濾膜進(jìn)行復(fù)合光催化劑 改性的方法是按以下步驟進(jìn)行的：
[0039] 一、將原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室的溫度設(shè)定為20~130°C，然后將微濾膜放入 反應(yīng)腔室中進(jìn)行加熱；
[0040] 二、將第一前驅(qū)體通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為 20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成后，N2吹掃0. 3~20s，然后將前驅(qū)體氧源通入原子 層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成 后，N2吹掃0. 3~20s，得到第一沉積層；
[0041] 三、將第二前驅(qū)體通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為 20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成后，N2吹掃0. 3~20s，然后將前驅(qū)體氧源通入原子 層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成 后，N2吹掃0. 3~20s，得到第二沉積層；
[0042] 四、重復(fù)步驟二和步驟三，至總沉積厚度為10~800nm，即完成利用原子層沉積對(duì) 微濾膜進(jìn)行復(fù)合光催化劑改性；
[0043] 所述的第一前驅(qū)體為鈦源或鋅源，第二前驅(qū)體為鈦源或鋅源，且第一前驅(qū)體和第 二前驅(qū)體不相同。
[0044] 本實(shí)施方式包括以下有益效果：
[0045] 1、本實(shí)施方式所述的光催化改性微濾膜，通過(guò)原子層沉積技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)沉積層 厚度精確控制，有效避免改性過(guò)程中膜孔阻塞的難題。
[0046] 2、本實(shí)施方式利用原子層沉積技術(shù)通過(guò)氣相化學(xué)吸附反應(yīng)，同時(shí)在膜面和孔壁形 成均勻一致的光催化沉積層，可增大催化劑的比表面積，提高光催化效率。
[0047] 3、本光催化改性微濾膜在光照條件下表面親水性能明顯改善，改性膜較未改性膜 表面水接觸角下降20~60°，紫外光照30min后接觸角下降近50~90°。
[0048] 4、本光催化改性微濾膜降解有機(jī)污染物的性能較強(qiáng)，向初始濃度為0. 5mg/L的亞 甲基藍(lán)染料中加入改性膜，在20W紫外光照120min，有機(jī)污染物的去除率達(dá)90%以上，可同 時(shí)降解膜污染物及水中有機(jī)污染物，延緩膜污染的同時(shí)提高水質(zhì)。
【具體實(shí)施方式】 [0049] 二：本實(shí)施方式與一不同的是：步驟一中微濾膜的膜 材料為聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚酰胺、聚砜、聚丙烯腈、聚氯乙烯、聚丙烯、聚醚、陶瓷或 不銹鋼。其它與一相同。
【具體實(shí)施方式】 [0050] 三：本實(shí)施方式與一或二不同的是：所述的前驅(qū)體氧 源為H2O或O3。其它與一或二相同。
【具體實(shí)施方式】 [0051] 四：本實(shí)施方式與一至三之一不同的是：所述的前驅(qū) 體鈦源為TiCl4、Ti (OCH (CH3) 2) 4或Ti (0CH 3) 4。其它與一至三之一相同。
【具體實(shí)施方式】 [0052] 五：本實(shí)施方式與一至四之一不同的是：所述的前驅(qū) 體鋅源為Zn (C2H5) 2或Zn (CH 3) 2。其它與一至四之一相同。
【具體實(shí)施方式】 [0053] 六：本實(shí)施方式的一種利用原子層沉積對(duì)微濾膜進(jìn)行復(fù)合光催化劑 改性的方法是按以下步驟進(jìn)行的：
[0054] 一、將原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室的溫度設(shè)定為20~130°C，然后將微濾膜放入 反應(yīng)腔室中進(jìn)行加熱；
[0055] 二、將第一前驅(qū)體通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為 20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成后，N2吹掃0. 3~20s，然后將前驅(qū)體氧源通入原子 層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成 后，N2吹掃0. 3~20s，得到第一沉積層；
[0056] 三、重復(fù)步驟二，得到厚度為0. 2~400nm的第一沉積層；
[0057] 四、將第二前驅(qū)體通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為 20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成后，N2吹掃0. 3~20s，然后將前驅(qū)體氧源通入原子 層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成 后，N2吹掃0. 3~20s，得到第二沉積層；
[0058] 五、重復(fù)步驟四至總沉積厚度為10~800nm，即完成利用原子層沉積對(duì)微濾膜進(jìn) 行復(fù)合光催化劑改性；
[0059] 所述的第一前驅(qū)體為鈦源或鋅源，第二前驅(qū)體為鈦源或鋅源，且第一前驅(qū)體和第 二前驅(qū)體不相同。
【具體實(shí)施方式】 [0060] 七：本實(shí)施方式與六不同的是：步驟四中每種前驅(qū)體 在溫度為50~130°C下反應(yīng)5~30s。其它與六相同。
【具體實(shí)施方式】 [0061] 八：本實(shí)施方式的一種利用原子層沉積對(duì)微濾膜進(jìn)行復(fù)合光催化劑 改性的方法是按以下步驟進(jìn)行的：
[0062] -、將原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室的溫度設(shè)定為20~130°C，然后將微濾膜放入 反應(yīng)腔室中進(jìn)行加熱；
[0063] 二、將第一前驅(qū)體通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為 20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成后，N2吹掃0. 3~20s，然后將前驅(qū)體氧源通入原子 層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成 后，N2吹掃0. 3~20s，得到第一沉積層；
[0064] 三、將第二前驅(qū)體通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為 20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成后，N2吹掃0. 3~20s，然后將前驅(qū)體氧源通入原子 層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為20~130°C下反應(yīng)0. 1~60s，反應(yīng)完成 后，N2吹掃0. 3~20s，得到第二沉積層；
[0065] 四、重復(fù)步驟三，得到厚度為0· 2~400nm的第二沉積層；
[0066] 五、重復(fù)步驟二，得到厚度為0. 2~400nm的第一沉積層；
[0067] 六、重復(fù)步驟四和步驟五，至總沉積厚度為10~800nm，即完成利用原子層沉積對(duì) 微濾膜進(jìn)行復(fù)合光催化劑改性；
[0068] 所述的第一前驅(qū)體為鈦源或鋅源，第二前驅(qū)體為鈦源或鋅源，且第一前驅(qū)體和第 二前驅(qū)體不相同。
【具體實(shí)施方式】 [0069] 九：本實(shí)施方式與八不同的是：步驟二中每種前驅(qū)體 在溫度為50~130°C下反應(yīng)5~30s。其它與八相同。
【具體實(shí)施方式】 [0070] 十：本實(shí)施方式與一或九不同的是：步驟三中每種前 驅(qū)體在溫度為50~130°C下反應(yīng)5~30s。其它與一或九相同。
[0071] 通過(guò)以下試驗(yàn)驗(yàn)證本發(fā)明的有益效果：
[0072] 試驗(yàn)一：本試驗(yàn)的一種利用原子層沉積對(duì)微濾膜進(jìn)行復(fù)合光催化劑改性的方法是 按以下步驟進(jìn)行的：
[0073] -、將原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室的溫度設(shè)定為80°C，然后將聚四氟乙烯微濾膜 放入反應(yīng)腔室中進(jìn)行加熱；
[0074] 二、將前驅(qū)體鈦源TiCl4通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度 為80°C下反應(yīng)5s，反應(yīng)完成后，N2吹掃10s，然后將前驅(qū)體氧源H2O通入原子層沉積設(shè)備的 反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在溫度為80°C下反應(yīng)5s，反應(yīng)完成后，N2吹掃10s，得到第一沉 積層；
[0075] 三、將前驅(qū)體鋅源Zn(C2H5)2通入原子層沉積設(shè)備的反應(yīng)腔室中進(jìn)行脈沖反應(yīng)，在 溫度為80°C下反