本技術(shù)涉及廢液回收，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、濕法蝕刻是一種化學(xué)工藝，涉及使用液體蝕刻劑從基板上選擇性地去除材料。這些蝕刻劑通常由酸、堿或溶劑等化學(xué)物質(zhì)的混合物組成，它們與基材材料發(fā)生反應(yīng)，形成可輕松洗掉的可溶產(chǎn)物。蝕刻過程由基板-蝕刻劑界面處的化學(xué)反應(yīng)驅(qū)動，蝕刻速率由反應(yīng)動力學(xué)和溶液中反應(yīng)物質(zhì)的濃度決定。

2、經(jīng)檢索，公開號為：cn220034183u，公開了一種金屬蝕刻用加工廢液回收裝置，通過第一過濾框、ph計、排液閥管、收料斗和第二過濾框的設(shè)置，第一過濾框?qū)Υ厥盏膹U液進(jìn)行過濾處理，將廢液中的雜物去除，有利于后續(xù)廢液回收處理，ph計對廢液的酸堿度進(jìn)行測量，便于準(zhǔn)確添加試劑進(jìn)行回收，借助排液閥管將廢液流入收料斗中，將處理后的廢液進(jìn)行回收，第二過濾框?qū)U液再次進(jìn)行過濾，提高廢液回收效果。在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯等，有機(jī)物和溶劑會在空氣中揮發(fā)，導(dǎo)致空氣污染。如果光刻膠廢液未經(jīng)過專業(yè)處理，直接排放到水體或土地中，會對水源或土地生態(tài)環(huán)境造成破壞。同時，光刻膠廢液中的一些成分可能具有腐蝕性或毒性，對人體和生態(tài)環(huán)境造成直接危害，但上述現(xiàn)有技術(shù)中在廢液進(jìn)行回收處理時無法對廢液產(chǎn)生的有毒氣體進(jìn)行過濾，有毒氣體揮發(fā)到空氣中會污染工作環(huán)境，危害工作人員身體健康。

3、為了解決上述問題，本實用新型提出一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中“上述現(xiàn)有技術(shù)中在廢液進(jìn)行回收處理時無法對廢液產(chǎn)生的有毒氣體進(jìn)行過濾，有毒氣體揮發(fā)到空氣中會污染工作環(huán)境，危害工作人員身體健康”的技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：

3、一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，包括回收箱、安裝框，所述安裝框固定安裝在回收箱的側(cè)壁上，所述回收箱內(nèi)設(shè)置有放置板，所述放置板的上端面開設(shè)有多個通風(fēng)孔，所述回收箱的側(cè)壁上開設(shè)有出風(fēng)口，所述出風(fēng)口內(nèi)固定安裝有排風(fēng)扇，所述安裝框的側(cè)壁上固定安裝有自鎖電機(jī)，所述安裝框內(nèi)開設(shè)有傳動腔，所述自鎖電機(jī)的輸出端固定連接有傳動桿，所述傳動桿上固定套接有兩個一號齒輪，兩個所述一號齒輪均嚙合連接有二號齒輪，兩個所述二號齒輪的中心處均固定連接有螺紋桿，兩個所述螺紋桿共同螺紋套接有組合框板，所述組合框板內(nèi)設(shè)置有活性炭濾網(wǎng)板，所述活性炭濾網(wǎng)板通過多個連接塊與組合框板的側(cè)壁固定連接，所述安裝框的下端面開設(shè)有與組合框板相匹配的下板孔。

4、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述回收箱的上端面固定安裝有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出端固定連接有轉(zhuǎn)動桿，所述轉(zhuǎn)動桿的下端對稱固定連接有多個攪拌葉，所述回收箱的側(cè)壁上開設(shè)有拿取口，所述拿取口內(nèi)合頁連接有門板，所述放置板與回收箱的內(nèi)壁固定連接，所述放置板的上端面開設(shè)有進(jìn)液孔，所述進(jìn)液孔內(nèi)設(shè)置有第一過濾框板，所述第一過濾框板與放置板的上端面相搭接，所述回收箱內(nèi)開設(shè)有排液口，所述排液口內(nèi)固定安裝有排液閥管，所述回收箱的側(cè)壁上開設(shè)有框槽，所述框槽內(nèi)放置有回收框，所述框槽與排液口相互連通，所述回收框內(nèi)固定安裝有第二過濾框板。

5、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述放置板的中心處開設(shè)有與轉(zhuǎn)動桿相匹配的通孔，所述轉(zhuǎn)動桿與通孔的內(nèi)壁滑動連接。

6、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述組合框板的兩側(cè)側(cè)壁上端均為凸起部，所述凸起部與安裝框的內(nèi)壁滑動連接。

7、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述下板孔為長矩形孔，所述組合框板為中空的矩形框板，所述門板與回收框的側(cè)壁上均固定安裝有把手。

8、作為本實用新型的優(yōu)選技術(shù)方案，所述傳動桿背離自鎖電機(jī)的一端與傳動腔的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接。

9、本實用新型提供了一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，具備以下有益效果：

10、1、通過設(shè)置通風(fēng)孔、出風(fēng)口、排風(fēng)扇、安裝框、組合框板、活性炭濾網(wǎng)板、連接塊,當(dāng)廢液進(jìn)入回收箱內(nèi)并散發(fā)有害氣體時，啟動排風(fēng)扇將回收箱內(nèi)的有害氣體通過多個通風(fēng)孔、出風(fēng)口排向安裝框內(nèi)，有害氣體在排風(fēng)扇的作用下被吹向設(shè)置在組合框板內(nèi)的活性炭濾網(wǎng)板，活性炭濾網(wǎng)板的活性炭成分實現(xiàn)對有害氣體中有害物質(zhì)的吸附，使有害氣體在通過活性炭濾網(wǎng)板后轉(zhuǎn)化為無害氣體并向外界排出，避免了廢液揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體不經(jīng)處理散播到外界污染工作環(huán)境并危害工作人員的身體健康；

11、2、通過設(shè)置自鎖電機(jī)、傳動桿、一號齒輪、二號齒輪、螺紋桿、組合框板當(dāng)需要對活性炭濾網(wǎng)板進(jìn)行更換時，啟動自鎖電機(jī)使其輸出端帶動傳動桿轉(zhuǎn)動，使兩個一號齒輪分別同步帶動兩個二號齒輪轉(zhuǎn)動，使兩個螺紋桿在二號齒輪的轉(zhuǎn)動下使組合框板在安裝框內(nèi)向下移動，當(dāng)活性炭濾網(wǎng)板下降出安裝框時，工作人員通過取下多個連接塊實現(xiàn)活性炭濾網(wǎng)板與組合框板的分離，此時更換新的活性炭濾網(wǎng)板并通過多個連接塊安裝在組合框板上即可繼續(xù)對有害氣體進(jìn)行過濾除害，延長了安裝框內(nèi)對有害氣體的過濾除害的壽命，更加實用。

技術(shù)特征：

1.一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，包括回收箱(1)、安裝框(15)，其特征在于，所述安裝框(15)固定安裝在回收箱(1)的側(cè)壁上，所述回收箱(1)內(nèi)設(shè)置有放置板(8)，所述放置板(8)的上端面開設(shè)有多個通風(fēng)孔(10)，所述回收箱(1)的側(cè)壁上開設(shè)有出風(fēng)口(13)，所述出風(fēng)口(13)內(nèi)固定安裝有排風(fēng)扇(14)，所述安裝框(15)的側(cè)壁上固定安裝有自鎖電機(jī)(16)，所述安裝框(15)內(nèi)開設(shè)有傳動腔(17)，所述自鎖電機(jī)(16)的輸出端固定連接有傳動桿(18)，所述傳動桿(18)上固定套接有兩個一號齒輪(19)，兩個所述一號齒輪(19)均嚙合連接有二號齒輪(20)，兩個所述二號齒輪(20)的中心處均固定連接有螺紋桿(21)，兩個所述螺紋桿(21)共同螺紋套接有組合框板(22)，所述組合框板(22)內(nèi)設(shè)置有活性炭濾網(wǎng)板(23)，所述活性炭濾網(wǎng)板(23)通過多個連接塊(24)與組合框板(22)的側(cè)壁固定連接，所述安裝框(15)的下端面開設(shè)有與組合框板(22)相匹配的下板孔(25)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，其特征在于，所述回收箱(1)的上端面固定安裝有伺服電機(jī)(2)，所述伺服電機(jī)(2)的輸出端固定連接有轉(zhuǎn)動桿(3)，所述轉(zhuǎn)動桿(3)的下端對稱固定連接有多個攪拌葉(4)，所述回收箱(1)的側(cè)壁上開設(shè)有拿取口，所述拿取口內(nèi)合頁連接有門板(6)，所述放置板(8)與回收箱(1)的內(nèi)壁固定連接，所述放置板(8)的上端面開設(shè)有進(jìn)液孔(9)，所述進(jìn)液孔(9)內(nèi)設(shè)置有第一過濾框板(11)，所述第一過濾框板(11)與放置板(8)的上端面相搭接，所述回收箱(1)內(nèi)開設(shè)有排液口，所述排液口內(nèi)固定安裝有排液閥管(5)，所述回收箱(1)的側(cè)壁上開設(shè)有框槽，所述框槽內(nèi)放置有回收框(7)，所述框槽與排液口相互連通，所述回收框(7)內(nèi)固定安裝有第二過濾框板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，其特征在于，所述放置板(8)的中心處開設(shè)有與轉(zhuǎn)動桿(3)相匹配的通孔，所述轉(zhuǎn)動桿(3)與通孔的內(nèi)壁滑動連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，其特征在于，所述組合框板(22)的兩側(cè)側(cè)壁上端均為凸起部，所述凸起部與安裝框(15)的內(nèi)壁滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，其特征在于，所述下板孔(25)為長矩形孔，所述組合框板(22)為中空的矩形框板，所述門板(6)與回收框(7)的側(cè)壁上均固定安裝有把手。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，其特征在于，所述傳動桿(18)背離自鎖電機(jī)(16)的一端與傳動腔(17)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及廢液回收技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體濕法蝕刻的廢液處理設(shè)備，包括回收箱、安裝框，所述安裝框固定安裝在回收箱的側(cè)壁上；本技術(shù)通過設(shè)置通風(fēng)孔、出風(fēng)口、排風(fēng)扇、安裝框、組合框板、活性炭濾網(wǎng)板、連接塊,當(dāng)廢液進(jìn)入回收箱內(nèi)并散發(fā)有害氣體時，啟動排風(fēng)扇將回收箱內(nèi)的有害氣體通過多個通風(fēng)孔、出風(fēng)口排向安裝框內(nèi)，有害氣體在排風(fēng)扇的作用下被吹向設(shè)置在組合框板內(nèi)的活性炭濾網(wǎng)板，活性炭濾網(wǎng)板的活性炭成分實現(xiàn)對有害氣體中有害物質(zhì)的吸附，使有害氣體在通過活性炭濾網(wǎng)板后轉(zhuǎn)化為無害氣體并向外界排出，避免了廢液揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體不經(jīng)處理散播到外界污染工作環(huán)境并危害工作人員的身體健康。

技術(shù)研發(fā)人員：林欣城
受保護(hù)的技術(shù)使用者：南通丞勝機(jī)電設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240515
技術(shù)公布日：2025/1/2