本技術(shù)涉及半導(dǎo)體光通訊測試領(lǐng)域，尤其涉及一種用于高低溫測試的密封裝置。

背景技術(shù)：

1、目前，市場上比較常見的半導(dǎo)體光通訊高低溫測試設(shè)備，是將測試器件放置在帶溫控的載物臺上，低溫測試時(shí)，將保護(hù)氣體對準(zhǔn)測試器件進(jìn)行吹掃，隔絕周圍空氣中的水分子，避免在低溫情況下凝露，造成器件損壞。但是，在保護(hù)氣體吹掃的過程中，會給溫控載物臺帶來大量的空氣對流，造成溫度穩(wěn)定性及其不穩(wěn)定，導(dǎo)致測試器件的測試數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，形成誤判，從而對整個(gè)生產(chǎn)流程造成一定的損失。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型主要目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單且合理能用于高低溫測試的密封裝置。

2、本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：

3、提供一種用于高低溫測試的密封裝置，包括底座，其上設(shè)有密封體，該密封體內(nèi)設(shè)有檢測平臺和露點(diǎn)檢測系統(tǒng)，底座內(nèi)設(shè)有氣路系統(tǒng)，其中：

4、檢測平臺上設(shè)有帶溫控的載物臺，該載物臺上放置待測半導(dǎo)體器件；

5、氣路系統(tǒng)包括進(jìn)氣管路和出氣管路，且進(jìn)氣管路上設(shè)有調(diào)壓閥和電磁閥開關(guān)；低溫工作時(shí)，通過進(jìn)氣管路向密封體內(nèi)充入干燥氣體，并通過出氣管路將混合空氣排出密封體外，通過干燥氣體循環(huán)，將密封體內(nèi)的空氣水分子不斷降低，以提高露點(diǎn)值；

6、露點(diǎn)檢測系統(tǒng)內(nèi)設(shè)有傳感器和分析儀，該傳感器上設(shè)有微孔，傳感器感測進(jìn)入微孔的水分子數(shù)量，分析儀根據(jù)感測的水分子數(shù)量和傳感器周圍的氣體下的水分壓計(jì)算水分的含量，得到當(dāng)前露點(diǎn)值并顯示。

7、接上述技術(shù)方案，干燥氣體為干燥空氣或者干燥惰性氣體。

8、接上述技術(shù)方案，該底座上設(shè)有萬向輪。

9、接上述技術(shù)方案，露點(diǎn)檢測系統(tǒng)固定在密封體內(nèi)部一側(cè)上方。

10、接上述技術(shù)方案，密封體上設(shè)有觀察窗口和檢修門，且均采用密封條進(jìn)行密封。

11、接上述技術(shù)方案，進(jìn)氣管路和出氣管路均通過密封接頭與密封體連通。

12、接上述技術(shù)方案，檢測平臺為大理石平臺，密封體安裝在該大理石平臺上。

13、接上述技術(shù)方案，密封體采用鈑金整體焊接而成。

14、接上述技術(shù)方案，底座為鋼架底座。

15、本實(shí)用新型還提供一種基于上述用于高低溫測試的密封裝置的測試方法，包括以下步驟：

16、s1、當(dāng)需要進(jìn)行低溫測試時(shí)，向密封體內(nèi)充入干燥氣體；

17、s2、充氣過程中，密封體內(nèi)的空氣不斷與干燥氣體進(jìn)行混合，通過氣路系統(tǒng)排出混合氣體，進(jìn)行干燥空氣循環(huán)，減少低密封體內(nèi)的空氣水分子個(gè)數(shù)，以提高露點(diǎn)值；

18、s3、通過露點(diǎn)檢測系統(tǒng)實(shí)時(shí)顯示密封體內(nèi)的露點(diǎn)值，當(dāng)達(dá)到所需要的露點(diǎn)值時(shí)，對待測半導(dǎo)體器件進(jìn)行低溫測試。

19、本實(shí)用新型產(chǎn)生的有益效果是：本實(shí)用新型用于高低溫測試的密封裝置通過設(shè)置密封體，當(dāng)需要低溫測試半導(dǎo)體時(shí)，循環(huán)通入干燥氣體以減少空氣中的水分子提高露點(diǎn)值，當(dāng)達(dá)到所需要的露點(diǎn)值時(shí)，即可在該密封體內(nèi)對待測半導(dǎo)體器件進(jìn)行低溫測試。本實(shí)用新型主要是提供了高低溫測試的處理環(huán)境，特別是低溫環(huán)境，在低溫測試過程中，待測試半導(dǎo)體器件以及測試設(shè)備均不會受到凝露帶來的危害。

20、當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，包括底座，其上設(shè)有密封體，該密封體內(nèi)設(shè)有檢測平臺和露點(diǎn)檢測系統(tǒng)，底座內(nèi)設(shè)有氣路系統(tǒng)，其中：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，干燥氣體為干燥空氣或者干燥惰性氣體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，該底座上設(shè)有萬向輪。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，露點(diǎn)檢測系統(tǒng)固定在密封體內(nèi)部一側(cè)上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，密封體上設(shè)有觀察窗口和檢修門，且均采用密封條進(jìn)行密封。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，進(jìn)氣管路和出氣管路均通過密封接頭與密封體連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，檢測平臺為大理石平臺，密封體安裝在該大理石平臺上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，密封體采用鈑金整體焊接而成。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高低溫測試的密封裝置，其特征在于，底座為鋼架底座。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種用于高低溫測試的密封裝置，包括底座及密封體，其中：檢測平臺用于放置待測半導(dǎo)體器件；氣路系統(tǒng)包括進(jìn)氣管路和出氣管路，且進(jìn)氣管路上設(shè)有調(diào)壓閥和電磁閥開關(guān)；低溫工作時(shí)，通過進(jìn)氣管路向密封體內(nèi)充入干燥氣體，并通過出氣管路將混合空氣排出密封體外，通過干燥氣體循環(huán)，將密封體內(nèi)的空氣水分子不斷降低，以提高露點(diǎn)值；露點(diǎn)檢測系統(tǒng)內(nèi)設(shè)有傳感器和分析儀，該傳感器上設(shè)有微孔，傳感器感測進(jìn)入微孔的水分子數(shù)量，分析儀根據(jù)感測的水分子數(shù)量和傳感器周圍的氣體下的水分壓計(jì)算水分的含量，得到當(dāng)前露點(diǎn)值并顯示。本技術(shù)可提供高低溫測試的處理環(huán)境，在低溫測試過程中，待測試半導(dǎo)體器件以及測試設(shè)備均不會受到凝露帶來的危害。

技術(shù)研發(fā)人員：單娜,嚴(yán)黎明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢驛天諾科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240515
技術(shù)公布日：2025/1/6