本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工，具體為一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置。

背景技術(shù)：

1、勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的粘度，如中國(guó)專(zhuān)利網(wǎng)站公開(kāi)的cn215390507u一種勻膠裝置及勻膠機(jī)，包括：圓形的轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)，用于承載待涂膠的工件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)上設(shè)有與所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)同圓心的圓形導(dǎo)軌；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)；以及限位組件，所述限位組件包括至少兩根固定的支撐桿，所述支撐桿的支撐端設(shè)有與所述圓形導(dǎo)軌配合的滾輪，所述滾輪在所述圓形導(dǎo)軌上隨所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，至少兩根支撐桿在所述圓形導(dǎo)軌上均勻分布對(duì)所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)形成限位支撐。其通過(guò)滾輪與轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)的配合，形成了對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的導(dǎo)向限位，從而減小了轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)的晃動(dòng)幅度，保證了轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)上晶圓工件的平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)。由此可提高晶圓表面涂布的光刻膠厚度的均勻性，提升了產(chǎn)品的質(zhì)量，但常規(guī)的勻膠機(jī)每次運(yùn)作只能完成一個(gè)基片的涂膠，加工的效率較低，因此，提出一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，具備一次運(yùn)作同時(shí)完成兩個(gè)基片的涂膠，提高了生產(chǎn)效率等優(yōu)點(diǎn)，解決了常規(guī)的勻膠機(jī)每次運(yùn)作只能完成一個(gè)基片的涂膠，加工的效率較低的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，包括勻膠主機(jī)，所述勻膠主機(jī)的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)器，所述驅(qū)動(dòng)器的外側(cè)設(shè)置有限制圈，所述驅(qū)動(dòng)器與限制圈之間設(shè)置有收膠鍋，所述收膠鍋的內(nèi)部設(shè)置有勻膠內(nèi)襯，所述收膠鍋與勻膠內(nèi)襯在對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)器的位置開(kāi)設(shè)有插接口，所述插接口處插接有一號(hào)基片托，所述一號(hào)基片托的頂部設(shè)置有四個(gè)限位塊，所述四個(gè)限位塊的頂部插接有二號(hào)基片托。

3、優(yōu)選的，所述一號(hào)基片托的底部插接在插接口內(nèi)，并將底部與驅(qū)動(dòng)器連接，通過(guò)驅(qū)動(dòng)器轉(zhuǎn)動(dòng)一號(hào)基片托的同時(shí)帶動(dòng)二號(hào)基片托一同旋轉(zhuǎn)。

4、優(yōu)選的，四個(gè)所述限位塊的位置設(shè)計(jì)在一號(hào)基片托頂部的外圈處，所述一號(hào)基片托頂部的內(nèi)圈和二號(hào)基片托的頂部用于放置基片。

5、優(yōu)選的，四個(gè)所述限位塊的頂部均開(kāi)設(shè)有固定槽，所述二號(hào)基片托的底部對(duì)應(yīng)四個(gè)限位塊的位置設(shè)置有固定支撐塊，通過(guò)將四個(gè)固定支撐塊插入限位塊的固定槽內(nèi)，使一號(hào)基片托與二號(hào)基片托組裝成一體。

6、優(yōu)選的，四個(gè)所述限位塊與四個(gè)固定支撐塊的側(cè)邊均開(kāi)設(shè)有加固開(kāi)口，所述限位塊的加固開(kāi)口與固定槽連通。

7、優(yōu)選的，所述固定支撐塊插接入固定槽時(shí)，兩個(gè)加固開(kāi)口的位置吻合，所述固定支撐塊與限位塊的加固開(kāi)口處插接有橡膠塞，通過(guò)將橡膠塞插入固定支撐塊與限位塊的加固開(kāi)口處，加固了一號(hào)基片托與二號(hào)基片托之間的連接。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，具備以下有益效果：

9、1、該半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，通過(guò)將兩個(gè)基片分別放入一號(hào)基片托頂部的內(nèi)圈和二號(hào)基片托的頂部，通過(guò)驅(qū)動(dòng)器轉(zhuǎn)動(dòng)一號(hào)基片托的同時(shí)帶動(dòng)二號(hào)基片托一同旋轉(zhuǎn)，使該裝置一次運(yùn)作可同時(shí)完成兩個(gè)基片的涂膠，提高了生產(chǎn)效率。

10、2、該半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，通過(guò)將四個(gè)固定支撐塊插入限位塊的固定槽內(nèi)，使一號(hào)基片托與二號(hào)基片托組裝成一體，通過(guò)將橡膠塞插入固定支撐塊與限位塊的加固開(kāi)口處，加固了一號(hào)基片托與二號(hào)基片托之間的連接。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，包括勻膠主機(jī)(1)，其特征在于：所述勻膠主機(jī)(1)的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)器(2)，所述驅(qū)動(dòng)器(2)的外側(cè)設(shè)置有限制圈(3)，所述驅(qū)動(dòng)器(2)與限制圈(3)之間設(shè)置有收膠鍋(4)，所述收膠鍋(4)的內(nèi)部設(shè)置有勻膠內(nèi)襯(5)，所述收膠鍋(4)與勻膠內(nèi)襯(5)在對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)器(2)的位置開(kāi)設(shè)有插接口(6)，所述插接口(6)處插接有一號(hào)基片托(7)，所述一號(hào)基片托(7)的頂部設(shè)置有四個(gè)限位塊(8)，所述四個(gè)限位塊(8)的頂部插接有二號(hào)基片托(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，其特征在于：所述一號(hào)基片托(7)的底部插接在插接口(6)內(nèi)，并將底部與驅(qū)動(dòng)器(2)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，其特征在于：四個(gè)所述限位塊(8)的位置設(shè)計(jì)在一號(hào)基片托(7)頂部的外圈處，所述一號(hào)基片托(7)頂部的內(nèi)圈和二號(hào)基片托(9)的頂部用于放置基片。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，其特征在于：四個(gè)所述限位塊(8)的頂部均開(kāi)設(shè)有固定槽(10)，所述二號(hào)基片托(9)的底部對(duì)應(yīng)四個(gè)限位塊(8)的位置設(shè)置有固定支撐塊(11)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，其特征在于：四個(gè)所述限位塊(8)與四個(gè)固定支撐塊(11)的側(cè)邊均開(kāi)設(shè)有加固開(kāi)口(12)，所述限位塊(8)的加固開(kāi)口(12)與固定槽(10)連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，其特征在于：所述固定支撐塊(11)插接入固定槽(10)時(shí)，兩個(gè)加固開(kāi)口(12)的位置吻合，所述固定支撐塊(11)與限位塊(8)的加固開(kāi)口(12)處插接有橡膠塞(13)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，包括勻膠主機(jī)，所述勻膠主機(jī)的頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)器，所述驅(qū)動(dòng)器的外側(cè)設(shè)置有限制圈，所述驅(qū)動(dòng)器與限制圈之間設(shè)置有收膠鍋，所述收膠鍋的內(nèi)部設(shè)置有勻膠內(nèi)襯，所述收膠鍋與勻膠內(nèi)襯在對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)器的位置開(kāi)設(shè)有插接口，所述插接口處插接有一號(hào)基片托，所述一號(hào)基片托的頂部設(shè)置有四個(gè)限位塊，所述四個(gè)限位塊的頂部插接有二號(hào)基片托。該半導(dǎo)體加工的勻膠裝置，通過(guò)將兩個(gè)基片分別放入一號(hào)基片托頂部的內(nèi)圈和二號(hào)基片托的頂部，通過(guò)驅(qū)動(dòng)器轉(zhuǎn)動(dòng)一號(hào)基片托的同時(shí)帶動(dòng)二號(hào)基片托一同旋轉(zhuǎn)，使該裝置一次運(yùn)作可同時(shí)完成兩個(gè)基片的涂膠，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：魏煜航,匡艷飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市子瑞科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240328
技術(shù)公布日：2025/1/2