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一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置及過濾方法與流程

文檔序號(hào):40437546發(fā)布日期:2024-12-24 15:11閱讀:9來源:國知局
一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置及過濾方法與流程

本發(fā)明涉及氫氟酸過濾,具體涉及一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置及過濾方法。


背景技術(shù):

1、氫氟酸是氟化氫體的水溶液,清澈,無色、發(fā)煙的腐蝕性液體,有劇烈刺激性氣味,氫氟酸是一種弱酸,具有極強(qiáng)的腐蝕性,能強(qiáng)烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體,氫氟酸在提純時(shí),需要使用到過濾裝置進(jìn)行過濾工作。

2、目前對(duì)氫氟酸的過濾主要是對(duì)液體中的氟化鈣雜質(zhì)去除,并且其都是通過濾網(wǎng)過濾處理,但是在實(shí)際過濾過程中,雖然設(shè)置推板對(duì)濾網(wǎng)上的氟化鈣雜質(zhì)推出清理,但是在過濾過程中,氫氟酸主要通過重力下流,會(huì)帶動(dòng)部分的氟化鈣雜質(zhì)卡設(shè)在濾網(wǎng)網(wǎng)孔中,此時(shí)對(duì)氟化鈣雜質(zhì)清理時(shí),就無法對(duì)濾網(wǎng)網(wǎng)孔內(nèi)的氟化鈣雜質(zhì)清理,影響后續(xù)過濾效果,并且目前的濾網(wǎng)孔徑都是一致的,如果雜質(zhì)顆粒較小,就無法對(duì)較小的雜質(zhì)顆粒有效阻隔,影響對(duì)氫氟酸的過濾提純效果。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,而提出的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置及過濾方法。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案:

3、一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,包括:

4、上殼體和下殼體,所述上殼體和下殼體之間通過多個(gè)螺栓連接;

5、過濾機(jī)構(gòu),所述過濾機(jī)構(gòu)包括開設(shè)在上殼體內(nèi)的第一環(huán)形槽,所述第一環(huán)形槽內(nèi)壁密封滑動(dòng)連接有四個(gè)弧形板,所述弧形板側(cè)壁通過第一桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接有過濾箱,所述過濾箱內(nèi)側(cè)壁密封滑動(dòng)連接有第一板,所述第一板遠(yuǎn)離弧形板的側(cè)壁通過多個(gè)第一彈簧與過濾箱側(cè)壁彈性連接,所述過濾箱內(nèi)側(cè)壁開設(shè)有多個(gè)三角濾孔,所述過濾箱靠近三角濾孔的內(nèi)側(cè)壁通過多個(gè)滑桿滑動(dòng)連接有拱形板,所述拱形板下端呈拱形狀,所述拱形板上端固定連接有與多個(gè)三角濾孔一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)三角板,所述拱形板側(cè)壁通過多個(gè)第二彈簧與過濾箱側(cè)壁彈性連接,所述上殼體內(nèi)設(shè)有對(duì)拱形板的高度調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。

6、優(yōu)選地,所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括開設(shè)在上殼體內(nèi)壁下方的兩個(gè)凹槽,所述凹槽內(nèi)底部固定連接有第一電動(dòng)推桿,所述第一電動(dòng)推桿活動(dòng)端固定連接有移動(dòng)塊,所述移動(dòng)塊側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐柱,所述支撐柱側(cè)壁與其靠近的拱形板下端貼合,兩個(gè)所述凹槽分別與兩個(gè)開口朝上的過濾箱正對(duì),所述上殼體內(nèi)頂部固定連通有兩個(gè)進(jìn)液管,兩個(gè)所述進(jìn)液管管口分別與兩個(gè)開口朝上的過濾箱正對(duì)。

7、優(yōu)選地,所述下殼體內(nèi)底部固定連接有兩個(gè)第二電動(dòng)推桿,所述第二電動(dòng)推桿活動(dòng)端固定連接有集雜框,所述下殼體內(nèi)壁下方固定連通有排液管。

8、優(yōu)選地,所述上殼體內(nèi)壁下端通過兩個(gè)l型桿固定連接有齒環(huán),所述過濾箱遠(yuǎn)離第一桿的側(cè)壁通過第二桿固定連接有齒輪,所述齒輪側(cè)壁與齒環(huán)側(cè)壁嚙合。

9、優(yōu)選地,還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一單向軸承和第二單向軸承,所述上殼體內(nèi)頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第三桿,所述第三桿側(cè)壁與第一單向軸承內(nèi)側(cè)壁固定連接,所述第一單向軸承外側(cè)壁固定連接有兩個(gè)凸輪,所述凸輪側(cè)壁與第一板側(cè)壁貼合。

10、優(yōu)選地,所述第三桿側(cè)壁與第二單向軸承內(nèi)側(cè)壁固定連接,所述第二單向軸承外側(cè)壁固定連接有與四個(gè)過濾箱一一對(duì)應(yīng)的四個(gè)驅(qū)動(dòng)桿,所述過濾箱靠近驅(qū)動(dòng)桿的側(cè)壁開設(shè)有第二環(huán)形槽,所述驅(qū)動(dòng)桿側(cè)壁與其靠近的第二環(huán)形槽內(nèi)側(cè)壁貼合。

11、優(yōu)選地,所述凸輪下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有壓柱,所述壓柱與拱形板上表面貼合。

12、優(yōu)選地,所述拱形板內(nèi)開設(shè)有條形腔,所述三角板內(nèi)開設(shè)有與條形腔內(nèi)壁連通的空腔,所述空腔內(nèi)壁開設(shè)有與三角板側(cè)壁連通的噴氣口,所述噴氣口內(nèi)安裝有僅允許氣體從空腔內(nèi)流出的單向閥,所述第一桿側(cè)壁通過第一管與空腔內(nèi)壁連通,所述第一環(huán)形槽內(nèi)壁固定連接有與兩個(gè)開口朝下的過濾箱一一對(duì)應(yīng)的兩個(gè)第二管,所述第一管與其對(duì)應(yīng)的第二管之間配合。

13、優(yōu)選地,所述上殼體上端固定連接有泵氣框,所述泵氣框內(nèi)壁密封滑動(dòng)連接有第二板,所述第二板內(nèi)壁通過單向出氣管與兩個(gè)第二管內(nèi)壁連通,所述第二板內(nèi)壁固定連通有單向吸氣管,所述上殼體上端通過支架固定連接有電機(jī),所述電機(jī)活動(dòng)端和第三桿上端之間固定連接有凵型柱,所述凵型柱側(cè)壁通過連接板與第二板側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

14、一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾方法,包括如下步驟:

15、s1、將氫氟酸液體通過兩個(gè)進(jìn)液管加入兩個(gè)過濾箱中,隨后驅(qū)動(dòng)電機(jī)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),此時(shí)第一單向軸承帶動(dòng)兩個(gè)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng),此時(shí)兩個(gè)第一板來回滑動(dòng),對(duì)位于兩個(gè)過濾箱內(nèi)的氫氟酸液體壓濾,加快氫氟酸的流出;

16、s2、同時(shí)兩個(gè)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)使得兩個(gè)壓柱對(duì)位于上方的兩個(gè)拱形板間歇性擠壓,兩個(gè)拱形板會(huì)上下移動(dòng),加快另外兩個(gè)過濾箱上的多個(gè)三角濾孔中雜質(zhì)的流出;

17、s3、在步驟s1中的兩個(gè)過濾箱內(nèi)雜質(zhì)較多時(shí),首先調(diào)節(jié)第二電動(dòng)推桿收縮,帶動(dòng)兩個(gè)集雜框下移至下殼體中,隨后驅(qū)動(dòng)電機(jī)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),此時(shí)第二單向軸承帶動(dòng)四個(gè)驅(qū)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)九十度,在四個(gè)齒輪和齒環(huán)的作用下,帶動(dòng)四個(gè)過濾箱均轉(zhuǎn)動(dòng)半圈,將步驟s1中的兩個(gè)過濾箱轉(zhuǎn)動(dòng)至位于集雜框正上方,將步驟s2中的兩個(gè)過濾箱轉(zhuǎn)動(dòng)至位于兩個(gè)進(jìn)液管正下方,隨后重復(fù)上述步驟即可。

18、與現(xiàn)有的技術(shù)相比,本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于:

19、1.設(shè)置過濾機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),可以對(duì)三角板側(cè)壁和多個(gè)三角濾孔內(nèi)壁之間的間距調(diào)節(jié),對(duì)氫氟酸提純過濾時(shí)的過濾口大小調(diào)節(jié),可以根據(jù)氫氟酸液體內(nèi)雜質(zhì)的大小對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié),提高對(duì)氫氟酸的提純效果,避免現(xiàn)有技術(shù)中濾網(wǎng)孔徑都是一致的,如果雜質(zhì)顆粒較小,就無法對(duì)較小的雜質(zhì)顆粒有效阻隔。

20、2.設(shè)置壓柱,兩個(gè)拱形板可以在兩個(gè)壓柱的擠壓和多個(gè)第二彈簧的作用下上下移動(dòng),帶動(dòng)多個(gè)三角板在多個(gè)三角濾孔內(nèi)上下移動(dòng),此時(shí)可以對(duì)三角濾孔內(nèi)的雜質(zhì)不斷推動(dòng)擠出,對(duì)三角濾孔內(nèi)的雜質(zhì)有效清理,避免目前對(duì)氟化鈣雜質(zhì)清理時(shí),就無法對(duì)濾網(wǎng)網(wǎng)孔內(nèi)的氟化鈣雜質(zhì)清理,影響后續(xù)過濾效果。

21、3.設(shè)置噴氣口,多個(gè)噴氣口內(nèi)可以噴出高速氣體,加快對(duì)多個(gè)三角濾孔內(nèi)雜質(zhì)的清理,同時(shí)在氣流的作用下,還可以對(duì)該處過濾箱內(nèi)的雜質(zhì)吹出處理。



技術(shù)特征:

1.一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括開設(shè)在上殼體(1)內(nèi)壁下方的兩個(gè)凹槽(24),所述凹槽(24)內(nèi)底部固定連接有第一電動(dòng)推桿(25),所述第一電動(dòng)推桿(25)活動(dòng)端固定連接有移動(dòng)塊(26),所述移動(dòng)塊(26)側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有支撐柱(27),所述支撐柱(27)側(cè)壁與其靠近的拱形板(11)下端貼合,兩個(gè)所述凹槽(24)分別與兩個(gè)開口朝上的過濾箱(6)正對(duì),所述上殼體(1)內(nèi)頂部固定連通有兩個(gè)進(jìn)液管(44),兩個(gè)所述進(jìn)液管(44)管口分別與兩個(gè)開口朝上的過濾箱(6)正對(duì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,所述下殼體(2)內(nèi)底部固定連接有兩個(gè)第二電動(dòng)推桿(41),所述第二電動(dòng)推桿(41)活動(dòng)端固定連接有集雜框(42),所述下殼體(2)內(nèi)壁下方固定連通有排液管(43)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,所述上殼體(1)內(nèi)壁下端通過兩個(gè)l型桿(14)固定連接有齒環(huán)(15),所述過濾箱(6)遠(yuǎn)離第一桿(5)的側(cè)壁通過第二桿(16)固定連接有齒輪(17),所述齒輪(17)側(cè)壁與齒環(huán)(15)側(cè)壁嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一單向軸承(19)和第二單向軸承(21),所述上殼體(1)內(nèi)頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第三桿(18),所述第三桿(18)側(cè)壁與第一單向軸承(19)內(nèi)側(cè)壁固定連接,所述第一單向軸承(19)外側(cè)壁固定連接有兩個(gè)凸輪(20),所述凸輪(20)側(cè)壁與第一板(7)側(cè)壁貼合。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,所述第三桿(18)側(cè)壁與第二單向軸承(21)內(nèi)側(cè)壁固定連接,所述第二單向軸承(21)外側(cè)壁固定連接有與四個(gè)過濾箱(6)一一對(duì)應(yīng)的四個(gè)驅(qū)動(dòng)桿(22),所述過濾箱(6)靠近驅(qū)動(dòng)桿(22)的側(cè)壁開設(shè)有第二環(huán)形槽(23),所述驅(qū)動(dòng)桿(22)側(cè)壁與其靠近的第二環(huán)形槽(23)內(nèi)側(cè)壁貼合。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,所述凸輪(20)下端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有壓柱(28),所述壓柱(28)與拱形板(11)上表面貼合。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,所述拱形板(11)內(nèi)開設(shè)有條形腔(29),所述三角板(13)內(nèi)開設(shè)有與條形腔(29)內(nèi)壁連通的空腔(30),所述空腔(30)內(nèi)壁開設(shè)有與三角板(13)側(cè)壁連通的噴氣口(31),所述噴氣口(31)內(nèi)安裝有僅允許氣體從空腔(30)內(nèi)流出的單向閥,所述第一桿(5)側(cè)壁通過第一管(32)與空腔(30)內(nèi)壁連通,所述第一環(huán)形槽(3)內(nèi)壁固定連接有與兩個(gè)開口朝下的過濾箱(6)一一對(duì)應(yīng)的兩個(gè)第二管(33),所述第一管(32)與其對(duì)應(yīng)的第二管(33)之間配合。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,所述上殼體(1)上端固定連接有泵氣框(34),所述泵氣框(34)內(nèi)壁密封滑動(dòng)連接有第二板(35),所述第二板(35)內(nèi)壁通過單向出氣管(36)與兩個(gè)第二管(33)內(nèi)壁連通,所述第二板(35)內(nèi)壁固定連通有單向吸氣管(37),所述上殼體(1)上端通過支架固定連接有電機(jī)(38),所述電機(jī)(38)活動(dòng)端和第三桿(18)上端之間固定連接有凵型柱(39),所述凵型柱(39)側(cè)壁通過連接板(40)與第二板(35)側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

10.一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾方法,包括如權(quán)利要求1-9任一所述的一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,其特征在于,還包括如下步驟:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及氫氟酸過濾技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾裝置,包括:上殼體和下殼體,所述上殼體和下殼體之間通過多個(gè)螺栓連接;過濾機(jī)構(gòu);本發(fā)明還涉及了一種電子級(jí)氫氟酸提純用過濾方法,包括如下步驟:S1、將氫氟酸液體通過兩個(gè)進(jìn)液管加入兩個(gè)過濾箱中,隨后驅(qū)動(dòng)電機(jī)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),此時(shí)第一單向軸承帶動(dòng)兩個(gè)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng),此時(shí)兩個(gè)第一板來回滑動(dòng),對(duì)位于兩個(gè)過濾箱內(nèi)的氫氟酸液體壓濾,加快氫氟酸的流出。本發(fā)明設(shè)置過濾機(jī)構(gòu)和調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),可以對(duì)三角板側(cè)壁和多個(gè)三角濾孔內(nèi)壁之間的距離調(diào)節(jié),對(duì)氫氟酸提純過濾時(shí)的過濾口大小調(diào)節(jié),可以根據(jù)氫氟酸液體內(nèi)雜質(zhì)的大小對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié),提高對(duì)氫氟酸的提純效果。

技術(shù)研發(fā)人員:劉瑞年,賴偉,王素芳,華鐘,黃明新
受保護(hù)的技術(shù)使用者:福建省龍氟新材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/23
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