本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其是涉及一種高純度氧化鋁漿料處理方法及處理裝置。

背景技術(shù)：

1、高純氧化鋁陶瓷不僅具有高絕緣性、高隔熱性、耐腐蝕、硬度高等優(yōu)點(diǎn)，且來源廣泛，價(jià)格成本較低，是目前全球生產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣泛的陶瓷材料之一，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、機(jī)械加工、化工、航天等領(lǐng)域。

2、高純度氧化鋁產(chǎn)品對純度要求非常之高，金屬雜質(zhì)含量不得超過300ppm，漿料粒度分布均勻，大顆粒雜質(zhì)必須經(jīng)過嚴(yán)格過濾除雜，且漿料中不得有多余氣泡存在，粒度均勻，易于分散，化學(xué)性能穩(wěn)定。

3、例如在中國專利文獻(xiàn)上公開的“一種高純度氧化鋁的制備方法”，其申請?zhí)枴癱n201410626394.1”，具體為將處理后的高純鋁錠裝入熔化爐中，先抽真空并連續(xù)充高純氮?dú)猓缓笊郎貙X錠熔化，鋁液由石墨導(dǎo)液管經(jīng)高壓惰性氣體+高純水+高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤獲得活性鋁粉料，經(jīng)水解反應(yīng)生成氫氧化鋁漿料，然后通過離心脫水、烘干、粉碎，通過高溫煅燒爐煅燒得到穩(wěn)定的氧化鋁粉料，再使用壓塊機(jī)將粉料壓制成型，燒結(jié)至密度大于3.7g/cm3。

4、上述方案雖然能夠通過離心脫水等方式得到穩(wěn)定的氧化鋁粉料，但目前國內(nèi)大多數(shù)陶瓷生產(chǎn)采用過篩除鐵的工藝，工藝只能去除35um以上雜質(zhì)，且高頻振動篩在工作時容易產(chǎn)生較多的泡沫混入漿料中，對于后期造粒十分不利，因此需要一種新的工藝技術(shù)來解決這一問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為克服目前陶瓷生產(chǎn)過程中去除雜質(zhì)效率不理想，易留存泡沫在漿料中的問題，本發(fā)明提供了一種高純度氧化鋁漿料處理方法，實(shí)現(xiàn)了高純氧化鋁漿料的高效篩分、除雜和過濾。這些技術(shù)手段確保了漿料在生產(chǎn)過程中的高純度和高絕緣性，同時降低了生產(chǎn)成本和提高了生產(chǎn)穩(wěn)定性，從而獲得了在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)領(lǐng)域中具有競爭力的高質(zhì)量產(chǎn)品。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、一種高純度氧化鋁漿料處理方法，包括以下步驟：?a.?高純氧化鋁漿料通過管道輸送至篩分設(shè)備；?b.?經(jīng)過篩分的漿料流入接料槽中；?c.?漿料從接料槽下端出料口流入除鐵設(shè)備；?d.?經(jīng)過隔膜泵輸送至過濾設(shè)備；?e.?過濾后的漿料通過強(qiáng)磁除鐵器；?f.?漿料消泡后輸送至儲料罐。

4、通過上述步驟來確保漿料的高純度和質(zhì)量。首先，漿料通過管道輸送至篩分設(shè)備，這一步驟能夠初步去除較大的雜質(zhì)顆粒，為后續(xù)的精細(xì)處理打下基礎(chǔ)。篩分后的漿料流入接料槽，接料槽的設(shè)計(jì)有助于穩(wěn)定漿料中的氣泡，為下一步的除鐵工作提供適宜的條件。接著，漿料從接料槽的下端出料口流入第一除鐵設(shè)備，這一步驟通過物理方式去除漿料中的磁性雜質(zhì)，保證后續(xù)工藝的純凈度。隔膜泵將經(jīng)過初步除鐵的漿料輸送至過濾設(shè)備，進(jìn)一步去除更細(xì)小的顆粒。過濾后的漿料經(jīng)過第二除鐵設(shè)備，即強(qiáng)磁除鐵器，以徹底清除剩余的鐵磁性雜質(zhì)。最終，經(jīng)過凈化處理的漿料被輸送至儲料罐，完成整個處理流程。

5、工藝中的每一步都針對特定的雜質(zhì)類型和大小，采用相應(yīng)的技術(shù)手段進(jìn)行處理。例如，篩分設(shè)備的使用是為了去除大顆粒雜質(zhì)，而強(qiáng)磁除鐵器則是為了清除可能影響半導(dǎo)體性能的微小磁性顆粒。能夠顯著提高氧化鋁漿料的純度，減少生產(chǎn)過程中的雜質(zhì)含量，從而提高最終產(chǎn)品的品質(zhì)和可靠性。與常見的處理方案相比，該工藝的優(yōu)勢在于其綜合運(yùn)用了多種除雜技術(shù)，通過分步處理確保了雜質(zhì)的徹底去除，尤其是在磁性雜質(zhì)的去除上采用了強(qiáng)磁除鐵器，顯著提高了除雜效率。此外，通過在接料槽中穩(wěn)定氣泡，以及在各個處理步驟之間使用柔性管道和流量控制閥門，進(jìn)一步提高了工藝的穩(wěn)定性和可控性。

6、本技術(shù)還公開了上述高純度氧化鋁漿料處理方法所用的處理裝置，包括：?篩分設(shè)備，篩分設(shè)備進(jìn)行漿料的初步篩分；接料槽，接料槽接收篩分后的漿料；?第一除鐵設(shè)備，第一除鐵設(shè)備與接料槽的出料口相連；?隔膜泵，隔膜泵連接于第一除鐵設(shè)備進(jìn)行漿料輸送；過濾設(shè)備，過濾設(shè)備與隔膜泵相連；?第二除鐵設(shè)備，第二除鐵設(shè)備與過濾設(shè)備相連。

7、篩分設(shè)備負(fù)責(zé)漿料的初步篩分，通常采用高頻振動篩，增加了篩分效率和精度。接料槽緊隨篩分設(shè)備之后，用于接收篩分后的漿料并進(jìn)行氣泡穩(wěn)定處理，確保漿料在進(jìn)入下一處理階段前具有均勻的性質(zhì)。第一除鐵設(shè)備與接料槽相連，負(fù)責(zé)去除漿料中的磁性雜質(zhì)，這對于防止后續(xù)工藝中可能出現(xiàn)的磁性污染至關(guān)重要。隔膜泵作為漿料輸送的關(guān)鍵部件，采用非金屬膜片以避免對漿料造成二次污染，同時確保了輸送的穩(wěn)定性和可靠性。過濾設(shè)備進(jìn)一步去除漿料中可能存在的細(xì)小顆粒，使用剛性結(jié)構(gòu)支撐以提高過濾效率和耐用性。第二除鐵設(shè)備，即強(qiáng)磁除鐵器，通過高磁感應(yīng)強(qiáng)度的磁棒，徹底清除剩余的鐵磁性雜質(zhì)，確保漿料的高純度。

8、本裝置集成化的設(shè)計(jì)，將多個處理步驟有機(jī)結(jié)合，提高了處理效率并降低了操作復(fù)雜性。與常見的單一處理設(shè)備相比，這種集成裝置的優(yōu)勢在于能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)的、自動化的處理流程，減少了人為干預(yù)和潛在的污染風(fēng)險(xiǎn)，同時也提高了生產(chǎn)效率。

9、作為優(yōu)選，所述篩分設(shè)備包括高頻振動篩，所述高頻振動篩與接料槽之間通過柔性管道連接。高頻振動篩因其高效的篩分能力，能夠有效地去除漿料中較大尺寸的非目標(biāo)顆粒，確保了后續(xù)工藝階段的純凈度。柔性管道則提供了一種緩沖機(jī)制，可以吸收篩分過程中可能產(chǎn)生的振動，從而減少對整個處理系統(tǒng)的影響，保障了系統(tǒng)的穩(wěn)定性。另外，柔性管道的連接方式允許一定程度的位移和形變，這在工業(yè)應(yīng)用中尤為重要，因?yàn)樗梢赃m應(yīng)設(shè)備運(yùn)行中的微小移動和熱膨脹，減少因管道應(yīng)力而導(dǎo)致的連接故障或泄漏的風(fēng)險(xiǎn)。柔性管道的使用還為設(shè)備的安裝和維護(hù)提供了便利。它可以簡化安裝過程，減少剛性管道所需的精確對準(zhǔn)和固定，同時也便于日后的拆卸和更換，降低了維護(hù)成本。

10、作為優(yōu)選，還包括儲料罐，所述儲料罐連通磁除鐵器的出料口。

11、作為優(yōu)選，所述儲料罐連接有消泡裝置。

12、儲料罐作為整個處理流程的最終環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)接收經(jīng)過強(qiáng)磁除鐵器處理后的高純氧化鋁漿料。該儲料罐不僅為漿料提供了一個安全、穩(wěn)定的存儲環(huán)境，而且通過其設(shè)計(jì)，還承擔(dān)了消泡的功能，這對于保持漿料的一致性和提高產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。

13、具體來說，儲料罐的設(shè)計(jì)需要考慮多種因素，如材料的耐腐蝕性、內(nèi)部的光滑度以減少掛壁，以及足夠大的容量來滿足生產(chǎn)需求。其連接到強(qiáng)磁除鐵器的出料口，意味著經(jīng)過最終的除鐵步驟后，漿料直接流入儲料罐，減少了在轉(zhuǎn)移過程中可能發(fā)生的污染或雜質(zhì)的再次混入。

14、此外，儲料罐配備的消泡裝置可能是通過物理或化學(xué)方法設(shè)計(jì)來降低或消除漿料中的氣泡，這對于后續(xù)的加工過程和最終產(chǎn)品的質(zhì)量控制非常重要。例如，在半導(dǎo)體行業(yè)中，氣泡可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷，影響器件的性能和可靠性。本方案確保了經(jīng)過強(qiáng)磁除鐵器處理后的高純氧化鋁漿料能夠在一個理想的狀態(tài)下被安全存儲，同時減少了由于氣泡或其他雜質(zhì)導(dǎo)致的潛在問題。這不僅提高了生產(chǎn)效率，還保證了產(chǎn)品質(zhì)量。

15、消泡裝置的存在是為了確保儲料罐中的漿料在存儲期間達(dá)到最佳狀態(tài)。高純氧化鋁漿料在經(jīng)過連續(xù)的篩分、除鐵和過濾步驟后，可能仍含有微小的氣泡。這些氣泡如果不被及時除去，可能會影響漿料的均勻性，進(jìn)而影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量。消泡裝置的引入，通過物理或化學(xué)方法，可以有效地減少或消除這些氣泡，確保漿料的穩(wěn)定性和一致性。高純度材料在半導(dǎo)體制造過程中即便是極小的缺陷也可能對最終產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。消泡裝置的應(yīng)用，是為了滿足高純氧化鋁漿料在生產(chǎn)過程中對于質(zhì)量控制的嚴(yán)格要求。

16、與常見儲料罐相比，本方案的優(yōu)勢在于其不僅提供了一個存儲介質(zhì)，還集成了消泡功能，這有助于提高生產(chǎn)效率并減少后續(xù)處理步驟。此外，消泡裝置的集成設(shè)計(jì)減少了生產(chǎn)過程中的額外操作，降低了人工干預(yù)，從而減少了潛在的污染風(fēng)險(xiǎn)。將消泡裝置與儲料罐直接連接，實(shí)現(xiàn)了在存儲過程中的即時消泡，這對于保證漿料質(zhì)量至關(guān)重要。

17、作為優(yōu)選，所述消泡裝置包括設(shè)置于高頻振動篩上的氣體反吹部，所述氣體反吹部包括均勻分布于漿料表面的水平放射式氣孔。通過在篩分設(shè)備的篩網(wǎng)下方設(shè)置氣體反吹口，利用控制氣體的流速和壓力對篩分時產(chǎn)生的泡沫進(jìn)行吹散或壓破。氣體反吹能夠有效破壞泡沫的穩(wěn)定性，減少篩分過程中泡沫的產(chǎn)生，對于高純度氧化鋁漿料這類對泡沫敏感的材料尤為重要。氣體反吹部可以即時對泡沫進(jìn)行處理，減少泡沫對篩分效率和產(chǎn)品質(zhì)量的影響，同時也避免了泡沫在篩分設(shè)備內(nèi)部的積聚，降低了維護(hù)成本。相比常見方案，本方案通過氣體的直接作用，減少了對化學(xué)消泡劑的依賴，降低了對環(huán)境和產(chǎn)品純度的潛在影響。均勻分布于漿料表面的水平放射式氣孔的設(shè)計(jì)，這種設(shè)計(jì)可以確保氣體反吹覆蓋整個篩網(wǎng)表面，實(shí)現(xiàn)更均勻和全面的泡沫處理效果。此外，通過精確控制氣體的流速和壓力，可以根據(jù)不同漿料的特性調(diào)整反吹強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)定制化的泡沫控制。

18、作為優(yōu)選，所述消泡裝置包括設(shè)置于高頻振動篩上的靜電場產(chǎn)生部，所述靜電場產(chǎn)生部覆蓋于整個區(qū)域。通過在篩分區(qū)域產(chǎn)生靜電場，可以對泡沫施加靜電力，由于泡沫本身具有較低的電導(dǎo)率，這種力會集中作用于泡沫的表面，使其在電場作用下迅速破裂。靜電場能夠提供一種非接觸式的消泡方法，避免了機(jī)械干預(yù)可能對篩分設(shè)備或漿料質(zhì)量造成的損害。此外，靜電場可以針對高純度氧化鋁漿料中的微小泡沫進(jìn)行有效處理，這是傳統(tǒng)機(jī)械方法難以達(dá)到的。靜電場產(chǎn)生部能夠?qū)崿F(xiàn)快速、均勻的消泡效果，避免了泡沫在篩分過程中的積聚和漿料質(zhì)量的下降。同時，這種方法對于篩分設(shè)備的維護(hù)和清潔要求較低，減少了生產(chǎn)過程中的停機(jī)時間。與氣體反吹部的設(shè)置類似，靜電場的產(chǎn)生不依賴于任何化學(xué)消泡劑，從而避免了可能對產(chǎn)品造成污染的風(fēng)險(xiǎn)。且這種設(shè)計(jì)允許對靜電場的強(qiáng)度和分布進(jìn)行精確控制，根據(jù)不同的工藝需求調(diào)整電場參數(shù)。

19、所述消泡裝置包括泡沫分離槽，所述泡沫分離槽設(shè)置于儲料罐前，所述泡沫分離槽兩端分別設(shè)置有進(jìn)液口和出液口，所述出液口處設(shè)置有泡沫收集槽?？拷嚎诤统鲆嚎诜謩e設(shè)置有極性相反的第一電極部和第二電極部，所述第一電極部包括沿泡沫分離槽表面分布的極性插針；所述第二電極部包括設(shè)置有過孔的極性擋板。所述泡沫分離槽的進(jìn)液口設(shè)置有流量閥，所述泡沫分離槽內(nèi)的漿料液面不高于極性插針端部，所述泡沫分離槽底部設(shè)置有驅(qū)動漿料和漿料液面以上的泡沫體流動的水泵。所述泡沫收集槽包括有連接于儲料罐的析液管。

20、泡沫分離槽設(shè)置于儲料罐前，以便于在漿料進(jìn)入儲料罐之前去除其中的泡沫。進(jìn)液口和出液口的設(shè)置允許漿料和泡沫進(jìn)行分離，其中出液口處的泡沫收集槽用于收集和處理分離出的泡沫。這種設(shè)計(jì)能夠減少泡沫對后續(xù)工藝的影響，提高氧化鋁漿料的質(zhì)量。第一電極部采用沿泡沫分離槽表面分布的極性插針，而第二電極部則采用設(shè)置有過孔的極性擋板。通過這種電極設(shè)置，可以創(chuàng)建一個電場，利用靜電作用來促進(jìn)泡沫的破裂和分離。這種電場輔助的消泡方法可以顯著提高消泡效率，減少消泡時間，從而提高整個處理流程的效率。流量閥控制進(jìn)液口的流量，確保泡沫分離槽內(nèi)的漿料液面不高于極性插針端部，這有助于避免泡沫重新進(jìn)入漿料中，同時保持電場對泡沫的有效作用。水泵的設(shè)置用于驅(qū)動漿料和漿料液面以上的泡沫體流動，進(jìn)一步促進(jìn)泡沫的分離和收集。這種動態(tài)控制機(jī)制提高了消泡裝置的適應(yīng)性和可靠性。物理分離利用泡沫和漿料的密度差異，通過泡沫分離槽的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)分離；電場輔助則利用泡沫在電場中的極化和電荷分布，促進(jìn)泡沫的破裂，加速消泡過程。提高氧化鋁漿料的純度和質(zhì)量，減少泡沫對后續(xù)工藝的干擾。在氧化鋁漿料的生產(chǎn)過程中，泡沫的存在可能會影響漿料的流動性、均勻性和穩(wěn)定性，從而影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。通過有效的消泡裝置，可以確保漿料的質(zhì)量和生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性。

21、本方案中泡沫分離槽的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了漿料和泡沫的有效分離；其次，極性相反的電極部引入了電場輔助消泡，提高了消泡效率；最后，流量閥和水泵的設(shè)置實(shí)現(xiàn)了對漿料和泡沫流動的精確控制，提高了消泡裝置的適應(yīng)性和可靠性。所述泡沫收集槽包括有連接于儲料罐的析液管。析液管的主要工作原理是利用重力將破碎后的泡沫轉(zhuǎn)化為漿料液，并引導(dǎo)其流入儲料罐。在這個過程中，破碎的泡沫在析液管中會進(jìn)一步分離，其中液體部分通過析液管回流到儲料罐，而剩余的泡沫或固體雜質(zhì)則被收集或進(jìn)一步處理。由于泡沫可能含有空氣或其他雜質(zhì)，如果直接回流到儲料罐，可能會影響漿料的質(zhì)量和后續(xù)工藝的穩(wěn)定性。通過設(shè)置析液管，可以有效分離泡沫和漿料液，確保儲料罐中的漿料純凈度和穩(wěn)定性。

22、作為優(yōu)選，所述消泡裝置包括設(shè)置于高頻振動篩上的波體輔助設(shè)備，所述波體輔助設(shè)備包括電磁波產(chǎn)生器或超聲波產(chǎn)生器。利用電磁波或超聲波作為能量源，對泡沫進(jìn)行物理方式的消泡處理。其中，電磁波或超聲波產(chǎn)生器向篩分區(qū)域發(fā)射特定的波體。電磁波可以在泡沫表面產(chǎn)生足夠的能量，導(dǎo)致泡沫內(nèi)部氣體分子的振動加劇，最終使泡沫破裂。超聲波則通過其高頻振動，在泡沫表面形成微小的空化效應(yīng)，這些空化氣泡在坍塌時釋放出的能量足以破壞周圍泡沫的結(jié)構(gòu)。波體輔助設(shè)備提供了一種無需添加化學(xué)物質(zhì)、無需物理接觸的消泡方法。這種方法不僅可以減少對環(huán)境的污染，還能避免對氧化鋁漿料造成不必要的化學(xué)或物理損傷。波體輔助設(shè)備能夠有效地減少篩分過程中產(chǎn)生的泡沫，提高篩分效率，避免泡沫對后續(xù)工藝流程的影響。與化學(xué)消泡劑相比，這種方法對產(chǎn)品質(zhì)量的保護(hù)更為徹底。

23、作為優(yōu)選，所述隔膜泵包括有非金屬膜片。隔膜泵在處理裝置中承擔(dān)著漿料輸送的關(guān)鍵角色，其設(shè)計(jì)和材料選擇直接影響整個設(shè)備的運(yùn)行效率和漿料的純凈度。在傳統(tǒng)的隔膜泵中，金屬膜片可能因長期使用而產(chǎn)生磨損，導(dǎo)致微小金屬顆?；烊霛{料中，從而影響高純氧化鋁漿料的純度。而非金屬膜片的應(yīng)用有效避免了這一問題，降低了金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)，確保了漿料的高質(zhì)量。

24、作為優(yōu)選，所述過濾設(shè)備內(nèi)包括有剛性結(jié)構(gòu)支撐。過濾設(shè)備負(fù)責(zé)去除漿料中的微小顆粒和雜質(zhì)，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)對材料純度的嚴(yán)格要求。剛性結(jié)構(gòu)支撐的引入，為過濾器提供了額外的強(qiáng)度和穩(wěn)定性，這對于承受連續(xù)過濾操作過程中可能產(chǎn)生的機(jī)械應(yīng)力和壓力變化尤為重要。具體來說，剛性結(jié)構(gòu)支撐能夠有效防止過濾器在運(yùn)行過程中發(fā)生形變或損壞，從而確保過濾效果的一致性和可靠性。

25、作為優(yōu)選，所述第一除鐵設(shè)備為網(wǎng)格型除鐵器，所述第二除鐵設(shè)備為強(qiáng)磁除鐵器；強(qiáng)磁除鐵器設(shè)有磁感應(yīng)強(qiáng)度大于20000gs的強(qiáng)磁棒。網(wǎng)格型除鐵器作為第一除鐵設(shè)備，它的設(shè)計(jì)允許漿料在進(jìn)入時通過一系列的網(wǎng)格狀通道，這些通道的尺寸和形狀都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)，以最大化磁性雜質(zhì)的捕獲效率。網(wǎng)格型除鐵器的使用在初步去除漿料中的較大磁性顆粒方面發(fā)揮著重要作用，從而為后續(xù)的精細(xì)過濾和除鐵步驟打下良好的基礎(chǔ)。

26、第二除鐵設(shè)備，即強(qiáng)磁除鐵器，進(jìn)一步確保了漿料的高純度。強(qiáng)磁除鐵器內(nèi)設(shè)置的磁棒具有超過20000gs的磁感應(yīng)強(qiáng)度，能夠有效地吸附并去除更細(xì)小的磁性雜質(zhì)，這些雜質(zhì)可能對半導(dǎo)體器件的性能產(chǎn)生不利影響。強(qiáng)磁除鐵器的高磁場強(qiáng)度是其主要技術(shù)優(yōu)勢之一，它確保了即使是最小的磁性顆粒也能被有效清除。

27、半導(dǎo)體行業(yè)對高純氧化鋁漿料的磁性雜質(zhì)含量有非常嚴(yán)格的限制。通過分步使用兩種不同強(qiáng)度的除鐵設(shè)備，可以更全面地清除漿料中的磁性雜質(zhì)，滿足行業(yè)對高純度材料的需求。與常見的單一除鐵設(shè)備相比，本方案的優(yōu)勢在于其雙級除鐵配置，能夠更徹底地去除漿料中的磁性雜質(zhì)。網(wǎng)格型除鐵器的初步篩選與強(qiáng)磁除鐵器的精細(xì)清除相結(jié)合，提供了一種更為全面和有效的除鐵解決方案。

28、作為優(yōu)選，所述網(wǎng)格型除鐵器與隔膜泵之間的管道上安裝有流量控制閥門。通過多個設(shè)置在輸送管道上的閥門來精確控制漿料的輸送過程。這些閥門的使用對于實(shí)現(xiàn)裝置的高度自動化和精確控制至關(guān)重要。具體來說，這些設(shè)置在輸送管道上的閥門包括但不限于用于調(diào)節(jié)輸送速度的閥門、用于實(shí)現(xiàn)漿料在不同處理單元間的切換輸送的閥門，以及用于實(shí)現(xiàn)漿料的順序輸送的閥門。

29、作為優(yōu)選，所述接料槽與過濾設(shè)備通過管道連接，所述過濾設(shè)備與第二除鐵設(shè)備通過管道連接，所述第二除鐵設(shè)備與儲料罐通過管道連接，各管道連接處均包括有變徑彎管。使用變徑彎管能夠有效降低了漿料在輸送過程中可能遇到的湍流和壓力損失，同時減少了氣泡的生成和混入，確保了漿料在輸送過程中的穩(wěn)定性和均勻性。具體來說，在高純氧化鋁漿料的生產(chǎn)中，氣泡是影響產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素之一。氣泡不僅可能導(dǎo)致漿料的密度不均，還可能在后續(xù)的加工過程中造成缺陷。因此，減少氣泡的產(chǎn)生和混入對保證產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。采用變徑彎管的設(shè)計(jì)，通過改變管道的直徑和彎曲角度，可以有效地分散漿料的流速，減少漿料在輸送過程中的剪切力，從而減少了氣泡的生成。此外，變徑彎管的設(shè)計(jì)還有助于引導(dǎo)漿料在管道中平穩(wěn)流動，減少了因局部壓力集中而產(chǎn)生的氣泡。

30、本方案具備以下有益效果：

31、使用高頻振動篩進(jìn)行篩分，有效減少35微米以下雜質(zhì)，提高高純氧化鋁漿料的純度。

32、采用非金屬膜片的隔膜泵，避免了長期使用造成的磨損污染，確保了漿料的高純度特性。

33、高效過濾器去除1微米以上細(xì)小顆粒和凝膠狀污染物，進(jìn)一步提升了漿料的均勻性和分散穩(wěn)定性。

34、強(qiáng)磁除鐵器的高磁感應(yīng)強(qiáng)度（大于20000gs）徹底去除鐵磁性雜質(zhì)，保障了高純度氧化鋁漿料的高絕緣性。

35、變徑彎管的設(shè)計(jì)在管道連接處減少氣泡產(chǎn)生，維持漿料流動性和穩(wěn)定性，確保了后續(xù)工藝的順利進(jìn)行。