一種剝離液過濾系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及環(huán)境保護(hù)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種剝離液過濾系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著國內(nèi)半導(dǎo)體、液晶面板及光電產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展，帶動(dòng)了相關(guān)所用化學(xué)品的發(fā)展。剝離液是在半導(dǎo)體及液晶面板等領(lǐng)域常用的化學(xué)品，其排氣微粒分布的區(qū)域廣泛，在微粒大于等于10微米及3-10微米之間的微粒濃度均非常高。由于剝離液排氣直接排放會(huì)對(duì)大氣造成污染，因此需將其進(jìn)行過濾處理后再排放。
[0003]目前，常見的剝離液排氣處理系統(tǒng)多包括剝離液冷凝器、濕式洗滌塔、廢水處理廠等。由制程機(jī)臺(tái)排出的剝離液排氣經(jīng)剝離液冷凝器的凈化處理，廢氣中的高沸點(diǎn)揮發(fā)性有機(jī)溶劑等被冷凝，將冷凝后的液體回收經(jīng)純化作用回制程端循環(huán)使用。濕式洗滌塔通過填料等對(duì)溶劑的吸附作用，能夠?qū)冸x液排氣中的部分微粒吸附達(dá)到凈化的目的。剝離液排氣經(jīng)剝離液冷凝器與濕式洗滌塔的作用后，凈化后的氣體由濕式洗滌塔的煙囪排出，而溶劑則進(jìn)入廢水處理廠進(jìn)行處理，如通過生物處理設(shè)備(厭氧一好氧一厭氧一好氧)等進(jìn)行凈化。
[0004]然而，由于剝離液冷凝器只能對(duì)粒徑大于或等于10微米的微粒進(jìn)行處理，因此對(duì)于粒徑小于10微米的微粒，剝離液冷凝器無法有效收集，也就是冷凝器內(nèi)除霧器的效能是不足以有效捕集顆粒粒徑10微米以下的污染粒子。而在后續(xù)的濕式洗滌塔的處理中，雖然其對(duì)于顆粒粒徑大于5微米的污染粒子有很好的處理效果，而對(duì)于粒徑小于5微米的污染粒子吸附凈化作用較弱。因此，對(duì)于顆粒粒徑較小的次微米微粒，剝離液冷凝器與濕式洗滌塔均不能夠?qū)ζ溥M(jìn)行有效處理，造成微粒直接由濕式洗滌塔的煙囪排出。由于微粒的透光率很差，在光線的折射作用下形成白煙，對(duì)大氣造成污染。
[0005]綜上所述，如何有效地解決剝離液過濾系統(tǒng)對(duì)剝離液排氣的回收效率低、煙囪出口有白煙等問題，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種剝離液過濾系統(tǒng)，該剝離液過濾系統(tǒng)可以有效地解決剝離液排氣的回收效率低、煙囪出口有白煙的問題。
[0007]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:
[0008]一種剝離液過濾系統(tǒng)，包括剝離液冷凝器和濕式洗滌塔，還包括設(shè)置于所述剝離液冷凝器和所述濕式洗滌塔之間的深度過濾器；
[0009]所述深度過濾器包括殼體，所述殼體開設(shè)有與所述剝離液冷凝器連通的進(jìn)風(fēng)口和與所述濕式洗滌塔連通的出風(fēng)口，所述殼體內(nèi)設(shè)置有能夠過濾顆粒粒徑小于3微米微粒的濾芯，且所述殼體的底部設(shè)置有用于排出回收液體的出液口。
[0010]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于支撐所述濾芯的支撐網(wǎng)。
[0011]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述支撐網(wǎng)為聚丙烯支撐網(wǎng)或聚氯乙烯支撐網(wǎng)。
[0012]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述支撐網(wǎng)的上端設(shè)置有端板，下端設(shè)置有法.~~.0
[0013]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述濾芯為聚丙烯濾芯或聚四氟乙烯濾芯。
[0014]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于測(cè)量回收液體液位的液位計(jì)。
[0015]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于輸送所述回收液體的氣動(dòng)隔膜泵和用于在所述液位計(jì)測(cè)量得到所述回收液體達(dá)到第一預(yù)設(shè)液位時(shí)控制所述氣動(dòng)隔膜泵開啟、并在所述液位計(jì)測(cè)量得到所述回收液體低于第二預(yù)設(shè)液位時(shí)控制所述氣動(dòng)隔膜泵關(guān)閉的控制器。
[0016]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于清洗過濾器的清洗管，所述清洗管設(shè)置有噴嘴且伸入所述深度過濾器內(nèi)部。
[0017]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器還包括用于測(cè)量其差壓的差壓表。
[0018]優(yōu)選地，上述剝離液過濾系統(tǒng)中，所述深度過濾器包括并列設(shè)置的多個(gè)濾芯，且每個(gè)所述濾芯均與所述進(jìn)風(fēng)口和所述出風(fēng)口直接連通。
[0019]本實(shí)用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)包括剝離液冷凝器、濕式洗滌塔和深度過濾器。其中，深度過濾器包括殼體和設(shè)置于殼體內(nèi)的濾芯，殼體開設(shè)有進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口，殼體的底部設(shè)置有用于排出回收液體的出液口，濾芯為能夠過濾顆粒粒徑小于3微米的濾芯。
[0020]應(yīng)用本實(shí)用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)時(shí)，由制程機(jī)臺(tái)排出的剝離液排氣經(jīng)剝離液冷凝器的凈化處理，廢氣中顆粒粒徑較大的高沸點(diǎn)揮發(fā)性有機(jī)溶劑等被冷凝，將冷凝后的回收液體經(jīng)純化作用回制程端循環(huán)使用。由冷凝器排出的初步處理后的氣體則由進(jìn)風(fēng)口進(jìn)入深度過濾器，由于深度過濾器具有用于過濾粒徑小于3微米顆粒的濾芯，因此對(duì)于顆粒粒徑小于3微米的污染粒子，在濾芯的作用下被過濾收集。經(jīng)過濾后的氣體由排氣口進(jìn)入濕式洗滌塔，通過濕式洗滌塔內(nèi)填料等對(duì)溶劑的吸附作用進(jìn)行進(jìn)一步的凈化處理。因此，通過深度過濾器的設(shè)置，可以有效收集冷凝器難以處理的顆粒粒徑小于3微米的污染粒子，因此，提高了剝離液過濾系統(tǒng)對(duì)剝離液排氣的回收效率，進(jìn)而避免了顆粒粒徑較小的次微米微粒直接由煙囪排出，導(dǎo)致煙囪出口產(chǎn)生白煙的問題。
[0021]在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)，其深度過濾器包括用于輸送回收液體的氣動(dòng)隔膜泵和用于在液位計(jì)測(cè)量得到回收液體達(dá)到第一預(yù)設(shè)液位時(shí)控制氣動(dòng)隔膜泵開啟、并在液位計(jì)測(cè)量得到回收液體低于第二預(yù)設(shè)液位時(shí)控制氣動(dòng)隔膜泵關(guān)閉的控制器。因此，在深度過濾器工作過程中，無需人為監(jiān)測(cè)過濾器內(nèi)回收液體的液位，通過第一預(yù)設(shè)液位和第二預(yù)設(shè)液位的設(shè)置，自控控制氣動(dòng)隔膜泵的開啟和關(guān)閉，以達(dá)到自動(dòng)控制回收液體的排放，設(shè)備自動(dòng)化程度提高。
[0022]在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本實(shí)用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)，其深度過濾器包括多個(gè)濾芯，且每個(gè)濾芯均與進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口直接連通。也就是由進(jìn)風(fēng)口進(jìn)入深度過濾器的氣體，分流至多個(gè)濾芯，經(jīng)各個(gè)濾芯的過濾作用后由出風(fēng)口排出。因此，可以有效提高過濾效率。
【附圖說明】
[0023]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0024]圖1為本實(shí)用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)的深度過濾器一種【具體實(shí)施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2為圖1的左視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖3為圖1的右視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖4為圖1的上視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖5為圖4的A-A截面示意圖。
[0029]附圖中標(biāo)記如下:
[0030]濾芯I，進(jìn)風(fēng)口 2，出風(fēng)口 3，視窗4，連通管5，氣動(dòng)隔膜泵6，清洗管7，差壓表8，濾芯固定架9 ;附圖中虛心箭頭所指方向?yàn)闅怏w流向。
【具體實(shí)施方式】
[0031]本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種剝離液過濾系統(tǒng)，以提高剝離液排氣的回收效率，避免煙囪出口產(chǎn)生白煙。
[0032]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0033]請(qǐng)參閱圖1-圖5，圖1為本實(shí)用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)的深度過濾器一種【具體實(shí)施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的左視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1的右視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖1的上視結(jié)構(gòu)不意圖；圖5為圖4的A-A截面不意圖。
[0034]在一種【具體實(shí)施方式】中，本實(shí)用新型提供的剝離液過濾系統(tǒng)包括剝離液冷凝器、濕式洗滌塔和深度過濾器。
[0035]其中，剝離液冷凝器用于收集剝離液排氣中的揮發(fā)性溶劑(VOCs)。由制程機(jī)臺(tái)排出的剝離液排氣經(jīng)剝離液冷凝器的凈化處理，廢氣中的高沸點(diǎn)揮發(fā)性有機(jī)溶劑等被冷凝，將冷凝后的液體回收經(jīng)純化作用回制程端循環(huán)使用。濕式洗滌塔通過填料等對(duì)溶劑的吸附作用，能夠?qū)冸x液排氣中的部分微粒吸附達(dá)到凈化的目的。具體的剝離液冷凝器和濕式洗滌塔的結(jié)構(gòu)等可參考現(xiàn)有技術(shù)，此處不再贅述。
[0036]剝離液冷凝器等設(shè)備多采用慣性收集機(jī)制對(duì)污染粒子進(jìn)行收集。對(duì)于顆粒粒徑大于5微米的微粒，利用慣性沖擊的微粒收集機(jī)制，能夠提供較高的收集效率；對(duì)于顆粒粒徑大于3微米的污染粒子，通過適度提高壓力降，也能夠有效提高收集效率。而對(duì)于顆粒粒徑小于3微米的污染粒子由于其以類似氣體流動(dòng)的方式，慣性沖擊機(jī)制難以將其收集，因此為提高對(duì)剝離液的收集效率，進(jìn)一步設(shè)置深度過濾器。
[0037]深度過濾器設(shè)置于剝離液冷凝器與濕式洗滌