本發(fā)明涉及晶圓點(diǎn)膠機(jī)，具體為全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)。

背景技術(shù)：

1、在集成電路制造過(guò)程中，晶圓的封裝和連接質(zhì)量直接影響到芯片的性能和可靠性，晶圓點(diǎn)膠機(jī)主要負(fù)責(zé)在晶圓表面精確地涂布膠水或其他材料，以實(shí)現(xiàn)芯片的封裝、連接或其他功能，點(diǎn)膠機(jī)在集成電路和其他電子元件的生產(chǎn)中具有重要作用，現(xiàn)有的點(diǎn)膠機(jī)在使用時(shí)還存在一些不足之處。

2、公開(kāi)號(hào)為cn113828477a的發(fā)明專(zhuān)利，其公開(kāi)了晶圓作業(yè)平臺(tái)及具有其的點(diǎn)膠機(jī)，包括：發(fā)熱支撐臺(tái)；加熱器，上表面形成為加熱面，晶圓位于加熱面的上方，在點(diǎn)膠機(jī)本體位于點(diǎn)膠位置時(shí)，點(diǎn)膠機(jī)本體位于晶圓的上方；點(diǎn)膠保溫平臺(tái)，設(shè)于發(fā)熱支撐臺(tái)的一側(cè)，點(diǎn)膠保溫平臺(tái)具有能夠?qū)c(diǎn)膠機(jī)本體進(jìn)行加熱的保溫面，在點(diǎn)膠機(jī)本體位于保溫位置時(shí)，點(diǎn)膠機(jī)本體接近于保溫面，晶圓作業(yè)平臺(tái)不僅能夠確保膠水的溫度達(dá)到點(diǎn)膠要求，防止膠水冷卻不易流出，還能夠使點(diǎn)膠機(jī)本體的各個(gè)位置溫度均勻，提升點(diǎn)膠質(zhì)量。上述裝置雖然能夠防止膠水流出，但在使用時(shí)，不能夠在點(diǎn)膠完成后維持一定的溫度，以便后續(xù)加工，不能夠在晶圓輸送至合適位置后自動(dòng)下移點(diǎn)膠設(shè)備進(jìn)行點(diǎn)膠工作，并且現(xiàn)有的點(diǎn)膠機(jī)在使用時(shí)不能夠在不影響晶圓輸送結(jié)構(gòu)的情況下對(duì)晶圓進(jìn)行升降或水平輸送。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于現(xiàn)有晶圓點(diǎn)膠機(jī)中存在的問(wèn)題，提出了本發(fā)明。

2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案：全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，包括外殼，所述外殼上安裝有連接殼，所述連接殼上安裝有導(dǎo)熱板，連接殼上鉸接有蓋板，所述蓋板上安裝有加熱組件，所述加熱組件內(nèi)設(shè)置有電加熱管，所述外殼內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)組件，所述連接殼的內(nèi)部設(shè)置有輸送組件，所述連接殼的中間固定設(shè)置有第一電動(dòng)推桿，所述第一電動(dòng)推桿上固定連接有第一連接塊，所述第一連接塊上固定安裝有第一支撐板，所述第一支撐板的左右兩側(cè)均滑動(dòng)連接有第二支撐板，所述第一支撐板右側(cè)的第二支撐板上安裝有第二導(dǎo)桿，所述連接殼上固定設(shè)置有導(dǎo)向桿和第三導(dǎo)桿，所述第二導(dǎo)桿上固定連接有牽引鋼繩，所述牽引鋼繩經(jīng)導(dǎo)向桿導(dǎo)向與驅(qū)動(dòng)組件相連，所述驅(qū)動(dòng)組件的下方安裝有調(diào)節(jié)塊，調(diào)節(jié)塊的下方固定設(shè)置有第二電動(dòng)推桿，所述第二電動(dòng)推桿的底部安裝有點(diǎn)膠機(jī)本體。

3、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述連接殼的頂部為開(kāi)口結(jié)構(gòu)，所述連接殼頂部開(kāi)口的長(zhǎng)度大于第一支撐板的長(zhǎng)度，連接殼頂部開(kāi)口的寬度大于第一支撐板的寬度。

4、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述蓋板上固定連接有橡膠墊，所述蓋板通過(guò)橡膠墊與連接殼之間構(gòu)成卡合結(jié)構(gòu)。

5、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述加熱組件包括固定連接于蓋板上方的連接板，所述連接板上固定連接有連接罩，所述電加熱管安裝于連接罩內(nèi)，所述電加熱管上安裝有導(dǎo)電板，所述連接殼上安裝有電源，所述電源上連接有導(dǎo)電觸片。

6、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述驅(qū)動(dòng)組件包括滑動(dòng)安裝于所述外殼上的第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的輸出軸上連接有第一螺桿，所述第一電機(jī)上固定設(shè)置有第一導(dǎo)軌，所述第一導(dǎo)軌內(nèi)滑動(dòng)安裝有第一滑塊，所述第一螺桿和第一滑塊之間為螺紋連接，所述第一滑塊的底部固定連接有第二導(dǎo)軌，所述第二導(dǎo)軌內(nèi)滑動(dòng)安裝有第二滑塊，所述第二滑塊內(nèi)螺紋安裝有第二螺桿，所述第二螺桿和第二導(dǎo)軌之間為轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二導(dǎo)軌上固定設(shè)置有第二電機(jī)，所述第二電機(jī)的輸出軸上固定連接有同步輪，所述同步輪和第二螺桿之間安裝有同步帶。

7、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述第一導(dǎo)軌的側(cè)面固定連接有固定環(huán)，所述固定環(huán)內(nèi)貼合設(shè)置有第三導(dǎo)桿，所述第三導(dǎo)桿和連接殼之間為固定連接，所述第一導(dǎo)軌通過(guò)第二導(dǎo)桿、牽引鋼繩、導(dǎo)向桿和固定環(huán)與第三導(dǎo)桿之間構(gòu)成升降結(jié)構(gòu)。

8、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述第二滑塊和調(diào)節(jié)塊之間為固定連接，所述調(diào)節(jié)塊通過(guò)第二滑塊和第二螺桿與第二導(dǎo)軌之間構(gòu)成第一滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述第二導(dǎo)軌通過(guò)第一滑塊和第一螺桿與第一導(dǎo)軌之間構(gòu)成第二滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。

9、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述輸送組件包括滑動(dòng)安裝于連接殼上的支架，所述支架上固定設(shè)置有第三電機(jī)，所述第三電機(jī)的輸出軸上固定連接有轉(zhuǎn)輥，所述轉(zhuǎn)輥的兩側(cè)均安裝有輸送帶，所述輸送帶上等距安裝有凸塊，所述連接殼上固定設(shè)置有凸板，所述凸板和支架之間安裝有第一彈簧。

10、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述第一支撐板左側(cè)的第二支撐板上安裝有第一導(dǎo)桿，所述第一導(dǎo)桿貫穿于連接殼的內(nèi)部，第一支撐板左右兩側(cè)的第二支撐板與連接殼之間均為滑動(dòng)連接。

11、作為本發(fā)明的一種優(yōu)先方案，所述第一支撐板上固定設(shè)置有第一連接塊，所述第一連接塊上固定連接有第二連接塊，所述第二支撐板上固定連接有第三連接塊，所述第三連接塊和第二連接塊之間固定連接有第二彈簧，所述第一連接塊的高度大于第一支撐板的厚度，所述第一支撐板和第二支撐板的厚度相同。

12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

13、1、通過(guò)設(shè)置的蓋板和加熱組件，蓋板在關(guān)閉時(shí)，電加熱管上的導(dǎo)電板會(huì)與連接殼上的導(dǎo)電觸片接觸，從而使得導(dǎo)電板與導(dǎo)電觸片，從而使得電加熱管通電，對(duì)導(dǎo)熱板進(jìn)行加熱，使得裝置在工作的過(guò)程中能夠保持連接殼內(nèi)溫度合適，避免在點(diǎn)膠完成后膠水快速冷卻，并且該裝置可在關(guān)閉蓋板后自動(dòng)打開(kāi)加熱功能，打開(kāi)蓋板后自動(dòng)關(guān)閉加熱功能，解決了現(xiàn)有的晶圓點(diǎn)膠機(jī)不能夠在點(diǎn)膠完成后維持一定的溫度的問(wèn)題。

14、2、裝置上設(shè)置有第一電動(dòng)推桿、第一支撐板和第二支撐板，將晶圓放置于輸送帶上后，通過(guò)伸長(zhǎng)第一電動(dòng)推桿使第一支撐板向上移動(dòng)，帶動(dòng)第二支撐板向上滑動(dòng)，第二支撐板移動(dòng)至最上方后第一支撐板可持續(xù)移動(dòng)，輸送帶被向上拉動(dòng)時(shí)，輸送組件上的支架會(huì)被向連接殼的中間拉動(dòng)，從而使得第一彈簧被拉伸，當(dāng)點(diǎn)膠完成后，可縮短第一電動(dòng)推桿，第一彈簧會(huì)使支架自動(dòng)復(fù)位，從而使得裝置在不影響輸送結(jié)構(gòu)的情況下對(duì)晶圓進(jìn)行升降和水平輸送，增強(qiáng)了裝置的適應(yīng)性，解決了現(xiàn)有的晶圓點(diǎn)膠機(jī)不能夠在不影響晶圓輸送結(jié)構(gòu)的情況下對(duì)晶圓進(jìn)行升降或水平輸送的問(wèn)題。

15、3、通過(guò)設(shè)置的第二導(dǎo)桿、牽引鋼繩、導(dǎo)向桿和第三導(dǎo)桿，當(dāng)?shù)谝浑妱?dòng)推桿伸長(zhǎng)并將晶圓向上輸送的過(guò)程中，第二導(dǎo)桿向上移動(dòng)，牽引鋼繩的底端向上移動(dòng)，在導(dǎo)向桿的作用下，第一導(dǎo)軌自動(dòng)下移，從而使得裝置在上升晶圓的同時(shí)使得驅(qū)動(dòng)組件以及點(diǎn)膠機(jī)本體自動(dòng)向下移動(dòng)，提升了裝置使用時(shí)的便捷性，解決了現(xiàn)有的點(diǎn)膠裝置不能夠在晶圓輸送至合適位置后自動(dòng)下移點(diǎn)膠設(shè)備進(jìn)行點(diǎn)膠工作的問(wèn)題。

技術(shù)特征：

1.全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，包括外殼（1），其特征在于：所述外殼（1）上安裝有連接殼（2），所述連接殼（2）上安裝有導(dǎo)熱板（3），連接殼（2）上鉸接有蓋板（4），所述蓋板（4）上安裝有加熱組件（5），所述加熱組件（5）內(nèi)設(shè)置有電加熱管（6），所述外殼（1）內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)組件（8），所述連接殼（2）的內(nèi)部設(shè)置有輸送組件（9），所述連接殼（2）的中間固定設(shè)置有第一電動(dòng)推桿（10），所述第一電動(dòng)推桿（10）上固定連接有第一連接塊（13），所述第一連接塊（13）上固定安裝有第一支撐板（11），所述第一支撐板（11）的左右兩側(cè)均滑動(dòng)連接有第二支撐板（12），所述第一支撐板（11）右側(cè)的第二支撐板（12）上安裝有第二導(dǎo)桿（21），所述連接殼（2）上固定設(shè)置有導(dǎo)向桿（23）和第三導(dǎo)桿（25），所述第二導(dǎo)桿（21）上固定連接有牽引鋼繩（22），所述牽引鋼繩（22）經(jīng)導(dǎo)向桿（23）導(dǎo)向與驅(qū)動(dòng)組件（8）相連，所述驅(qū)動(dòng)組件（8）的下方安裝有調(diào)節(jié)塊（17），調(diào)節(jié)塊（17）的下方固定設(shè)置有第二電動(dòng)推桿（18），所述第二電動(dòng)推桿（18）的底部安裝有點(diǎn)膠機(jī)本體（19）；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述連接殼（2）的頂部為開(kāi)口結(jié)構(gòu)，所述連接殼（2）頂部開(kāi)口的長(zhǎng)度大于第一支撐板（11）的長(zhǎng)度，連接殼（2）頂部開(kāi)口的寬度大于第一支撐板（11）的寬度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述蓋板（4）上固定連接有橡膠墊（7），所述蓋板（4）通過(guò)橡膠墊（7）與連接殼（2）之間構(gòu)成卡合結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)組件（8）包括滑動(dòng)安裝于所述外殼（1）上的第一電機(jī)（801），所述第一電機(jī)（801）的輸出軸上連接有第一螺桿（802），所述第一電機(jī)（801）上固定設(shè)置有第一導(dǎo)軌（803），所述第一導(dǎo)軌（803）內(nèi)滑動(dòng)安裝有第一滑塊（804），所述第一螺桿（802）和第一滑塊（804）之間為螺紋連接，所述第一滑塊（804）的底部固定連接有第二導(dǎo)軌（805），所述第二導(dǎo)軌（805）內(nèi)滑動(dòng)安裝有第二滑塊（806），所述第二滑塊（806）內(nèi)螺紋安裝有第二螺桿（807），所述第二螺桿（807）和第二導(dǎo)軌（805）之間為轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述第二導(dǎo)軌（805）上固定設(shè)置有第二電機(jī)（808），所述第二電機(jī)（808）的輸出軸上固定連接有同步輪（809），所述同步輪（809）和第二螺桿（807）之間安裝有同步帶（810）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述第一導(dǎo)軌（803）的側(cè)面固定連接有固定環(huán)（24），所述固定環(huán)（24）內(nèi)貼合設(shè)置有第三導(dǎo)桿（25），所述第三導(dǎo)桿（25）和連接殼（2）之間為固定連接，所述第一導(dǎo)軌（803）通過(guò)第二導(dǎo)桿（21）、牽引鋼繩（22）、導(dǎo)向桿（23）和固定環(huán)（24）與第三導(dǎo)桿（25）之間構(gòu)成升降結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述第二滑塊（806）和調(diào)節(jié)塊（17）之間為固定連接，所述調(diào)節(jié)塊（17）通過(guò)第二滑塊（806）和第二螺桿（807）與第二導(dǎo)軌（805）之間構(gòu)成第一滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述第二導(dǎo)軌（805）通過(guò)第一滑塊（804）和第一螺桿（802）與第一導(dǎo)軌（803）之間構(gòu)成第二滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述輸送組件（9）包括滑動(dòng)安裝于連接殼（2）上的支架（901），所述支架（901）上固定設(shè)置有第三電機(jī)（902），所述第三電機(jī)（902）的輸出軸上固定連接有轉(zhuǎn)輥（905），所述轉(zhuǎn)輥（905）的兩側(cè)均安裝有輸送帶（906），所述輸送帶（906）上等距安裝有凸塊（907），所述連接殼（2）上固定設(shè)置有凸板（903），所述凸板（903）和支架（901）之間安裝有第一彈簧（904）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述第一支撐板（11）左側(cè)的第二支撐板（12）上安裝有第一導(dǎo)桿（20），所述第一導(dǎo)桿（20）貫穿于連接殼（2）的內(nèi)部，第一支撐板（11）左右兩側(cè)的第二支撐板（12）與連接殼（2）之間均為滑動(dòng)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的全自動(dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于：所述第一支撐板（11）上固定設(shè)置有第一連接塊（13），所述第一連接塊（13）上固定連接有第二連接塊（14），所述第二支撐板（12）上固定連接有第三連接塊（16），所述第三連接塊（16）和第二連接塊（14）之間固定連接有第二彈簧（15），所述第一連接塊（13）的高度大于第一支撐板（11）的厚度，所述第一支撐板（11）和第二支撐板（12）的厚度相同。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)?zhí)峁┝巳詣?dòng)在線式晶圓點(diǎn)膠機(jī)，屬于晶圓點(diǎn)膠機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，包括外殼，所述外殼上安裝有連接殼，所述連接殼上安裝有導(dǎo)熱板，連接殼上鉸接有蓋板，所述蓋板上安裝有加熱組件，所述加熱組件內(nèi)設(shè)置有電加熱管，所述外殼內(nèi)安裝有驅(qū)動(dòng)組件，所述連接殼的內(nèi)部設(shè)置有輸送組件，所述連接殼的中間固定設(shè)置有第一電動(dòng)推桿，所述第一電動(dòng)推桿上固定連接有第一連接塊，所述第一連接塊上固定安裝有第一支撐板，所述第一支撐板的左右兩側(cè)均滑動(dòng)連接有第二支撐板。本申請(qǐng)解決了現(xiàn)有的點(diǎn)膠機(jī)不能夠在點(diǎn)膠完成后維持一定的溫度以便后續(xù)加工，并且不能夠在不影響晶圓輸送結(jié)構(gòu)的情況下對(duì)晶圓進(jìn)行升降或水平輸送的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：高翔鷹,胡進(jìn)忠,韓軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海芯畀科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6