尾氣處理裝置及尾氣處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種尾氣處理裝置及尾氣處理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示面板的制備過程中，需要進(jìn)行化學(xué)氣相沉積、干法刻蝕等工藝，這時，會產(chǎn)生尾氣，這些尾氣需要處理過后才能排放進(jìn)大氣。具體地，對于其中的水溶性氣體，一般將其溶入水中來濾除。
[0003]現(xiàn)有針對水溶性氣體的尾氣處理裝置一般包括進(jìn)氣口、氣體流通通道、噴水口、廢水池和出氣口。其中，進(jìn)氣口與工藝腔體連接，所述工藝腔體中產(chǎn)生的尾氣通過進(jìn)氣口進(jìn)入到尾氣處理裝置的氣體流通通道中；噴水口位于氣體流通通道的側(cè)壁上，水栗通過噴水口向氣體流通通道內(nèi)噴水，使尾氣中的水溶性氣體溶于水中；因溶入水溶性氣體而產(chǎn)生的廢水流入到廢水池中；而濾除了水溶性氣體的尾氣從出氣口排出，或進(jìn)行其他處理。
[0004]上述尾氣處理裝置在對水溶性氣體進(jìn)行處理時，無論工藝腔體內(nèi)產(chǎn)生的尾氣的多少，水栗保持常開狀態(tài)，其始終通過噴水口以固定的流量向氣體流通通道內(nèi)噴水;這樣在工藝腔體內(nèi)產(chǎn)生的尾氣的量較少時，從噴水口噴出的水就會有較大的浪費(fèi)。此外，在對水溶性氣體進(jìn)行處理時，無論廢水池中的水的水質(zhì)如何，廢水池中的廢水全部向外排出；這樣在廢水池中的水的水質(zhì)較好，就無法重復(fù)利用，從而也會造成水的浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種尾氣處理裝置及尾氣處理方法，其可以實現(xiàn)對廢水的回收再利用，降低對水資源的消耗，提高水資源的利用率。
[0006]為實現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種尾氣處理裝置，其包括進(jìn)氣口、氣體流通通道、第一噴水口、廢水池、出氣口、水質(zhì)檢測單元、排水口和回水口；所述進(jìn)氣口為尾氣進(jìn)入尾氣處理裝置的入口 ；所述氣體流通通道與進(jìn)氣口連通;所述第一噴水口用于向氣體流通通道內(nèi)的尾氣噴水;所述廢水池用于容納對尾氣進(jìn)行處理后產(chǎn)生的廢水;所述出氣口為處理后的尾氣的排出口，其與氣體流通通道連通，且位于氣體流通通道的末端;所述水質(zhì)檢測單元用于檢測廢水池內(nèi)的廢水的水質(zhì)是否滿足回收要求;所述排水口用于在廢水池中水的水質(zhì)不滿足回收要求時將廢水池內(nèi)的廢水排出；所述回水口通過回水管道與第一噴水口連接，其用于在廢水池中水的水質(zhì)滿足回收要求時，將廢水池中的水經(jīng)回水管道輸入到第一噴水口中。
[0007]其中，所述尾氣處理裝置還包括水位檢測單元，所述水位檢測單元用于檢測廢水池中水的水位。
[0008]其中，所述回水口設(shè)置有過濾裝置。
[0009]其中，所述過濾裝置為濾網(wǎng)。
[0010]其中，所述第一噴水口噴出的水為水霧狀態(tài)。
[0011]其中，所述尾氣處理裝置還包括第二噴水口，所述第二噴水口用于朝向進(jìn)氣口和氣體流通通道的內(nèi)壁噴水，對其進(jìn)行沖刷。
[0012]其中，所述進(jìn)氣口和出氣口設(shè)置有氣壓檢測裝置。
[0013]本發(fā)明還提供一種尾氣處理方法，其包括:
[0014]SI，向尾氣噴水，使尾氣中可溶于水的物質(zhì)溶于水中；
[0015]S2，檢測所產(chǎn)生的廢水的水質(zhì)是否滿足回收要求；
[0016]S3，若廢水水質(zhì)滿足回收要求，則將廢水輸入至噴水端;若廢水水質(zhì)不滿足回收要求，則將廢水排出。
[0017]其中，所述尾氣處理方法還包括在步驟SI之后，S2之前進(jìn)行的:
[0018]檢測廢水水位的步驟，且在廢水水位達(dá)到預(yù)定水位時，進(jìn)行步驟S2。
[0019]其中，所述尾氣處理方法還包括檢測進(jìn)氣口壓力和出氣口壓力的步驟；
[0020]在進(jìn)氣口壓力小于出氣口壓力時，向氣體流通通道的內(nèi)壁噴水，以將內(nèi)壁上的附著物沖刷掉。
[0021]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0022]本發(fā)明提供的尾氣處理裝置，在廢水池內(nèi)設(shè)置水質(zhì)檢測單元，用于檢測廢水池中廢水的水質(zhì)，當(dāng)廢水的水質(zhì)被檢測到符合回收再利用的要求時，將廢水池中的廢水輸入到第一噴水口，從而實現(xiàn)對廢水的再次利用，可以減少對水的浪費(fèi)，有助于降低成本。
[0023]本發(fā)明提供的尾氣處理方法，其增加檢測廢水水質(zhì)的步驟，當(dāng)廢水的水質(zhì)被檢測到符合回收再利用的要求時，將廢水輸入到噴水端，從而實現(xiàn)對廢水的再次利用，可以減少對水的浪費(fèi)，有助于降低成本。
【附圖說明】
[0024]附圖是用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0025]圖1為本發(fā)明提供的尾氣處理裝置在其實施方式中的示意圖；
[0026]圖2為真空腔體進(jìn)行工藝處理的示意圖；
[0027]圖3為尾氣處理裝置在產(chǎn)線設(shè)備中的位置的示意圖；
[0028]圖4為本發(fā)明實施方式提供的尾氣處理方法的流程圖。
[0029]其中，附圖標(biāo)記:
[0030]1:進(jìn)氣口；2:氣體流通通道;3:第一噴水口 ；4:廢水池；5:出氣口；6:水質(zhì)檢測單元;7:排水口； 8:回水口； 9:回水管道;10:水位檢測單元;11:濾網(wǎng)；12:第二噴水口。
【具體實施方式】
[0031]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0032]本發(fā)明提供一種尾氣處理裝置的實施方式。圖1為本發(fā)明提供的尾氣處理裝置在其實施方式中的示意圖；圖2為真空腔體進(jìn)行工藝處理的示意圖；圖3為尾氣處理裝置在產(chǎn)線設(shè)備中的位置的示意圖。如圖1?3所示，在顯示面板的制備過程中，需要在真空腔室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)氣相沉積、干法刻蝕等工藝;在這些工藝過程中，需要向真空腔體中通入工藝氣體，如圖2中的Gasl?Gas7;在通氣管道上設(shè)置有質(zhì)量流量控制器(MFC)，用以控制通入真空腔體的工藝氣體的流量。經(jīng)過工藝處理后，這些氣體會變成廢氣和其他產(chǎn)物，其中的廢氣被排氣系統(tǒng)抽出。如圖3所示，廢氣在被排氣系統(tǒng)抽出后，進(jìn)入到尾氣處理裝置，經(jīng)過處理后，通過向外排氣管道被排放到外界中。
[0033]具體地，如圖1所示，所述尾氣處理裝置包括進(jìn)氣口1、氣體流通通道2、第一噴水口
3、廢水池4、出氣口 5、水質(zhì)檢測單元6、排水口 7和回水口 8。
[0034]所述進(jìn)氣口I為尾氣進(jìn)入尾氣處理裝置的入口；其與產(chǎn)生廢氣的工藝腔體連接。所述氣體流通通道2與進(jìn)氣口 I連通。所述第一噴水口 3位于氣體流通通道2的側(cè)壁上，供水端經(jīng)所述第一噴水口 3向氣體流通通道2內(nèi)的尾氣噴水。所述廢水池4用于容納對尾氣進(jìn)行處理后產(chǎn)生的廢水;所述廢水池4位于氣體流通通道2的底部。所述出氣口 5為處理后的尾氣的排出口，其與氣體流通通道2連通，且位于氣體流通通道2的末端。所述水質(zhì)檢測單元6設(shè)置于廢水池內(nèi)，其用于檢測廢水池4內(nèi)的廢水的水質(zhì)是否滿足回收要求。所述排水口7位于廢水池4底部，其用于在廢水池4中水的水質(zhì)不滿足回收要求時將廢水池4內(nèi)的廢水排出;所述回水口 8位于廢水池中，其通過回水管道9與第一噴水口 3連接，用于在廢水池4中水的水質(zhì)滿足回收要求時，將廢水池4中的水經(jīng)回水管道9輸入到第一噴水口 3中。
[0035]在本實施方式中，工藝腔體內(nèi)產(chǎn)生的廢氣經(jīng)進(jìn)氣口I進(jìn)入到氣體流通通道2內(nèi)；第一噴水口 3向氣體流通通道2內(nèi)噴水，具體可以以水霧的形式噴射，以更好地吸收廢氣中的水溶性氣體;這樣在氣體流通通道2內(nèi)，廢氣的水溶性氣體被溶于水中。之后，廢氣中的水溶性氣體被濾除，其與氣體經(jīng)出氣口5向外排出，或者進(jìn)入到其他處理設(shè)備中進(jìn)行再處理;而被溶入水溶性氣體而產(chǎn)生的廢水則流入到廢水池4中。具體地，可以在氣體流通通道2中設(shè)置干燥區(qū)或冷凝區(qū)，使氣體流通通道2中的水分變?yōu)橐簯B(tài)，使其最終流入到廢水池4中(特別是在第一噴水口 3以水霧的形式噴水的情況下)。
[0036]所述水質(zhì)檢測單元6對流入到廢水池4中的廢水的水質(zhì)進(jìn)行檢測，在檢測到廢水的水質(zhì)較好，滿足回收再利用的要求時，(采用水栗等設(shè)備)將廢水池4中的廢水通過回水管道9輸入到第一噴水口3中，進(jìn)行再利用。而在檢測到廢水的水質(zhì)較差，不滿足回收再利用的要求時，將廢水池4中的廢水從排水口 7排出。
[0037]優(yōu)選地，在廢水池4中的廢水經(jīng)回水管道9輸入到第一噴水口3時，減少供水端向第一噴水口 3的輸水量，或者，供水端停止向第一噴水口 3輸水，此時，供水端輸出的水量降低，為節(jié)水工作模式;尾氣處理裝置在節(jié)水模式下運(yùn)行，直至廢水池4中的水質(zhì)變差，不滿足回收再利用的要求時，廢水池4中的廢水經(jīng)排水口 7向外排出，供水端增加向第一噴水口 3的輸水量，或者，回復(fù)向第一噴水口 3輸水，此時，供水端輸出的水量增加，為正常工作模式，尾氣處理裝置在此模式下運(yùn)行，直至廢水池4中的水質(zhì)變好后，再次進(jìn)入節(jié)水工作模式。
[0038]本實施方式中，在廢水池4內(nèi)設(shè)置水質(zhì)檢測單元6，用于檢測廢水池4中廢水的水質(zhì)，當(dāng)廢水的水質(zhì)被檢測到符合回收再利用的要求時，將廢水池4中的廢水輸入到第一噴水口 3，從而實現(xiàn)對廢水的再次利用，可以減少對水的浪費(fèi)，有助于降低成本。
[0039]優(yōu)選地，所述尾氣處理裝置還包括水位檢測單元10，所述水位檢測單元10用于檢測廢水池4中水的水位?？梢岳斫獾氖牵捎趶U水是持續(xù)地流入到廢水池4中的，