在線式稀釋設(shè)備的制造方法
【專利說明】
[技術(shù)領(lǐng)域]
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種在線式稀釋設(shè)備。
[【背景技術(shù)】]
[0002]在半導(dǎo)體制造工藝中，經(jīng)常會(huì)碰到使用同一種藥品的不同濃度的情況，例如HF49%, HF5%, HFl%、HF0.5%，因此廠商需要設(shè)計(jì)制造專門的稀釋設(shè)備，將高濃度藥品直接添加到純水中，調(diào)配出目標(biāo)濃度的藥品。
[0003]傳統(tǒng)的批次式稀釋設(shè)備，通過加入適量的純水，再加入適量的藥品，使用泵循環(huán)均勻，測量濃度，濃度合格后再傳送到存儲(chǔ)槽備用。這種設(shè)備使用帶電子稱的稀釋槽，根據(jù)藥品和純水的重量比例，調(diào)配出合格的藥品。其存在的技術(shù)問題:一、每批次花費(fèi)時(shí)間長，生產(chǎn)效率不高。加水，加藥品，循環(huán)，測量，傳送都需要時(shí)間。通常2000升的稀釋槽生產(chǎn)一批需要4小時(shí)以上，一天的產(chǎn)量只有12000升。二、純水用量大。每批次中，平均流量雖然不大，但是因?yàn)榧蛹兯畷r(shí)間短，純水的瞬時(shí)流量很大。通常加水時(shí)間約15分鐘，接收1800升，瞬間120升/分，對純水站沖擊大。三、泵頻繁的啟動(dòng)停止，會(huì)使電機(jī)過熱，造成絕緣老化，同時(shí)啟動(dòng)電流過大，會(huì)影響供電線路。泵頻繁的啟動(dòng)停止還會(huì)降低配電柜開關(guān)的使用壽命。隨著工業(yè)的飛速發(fā)展，技術(shù)要求不斷地提高，傳統(tǒng)的批次式稀釋裝備已經(jīng)不能滿足日益增長的生產(chǎn)及精度需求。
[【實(shí)用新型內(nèi)容】]
[0004]本實(shí)用新型的目的就是要解決上述的不足，而提供一種在線式稀釋設(shè)備，通過PLC控制，將按一定流量流入的純水和藥品通過在線混合器中混合，不僅可以節(jié)約大量時(shí)間，提高藥液精度，還能增加設(shè)備的使用壽命。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的設(shè)計(jì)一種在線式稀釋設(shè)備，包括PLC控制器1、進(jìn)藥管2、進(jìn)水管3、可調(diào)流量閥、濃度計(jì)9、出液管10、截止閥及供液管道11，還包括在線混合器7，所述在線混合器7的進(jìn)液端口分別連接進(jìn)藥管2、進(jìn)水管3及回流管道6，所述進(jìn)藥管2、進(jìn)水管3及回流管道6上分別設(shè)有可調(diào)流量閥I 4、可調(diào)流量閥II 5及截止閥I 8，所述在線混合器7的出液端口連接出液管10，所述出液管10分別連接回流管道6、供液管道12，所述出液管10上裝有濃度計(jì)9，所述供液管道12上設(shè)有截止閥II 11，所述可調(diào)流量閥I 4、可調(diào)流量閥II 5、截止閥I 8、截止閥II 11及濃度計(jì)9分別連接PLC控制器I。
[0006]所述在線混合器7內(nèi)部設(shè)有旋轉(zhuǎn)通道。
[0007]所述旋轉(zhuǎn)通道設(shè)有攪拌葉輪。
[0008]本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0009]1、使用流量計(jì)準(zhǔn)確控制純水和藥品的流量，實(shí)現(xiàn)大流量的精確稀釋。
[0010]2、使用在線式混合器，確保稀釋的均勻。
[0011]3、使用在線式濃度計(jì)測量濃度，反饋控制純水和藥品的流量，確保稀釋結(jié)果的準(zhǔn)確性。
[0012]4、實(shí)現(xiàn)了大流量的精確稀釋，滿足了現(xiàn)場大用量的要求。
[【附圖說明】]
[0013]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖中:1為PLC控制器、2為進(jìn)藥管、3為進(jìn)水管、4為可調(diào)流量閥1、5為可調(diào)流量閥Π、6為回流管道、7為在線混合器、8為截止閥1、9為濃度計(jì)、10為出液管、11為截止閥IK12為供液管道。
[【具體實(shí)施方式】]
[0015]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作以下進(jìn)一步說明:
[0016]如附圖1所示，本實(shí)用新型包括:包括PLC控制器1、進(jìn)藥管2、進(jìn)水管3、可調(diào)流量閥、濃度計(jì)9、出液管10、截止閥及供液管道11，還包括在線混合器7，所述在線混合器7的進(jìn)液端口分別連接進(jìn)藥管2、進(jìn)水管3及回流管道6，所述進(jìn)藥管2、進(jìn)水管3及回流管道6上分別設(shè)有可調(diào)流量閥I 4、可調(diào)流量閥II 5及截止閥I 8，所述在線混合器7的出液端口連接出液管10，所述出液管10分別連接回流管道6、供液管道12，所述出液管10上裝有濃度計(jì)9，所述供液管道12上設(shè)有截止閥II 11，所述可調(diào)流量閥I 4、可調(diào)流量閥II 5、截止閥I 8、截止閥II 11及濃度計(jì)9分別連接PLC控制器I。所述在線混合器7內(nèi)部設(shè)有旋轉(zhuǎn)通道，所述旋轉(zhuǎn)通道設(shè)有攪拌葉輪。目的是讓藥液和水更加充分的混合。
[0017]本實(shí)用新型通過兩個(gè)可調(diào)流量閥同時(shí)控制純水和藥品分別按一定的流量不間斷流入在線式混合器，在在線混合器中純水和藥品混合均勻，再通過濃度計(jì)測量濃度，合格的藥品直接傳送到存儲(chǔ)槽備用。若不合格，則將藥液通過回流管道重新稀釋。同時(shí)采用PLC控制不僅能夠消除技術(shù)人員操作時(shí)的人為誤差，還具有操作參數(shù)管理功能，能夠保存、修改和重復(fù)使用各種操作參數(shù)，能夠建立、保存、使用各種自定義的操作方法，十分的簡潔方便。
[0018]本實(shí)用新型并不受上述實(shí)施方式的限制，其他的任何未背離本實(shí)用新型的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種在線式稀釋設(shè)備，包括PLC控制器(1)、進(jìn)藥管(2)、進(jìn)水管(3)、可調(diào)流量閥、濃度計(jì)(9)、出液管(10)、截止閥及供液管道(11)，其特征在于:還包括在線混合器(7)，所述在線混合器(7)的進(jìn)液端口分別連接進(jìn)藥管(2)、進(jìn)水管(3)及回流管道￠)，所述進(jìn)藥管(2)、進(jìn)水管(3)及回流管道(6)上分別設(shè)有可調(diào)流量閥I (4)、可調(diào)流量閥II (5)及截止閥I (8)，所述在線混合器(7)的出液端口連接出液管(10)，所述出液管(10)分別連接回流管道(6)、供液管道(12)，所述出液管(10)上裝有濃度計(jì)(9)，所述供液管道(12)上設(shè)有截止閥II (11)，所述可調(diào)流量閥I (4)、可調(diào)流量閥II (5)、截止閥I (8)、截止閥II (11)及濃度計(jì)(9)分別連接PLC控制器(I)。
2.如權(quán)利要求1所述的在線式稀釋設(shè)備，其特征在于:所述在線混合器(7)內(nèi)部設(shè)有旋轉(zhuǎn)通道。
3.如權(quán)利要求2所述的在線式稀釋設(shè)備，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)通道設(shè)有攪拌葉輪。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種在線式稀釋設(shè)備，包括PLC控制器、進(jìn)藥管、進(jìn)水管、可調(diào)流量閥、濃度計(jì)及在線混合器，所述在線混合器的進(jìn)液端口分別連接進(jìn)藥管、進(jìn)水管及回流管道，所述進(jìn)藥管、進(jìn)水管及回流管道上分別設(shè)有可調(diào)流量閥Ⅰ、可調(diào)流量閥Ⅱ及截止閥Ⅰ，所述在線混合器的出液端口連接出液管，所述出液管分別連接回流管道、供液管道，所述出液管上裝有濃度計(jì)，所述供液管道上設(shè)有截止閥Ⅱ，所述可調(diào)流量閥Ⅰ、可調(diào)流量閥Ⅱ、截止閥Ⅰ、截止閥Ⅱ及濃度計(jì)分別連接PLC控制器，本實(shí)用新型通過PLC控制,將按一定流量流入的純水和藥品通過在線混合器中混合,不僅可以節(jié)約大量時(shí)間,提高藥液精度,還能增加設(shè)備的使用壽命。
【IPC分類】B01F3-08, B01F15-04
【公開號】CN204352835
【申請?zhí)枴緾N201420853188
【發(fā)明人】張仕成, 簡建至, 吳玉明
【申請人】冠禮控制科技（上海）有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年12月23日