本公開(kāi)總體上涉及制備鈣鈦礦電池薄膜的，并且具體地，涉及一種用于制備鈣鈦礦電池薄膜的設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池(perovskite?solar?cells)，是利用鈣鈦礦型的有機(jī)金屬鹵化物半導(dǎo)體作為吸光材料的太陽(yáng)能電池。鈣鈦礦太陽(yáng)能電池因?yàn)榫哂辛己玫母吖庵掳l(fā)光壽命、遷移率、以及光電轉(zhuǎn)換效率(power?conversion?efficiency，pce)、材料成本較低等優(yōu)勢(shì)，被普遍認(rèn)為是將取代硅基太陽(yáng)能電池的第三代太陽(yáng)能電池。

2、傳統(tǒng)的制備鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的方法例如包括：旋涂法和氣相沉積法。傳統(tǒng)的制備方法存在例如均勻性欠佳進(jìn)而導(dǎo)致成膜質(zhì)量差等缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開(kāi)提供一種用于制備鈣鈦礦電池薄膜的設(shè)備，能夠針對(duì)噴涂后的基材產(chǎn)生良好的干燥效果，以保證成膜質(zhì)量。

2、根據(jù)本公開(kāi)的第一方面，提供一種用于制備鈣鈦礦電池薄膜的設(shè)備。該設(shè)備包括：噴頭組件，用于針對(duì)基材噴涂待噴涂溶液，待噴涂溶液包括鈣鈦礦前驅(qū)物溶液或者用于反應(yīng)以生成鈣鈦礦前驅(qū)物溶液的反應(yīng)組分溶液；以及干燥組件，用于針對(duì)噴涂后的基材進(jìn)行干燥處理。

3、根據(jù)本公開(kāi)的第二方面，提供一種用于制備鈣鈦礦電池薄膜的設(shè)備。該設(shè)備包括：基材運(yùn)動(dòng)組件，用于將基材移動(dòng)至噴涂工位；噴涂頭架組件，用于將噴頭組件移動(dòng)至噴涂工位；以及噴頭組件，設(shè)置于噴涂頭架組件上，用于針對(duì)基材噴涂待噴涂溶液，待噴涂溶液包括鈣鈦礦前驅(qū)物溶液或者用于反應(yīng)以生成鈣鈦礦前驅(qū)物溶液的反應(yīng)組分溶液。

4、在一些實(shí)施例中，噴涂頭架組件包括：豎直運(yùn)動(dòng)模組，與噴頭組件連接，用于驅(qū)動(dòng)噴頭組件的至少部分沿豎直方向運(yùn)動(dòng)；以及水平運(yùn)動(dòng)模組，與豎直運(yùn)動(dòng)模組連接，用于驅(qū)動(dòng)豎直運(yùn)動(dòng)模組沿水平方向運(yùn)動(dòng)。

5、在一些實(shí)施例中，噴頭組件包括：第一噴頭組件，用于噴出第一類待噴涂溶液；以及第二噴頭組件，用于噴出第二類待噴涂溶液；以及水平運(yùn)動(dòng)模組還用于驅(qū)動(dòng)豎直運(yùn)動(dòng)模組沿水平方向運(yùn)動(dòng)以便將第一噴頭組件或者第二噴頭組件移動(dòng)至噴涂工位。

6、在一些實(shí)施例中，噴頭組件包括：噴頭，用于噴涂待噴涂溶液；以及第一吸霧組件，第一吸霧組件包括：吸霧腔體，由多個(gè)殼壁包圍形成，吸霧腔體圍繞噴頭；吸霧通孔，設(shè)置于多個(gè)殼壁中的至少一個(gè)殼壁上，以使得吸霧腔體的內(nèi)部與外部連通；第一吸霧管路，連通于吸霧腔體與吸霧風(fēng)機(jī)之間；以及吸霧風(fēng)機(jī)。

7、在一些實(shí)施例中，多個(gè)殼壁包括頂壁以及與頂壁相對(duì)的底壁，底壁的中部高于底壁的兩端，以便吸霧腔體內(nèi)積累的液體流向底壁的兩端。

8、在一些實(shí)施例中，噴頭組件還包括第二吸霧組件，第二吸霧組件包括：罩體，罩體圍繞噴頭，罩體的下部設(shè)置有開(kāi)口；邊緣組件，與罩體連接并圍繞罩體的開(kāi)口，邊緣組件內(nèi)設(shè)置有腔道，邊緣組件與罩體之間設(shè)置有與腔道連通的縫隙，以便霧氣進(jìn)入腔道；以及第二吸霧管路，連通于邊緣組件的腔道與吸霧風(fēng)機(jī)之間。

9、在一些實(shí)施例中，腔道的中部高于腔道的兩端，以便腔道內(nèi)積累的液體流向腔道的兩端。

10、在一些實(shí)施例中，罩體圍繞第一吸霧組件的吸霧腔體，吸霧腔體上設(shè)置有與罩體的內(nèi)壁抵靠的頂絲，以便避免第一吸霧組件相對(duì)于罩體晃動(dòng)。

11、在一些實(shí)施例中，噴涂頭架組件還包括：第一升降臺(tái)，設(shè)置于水平運(yùn)動(dòng)模組上，用于驅(qū)動(dòng)第一連接結(jié)構(gòu)升降；以及第一連接結(jié)構(gòu)，第一連接結(jié)構(gòu)包括：橫梁，沿水平方向設(shè)置，與第一升降臺(tái)連接，橫梁的兩端分別超出第一升降臺(tái)的沿第一方向的相對(duì)的兩側(cè)；以及梯形框架，沿豎直方向設(shè)置，梯形框架的上底邊與橫梁的一端連接，梯形框架的下底邊具有第一延伸部以及第二延伸部，第一延伸部以及第二延伸部分別超出第一升降臺(tái)的沿第二方向的相對(duì)的兩側(cè)，第一方向與第二方向垂直，第一延伸部以及第二延伸部中的至少一個(gè)與對(duì)應(yīng)的第二吸霧組件連接。

12、在一些實(shí)施例中，基材運(yùn)動(dòng)組件包括：基材載板，用于承載基材；以及加熱臺(tái)，設(shè)置于基材載板下方，并與基材載板接觸，用于對(duì)基材進(jìn)行加熱。

13、在一些實(shí)施例中，該設(shè)備還包括保濕接液組件，保濕接液組件包括：接液盤，接液盤上設(shè)置有吸水部件；以及第二升降臺(tái)，設(shè)置于接液盤的下方，用于驅(qū)動(dòng)接液盤升降，以使得噴頭組件的噴針的針尖浸沒(méi)于吸水部件中，以便保濕。

14、在一些實(shí)施例中，該設(shè)備還包括：濾紙上下線組件，用于將濾紙托盤上的濾紙移動(dòng)至基材運(yùn)動(dòng)組件的基材載板上，以便與基材載板上的基材相配合，以及將噴涂后的濾紙從基材載板上移除；以及濾紙托盤，用于承載濾紙，濾紙托盤的邊緣處設(shè)置有分紙釘。

15、在一些實(shí)施例中，該設(shè)備還包括基材托盤組件，基材托盤組件包括：支座立板；滑軌組件，設(shè)置于支座立板上；基材托盤，設(shè)置于滑軌組件上，基材托盤上設(shè)置有多個(gè)基材放置區(qū)，相鄰的基材放置區(qū)之間設(shè)置有沿第一方向延伸的限位臺(tái)階，每一個(gè)基材放置區(qū)設(shè)置有沿第二方向延伸的溝槽；以及氣缸組件，與基材托盤連接，用于驅(qū)動(dòng)基材托盤沿著滑軌組件移動(dòng)。

16、在一些實(shí)施例中，基材運(yùn)動(dòng)組件還包括：第一負(fù)壓吸附組件，被配置為產(chǎn)生負(fù)壓以便將基材吸附在基材載板的表面上。

17、在一些實(shí)施例中，基材載板設(shè)置有連通至基材載板的上表面的吸附孔，第一負(fù)壓吸附組件與吸附孔連通，以便產(chǎn)生負(fù)壓將設(shè)置于基材載板的上表面的基材吸附在基材載板的表面上。

18、根據(jù)本公開(kāi)的第三方面，提供一種噴涂方法。該方法利用根據(jù)本公開(kāi)的第一方面的設(shè)備實(shí)現(xiàn)。該方法包括：經(jīng)由基材運(yùn)動(dòng)組件，將基材移動(dòng)至噴涂工位；經(jīng)由噴涂頭架組件，將噴頭組件移動(dòng)至噴涂工位；以及經(jīng)由噴頭組件，針對(duì)基材噴涂待噴涂溶液。

19、在一些實(shí)施例中，該方法還包括：經(jīng)由基材抓取組件，將基材托盤上的基材抓取至基材運(yùn)動(dòng)組件上；經(jīng)由濾紙上下線組件，將濾紙托盤上的濾紙移動(dòng)至基材運(yùn)動(dòng)組件上，以便與基材運(yùn)動(dòng)組件上的基材相配合；經(jīng)由濾紙上下線組件，將噴涂后的濾紙從基材載板上移除；經(jīng)由基材運(yùn)動(dòng)組件，將噴涂后的基材移動(dòng)至干燥工位；以及經(jīng)由干燥組件，針對(duì)噴涂后的基材進(jìn)行干燥處理。

20、在一些實(shí)施例中，該方法還包括：使得噴頭組件與保濕接液組件的接液盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以便噴頭組件的噴針的針尖浸沒(méi)于保濕接液組件的吸水部件中，以便對(duì)噴針的針尖保濕。

21、在一些實(shí)施例中，噴頭組件包括第一噴頭組件以及第二噴頭組件，第一噴頭組件用于噴出第一類待噴涂溶液，第二噴頭組件用于噴出第二類待噴涂溶液；經(jīng)由噴涂頭架組件，將噴頭組件移動(dòng)至噴涂工位，以及經(jīng)由噴頭組件，針對(duì)基材噴涂待噴涂溶液包括：將第一噴頭組件移動(dòng)至噴涂工位，以便針對(duì)基材噴涂第一類待噴涂溶液；在被噴涂第一類待噴涂溶液后的基材被干燥后，將基材移動(dòng)至噴涂工位；以及將第二噴頭組件移動(dòng)至噴涂工位，以便針對(duì)基材噴涂第二類待噴涂溶液。

22、在一些實(shí)施例中，該方法還包括：在針對(duì)基材噴涂待噴涂溶液之前，對(duì)基材的表面進(jìn)行等離子激光處理。

23、在一些實(shí)施例中，經(jīng)由干燥組件，針對(duì)噴涂后的基材進(jìn)行干燥處理包括：?jiǎn)?dòng)干燥組件的抽真空裝置，以使得干燥組件內(nèi)部腔體達(dá)到預(yù)定真空度；將噴涂后的基材與干燥組件的吸盤相配合；以及開(kāi)啟干燥組件的干燥閥門以使得干燥組件內(nèi)部腔體與噴涂后的基材相連通，以便針對(duì)噴涂后的基材進(jìn)行瞬間減壓干燥。

24、提供
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
部分是為了以簡(jiǎn)化的形式來(lái)介紹對(duì)概念的選擇，它們?cè)谙挛牡木唧w實(shí)施方式中將被進(jìn)一步描述。實(shí)用新型內(nèi)容部分無(wú)意標(biāo)識(shí)本公開(kāi)的關(guān)鍵特征或主要特征，也無(wú)意限制本公開(kāi)的范圍。