本申請屬于污染物處理設備，具體涉及一種流體處理裝置。

背景技術：

1、在半導體器件制造過程中，會生產(chǎn)大量包含有害物質(zhì)的廢棄流體，例如廢氣、廢液等，廢棄流體需采用流體處理裝置凈化處理，去除其中絕大部分有害物質(zhì)，才能夠排放到外界。

2、流體處理裝置包括多個處理單元，多個處理單元串聯(lián)或并聯(lián)連接，廢棄流體中有害物質(zhì)主要在處理單元內(nèi)去除。多個處理單元串聯(lián)連接，廢棄流體經(jīng)過多個處理單元多段處理，有害物質(zhì)去除率更高；多個處理單元并聯(lián)連接，廢棄流體分散到多個處理單元同步處理，流體處理裝置工作效率更高。

3、半導體器件制造過程中生產(chǎn)的廢棄流體總量及其中有害物質(zhì)含量存在波動。然而，現(xiàn)有的流體處理裝置為多個處理單元串聯(lián)或并聯(lián)連接，串聯(lián)連接與并聯(lián)連接無法同時存在，即不能根據(jù)實際需求切換多個處理單元的連接方式。

技術實現(xiàn)思路

1、本申請的目的在于提供一種流體處理裝置，以解決多個處理器連接方式不能根據(jù)實際需求切換的問題。

2、為了達到上述目的，本申請?zhí)峁┝艘环N流體處理裝置，包括：

3、輸入單元，所述輸入單元用于通入流體；

4、多個處理單元，所述處理單元包括污染處理組件和連接至所述污染處理組件排放端的排放控制器，所述污染處理組件包括污染處理部件，所述污染處理部件用于處理由所述輸入單元通入的流體，所述排放控制器包括開啟狀態(tài)和關閉狀態(tài)，在開啟狀態(tài)，由所述輸入單元通入的流體經(jīng)所述污染處理部件處理后能夠通過所述排放控制器排放；

5、所述多個處理單元包括m個第一處理單元和n個第二處理單元，m≥1，n≥1，m+n≥3；

6、所述第一處理單元還包括連接支路和回流支路，所述連接支路包括連接管道和設置在所述連接管道上的第一控制閥，所述回流支路包括回流管道和設置在所述回流管道上的第二控制閥，所述回流管道的一端和所述排放控制器并聯(lián)連接至所述第一處理單元的所述污染處理組件的所述排放端，所述回流管道的另一端和所述連接管道的一端并聯(lián)連接形成第一端口，所述連接管道的另一端和所述污染處理組件的輸入端并聯(lián)后形成第二端口；其中，

7、m＝1，所述輸入單元連接所述第一處理單元的所述第二端口，所述第一處理單元的所述第一端口連接至n個所述第二處理單元的污染處理組件的輸入端；或，

8、m＞1，所述輸入單元并聯(lián)連接m個所述第一處理單元的所述第二端口，所述第一處理單元的所述第一端口并聯(lián)后連接n個所述第二處理單元的污染處理組件的輸入端；或，

9、m＞1，所述輸入單元連接第1個所述第一處理單元的所述第二端口，第i個所述第一處理單元的所述第一端口連接第i+1個所述第一處理單元的所述第二端口，其中1≤i<m，第m個所述第一處理單元的所述第一端口并聯(lián)連接n個所述第二處理單元的污染處理組件的輸入端。

10、可選的，所述污染處理組件還包括第三控制閥，所述第三控制閥的輸入端為所述污染處理組件的輸入端，所述第三控制閥的輸出端與所述污染處理部件連接；

11、n≥2，n個所述第二處理單元的所述第三控制閥能夠部分開啟或全部開啟。

12、可選的，所述第一處理單元包括多個所述污染處理組件和至少一個所述排放控制器，多個所述污染處理組件的輸出端并聯(lián)后，連接于并聯(lián)的所述排放控制器和所述回流管道的所述一端，多個所述污染處理組件的輸入端和所述連接管道的所述另一端并聯(lián)形成所述第二端口。

13、可選的，所述流體處理裝置還包括檢測單元，所述檢測單元用于檢測所述排放控制器排放的經(jīng)所述污染處理部件處理后的流體的成分。

14、可選的，所述流體包括廢氣，所述污染處理部件包括用于處理廢氣的洗滌塔。

15、可選的，所述排放控制器包括風機，所述風機包括相對的第一端和第二端，所述風機的第一端與所述洗滌塔的排放端連接，在開啟狀態(tài)，所述風機能夠引導廢氣從所述風機的第一端流向所述風機的第二端。

16、可選的，所述流體處理裝置還包括氣壓傳感器，所述氣壓傳感器用于檢測所述輸入單元內(nèi)的氣壓。

17、可選的，所述第一控制閥和所述第二控制閥包括氣動比例閥。

18、可選的，所述排放控制器包括開關閥。

19、可選的，所述流體處理裝置還包括流速傳感器或流量傳感器，所述流速傳感器用于檢測所述輸入單元內(nèi)流體的流速，所述流量傳感器用于檢測所述輸入單元內(nèi)流體的流量。

20、本申請公開的流體處理裝置具有以下有益效果：

21、本申請中，流體處理裝置包括輸入單元和多個處理單元，第一處理單元和第二處理單元均包括相連接的污染處理組件和排放控制器，第一處理單元還包括連接支路和回流支路，連接支路包括連接管道和設置在連接管道上的第一控制閥，回流支路包括回流管道和設置在回流管道上的第二控制閥，輸入單元與第一處理單元的污染處理組件的輸入端連接，連接管道的輸入端連接輸入單元，回流管道連接第一處理單元的污染處理組件的排放端和連接管道的排放端。通過控制第一控制閥、第二控制閥和排放控制器可實現(xiàn)并聯(lián)模式、串聯(lián)模式和串并聯(lián)混合模式，解決了多個污染處理組件的連接方式不能根據(jù)實際需求切換的問題。

22、本申請的其他特性和優(yōu)點將通過下面的詳細描述變得顯然，或部分地通過本申請的實踐而習得。

23、應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節(jié)描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本公開。

技術特征：

1.一種流體處理裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的流體處理裝置，其特征在于，所述污染處理組件還包括第三控制閥，所述第三控制閥的輸入端為所述污染處理組件的輸入端，所述第三控制閥的輸出端與所述污染處理部件連接；

3.根據(jù)權利要求1所述的流體處理裝置，其特征在于，所述第一處理單元包括多個所述污染處理組件和至少一個所述排放控制器，多個所述污染處理組件的輸出端并聯(lián)后，連接于并聯(lián)的所述排放控制器和所述回流管道的所述一端，多個所述污染處理組件的輸入端和所述連接管道的所述另一端并聯(lián)形成所述第二端口。

4.根據(jù)權利要求1所述的流體處理裝置，其特征在于，所述流體處理裝置還包括檢測單元，所述檢測單元用于檢測所述排放控制器排放的經(jīng)所述污染處理部件處理后的流體的成分。

5.根據(jù)權利要求1所述的流體處理裝置，其特征在于，所述流體包括廢氣，所述污染處理部件包括用于處理廢氣的洗滌塔。

6.根據(jù)權利要求5所述的流體處理裝置，其特征在于，所述排放控制器包括風機，所述風機包括相對的第一端和第二端，所述風機的第一端與所述洗滌塔的排放端連接，在開啟狀態(tài)，所述風機能夠引導廢氣從所述風機的第一端流向所述風機的第二端。

7.根據(jù)權利要求6所述的流體處理裝置，其特征在于，所述流體處理裝置還包括氣壓傳感器，所述氣壓傳感器用于檢測所述輸入單元內(nèi)的氣壓。

8.根據(jù)權利要求1所述的流體處理裝置，其特征在于，所述第一控制閥和所述第二控制閥包括氣動比例閥。

9.根據(jù)權利要求1所述的流體處理裝置，其特征在于，所述排放控制器包括開關閥。

10.根據(jù)權利要求9所述的流體處理裝置，其特征在于，所述流體處理裝置還包括流速傳感器或流量傳感器，所述流速傳感器用于檢測所述輸入單元內(nèi)流體的流速，所述流量傳感器用于檢測所述輸入單元內(nèi)流體的流量。

技術總結
本申請屬于污染物處理設備技術領域，具體涉及一種流體處理裝置，包括輸入單元和多個處理單元，多個處理單元包括M個第一處理單元和N個第二處理單元，處理單元包括相連接的污染處理組件和排放控制器，第一處理單元還包括連接支路和回流支路，連接支路包括連接管道和設置在連接管道上的第一控制閥，回流支路包括回流管道和設置在回流管道上的第二控制閥，N個第二處理單元經(jīng)M個第一處理單元間接與輸入單元連接。通過控制第一控制閥、第二控制閥和排放控制器開關可實現(xiàn)并聯(lián)模式、串聯(lián)模式和串并聯(lián)混合模式，解決了流體處理裝置中多個污染處理組件的連接方式不能根據(jù)實際需求切換的問題。

技術研發(fā)人員：莊見富
受保護的技術使用者：深圳市昇維旭技術有限公司
技術研發(fā)日：20240515
技術公布日：2025/1/2