本技術(shù)涉及真空系統(tǒng)外圍組件，具體為一種能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，適于安裝在真空系統(tǒng)前端。

背景技術(shù)：

1、目前，真空系統(tǒng)與所應(yīng)用的設(shè)備之間通常設(shè)有過(guò)濾裝置，真空系統(tǒng)用于抽吸設(shè)備內(nèi)腔的氣體，以使設(shè)備內(nèi)腔保持真空狀態(tài)。而過(guò)濾裝置用于過(guò)濾從設(shè)備內(nèi)腔引出的氣體，降低氣體的雜質(zhì)率，避免對(duì)真空系統(tǒng)造成損害，從而提高真空系統(tǒng)的使用壽命。

2、但是現(xiàn)有的過(guò)濾裝置存在如下問(wèn)題：

3、1、由于安裝空間限制，多采用小型過(guò)濾器，過(guò)濾器內(nèi)部結(jié)構(gòu)密封性較差時(shí)，氣流涌進(jìn)過(guò)濾器后容易造成一部分含雜質(zhì)氣體不進(jìn)入濾芯，經(jīng)由漏點(diǎn)直接排出過(guò)濾器，進(jìn)而造成后序真空系統(tǒng)內(nèi)零部件的損壞。2、傳統(tǒng)的小型過(guò)濾器內(nèi)過(guò)濾網(wǎng)表面積小，氣體過(guò)濾效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是為了提供一種解決上述問(wèn)題的結(jié)構(gòu)合理、使用可靠的能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，密封性能好，避免含雜質(zhì)氣體直排入后序真空設(shè)備，保證后序真空設(shè)備的安全性，同時(shí)，顯著提高過(guò)濾效率。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

3、一種能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，包括筒形殼體和濾芯組件，所述筒形殼體由筒體、設(shè)于筒體上、下端的上蓋和底蓋，所述上蓋中心設(shè)有排氣口，筒體下部?jī)蓚?cè)分別設(shè)有進(jìn)氣口，其技術(shù)要點(diǎn)是：所述濾芯組件包括底部封底的環(huán)形濾芯、設(shè)于環(huán)形濾芯頂面的環(huán)形膠墊、設(shè)于環(huán)形膠墊上表面的濾芯壓蓋、設(shè)于濾芯壓蓋中心的過(guò)渡接管，所述濾芯壓蓋與環(huán)形濾芯之間設(shè)有多個(gè)固定件，所述濾芯壓蓋與上蓋之間設(shè)有懸吊件，所述過(guò)渡接管的上端設(shè)有法蘭盤，所述法蘭盤的上表面設(shè)有同心凹槽且同心凹槽中設(shè)有密封膠圈，所述密封膠圈與上蓋內(nèi)頂面緊密接觸，所述過(guò)渡接管與上蓋的排氣口連通，所述密封膠圈包繞于排氣口的內(nèi)端外側(cè)。

4、上述的能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，所述懸吊件的數(shù)量為多個(gè)，圍繞過(guò)渡接管均勻布置，所述懸吊件包括固定于上蓋內(nèi)頂面的螺套、與螺套連接的第一螺桿、與第一螺桿連接的第一螺母，所述第一螺桿一端與螺套連接，另一端穿過(guò)濾芯壓蓋后連接第一螺母，所述濾芯壓蓋上設(shè)有對(duì)應(yīng)第一螺桿的通孔。

5、上述的能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，所述固定件包括固定于環(huán)形濾芯頂面的第二螺桿，所述第二螺桿的上端穿過(guò)環(huán)形膠墊上表面并連接第二螺母。

6、上述的能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，所述筒體上、下端面分別設(shè)有上法蘭和下法蘭，所述上法蘭與上蓋之間設(shè)有上同心膠圈，所述下法蘭與底蓋之間設(shè)有下同心膠圈。

7、本實(shí)用新型的有益效果是：

8、1、含雜質(zhì)氣體經(jīng)過(guò)兩個(gè)進(jìn)氣口進(jìn)入到筒形殼體后，經(jīng)過(guò)環(huán)形濾芯過(guò)濾后進(jìn)入到濾芯組件內(nèi)側(cè)，再經(jīng)由過(guò)渡接管到達(dá)排氣口，再由排氣口排向后序真空設(shè)備。由于環(huán)形濾芯頂面設(shè)有環(huán)形膠墊，密封膠圈與上蓋內(nèi)頂面緊密接觸，且包繞于排氣口的內(nèi)端外側(cè)，密封性能好，避免了沒(méi)有經(jīng)過(guò)凈化的含雜質(zhì)氣體直接進(jìn)入到濾芯組件中，再由排氣口排出，保證了含雜質(zhì)氣體不會(huì)在筒形殼體內(nèi)混流，避免含雜質(zhì)氣體直排入后序真空設(shè)備，保證了后序真空設(shè)備的安全性。

9、2、濾芯壓蓋與上蓋之間設(shè)有懸吊件，并利用懸吊件將濾芯組件懸吊于筒形殼體中，濾芯組件的外周面以及底面都可以進(jìn)行過(guò)濾，顯著提高過(guò)濾結(jié)構(gòu)的表面積，從而顯著提高了過(guò)濾效率，緩解過(guò)濾壓力。

技術(shù)特征：

1.一種能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，包括筒形殼體和濾芯組件，所述筒形殼體由筒體、設(shè)于筒體上、下端的上蓋和底蓋，所述上蓋中心設(shè)有排氣口，筒體下部?jī)蓚?cè)分別設(shè)有進(jìn)氣口，其特征在于：所述濾芯組件包括底部封底的環(huán)形濾芯、設(shè)于環(huán)形濾芯頂面的環(huán)形膠墊、設(shè)于環(huán)形膠墊上表面的濾芯壓蓋、設(shè)于濾芯壓蓋中心的過(guò)渡接管，所述濾芯壓蓋與環(huán)形濾芯之間設(shè)有多個(gè)固定件，所述濾芯壓蓋與上蓋之間設(shè)有懸吊件，所述過(guò)渡接管的上端設(shè)有法蘭盤，所述法蘭盤的上表面設(shè)有同心凹槽且同心凹槽中設(shè)有密封膠圈，所述密封膠圈與上蓋內(nèi)頂面緊密接觸，所述過(guò)渡接管與上蓋的排氣口連通，所述密封膠圈包繞于排氣口的內(nèi)端外側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，其特征在于：所述懸吊件的數(shù)量為多個(gè)，圍繞過(guò)渡接管均勻布置，所述懸吊件包括固定于上蓋內(nèi)頂面的螺套、與螺套連接的第一螺桿、與第一螺桿連接的第一螺母，所述第一螺桿一端與螺套連接，另一端穿過(guò)濾芯壓蓋后連接第一螺母，所述濾芯壓蓋上設(shè)有對(duì)應(yīng)第一螺桿的通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，其特征在于：所述固定件包括固定于環(huán)形濾芯頂面的第二螺桿，所述第二螺桿的上端穿過(guò)環(huán)形膠墊上表面并連接第二螺母。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，其特征在于：所述筒體上、下端面分別設(shè)有上法蘭和下法蘭，所述上法蘭與上蓋之間設(shè)有上同心膠圈，所述下法蘭與底蓋之間設(shè)有下同心膠圈。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種能夠?qū)崿F(xiàn)可靠密封的過(guò)濾裝置，包括筒形殼體和濾芯組件，筒形殼體的筒體上蓋中心設(shè)有排氣口，筒體下部?jī)蓚?cè)分別設(shè)有進(jìn)氣口，其技術(shù)要點(diǎn)是：濾芯組件包括底部封底的環(huán)形濾芯、設(shè)于環(huán)形濾芯頂面的環(huán)形膠墊、設(shè)于環(huán)形膠墊上表面的濾芯壓蓋、設(shè)于濾芯壓蓋中心的過(guò)渡接管，濾芯壓蓋與環(huán)形濾芯之間設(shè)有多個(gè)固定件，濾芯壓蓋與上蓋之間設(shè)有懸吊件，過(guò)渡接管上端設(shè)有法蘭盤，法蘭盤上表面設(shè)有同心凹槽且同心凹槽中設(shè)有密封膠圈，密封膠圈與上蓋內(nèi)頂面緊密接觸，過(guò)渡接管與上蓋的排氣口連通，密封膠圈包繞于排氣口的內(nèi)端外側(cè)。該裝置密封性能好，避免含雜質(zhì)氣體直排入后序真空設(shè)備，保證后序真空設(shè)備的安全性，同時(shí)，顯著提高過(guò)濾效率。

技術(shù)研發(fā)人員：佟輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：沈陽(yáng)中科漢達(dá)科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240704
技術(shù)公布日：2025/1/9