一種自動(dòng)化涂膠設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)化涂膠設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]微電子技術(shù)作為電子信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)之一，已經(jīng)成為現(xiàn)代電子信息技術(shù)，尤其是計(jì)算機(jī)和通訊技術(shù)發(fā)展的驅(qū)動(dòng)力。為了在新的科技革命中迎頭趕上西方發(fā)達(dá)國(guó)家，必須在微電子技術(shù)領(lǐng)域取得快速的發(fā)展。
[0003]涂覆光刻膠是微電子行業(yè)十分常用的工藝步驟。目前現(xiàn)有的涂膠設(shè)備要么結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)陋，自動(dòng)化程度低，工人勞動(dòng)強(qiáng)度大；要么結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高昂，不利于推廣。此外，涂膠和烘干都需要在無(wú)塵室中進(jìn)行，對(duì)工作場(chǎng)地的硬件要求較高，并且烘干時(shí)會(huì)有揮發(fā)物質(zhì)產(chǎn)生，可能對(duì)操作人員造成危害，需要即時(shí)的進(jìn)行排放。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn)，提供一種自動(dòng)化涂膠設(shè)備。
[0005]為了解決以上技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供的自動(dòng)化涂膠設(shè)備，組成包括凈化工作臺(tái)、以及置于該凈化工作臺(tái)內(nèi)的自動(dòng)涂膠機(jī)、熱板，所述凈化工作臺(tái)組成包括工作腔體、進(jìn)氣系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)，所述工作腔體的前端部具有供雙手伸入的操作通道，所述進(jìn)氣系統(tǒng)包括送風(fēng)風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣腔，所述排氣系統(tǒng)包括設(shè)置于操作通道下方的排氣腔、通過(guò)排氣管路與該排氣腔相連的排氣風(fēng)機(jī)；所述自動(dòng)涂膠機(jī)組成包括機(jī)架、固定在機(jī)架上的注膠機(jī)和勻膠機(jī)，所述注膠機(jī)包括:點(diǎn)膠針筒和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出頭與點(diǎn)膠針筒的推桿后端固定，所述點(diǎn)膠針筒的注膠口設(shè)置有第一單向閥；所述勻膠機(jī)包括用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，吸盤的中線軸位置設(shè)有與抽氣設(shè)備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設(shè)置有環(huán)形儲(chǔ)膠槽，所述自動(dòng)化涂膠設(shè)備還具有用于將硅片從自動(dòng)涂膠機(jī)的吸盤上運(yùn)轉(zhuǎn)至熱板上的機(jī)械手機(jī)構(gòu)或推桿機(jī)構(gòu)。
[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本自動(dòng)化涂膠設(shè)備還具有如下進(jìn)一步的改進(jìn):
[0007]1、所述進(jìn)氣腔內(nèi)依次設(shè)置有氣體過(guò)濾層和散流板。
[0008]2、所述工作腔體的后端部設(shè)置有集風(fēng)罩，所述集風(fēng)罩的出氣口與排氣風(fēng)機(jī)相連；散流板靠近工作腔體前端部的一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)流分壓板，導(dǎo)流分壓板呈斜向設(shè)置在散流板上方。
[0009]3、所述工作腔體的前端具有第一端板，端板的外部具有第二端板，所述第一端板和第二端板開(kāi)設(shè)操作孔，兩個(gè)操作孔之間為操作通道。
[0010]4、所述吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為3-5mm，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣缸，氣缸的活塞桿頭部與點(diǎn)膠針筒的推桿后端固定。
[0011]本實(shí)用新型將涂膠機(jī)和、烘干設(shè)備置于凈化工作臺(tái)內(nèi)部，杜絕了涂膠和烘干過(guò)程中揮發(fā)氣體對(duì)人體的危害；借助凈化工作臺(tái)，工作人員可以在普通環(huán)境中進(jìn)行操作，而不需要專門的無(wú)塵室，這大大降低了科研、教學(xué)的硬件門檻，尤其對(duì)于科研單位和教學(xué)單位具有重大意義。此外，本實(shí)用新型提供了可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)注膠、自動(dòng)勻膠、硅片自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)至熱板的一系列硬件保證，借助該硬件可以實(shí)現(xiàn)上述功能，使涂覆光刻膠的自動(dòng)化程度更高，涂覆和烘干質(zhì)量也更好。
【附圖說(shuō)明】
[0012]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。
[0013]圖1是本實(shí)用新型自動(dòng)化涂膠設(shè)備主視圖。
[0014]圖中標(biāo)號(hào)示意如下:
[0015]1-工作腔體，2-操作通道，3-送風(fēng)風(fēng)機(jī)，4-進(jìn)氣腔，5-氣體過(guò)濾層，6_散流板，7-導(dǎo)流分壓板，8-排氣腔，9-排氣風(fēng)機(jī)，12-集風(fēng)罩，13-第一端板，14-第二端板，21-點(diǎn)膠針筒，24注膠口，25-第一單向閥，27-氣缸，28-活塞桿，30-推桿，31-吸盤，32-硅片，33-吸氣管，34-真空泵，35-熱板。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0017]如圖1所示，本實(shí)施例自動(dòng)化涂膠設(shè)備，組成包括凈化工作臺(tái)、和置于該凈化工作臺(tái)內(nèi)的自動(dòng)涂膠機(jī)、熱板35。凈化工作臺(tái)組成包括工作腔體1、進(jìn)氣系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)。工作腔體I的前端部具有供雙手伸入的操作通道2，具體的，工作腔體I的前端具有第一端板13，端板的外部具有第二端板14，第一端板13和第二端板14開(kāi)設(shè)操作孔，兩個(gè)操作孔之間為操作通道2。進(jìn)氣系統(tǒng)包括送風(fēng)風(fēng)機(jī)3、進(jìn)氣腔4，進(jìn)氣腔4內(nèi)依次設(shè)置有氣體過(guò)濾層5和散流板6，散流板6靠近工作腔體2前端部的一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)流分壓板7，導(dǎo)流分壓板7呈斜向設(shè)置在散流板6上方。排氣系統(tǒng)包括設(shè)置于操作通道2下方的排氣腔8、設(shè)置于工作腔體2的后端部的集風(fēng)罩12、分別通過(guò)管路與該排氣腔8、集風(fēng)罩12相連的排氣風(fēng)機(jī)9。自動(dòng)涂膠機(jī)具有機(jī)架(圖中未畫出)，固定在機(jī)架上的注膠機(jī)和勻膠機(jī)。注膠機(jī)包括:點(diǎn)膠針筒21和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，點(diǎn)膠針筒21內(nèi)填充有膠水，點(diǎn)膠針筒21的注膠口 24設(shè)置有第一單向閥25。本例中，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣缸27，氣缸27的活塞桿28頭部與點(diǎn)膠針筒21的推桿30后端固定。勻膠機(jī)包括用于承載硅片34的吸盤31、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤31旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)(圖中未畫出)，吸盤31的中線軸位置設(shè)有與真空泵34相連的吸氣管33，吸盤31的吸氣管33頂端周圍設(shè)置有環(huán)形儲(chǔ)膠槽，吸盤的吸氣管33頂端至吸盤上表面的距離為3mm，吸盤31的橫截面呈W型，儲(chǔ)膠槽的深度為10mm。本例的自動(dòng)化涂膠設(shè)備還具有用于將32從自動(dòng)涂膠機(jī)的吸盤31上運(yùn)轉(zhuǎn)至熱板35上的機(jī)械手機(jī)構(gòu)(圖中未畫出)。當(dāng)然，機(jī)械手機(jī)構(gòu)也可以用推桿機(jī)構(gòu)來(lái)替代。
[0018]工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)下壓，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)注膠，自動(dòng)化程度較高。吸盤帶動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)，從點(diǎn)膠針筒滴下的膠水在離心力的作用下向外移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)勻膠，由于硅片的親水性，甩至硅片邊緣的膠水容易流到吸盤的背面，并且因重力作用向中間聚攏。環(huán)形儲(chǔ)膠槽能夠有效阻擋該部分膠水流入吸氣管，從而確保勻膠機(jī)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，提高勻膠效率。勻膠完成后，通過(guò)機(jī)械手機(jī)構(gòu)或者推桿機(jī)構(gòu)將硅片運(yùn)轉(zhuǎn)至熱板進(jìn)行烘烤，使光刻膠得到干燥。
[0019]可見(jiàn)本實(shí)施例自動(dòng)化涂膠設(shè)備自動(dòng)化程度高，并且所有的工作均在凈化工作臺(tái)內(nèi)部進(jìn)行，既能保證工作環(huán)境的潔凈，又能確保揮發(fā)性氣體不會(huì)泄露，并且對(duì)試驗(yàn)場(chǎng)地沒(méi)有嚴(yán)格的要求，降低了實(shí)驗(yàn)門檻。
[0020]除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其他實(shí)施方式，凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.自動(dòng)化涂膠設(shè)備，組成包括凈化工作臺(tái)、以及置于該凈化工作臺(tái)內(nèi)的自動(dòng)涂膠機(jī)、熱板，所述凈化工作臺(tái)組成包括工作腔體、進(jìn)氣系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)，所述工作腔體的前端部具有供雙手伸入的操作通道，所述進(jìn)氣系統(tǒng)包括送風(fēng)風(fēng)機(jī)、進(jìn)氣腔，所述排氣系統(tǒng)包括設(shè)置于操作通道下方的排氣腔、通過(guò)排氣管路與該排氣腔相連的排氣風(fēng)機(jī)；所述自動(dòng)涂膠機(jī)組成包括機(jī)架、固定在機(jī)架上的注膠機(jī)和勻膠機(jī)，所述注膠機(jī)包括:點(diǎn)膠針筒和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出頭與點(diǎn)膠針筒的推桿后端固定，所述點(diǎn)膠針筒的注膠口設(shè)置有第一單向閥；所述勻膠機(jī)包括用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，吸盤的中線軸位置設(shè)有與抽氣設(shè)備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設(shè)置有環(huán)形儲(chǔ)膠槽，所述自動(dòng)化涂膠設(shè)備還具有用于將硅片從自動(dòng)涂膠機(jī)的吸盤上運(yùn)轉(zhuǎn)至熱板上的機(jī)械手機(jī)構(gòu)或推桿機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化涂膠設(shè)備，其特征在于:所述進(jìn)氣腔內(nèi)依次設(shè)置有氣體過(guò)濾層和散流板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化涂膠設(shè)備，其特征在于:所述工作腔體的后端部設(shè)置有集風(fēng)罩，所述集風(fēng)罩的出氣口與排氣風(fēng)機(jī)相連；散流板靠近工作腔體前端部的一側(cè)設(shè)置有導(dǎo)流分壓板，導(dǎo)流分壓板呈斜向設(shè)置在散流板上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化涂膠設(shè)備，其特征在于:所述工作腔體的前端具有第一端板，端板的外部具有第二端板，所述第一端板和第二端板開(kāi)設(shè)操作孔，兩個(gè)操作孔之間為操作通道。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)化涂膠設(shè)備，其特征在于:所述吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為3-5mm，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣缸，氣缸的活塞桿頭部與點(diǎn)膠針筒的推桿后端固定。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)化涂膠設(shè)備，組成包括凈化工作臺(tái)、置于凈化工作臺(tái)內(nèi)的自動(dòng)涂膠機(jī)和熱板，凈化工作臺(tái)組成包括工作腔體、進(jìn)氣系統(tǒng)、排氣系統(tǒng)；自動(dòng)涂膠機(jī)組成包括注膠機(jī)和勻膠機(jī)，注膠機(jī)包括：點(diǎn)膠針筒和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，點(diǎn)膠針筒的注膠口設(shè)置有第一單向閥；勻膠機(jī)包括用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動(dòng)該吸盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，吸盤的中線軸位置設(shè)有與抽氣設(shè)備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設(shè)置有環(huán)形儲(chǔ)膠槽，自動(dòng)化涂膠設(shè)備還具有用于將硅片從自動(dòng)涂膠機(jī)的吸盤上運(yùn)轉(zhuǎn)至熱板上的機(jī)械手機(jī)構(gòu)或推桿機(jī)構(gòu)。本涂膠設(shè)備的自動(dòng)化程度高，借助凈化工作臺(tái)，工作人員可以在普通環(huán)境中進(jìn)行操作，大大降低了硬件門檻。
【IPC分類】B05C13-02, B05C15-00, B05C11-08, B05C5-02, B05C9-14
【公開(kāi)號(hào)】CN204583618
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520112482
【發(fā)明人】馬志新, 嚴(yán)帥, 丁建波, 祝雁冰, 施蘇俊
【申請(qǐng)人】南通航運(yùn)職業(yè)技術(shù)學(xué)院
【公開(kāi)日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年2月15日