1.一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：包括機(jī)架(1)，所述機(jī)架(1)上設(shè)置有用于放置晶圓的晶圓盤(2)，所述機(jī)架(1)上設(shè)置有涂膠機(jī)構(gòu)(3)，所述涂膠機(jī)構(gòu)(3)包括涂膠架(31)、橫向組件(32)、升降組件(33)和縱向組件(34)和涂膠頭(35)，所述橫向組件(32)布置于機(jī)架(1)與涂膠架(31)之間，所述升降組件(33)沿涂膠架(31)高度方向布置，所述橫向組件(32)布置于升降組件(33)上，所述涂膠頭(35)連接在橫向組件(32)上，所述涂膠頭(35)朝向晶圓盤(2)圓心方向布置；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述升降組件(33)包括z軸傳動(dòng)絲桿(331)、第二電機(jī)(332)、z軸導(dǎo)向桿(333)和z軸滑塊(334)，所述z軸傳動(dòng)絲桿(331)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在涂膠架(31)上，所述z軸傳動(dòng)絲桿(331)朝向涂膠架(31)高度方向布置，所述z軸導(dǎo)向桿(333)連接在涂膠架(31)上，所述z軸導(dǎo)向桿(333)與z軸傳動(dòng)絲桿(331)平行布置，所述z軸滑塊(334)螺紋連接在z軸傳動(dòng)絲桿(331)上，所述z軸滑塊(334)滑動(dòng)連接在z軸導(dǎo)向桿(333)上，所述第二電機(jī)(332)的輸出端連接在z軸傳動(dòng)絲桿(331)上，所述縱向組件(34)連接在z軸滑塊(334)頂部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述行程機(jī)構(gòu)(5)包括兩到位開關(guān)(51)，兩所述到位開關(guān)(51)分別布置于涂膠架(31)高度方向的兩側(cè)，所述z軸滑塊(334)上分別開設(shè)有用于與兩到位開關(guān)(51)配合的到位缺口(52)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述涂膠架(31)上設(shè)置有用于輔助驅(qū)動(dòng)的輔助氣缸(6)，所述輔助氣缸(6)布置于第二電機(jī)(332)一側(cè)，所述輔助氣缸(6)朝向涂膠架(31)高度方向布置，所述z軸滑塊(334)上設(shè)置有氣缸連接座(61)，所述輔助氣缸(6)的輸出端連接在氣缸連接座(61)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述縱向組件(34)包括這y軸傳動(dòng)絲桿(341)、第三電機(jī)(342)、y軸導(dǎo)向桿(343)和y軸滑塊(344)和縱向支撐板(345)，所述縱向支撐板(345)連接在氣缸連接座(61)上，所述y軸傳動(dòng)絲桿(341)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在縱向支撐板(345)上，所述y軸傳動(dòng)絲桿(341)與x軸傳動(dòng)絲桿(321)垂直布置，所述y軸導(dǎo)向桿(343)連接在縱向支撐板(345)上，所述y軸導(dǎo)向桿(343)與z軸傳動(dòng)絲桿(331)平行布置，所述y軸滑塊(344)螺紋連接在y軸傳動(dòng)絲桿(341)上，所述y軸滑塊(344)滑動(dòng)連接在y軸導(dǎo)向桿(343)上，所述第三電機(jī)(342)的輸出端連接在y軸傳動(dòng)絲桿(341)上，所述涂膠頭(35)連接在y軸滑塊(344)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述機(jī)架(1)上設(shè)置有裝配凸臺(tái)(7)，所述晶圓盤(2)布置于裝配凸臺(tái)(7)上，所述裝配凸臺(tái)(7)上設(shè)置有用于晶圓盤(2)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸(71)，所述機(jī)架(1)上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)晶圓盤(2)旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(8)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(81)、傳動(dòng)皮帶(82)和兩個(gè)傳動(dòng)帶輪(83)，其一所述傳動(dòng)帶輪(83)套設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸(71)上，另一所述傳動(dòng)帶輪(83)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在機(jī)架(1)上，所述傳動(dòng)皮帶(82)的兩端分別張緊在兩傳動(dòng)帶輪(83)上，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(81)的輸出端連接在其一所述傳動(dòng)帶輪(83)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述機(jī)架(1)上設(shè)置有用于吸附晶圓的吸附機(jī)構(gòu)(9)，所述吸附機(jī)構(gòu)(9)包括真空泵(91)和真空吸管(92)，所述真空泵(91)連接在機(jī)架(1)上，所述真空吸管(92)的一端連接真空泵(91)的抽氣端，所述真空吸管(92)的另一端朝向晶圓盤(2)方向布置，所述晶圓盤(2)上開設(shè)有供真空吸管(92)抽氣的通孔(21)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述機(jī)架(1)上設(shè)置有增高臺(tái)(10)，所述橫向組件(32)、涂膠架(31)均布置于增高臺(tái)(10)上，所述增高臺(tái)(10)的布置高度與裝配凸臺(tái)(7)的布置高度一致。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效型晶圓涂膠設(shè)備，其特征在于：所述x軸滑塊(324)的兩側(cè)均設(shè)置有加固板(11)，兩所述加固板(11)分別連接在涂膠架(31)的兩側(cè)。
10.一種高效型晶圓涂膠方法，其特征在于，包括如下步驟：