本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置及機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)：

1、ipec?776wcmp機(jī)臺(tái)的單個(gè)研磨頭工作原理是上行電機(jī)頭通過鍵連接帶動(dòng)中間軸轉(zhuǎn)動(dòng)，中間軸再通過鍵連接帶動(dòng)晶片頭進(jìn)行逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速為22轉(zhuǎn)/分鐘，下行電機(jī)頭通過皮帶連接帶動(dòng)拋光喇叭口進(jìn)行順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速為370轉(zhuǎn)/分鐘。

2、晶圓夾在晶片頭和拋光喇叭口之間，晶面朝下，上下各施加一個(gè)壓力，上部施加的壓力為4.9psi，下部施加的壓力為5psi，頂起晶圓，并通過管路留出研磨液，以達(dá)到鎢金屬平坦化的目的。

3、機(jī)臺(tái)的上半部分施加壓力時(shí)，需要連接一根氣管，為了確保氣管不跟著中間軸一起轉(zhuǎn)動(dòng)，原廠在軸上方設(shè)置有旋轉(zhuǎn)接頭，旋轉(zhuǎn)接頭內(nèi)部有軸承，可以通過自轉(zhuǎn)，從而達(dá)到氣管不跟轉(zhuǎn)的目的。

4、但是，長(zhǎng)期使用后，內(nèi)部的軸承會(huì)發(fā)生磨損，會(huì)吹落一些金屬微粒至氣路中，產(chǎn)生研磨刮傷原料。

5、因此設(shè)計(jì)一款能夠過濾可能產(chǎn)生的微粒的過濾器就成為了急需解決的問題。

6、有鑒于此，應(yīng)當(dāng)對(duì)現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行改進(jìn)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的在于提供一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置及機(jī)臺(tái)，通過在原有機(jī)臺(tái)的基礎(chǔ)上，加裝了過濾器，過濾器通過螺紋連接，內(nèi)部設(shè)置有密封圈，這樣進(jìn)行改進(jìn)后，過濾器能攔截很大一部分晶渣，降低機(jī)臺(tái)異常率，提升異常處理效率，也不會(huì)造成晶圓的大面積報(bào)廢。

2、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提出一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其包括：上座和下座，所述上座和下座固定連接，所述上座和下座的連接處設(shè)置有過濾器，過濾器內(nèi)部設(shè)置有可替換濾芯。

3、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述上座和下座通過螺紋固定連接。

4、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述上座和下座為同軸設(shè)置的筒體結(jié)構(gòu)。

5、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述上座和下座為不銹鋼材質(zhì)。

6、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述濾芯為合成纖維過濾棉，原材料是聚酯纖維。

7、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述過濾器中能通過的金屬微粒的最大直徑為50μm。

8、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述上座和下座的連接處設(shè)置有密封圈。

9、根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提出一種研磨機(jī)臺(tái)，其包括上述技術(shù)方案任一項(xiàng)所述的用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置。

10、根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述過濾裝置的上座與研磨頭的旋轉(zhuǎn)接頭固定連接，所述過濾裝置的下座與研磨頭的旋轉(zhuǎn)軸固定連接。

11、在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置及研磨機(jī)臺(tái)中，在機(jī)臺(tái)上的研磨頭上加裝過濾器，過濾器通過螺紋連接，內(nèi)部設(shè)置有密封圈，這樣進(jìn)行改進(jìn)后，過濾器能攔截很大一部分晶渣，降低機(jī)臺(tái)異常率，提升異常處理效率，也不會(huì)造成晶圓的大面積報(bào)廢，從而降低成本，使得效益更為可觀。

技術(shù)特征：

1.一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其特征在于，包括：上座和下座，所述上座和下座固定連接，所述上座和下座的連接處設(shè)置有過濾器，過濾器內(nèi)部設(shè)置有可替換濾芯。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其特征在于，所述上座和下座通過螺紋固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其特征在于，所述上座和下座為同軸設(shè)置的筒體結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其特征在于，所述上座和下座為不銹鋼材質(zhì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其特征在于，所述濾芯為合成纖維過濾棉，原材料是聚酯纖維。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其特征在于，所述過濾器中能通過的金屬微粒的最大直徑為50μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其特征在于，所述上座和下座的連接處設(shè)置有密封圈。

8.一種研磨機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述研磨機(jī)臺(tái)在研磨頭上加裝權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的過濾裝置。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的研磨機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述過濾裝置的上座與研磨頭的旋轉(zhuǎn)接頭固定連接，所述過濾裝置的下座與研磨頭的旋轉(zhuǎn)軸固定連接。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過濾裝置，其包括：上座和下座，所述上座和下座固定連接，所述上座和下座的連接處設(shè)置有過濾器，過濾器內(nèi)部設(shè)置有可替換濾芯。本發(fā)明還公開了一種研磨機(jī)臺(tái)。本發(fā)明通過在原有機(jī)臺(tái)的基礎(chǔ)上，加裝了過濾器，過濾器通過螺紋連接，內(nèi)部設(shè)置有密封圈，這樣進(jìn)行改進(jìn)后，過濾器能攔截很大一部分晶渣，降低機(jī)臺(tái)異常率，提升異常處理效率，也不會(huì)造成晶圓的大面積報(bào)廢，從而降低成本，避免了整批產(chǎn)品報(bào)廢，提高了經(jīng)濟(jì)效益。

技術(shù)研發(fā)人員：翟文龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：和艦芯片制造（蘇州）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23