本技術屬于電子化學品提純，尤其涉及一種化學品用提純過濾裝置。

背景技術：

1、晶圓表面的潔凈度對于半導體工藝以及產(chǎn)品合格率會造成一定程度的影響，最常見的主要污染包括金屬、有機物及顆粒狀粒子的殘留，普通工業(yè)級化學品因其金屬雜質含量，塵埃雜質的超標，在半導體芯片行業(yè)領域的應用中，金屬離子會造成p-n結構中的漏電流，進而導致氧化物的擊穿，電壓降低，而顆粒雜質的污染會導致在蝕刻、光刻等工藝中產(chǎn)生阻塞或遮蔽的效應，所以需將普通工業(yè)級化學品提純過濾至高純化學品，以滿足芯片制造工藝的需要。

2、然而，在實際應用過程中，雜質污染無處不在，引入來源可以是化學品本身，也包括提純過濾裝置本身的材質純度不夠導致金屬離子、顆粒雜質的析出原因都可造成化學品的污染，此外，還會來自承裝物料溶液的容器，傳輸物料的管路泵體等，尤其是泵體，因泵體拆裝不便，對于內部的清洗的不便，泵體內極大可能會有死角殘留無法清洗干凈，此時如若通過隔膜泵對物料進行傳導，就會有極大的概率對過流物料造成污染。

3、如隔膜泵，隔膜泵內部通過膜片的收縮來傳導液體的，使用時間較長之后，其內部膜片易破損，易泄露，此外，對于需要用高純化學品廠商來說，普通的隔膜泵，即使是材質是ptfe與化學品兼容的，但也會因材質純度不夠，仍然會有金屬離子和雜質析出，造成一定的污染，部分型號泵可以滿足需求，但交期很久，且價格昂貴。

4、基于上述問題，本申請公開一種化學品用提純過濾裝置。

技術實現(xiàn)思路

1、為了解決以上現(xiàn)有技術的全部或部分問題，本實用新型提供了一種化學品用提純過濾裝置，以解決常規(guī)通過隔膜泵傳導物料的方式污染化學品的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種化學品用提純過濾裝置，包括通過管路依次連接的送料器、樹脂罐和過濾器；所述送料器為無接觸式送料罐，包括可拆卸連接的罐體和蓋體，所述罐體內設有內襯袋，所述內襯袋與所述罐體之間形成第一容納腔、與所述蓋體之間形成第二容納腔；所述蓋體上設有連通孔，用于所述內襯袋的內部與所述樹脂罐連通。通過內襯袋和罐體之間的設計，內部的化學品物料可以與外部環(huán)境完全隔離，通過無接觸式送料罐實現(xiàn)送料功能，無需借助隔膜泵，有效避免了來自泵體本身的污染物來源。

3、所述第二容納腔內設有導料管，所述導料管與所述蓋體上的連通孔連通。當內襯袋受到外部氣壓擠壓時，能夠將內部物料從導管向外擠出。

4、所述送料器與樹脂罐之間的管路為第一連通管，所述第一連通管通過所述蓋體上的連通孔伸入所述第二容納腔內。通過蓋體上的連通孔，第一連通管可以方便地進入第二容納腔內，確保物料順利地從送料器輸送到樹脂罐中。

5、所述內襯袋的開口處與所述蓋體的底部可拆卸地密封連接；所述蓋體上還設有旋擰把手。便于手動對蓋體進行擰動，方便蓋體的裝卸。

6、還包括導氣管，所述導氣管上設有調節(jié)閥，所述導氣管的一端連接所述第一容納腔，另一端連接氣源。通過導氣管向第一容納腔輸送氣體，利用氣體壓力產(chǎn)生推動力，將內襯袋內的物料通過導料管向外擠出。

7、所述罐體的外部安裝有控制座，所述控制座上設置有用于控制所述調節(jié)閥啟閉的腳踏開關。通過腳踏開關來控制氣體的進入，操作人員無需彎腰或使用雙手，只需通過腳部輕輕踩壓即可完成操作，節(jié)省了時間和精力。

8、所述樹脂罐為依次連接的陰、陽樹脂罐，所述過濾器為依次連接的若干個顆粒過濾器。通過樹脂罐可以有效去除物料中的金屬雜質，通過顆粒過濾器可以有效攔截物料中的顆粒物。

9、所述樹脂罐的頂部設有進液口、底部設有出液口；還包括第一安裝板、第二安裝板以及安裝于兩者之間的若干支撐桿，所述樹脂罐安裝在所述第一安裝板上、所述樹脂罐的底部位于所述第一安裝板和第二安裝板之間。通過將樹脂罐的底部與罐體支架結構部件分開，方便出液口處連接輸送管路。

10、所述第一連通管上設置有用于化學品進料控制的前置閥門，以控制物料輸送；所述過濾器的末端連接有排放管，所述排放管上設置有用于化學品排放控制的后置閥門，以控制提純后的化學品排出。

11、所述前置閥門和后置閥門均為pfa材質閥門；所述第一連通管和排放管均為pfa管。通過選用低析出的pfa材質管閥，以保證過流管路的潔凈度。

12、與現(xiàn)有技術相比，本實用新型至少具有以下有益效果：

13、(1)通過無接觸式送料罐對化學物料進行存儲，內部設有專門的內襯袋，這種設計使得化學物料與外部環(huán)境完全隔離，有效防止了外界污染的可能性。內襯袋可通過向罐內充氣的方式被擠壓，從而使得內襯袋收縮，推動化學物料順利地送出至提純過濾結構，過程無需涉及傳統(tǒng)隔膜泵，從而避免了傳統(tǒng)泵體本身可能帶來的污染源，確保了提純過程的潔凈性。

14、(2)無接觸式送料罐還配備了控制座上的腳踏開關，通過簡單的踩壓操作，操作人員便能方便地控制氣體的進入，實現(xiàn)對內襯袋的充氣擠壓，從而實現(xiàn)化學物料的順利輸送。相較于傳統(tǒng)操作方式，這一設計極大地簡化了操作流程，提高了操作的便捷性和效率。

15、(3)容器和管路采用密閉連接設計，使得化學物料不與外部空氣接觸，從而避免了外界環(huán)境的污染，確保了提純過程的純凈性。經(jīng)過該提純過濾裝置的處理，普通工業(yè)級化學品可被提純至可滿足芯片工藝使用的電子級要求，金屬離子和顆粒物含量得到明顯降低，符合電子級芯片使用標準，從而具備了較高的應用價值。

技術特征：

1.一種化學品用提純過濾裝置，其特征在于，包括通過管路依次連接的送料器(1)、樹脂罐(2)和過濾器(3)；所述送料器(1)為無接觸式送料罐，包括可拆卸連接的罐體(101)和蓋體(103)，所述罐體(101)內設有內襯袋(102)，所述內襯袋(102)與所述罐體(101)之間形成第一容納腔、與所述蓋體(103)之間形成第二容納腔；所述蓋體(103)上設有連通孔，用于所述內襯袋(102)的內部與所述樹脂罐(2)連通。

2.根據(jù)權利要求1所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述第二容納腔內設有導料管(105)，所述導料管(105)與所述蓋體(103)上的連通孔連通。

3.根據(jù)權利要求1所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述送料器(1)與樹脂罐(2)之間的管路為第一連通管(6)，所述第一連通管(6)通過所述蓋體(103)上的連通孔伸入所述第二容納腔內。

4.根據(jù)權利要求1所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述內襯袋(102)的開口處與所述蓋體(103)的底部可拆卸地密封連接；所述蓋體(103)上還設有旋擰把手(104)。

5.根據(jù)權利要求1所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，還包括導氣管(108)，所述導氣管(108)上設有調節(jié)閥，所述導氣管(108)的一端連接所述第一容納腔，另一端連接氣源。

6.根據(jù)權利要求5所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述罐體(101)的外部安裝有控制座(106)，所述控制座(106)上設置有用于控制所述調節(jié)閥啟閉的腳踏開關(107)。

7.根據(jù)權利要求1所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述樹脂罐(2)為依次連接的陰、陽樹脂罐，所述過濾器(3)為依次連接的若干個顆粒過濾器。

8.根據(jù)權利要求7所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述樹脂罐(2)的頂部設有進液口、底部設有出液口；還包括第一安裝板(401)、第二安裝板(402)以及安裝于兩者之間的若干支撐桿(403)，所述樹脂罐(2)安裝在所述第一安裝板(401)上，所述樹脂罐(2)的底部位于所述第一安裝板(401)和第二安裝板(402)之間。

9.根據(jù)權利要求3所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述第一連通管(6)上設置有用于化學品進料控制的前置閥門(7)；所述過濾器(3)的末端連接有排放管，所述排放管上設置有用于化學品排放控制的后置閥門(9)。

10.根據(jù)權利要求9所述的化學品用提純過濾裝置，其特征在于，所述前置閥門(7)和后置閥門(9)均為pfa材質閥門；所述第一連通管(6)和排放管均為pfa管。

技術總結
本技術提供了一種化學品用提純過濾裝置，包括通過管路依次連接的送料器、樹脂罐和過濾器；所述送料器為無接觸式送料罐，包括可拆卸連接的罐體和蓋體，所述罐體內設有內襯袋，所述內襯袋與所述罐體之間形成第一容納腔、與所述蓋體之間形成第二容納腔；所述蓋體上設有連通孔，用于所述內襯袋的內部與所述樹脂罐連通。通過內襯袋和罐體之間的設計，內部的化學品物料可以與外部環(huán)境完全隔離，通過無接觸式送料罐實現(xiàn)送料功能，無需借助隔膜泵，有效避免了來自泵體本身的污染物來源。

技術研發(fā)人員：別墅君,余偉,王小軍
受保護的技術使用者：常州時創(chuàng)新材料有限公司
技術研發(fā)日：20240511
技術公布日：2025/1/2