng)波形w1和第二驅(qū)動(dòng)波形w2部分疊加輸出的情況相比，能夠抑制致動(dòng)器40產(chǎn)生不必要的振動(dòng)。

另外，在本實(shí)施方式中，由于能夠?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)信號(hào)從驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給部60a、60b分別單獨(dú)供給至第一壓電元件40a和第二壓電元件40b，因此，即使第一壓電元件40a和第二壓電元件40b是不同特性的元件，也能夠使其進(jìn)行適應(yīng)各自的元件特性的伸縮動(dòng)作。

另外，在本實(shí)施方式中，由于第一壓電元件40a和第二壓電元件40b的共振頻率相等，因此能夠使第一壓電元件40a和第二壓電元件40b進(jìn)行相同的伸縮動(dòng)作。因而，容易控制致動(dòng)器40的伸縮動(dòng)作。

另外，在本實(shí)施方式中，由于輸出至第一壓電元件40a的第一驅(qū)動(dòng)波形w1和輸出至第二壓電元件40b的第一驅(qū)動(dòng)波形w1是相同波形，并且輸出至第一壓電元件40a的第二驅(qū)動(dòng)波形w2和輸出至第二壓電元件40b的第二驅(qū)動(dòng)波形w2是相同波形，因此能夠使第一壓電元件40a和第二壓電元件40b使用公共的驅(qū)動(dòng)波形。因而，容易控制致動(dòng)器40的伸縮動(dòng)作。

另外，在本實(shí)施方式中，由于利用施力部件80對(duì)壓電元件40a、40b施加預(yù)載荷，因此壓電元件40a、40b的耐用性提高。

b.第二實(shí)施方式

圖5是作為本發(fā)明的第二實(shí)施方式的流體噴射裝置100a的概略構(gòu)成圖。本實(shí)施方式的流體噴射裝置100a與第一實(shí)施方式的區(qū)別在于：壓電元件40a、40b借助接觸部90相連接，而其它構(gòu)成與第一實(shí)施方式相同。

本實(shí)施方式的流體噴射裝置100a具備正圓球狀的接觸部90。第一壓電元件40a和第二壓電元件40b的接觸于接觸部90的端面分別呈錐形凹陷。因而，接觸部90和壓電元件40a、40b分別進(jìn)行線接觸。接觸部90是剛性體，由金屬、陶瓷構(gòu)成。

根據(jù)以上所說明的本實(shí)施方式的流體噴射裝置100，由于壓電元件40a、40b相互的發(fā)熱不會(huì)對(duì)彼此造成影響，因此壓電元件40a、40b的耐用性提高。

c.變型例

第一變形例

在上述實(shí)施方式中，也可以是，第一壓電元件40a和第二壓電元件40b的共振頻率、伸展速度、最大位移量不相等。施加于第一壓電元件40a的第一驅(qū)動(dòng)波形和第二驅(qū)動(dòng)波形與施加于第二壓電元件40b的第一驅(qū)動(dòng)波形和第二驅(qū)動(dòng)波形根據(jù)各壓電元件的共振頻率、伸展速度、最大位移量，也可以設(shè)為彼此不同的驅(qū)動(dòng)波形，以使各壓電元件表現(xiàn)出相同的行為。

第二變形例

在上述實(shí)施方式中，也可以是，不設(shè)置施力部件80，而是通過粘結(jié)劑接合移動(dòng)體20和第二壓電元件40b。

第三變形例

在上述實(shí)施方式中，圖3和圖4的驅(qū)動(dòng)波形的施加動(dòng)作既可以每次都交替切換，也可以各自進(jìn)行多次后才切換。另外，圖3和圖4的動(dòng)作次數(shù)也可以不一致。

第四變形例

在上述第二實(shí)施方式中，也可以是，將第一壓電元件40a和第二壓電元件40b的接觸于接觸部90的端面設(shè)為平面，而使接觸部90和壓電元件40a、40b分別進(jìn)行點(diǎn)接觸。另外，也可以是，使其中一方進(jìn)行點(diǎn)接觸，使另一方進(jìn)行線接觸。

本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式、變形例，在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)，可通過各種構(gòu)成來實(shí)現(xiàn)。例如，為了解決上述技術(shù)問題，或者為了實(shí)現(xiàn)上述效果的部分或全部，與發(fā)明內(nèi)容一欄內(nèi)所記載的各方式中的技術(shù)特征相對(duì)應(yīng)的實(shí)施方式、變形例中的技術(shù)特征可適當(dāng)進(jìn)行替換、組合。另外，如果該技術(shù)特征在本說明書中并未作為必須特征進(jìn)行說明，則可適當(dāng)刪除。