后述的配管等供給的空氣是經(jīng)由形成于配管支撐構(gòu)件60內(nèi)的空氣分支路徑等而從各空氣噴出部60a噴出。而且，通過(guò)使空氣從所述空氣噴出部60a噴出，配管支撐構(gòu)件60成為如下?tīng)顟B(tài):在與配管支撐用引導(dǎo)部62的外周面之間隔著空氣層的狀態(tài)下(即，在相對(duì)于配管支撐用引導(dǎo)部62的外周面而浮起的狀態(tài)下)，被支撐為可沿著X方向移動(dòng)。
[0105]在配管支撐構(gòu)件60的上表面安裝有驅(qū)動(dòng)帶78，用以對(duì)所述配管支撐構(gòu)件60進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。另外，此處，配管支撐構(gòu)件60被支撐為可相對(duì)于配管支撐用引導(dǎo)部62而移動(dòng)的構(gòu)成是與已就所述主掃描機(jī)構(gòu)40敘述的情況同樣地，可采用各種構(gòu)成。
[0106]不過(guò)，所述配管支撐構(gòu)件并不需要如上所述般在相對(duì)于配管支撐用引導(dǎo)部隔著空氣層的狀態(tài)下，被支撐為移動(dòng)自如。例如，配管支撐構(gòu)件也可構(gòu)成為在隔著其他低摩擦構(gòu)件、滾動(dòng)體等而與長(zhǎng)條狀的配管支撐用引導(dǎo)部接觸的狀態(tài)下，被支撐為移動(dòng)自如。
[0107]〈配管部80>
[0108]配管部80包含:配管81 (本實(shí)施方式中為I根)，用以對(duì)配管支撐構(gòu)件60供給空氣；配管82 (本實(shí)施方式中為I根)，用以對(duì)滑塊44供給空氣；以及配管83 (本實(shí)施方式中為10根)，用以對(duì)各噴嘴54供給涂布液。配管81、配管82的上游側(cè)連接于空氣供給源86，配管83的上游側(cè)連接于涂布液供給源88。配管部80的配管81?配管83均由可撓性的管構(gòu)成，配管部80以懸吊的方式被支撐在本涂布裝置I的上方。
[0109]配管部80中優(yōu)選為配管81?配管83被捆扎到各自路徑的中途。本實(shí)施方式中，在比配管支撐構(gòu)件60更靠上游側(cè)，配管81?配管83被捆扎。作為捆扎形態(tài)，可采用例如利用多個(gè)配管83圍繞配管81、配管82的周圍的形態(tài)。
[0110]配管81以被配管81?配管83捆扎的狀態(tài)到達(dá)配管支撐構(gòu)件60，且連接于形成在配管支撐構(gòu)件60中的空氣分支路徑。
[0111]配管82以被配管81?配管83捆扎的狀態(tài)到達(dá)配管支撐構(gòu)件60，且經(jīng)由配管固定部61而支撐固定于配管支撐構(gòu)件60。而且，配管82在比配管支撐構(gòu)件60更靠下游側(cè)，與配管83分支，并連接于形成在滑塊44中的空氣分支路徑。
[0112]配管83以被配管81?配管83捆扎的狀態(tài)到達(dá)配管支撐構(gòu)件60，且經(jīng)由配管固定部61而支撐固定于配管支撐構(gòu)件60。而且，配管83在比配管支撐構(gòu)件60更靠下游側(cè)，與配管82分支，并連接于涂布單元50的各噴嘴54。
[0113]作為配管固定部61，可采用如下構(gòu)成等:將配管82及配管83插通于插通孔或凹部?jī)?nèi)而固定；將配管82及配管83捆扎固定于配管支撐構(gòu)件60 ;夾著配管82及配管83而固定于配管支撐構(gòu)件60。配管82、配管83固定于配管固定部61的中途部分優(yōu)選為配管82、配管83的全長(zhǎng)中相對(duì)較靠近滑塊44、涂布單元50的部分。
[0114]〈配管83的詳細(xì)構(gòu)成〉
[0115]配管83是對(duì)噴嘴54輸送涂布液的配管。因此，為了從噴嘴54噴出涂布液，在基板10的上側(cè)主表面形成均勻的涂布膜，理想的是無(wú)壓力變動(dòng)地輸送在配管83的內(nèi)部流動(dòng)的涂布液。
[0116]圖4是表示涂布單元50的構(gòu)成的立體圖。圖5是表示關(guān)于I根配管83的構(gòu)件構(gòu)成的示意圖。
[0117]以下，一面參照?qǐng)D3?圖5，一面主要對(duì)配管83的配置構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。以下的說(shuō)明中，主要對(duì)I根配管83進(jìn)行說(shuō)明，但其他9根配管83也為同樣的構(gòu)成。
[0118]如圖5所示，本實(shí)施方式的配管83是將種類不同的4個(gè)配管831?配管834從上游側(cè)依次串聯(lián)連接而構(gòu)成。
[0119]配管831是其上游側(cè)端部連接于涂布液供給源88，其下游側(cè)端部與配管832的上游側(cè)端部連接的配管。就各配管83而言，配管831是與其他9根匯集成束，且所述配管831的路徑中途固定于固定部840，所述固定部840固定于涂布單元50的+Y側(cè)。以下，針對(duì)配管831有如下情況:將比固定于固定部840的位置更靠上游側(cè)的部分稱為“配管831A”，將比固定于固定部840的位置更靠下游側(cè)的部分稱為“配管831B”。
[0120]配管831及配管832經(jīng)由分支部841而連接，所述分支部841固定于涂布單元50的+Y側(cè)。分支部841是將被捆扎的10根配管831在X方向上以規(guī)定間隔分支的部分，也是將分支的10根配管831與其下游側(cè)的10根配管832分別連接的部分。
[0121]配管832 (第二配管)是其上游側(cè)端部連接于配管831的下游側(cè)端部，其下游側(cè)端部與配管833的上游側(cè)端部連接的配管。配管832可由管徑比配管831小的可撓性管(tube)構(gòu)成。在配管832的管內(nèi)，形成有例如微小的孔口(orifice)。
[0122]當(dāng)涂布液的流路的內(nèi)徑從某值變小后恢復(fù)為原本的內(nèi)徑時(shí)，經(jīng)過(guò)該流路的涂布液的平均流速會(huì)暫時(shí)變?yōu)榭斓乃俣群蠡謴?fù)為原本的速度。另外，因涂布液與管路內(nèi)壁的摩擦而產(chǎn)生的涂布液的壓力損失與涂布液的流速的平方成比例。因此，通過(guò)在管路內(nèi)設(shè)置微小孔口，可使在管路內(nèi)流動(dòng)的涂布液產(chǎn)生相對(duì)較大的壓力損失，而減少(吸收)在管路內(nèi)流動(dòng)的涂布液的壓力變動(dòng)。從而，可提高從各噴嘴54噴出的涂布液的流量的均勻性。
[0123]配管832及配管833經(jīng)由接頭(connector)部842而連接，所述接頭部842固定于涂布單元50的+Y側(cè)。
[0124]配管833 (第一配管)是其上游側(cè)端部連接于配管832的下游側(cè)端部，其下游側(cè)端部與配管834的上游側(cè)端部連接的配管。配管833可由管徑比配管831大且比配管832更軟質(zhì)的可撓性管構(gòu)成。
[0125]配管833會(huì)隨著在其內(nèi)部流動(dòng)的涂布液的壓力變動(dòng)而彈性變形。具體而言，在流動(dòng)在內(nèi)部的涂布液的壓力高的部位處配管833會(huì)膨脹，借此，其內(nèi)徑會(huì)變大，在流動(dòng)在內(nèi)部的涂布液的壓力低的部位處配管833會(huì)收縮，借此，其內(nèi)徑會(huì)變小。因此，可減少(吸收)涂布液的壓力變動(dòng)。從而，可提高從各噴嘴54噴出的涂布液的流量的均勻性。
[0126]如以上所說(shuō)明，在本實(shí)施方式中，利用配管832及配管833的兩個(gè)階段吸收從涂布液供給源88供給的涂布液的壓力變動(dòng)后，將該涂布液輸送至各噴嘴54。因此，可使從各噴嘴54噴出的涂布液的流量固定，而在基板10的上側(cè)主表面形成均勻的涂布膜。
[0127]一般而言，已知使涂布液的壓力變動(dòng)減少的效果大的是利用孔口作為流路的阻力的配管832。然而，若配管832中過(guò)度地賦予壓力損失，則有涂布液的可噴出的流量變小的問(wèn)題。另一方面，配管833中雖抑制壓力變動(dòng)的效果比配管832小，但對(duì)涂布液賦予的壓力損失也比配管832小。
[0128]因此，在本實(shí)施方式中采用如下構(gòu)成:通過(guò)組合使用配管832及配管833，而抑制涂布液的壓力損失并吸收涂布液的壓力變動(dòng)。如此，配管832、配管833作為壓力變動(dòng)吸收部發(fā)揮功能，吸收在配管83的內(nèi)部流動(dòng)的涂布液的壓力變動(dòng)。
[0129]配管833及配管834經(jīng)由接頭部843而連接，所述接頭部843固定于涂布單元50的-Y側(cè)。
[0130]配管834是其上游側(cè)端部連接于配管833的下游側(cè)端部，其下游側(cè)端部與噴嘴54連接的配管。配管834例如可由與配管831相同的材質(zhì)構(gòu)成。
[0131]如此，配管831B?配管834將固定于涂布單元50的各部(具體而言為固定部840、分支部841、接頭部842、接頭部843、及噴嘴54)之間連接。另外，配管831B?配管834的全長(zhǎng)充分短于配管831A的全長(zhǎng)。而且，配管831B?配管834與配管831A不同，所述配管831A是以如可對(duì)應(yīng)于涂布單元50的X方向移動(dòng)而變形的彎曲狀態(tài)而設(shè)置，所述配管831B?配管834是以張緊狀態(tài)而設(shè)于固定在涂布單元50的所述各部之間。從而，配管831B?配管834成為相對(duì)地固定于涂布單元50的配置。
[0132]本說(shuō)明書(shū)中，將配管83中上游側(cè)的配管831A的區(qū)間稱為“第一管路區(qū)間SE1”，將配管83中相對(duì)地在涂布單元50固定配置的下游側(cè)的區(qū)間即配管831B?配管834的區(qū)間稱為“第二管路區(qū)間SE2”。
[0133]如以上所說(shuō)明，第二管路區(qū)間SE2相對(duì)地固定配置于涂布單元50，因此，當(dāng)利用后述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)72使涂布單元50沿著X方向進(jìn)行往返移動(dòng)時(shí)，可抑制第二管路區(qū)間SE2隨著所述移動(dòng)而撓曲。借此，可有效防止因第二管路區(qū)間SE2撓曲而導(dǎo)致在第二管路區(qū)間SE2的內(nèi)部流動(dòng)的涂布液產(chǎn)生壓力變動(dòng)的情況。從而，能夠從噴嘴54以更均勻的流量噴出涂布液。
[0134]另外，就各配管83而言，分支部841、接頭部842、接頭部843、及噴嘴54配設(shè)于X方向同一位置(同一 YZ面內(nèi))。而且，將所述各部之間連接的配管832?配管834就各配管83而言，也配設(shè)于X方向同一位置(同一 YZ面內(nèi))。在本說(shuō)明書(shū)中，將相對(duì)地固定配置于涂布單元50的第二管路區(qū)間SE2中比分支部841更靠上游側(cè)的配管831B稱為“上游側(cè)固定管路區(qū)間SE2A”，將在比分支部841更靠下游側(cè)沿著與主掃描