本技術(shù)涉及多晶硅生產(chǎn)，尤其是涉及一種尾氣預(yù)洗滌裝置。

背景技術(shù)：

1、多晶硅企業(yè)全廠尾氣大多數(shù)直接排放到尾氣洗滌塔進(jìn)行水解處理，尾氣洗滌塔底部水池存在很多白色水解物，頂部排放的尾氣排放量超標(biāo)，污染大氣；部分企業(yè)經(jīng)過工藝優(yōu)化后，增加壓縮機(jī)對全廠尾氣加壓冷凝后再進(jìn)尾氣洗滌塔進(jìn)行水解處理，這樣，尾氣洗滌塔底部水池中水解物相對較少，頂部尾氣排放量減少。

2、但是，目前增加壓縮機(jī)的方案仍存在一些技術(shù)問題：

3、1、全廠尾氣中一定量的氯硅烷氣體直接進(jìn)入尾氣洗滌塔水解（現(xiàn)有尾氣洗滌塔用水淋洗全廠尾氣），會造成氯硅烷浪費(fèi)（在尾氣洗滌塔底部水池存在很多白色水解物），尾氣淋洗系統(tǒng)負(fù)荷大（需處理的氣體多），尾氣處理成本高，頂部排放的尾氣超標(biāo)，空氣污染嚴(yán)重。

4、2、由于全廠尾氣中含二氧化硅及硅粉等固體雜質(zhì)，因而經(jīng)常堵塞壓縮機(jī)進(jìn)口的過濾器，造成頻繁檢修，同時，也會造成壓縮機(jī)級間冷卻器堵塞，換熱效果不好，使得壓縮機(jī)（二級壓縮）二級進(jìn)氣溫度偏高，從而導(dǎo)致壓縮機(jī)二級排氣溫度高。

5、3、全廠尾氣中二氧化硅及硅粉等固體雜質(zhì)，導(dǎo)致壓縮機(jī)出現(xiàn)磨損。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對上述情況，本實用新型提供一種尾氣預(yù)洗滌裝置，旨在解決上述背景技術(shù)中指出的技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

3、本實用新型提供一種尾氣預(yù)洗滌裝置，包括：

4、過濾器，用于分離含塵尾氣中的氣相和固相；

5、尾氣預(yù)洗塔，具有待洗氣入口、淋洗液入口、預(yù)洗塔氣相出口和預(yù)洗塔液相出口；

6、待洗氣入口與過濾器氣相出口連接；

7、淋洗液入口位于待洗氣入口的上方；

8、其中，淋洗液入口用于向尾氣預(yù)洗塔導(dǎo)入四氯化硅；預(yù)洗塔氣相出口的流股流向壓縮機(jī)。

9、在本實用新型的一些實施例中，還包括換熱器；預(yù)洗塔氣相出口的流股和過濾器氣相出口的流股在換熱器中熱交換。

10、在本實用新型的一些實施例中，預(yù)洗塔液相出口與下游的廢液處理裝置連接。

11、在本實用新型的一些實施例中，還包括氯硅烷循環(huán)泵和氯硅烷深冷器；預(yù)洗塔液相出口的流股通過氯硅烷循環(huán)泵的輸送先經(jīng)過氯硅烷深冷器，再進(jìn)入尾氣預(yù)洗塔的上部。

12、在本實用新型的一些實施例中，氯硅烷循環(huán)泵采用渣漿泵。

13、在本實用新型的一些實施例中，還包括粉塵收集罐，粉塵收集罐的入口與過濾器固相出口連接。

14、在本實用新型的一些實施例中，粉塵收集罐的頂部與待洗氣入口連接。

15、在本實用新型的一些實施例中，預(yù)洗塔液相出口連接有流量計和調(diào)流閥，尾氣預(yù)洗塔底部設(shè)置有液位計；液位計、流量計和調(diào)流閥相關(guān)聯(lián)。

16、在本實用新型的一些實施例中，還包括無塵尾氣輸入管，無塵尾氣輸入管中的流股與過濾器氣相出口的流股匯合后，一起進(jìn)入尾氣預(yù)洗塔。

17、在本實用新型的一些實施例中，無塵尾氣輸入管的路徑上設(shè)置有尾氣緩沖罐。

18、本實用新型實施例至少具有如下優(yōu)點(diǎn)或有益效果：

19、1、通過過濾器和尾氣預(yù)洗塔的設(shè)置，將多晶硅企業(yè)全廠尾氣中含塵尾氣經(jīng)過濾器過濾固體雜質(zhì)后，通過尾氣預(yù)洗塔洗滌除塵，再經(jīng)過壓縮機(jī)加壓冷凝后進(jìn)入后端的尾氣淋洗系統(tǒng)進(jìn)一步凈化，這樣，便解決了壓縮機(jī)的磨損和級間冷卻器堵塞問題。

20、2、使用四氯化硅作為尾氣預(yù)洗塔的淋洗液，能夠吸收氯硅烷且不會引入其他雜質(zhì)，減少了氯硅烷浪費(fèi)，降低了后端尾氣淋洗系統(tǒng)的負(fù)荷，同時四氯化硅也可以回收再利用，進(jìn)一步減少了浪費(fèi)。

21、本實用新型的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得明顯，或者通過實施本實用新型而了解。

技術(shù)特征：

1.一種尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，還包括換熱器；所述預(yù)洗塔氣相出口的流股和過濾器氣相出口的流股在所述換熱器中熱交換。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，所述預(yù)洗塔液相出口與下游的廢液處理裝置連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，還包括氯硅烷循環(huán)泵和氯硅烷深冷器；所述預(yù)洗塔液相出口的流股通過所述氯硅烷循環(huán)泵的輸送先經(jīng)過所述氯硅烷深冷器，再進(jìn)入所述尾氣預(yù)洗塔的上部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，所述氯硅烷循環(huán)泵采用渣漿泵。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，還包括粉塵收集罐，所述粉塵收集罐的入口與過濾器固相出口連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，所述粉塵收集罐的頂部與所述待洗氣入口連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，所述預(yù)洗塔液相出口連接有流量計和調(diào)流閥，所述尾氣預(yù)洗塔底部設(shè)置有液位計；所述液位計、所述流量計和所述調(diào)流閥相關(guān)聯(lián)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1~8任一項所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，還包括無塵尾氣輸入管，所述無塵尾氣輸入管中的流股與過濾器氣相出口的流股匯合后，一起進(jìn)入所述尾氣預(yù)洗塔。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的尾氣預(yù)洗滌裝置，其特征在于，所述無塵尾氣輸入管的路徑上設(shè)置有尾氣緩沖罐。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種尾氣預(yù)洗滌裝置，涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，其包括：過濾器，用于分離含塵尾氣中的氣相和固相；尾氣預(yù)洗塔，具有待洗氣入口、淋洗液入口、預(yù)洗塔氣相出口和預(yù)洗塔液相出口；待洗氣入口與過濾器氣相出口連接；淋洗液入口位于待洗氣入口的上方；其中，淋洗液入口用于向尾氣預(yù)洗塔導(dǎo)入四氯化硅；預(yù)洗塔氣相出口的流股流向壓縮機(jī)。通過尾氣預(yù)洗塔洗滌除塵，解決了壓縮機(jī)的磨損和級間冷卻器堵塞問題。使用四氯化硅作為尾氣預(yù)洗塔的淋洗液，能夠吸收氯硅烷且不會引入其他雜質(zhì)，減少了氯硅烷浪費(fèi)，降低了后端尾氣淋洗系統(tǒng)的負(fù)荷，同時四氯化硅也可以回收再利用。

技術(shù)研發(fā)人員：曹利利,楊智盼,王磊,郭樂,官君,游書華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：內(nèi)蒙古通威硅能源有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240416
技術(shù)公布日：2025/1/9