專利名稱:廢氣處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種廢氣處理設(shè)備，且特別是有關(guān)于一種處理含液滴/微粒廢氣的設(shè)備。更明確地說，本發(fā)明是有關(guān)于一種處理混合有液滴/微粒及氣態(tài)污染物的廢氣處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今高科技產(chǎn)業(yè)群聚密集的程度與日俱增，由此衍生的空氣污染問題也極為特殊某些制程所排放廢氣的濃度低，但排放總量卻非常高。環(huán)保署因而公告“半導(dǎo)體制造業(yè)空氣污染管制及排放標(biāo)準(zhǔn)”，作為相關(guān)的空氣污染防制依據(jù)。
目前的半導(dǎo)體元件與光電元件制程中，通常有各種不同的廢氣產(chǎn)生，其中以有機(jī)廢氣、無機(jī)酸氣體及氨氣的排放量為大宗。而光電業(yè)及半導(dǎo)體業(yè)所重視的無塵室空氣品質(zhì)，則受無機(jī)酸氣體與氨氣的影響甚巨。
業(yè)界廣為使用的廢氣處理技術(shù)之一為濕式洗滌技術(shù)。此種洗滌技術(shù)是藉由氣體與液體間的質(zhì)量傳送(mass transfer)機(jī)制將氣體污染物吸收至洗滌液中，并定期更換洗滌液或控制其酸堿值以獲得穩(wěn)定的廢氣清除效率。所謂的質(zhì)量傳送機(jī)制主要是以氣體與液體間污染物的濃度差異，使污染物由氣體擴(kuò)散、傳送至洗滌液中。
洗滌塔是一種可同時處理氣態(tài)及微粒污染物的廢氣處理裝置。此裝置處理氣態(tài)污染物的機(jī)制為前述的質(zhì)量傳送機(jī)制，而處理微粒/液滴污染物的機(jī)制請參閱圖1所示，過濾單元100與微粒/液滴污染物的交互作用大致上有五種重力沉降110、慣性碰撞120、靜電吸引130、直接截流140及擴(kuò)散150，其中的主要作用為重力沉降110與慣性碰撞120，因粒徑較大的微粒/液滴污染物主要為上述兩主要作用所影響，進(jìn)而被過濾單元100攔截，達(dá)成過濾微粒/液滴污染物的目的；但對于粒徑較小(如小于1微米)的微粒/液滴污染物而言，主要必須依賴靜電吸引130的作用才能有效被過濾單元100吸附，目前習(xí)知設(shè)備的靜電吸附能力均不佳或維持運轉(zhuǎn)成本甚高。
能有效去除微粒/液滴污染物的習(xí)知技術(shù)為過濾技術(shù)。此技術(shù)中通常包括前過濾段與除霧器(demister)，其中前過濾段常使用纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)或織布濾網(wǎng)作為收集微粒/液滴污染物的過濾媒介；傳統(tǒng)的一種除霧器為連續(xù)的S型管狀結(jié)構(gòu)，藉其連續(xù)彎曲的管壁結(jié)構(gòu)攔截通過其中的微粒/液滴污染物。前過濾段的過濾效率主要取決于氣體的流速，流速較快時過濾效率通常較高，但濾網(wǎng)因氣體壓力而耗損的程度也相對增加(如使用纖維濾網(wǎng)時所承受的壓力約為6至8時水柱高，使用不織布濾網(wǎng)時所承受的壓力則約為20時水柱高)；氣體流速較低時，雖可延長濾網(wǎng)的使用壽命，但一則過濾效率會隨之下降，二則廢氣中的微粒/液滴污染物有從濾網(wǎng)再揚起的可能。此過濾技術(shù)處理微粒/液滴污染物的效率頗佳，但濾網(wǎng)產(chǎn)生的壓損甚高的情況下，無法降低此過濾技術(shù)所使用的能源與耗材成本，且不適用連接于產(chǎn)生大風(fēng)量廢氣的系統(tǒng)后端。
以上習(xí)知方法的問題包括有，以處理氣態(tài)污染物而設(shè)計的洗滌設(shè)備無法有效清除廢氣中的微粒/液滴污染物；而過濾技術(shù)又有耗費能源多、耗材成本高與無法有效過濾粒徑小于1微米的微粒/液滴污染物的考量。因此，需要一種效率更佳，成本更低的技術(shù)以符合環(huán)保法規(guī)的要求，且上述問題均可由本發(fā)明所克服。
由此可見，上述現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決廢氣處理設(shè)備存在的問題，相關(guān)廠商莫不費盡心思來謀求解決之道，但長久以來一直未見適用的設(shè)計被發(fā)展完成，而一般產(chǎn)品又沒有適切的結(jié)構(gòu)能夠解決上述問題，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的廢氣處理設(shè)備，便成了當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。
有鑒于上述現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類產(chǎn)品設(shè)計制造多年豐富的實務(wù)經(jīng)驗及專業(yè)知識，并配合學(xué)理的運用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的廢氣處理設(shè)備，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備，使其更具有實用性。經(jīng)過不斷的研究、設(shè)計，并經(jīng)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實用價值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容為解決上述和其他的問題，并且達(dá)到本發(fā)明所主張的技術(shù)優(yōu)點，本發(fā)明提供一種結(jié)合洗滌裝置與過濾裝置的廢氣處理設(shè)備，以改善現(xiàn)有廢氣處理設(shè)備的性能。
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的廢氣處理設(shè)備，所要解決的技術(shù)問題是使其具有過濾裝置與氣體抽送裝置，用以處理含有液滴/微粒污染物的廢氣，從而更加適于實用。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種廢氣處理設(shè)備，所要解決的技術(shù)問題是使其具有洗滌裝置、過濾裝置與氣體抽送裝置，用以處理混合有液滴/微粒與氣態(tài)污染物的廢氣，從而更加適于實用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的廢氣處理設(shè)備，可清除混合含有微粒/液滴物質(zhì)的廢氣，該廢氣處理設(shè)備包括一過濾裝置，該過濾裝置具有一濾材；一增濕液供應(yīng)裝置，以提供一增濕液附著于該過濾裝置的該濾材；以及一氣體抽送裝置，該氣體抽送裝置連設(shè)于該過濾裝置之后或之前，以抽送待過濾及待處理的氣體通過該濾材。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)措施來進(jìn)一步實現(xiàn)。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的增濕液可為水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的濾材為一多孔性材料。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的多孔性材料為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)或織布濾網(wǎng)。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的廢氣處理設(shè)備，可清除混合有氣態(tài)污染物與微粒/液滴物質(zhì)的廢氣，該廢氣處理設(shè)備包括一本體，該本體設(shè)有一氣體入口端及一氣體出口端；一除霧器，連接于該氣體入口端；一過濾裝置連結(jié)該除霧器，該過濾裝置具有一低壓損的濾材組成；一增濕裝置，該增濕裝置具有一增濕液供應(yīng)管，該增濕液供應(yīng)管設(shè)有一噴嘴以提供一增濕液濕潤該濾材組成；以及一氣體抽送裝置，該氣體抽送裝置連設(shè)于該過濾裝置之后的該氣體出口端，以在該氣體入口端吸入待過濾及待處理的氣體通過該濾材組成，而將過濾處理過的該氣體自該氣體出口端排出。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)措施來進(jìn)一步實現(xiàn)。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的除霧器成傾斜設(shè)置。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的增濕裝置的該增濕液供應(yīng)管可為一或多支。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的增濕液可為水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的濾材為多孔性材料。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的多孔性材料為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)或織布濾網(wǎng)。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的廢氣處理設(shè)備，可清除混合有氣態(tài)污染物與微粒/液滴物質(zhì)的廢氣，該廢氣處理設(shè)備包括一洗滌裝置，可處理含有酸、堿性氣體等氣態(tài)污染物；一過濾裝置，該過濾裝置具有一低壓損的濾材組成且包括有一增濕裝置，其中該增濕裝置具有一增濕液供應(yīng)管，該增濕液供應(yīng)管設(shè)有一噴嘴以提供一增濕液以濕潤該濾材組成；以及一氣體抽送裝置，該氣體抽送裝置連設(shè)于該過濾裝置與該洗滌裝置之后，吸入待過濾及待處理的氣體通過該濾材組成，而將過濾處理過的該氣體排出。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)措施來進(jìn)一步實現(xiàn)。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的洗滌裝置可連接于該過濾裝置之前。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的洗滌裝置可連接于該過濾裝置之后。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的增濕液可為水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的濾材為一多孔性材料。
前述的廢氣處理設(shè)備，其中所述的多孔性材料為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)或織布濾網(wǎng)。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下根據(jù)本發(fā)明的上述目的，提出一種廢氣處理設(shè)備，此廢氣處理設(shè)備可有效處理含有液滴/微粒污染物的廢氣。
依照本發(fā)明一較佳實施例，此廢氣處理設(shè)備包括過濾裝置及氣體抽送裝置，此過濾裝置主要包括增濕液供應(yīng)裝置、濾網(wǎng)及液滴收集槽。由增濕液供應(yīng)裝置連設(shè)增濕液供應(yīng)管，且增濕液供應(yīng)管的末端連設(shè)有噴嘴，此增濕液供應(yīng)管的一部份與噴嘴位于濾網(wǎng)之前，液滴收集槽位于濾網(wǎng)的下方，氣體抽送裝置則連接于濾網(wǎng)后方的一定距離處，以盡量避免因長期接觸微量的酸、堿性氣體而受損。
根據(jù)本發(fā)明的目的，提出一種廢氣處理設(shè)備，此設(shè)備可有效處理混合有液滴/微粒與氣態(tài)污染物的廢氣。
依照本發(fā)明一較佳實施例，此廢氣處理設(shè)備包括洗滌裝置、過濾裝置及氣體抽送裝置，此洗滌裝置可處理混合有酸、堿性氣體等氣態(tài)污染物的廢氣；此過濾裝置則包括增濕液供應(yīng)裝置、濾網(wǎng)及液滴收集槽。由增濕液供應(yīng)裝置連設(shè)增濕液供應(yīng)管，且增濕液供應(yīng)管的末端連設(shè)有噴嘴，增濕液供應(yīng)管與噴嘴的排列方式可均勻地提供增濕液將濾網(wǎng)全面沾濕；增濕液可使濾網(wǎng)的表面能降低，其中所處理的污染物，可包括粒徑小于1微米的液滴/微粒污染物；液滴收集槽則位于濾網(wǎng)的下方，收集濾網(wǎng)上吸附有污染物的液滴，并自液滴排放口排出；氣體抽送裝置則連接于濾網(wǎng)后方一定距離處，以盡量避免因長期接觸微量的酸、堿性氣體而受損。本發(fā)明的較佳實施例中的洗滌裝置亦可連接于過濾裝置之后。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明廢氣處理設(shè)備至少具有下列優(yōu)點1、本發(fā)明不需為了過濾微小的液滴/微粒污染物，而使用孔徑較小、產(chǎn)生壓損較高的高規(guī)格濾網(wǎng)，藉此降低耗材的成本。
2、本發(fā)明供應(yīng)至濾網(wǎng)上的增濕液，可藉其內(nèi)含的界面活性劑，降低濾網(wǎng)的表面能，而不需持續(xù)地耗費能源以外加電場的方式增加濾網(wǎng)的靜電吸引力。
3、本發(fā)明因可使用孔徑較大、產(chǎn)生壓損較低的濾網(wǎng)，處理粒徑小于1微米的液滴/微粒污染物的效率又較習(xí)用過濾技術(shù)為佳，因此可連接于產(chǎn)生大風(fēng)量廢氣的設(shè)備后端，而不需要配合高馬力、高耗能的抽氣系統(tǒng)。
綜上所述，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的廢氣處理設(shè)備，其具有上述諸多的優(yōu)點及實用價值，并在同類產(chǎn)品中未見有類似的結(jié)構(gòu)設(shè)計公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在設(shè)備結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有的廢氣處理設(shè)備具有增進(jìn)的多項功效，從而更加適于實用，誠為一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。
圖1是繪示一習(xí)用的質(zhì)量傳送機(jī)制的示意圖。
圖2是繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一廢氣處理設(shè)備的示意圖(此廢氣處理設(shè)備可有效處理混合含有液滴/微粒污染物的廢氣)。
圖3是繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一廢氣處理設(shè)備的示意圖(此廢氣處理設(shè)備可有效處理混合含有氣態(tài)與液滴/微粒污染物的廢氣)。
圖4是繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一廢氣處理設(shè)備的示意圖(洗滌裝置連接于過濾裝置之前)。
圖5是繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一廢氣處理設(shè)備的示意圖(洗滌裝置連接于過濾裝置之后)。
100過濾單元 120慣性碰撞140直接截流 200廢氣處理設(shè)備211液滴 221增濕液231液滴排放口 250空氣400廢氣處理設(shè)備 411氣體入口端413連結(jié)段 421增濕液供應(yīng)管423增濕液 440過濾裝置460空氣 510洗滌裝置530氣體抽送裝置 110重力沉降130靜電吸引 150擴(kuò)散210過濾裝置 220增濕液供應(yīng)裝置230液滴收集槽 240氣體抽送裝置300廢氣來源 410本體
412氣體出口端 420除霧器422噴嘴 430增濕裝置450氣體抽送裝置 500廢氣處理設(shè)備520過濾裝置具體實施方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的廢氣處理設(shè)備其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
請參閱圖2所示，其繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一種廢氣處理設(shè)備200，此廢氣處理設(shè)備200與廢氣來源300相連接，且此廢氣處理設(shè)備200是由過濾裝置210、增濕液供應(yīng)裝置220、液滴收集槽230及氣體抽送裝置240組合而成。
過濾裝置210，具有低壓損的濾材；該濾材可為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)及織布濾網(wǎng)。
增濕液供應(yīng)裝置220，內(nèi)容置有增濕液221，此增濕液221可包含水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。該增濕液221將被噴灑或滴附于過濾裝置210的濾材，使濾材持續(xù)保持具有高靜電的吸附力。
液滴收集槽230，置于過濾裝置210之下，以收集自濾材流出的液滴211，且設(shè)有液滴排放口231。
氣體抽送裝置240，連設(shè)于過濾裝置210之后，以抽送經(jīng)過濾及處理后的氣體。
本發(fā)明實施時，先由增濕液供應(yīng)裝置220供應(yīng)增濕液221以將過濾裝置210全面增濕；而從廢氣來源300輸送進(jìn)來的廢氣通過過濾裝置210時，廢氣所含的液滴/微粒污染物即吸附于已增濕的過濾裝置210上。當(dāng)過濾裝置210所吸附的液滴/微粒污染物含量到一定程度時，所流下的液滴211則由液滴收集槽230收集，并自液滴排放口231排放至此廢氣處理設(shè)備200之外。通過過濾裝置210的氣體，為不含液滴/微粒污染物的空氣250，亦由氣體抽送裝置240排放至廢氣處理設(shè)備200之外。
請參閱圖3所示，其繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一種廢氣處理設(shè)備400，此廢氣處理設(shè)備400包括本體410、除霧器420、增濕裝置430、過濾裝置440及氣體抽送裝置450。
本體410的氣體入口端411連接廢氣來源，氣體出口端412則連結(jié)氣體抽送裝置450。氣體入口端411利用一連結(jié)段413連接氣體出口端412。
除霧器420設(shè)置于廢氣處理設(shè)備400的氣體入口端411，且呈傾斜設(shè)置。
增濕裝置430設(shè)置于連結(jié)段413，具有一或多支增濕液供應(yīng)管421，每一增濕液供應(yīng)管421均設(shè)有噴嘴422。該增濕液供應(yīng)管421可以供應(yīng)增濕液423，此增濕液423可包含水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。
過濾裝置440，具有低壓損的濾材組成；該濾材組成可為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)及織布濾網(wǎng)。利用上述的噴嘴422使增濕液423被噴灑于過濾裝置440的濾材組成，使濾材組成全面沾濕以持續(xù)保持具有高靜電的吸附力。
氣體抽送裝置450，連設(shè)于過濾裝置440之后的氣體出口端412，以抽送經(jīng)過濾及處理后的氣體。
利用上述的廢氣處理設(shè)備400可以處理混合含有氣態(tài)污染物與液滴/微粒物質(zhì)的廢氣。
實施時，混合含有氣態(tài)污染物與液滴/微粒物質(zhì)的廢氣由本體410的氣體入口端411進(jìn)入，利用除霧器420先作初步處理，廢氣中的氣態(tài)污染物與粒徑較大的液滴/微粒污染物均可被吸附于其中。此時，因增濕液423被噴灑于過濾裝置440的濾材組成，使濾材組成全面沾濕以持續(xù)保持具有高靜電的吸附力，過濾裝置440即可將廢氣中非常微小(如1微米)的微粒與液滴有效地吸附及濾除。經(jīng)此過濾裝置440處理的廢氣，則由氣體抽送裝置450排出已不含液滴/微粒污染物的干凈空氣460。
習(xí)知的過濾裝置常使用篩孔孔徑較小的濾網(wǎng)，因篩孔孔徑越小，過濾效果越佳，但濾網(wǎng)所產(chǎn)生的壓損也越大，即維持設(shè)備運作所必須的能源及耗材成本將隨之上升。但本發(fā)明的過濾裝置中的增濕液含有水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物，較低壓損的濾材被增濕液沾濕后，因改變其表面能且能持續(xù)保有高靜電的吸附力，因此整個廢氣處理設(shè)備運轉(zhuǎn)時只需較小的能量即可達(dá)到良好的過濾效果，故可有效節(jié)省能源及耗材的成本。
請參閱圖4所示，其繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一種廢氣處理設(shè)備500。該廢氣處理設(shè)備500包括有洗滌裝置510、過濾裝置520及氣體抽送裝置530。其中的過濾裝置520為具有低壓損的濾材組成；該濾材組成可為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)及織布濾網(wǎng)。并利用含有水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物的增濕液噴灑于過濾裝置的濾材組成，使該濾材組成全面沾濕以持續(xù)保持具有高靜電的吸附力。
實施時，洗滌裝置510負(fù)責(zé)處理廢氣中的酸、堿性氣體等氣態(tài)污染物，過濾裝置520則連接于洗滌裝置510之后，并有效處理廢氣中的液滴/微粒污染物(包括粒徑小于1微米的液滴/微粒)，氣體抽送裝置530則將過濾裝置520處理完畢的空氣排放至廢氣處理設(shè)備之外。
請參閱圖5所示，其繪示依照本發(fā)明一較佳實施例的一種廢氣處理設(shè)備500。該廢氣處理設(shè)備500與圖4的差別在于洗滌裝置510置于過濾裝置520之后。
實施時，其中的過濾裝置520處理廢氣中的液滴/微粒污染物(包括粒徑小于1微米的液滴/微粒)，洗滌裝置510則連接于過濾裝置520之后，并負(fù)責(zé)處理廢氣中的酸、堿性氣體等氣態(tài)污染物，最后由氣體抽送裝置530則將過濾裝置520處理完畢的空氣排放至廢氣處理設(shè)備500之外。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種廢氣處理設(shè)備，可清除混合含有微粒/液滴物質(zhì)的廢氣，其特征在于該廢氣處理設(shè)備包括一過濾裝置，該過濾裝置具有一濾材；一增濕液供應(yīng)裝置，以提供一增濕液附著于該過濾裝置的該濾材；以及一氣體抽送裝置，該氣體抽送裝置連設(shè)于該過濾裝置之后或之前，以抽送待過濾及待處理的氣體通過該濾材。
2.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的增濕液可為水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。
3.根據(jù)權(quán)利要求
1所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的濾材為一多孔性材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求
3所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的多孔性材料為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)或織布濾網(wǎng)。
5.一種廢氣處理設(shè)備，可清除混合有氣態(tài)污染物與微粒/液滴物質(zhì)的廢氣，其特征在于該廢氣處理設(shè)備包括一本體，該本體設(shè)有一氣體入口端及一氣體出口端；一除霧器，連接于該氣體入口端；一過濾裝置連結(jié)該除霧器，該過濾裝置具有一低壓損的濾材組成；一增濕裝置，該增濕裝置具有一增濕液供應(yīng)管，該增濕液供應(yīng)管設(shè)有一噴嘴以提供一增濕液濕潤該濾材組成；以及一氣體抽送裝置，該氣體抽送裝置連設(shè)于該過濾裝置之后的該氣體出口端，以在該氣體入口端吸入待過濾及待處理的氣體通過該濾材組成，而將過濾處理過的該氣體自該氣體出口端排出。
6.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的除霧器成傾斜設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的增濕裝置的該增濕液供應(yīng)管可為一或多支。
8.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的增濕液可為水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。
9.根據(jù)權(quán)利要求
5所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的濾材為多孔性材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求
9所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的多孔性材料為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)或織布濾網(wǎng)。
11.一種廢氣處理設(shè)備，可清除混合有氣態(tài)污染物與微粒/液滴物質(zhì)的廢氣，其特征在于該廢氣處理設(shè)備包括一洗滌裝置，可處理含有酸、堿性氣體等氣態(tài)污染物；一過濾裝置，該過濾裝置具有一低壓損的濾材組成且包括有一增濕裝置，其中該增濕裝置具有一增濕液供應(yīng)管，該增濕液供應(yīng)管設(shè)有一噴嘴以提供一增濕液以濕潤該濾材組成；以及一氣體抽送裝置，該氣體抽送裝置連設(shè)于該過濾裝置與該洗滌裝置之后，吸入待過濾及待處理的氣體通過該濾材組成，而將過濾處理過的該氣體排出。
12.根據(jù)權(quán)利要求
11所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的洗滌裝置可連接于該過濾裝置之前。
13.根據(jù)權(quán)利要求
11所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的洗滌裝置可連接于該過濾裝置之后。
14.根據(jù)權(quán)利要求
11所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的增濕液可為水、水溶液、界面活性劑水溶液、離子型界面活性劑水溶液或上述四者的任意組合物。
15.根據(jù)權(quán)利要求
11所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的濾材為一多孔性材料。
16.根據(jù)權(quán)利要求
15所述的廢氣處理設(shè)備，其特征在于其中所述的多孔性材料為纖維濾網(wǎng)、不織布濾網(wǎng)或織布濾網(wǎng)。
專利摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種廢氣處理設(shè)備，其包括一過濾裝置，該過濾裝置具有一濾材；一增濕液供應(yīng)裝置，以提供一增濕液附著于該過濾裝置的該濾材；以及一氣體抽送裝置，該氣體抽送裝置連設(shè)于該過濾裝置之后或之前，以抽送待過濾及待處理的氣體通過該濾材。此設(shè)備可處理混合有液滴/微粒與氣態(tài)污染物的廢氣，其中的過濾裝置包括一增濕裝置與一濾網(wǎng)，由增濕裝置噴灑含界面活性劑的水溶液至濾網(wǎng)，此水溶液可降低濾網(wǎng)的表面能，增加靜電吸引力，進(jìn)而加強(qiáng)濾網(wǎng)對廢氣中小于1微米的液滴/微粒污染物的過濾效果。
文檔編號B01D50/00GK1990085SQ200510023086
公開日2007年7月4日 申請日期2005年12月26日
發(fā)明者黃偉裕, 洪煜堃, 劉享星, 古義榔, 簡弘民, 吳信賢, 黃俊超 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司, 財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan