室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型是有關(guān)一種室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置，尤指一種降低運轉(zhuǎn)耗能的室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置設(shè)計。
【背景技術(shù)】
[0002]TFT-1XD及半導(dǎo)體的顯影、清洗、蝕刻及蒸鍍等制程，經(jīng)常會使用到大量的有機化合物進行涂布或清洗，這些有機化合物(如:IPA/PGMEA/PGME等)大多會經(jīng)排氣裝置送到后端處理排放，且大致上會在合于法規(guī)規(guī)定的下排放，但仍有部分有機化合物會逸散在無塵室作業(yè)環(huán)境內(nèi)，其濃度約為數(shù)十至數(shù)百PPb左右，操作人員若長時間處在此低濃度有機廢氣的環(huán)境下，亦可能引發(fā)不適，特別是含有低閾值臭味有機化合物(如醋酸)；再者，無塵室的空調(diào)設(shè)計及過濾器的排列主要分為兩部分，一部份為外氣補充氣，另一部份為循環(huán)氣體；在外氣部分主要是控制氣體的濕度、粒狀污染物及氣狀污染物，循環(huán)氣體部分則著重于制程逸散化學(xué)品的去除。
[0003]次者，如圖1所示，現(xiàn)有的無塵室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置，包括有:一旋轉(zhuǎn)式吸脫附器10，可為圖示的轉(zhuǎn)輪式或圖未示的轉(zhuǎn)環(huán)式，而區(qū)分有一吸附區(qū)11、一脫附區(qū)12及一隔離冷卻區(qū)13，并相對該吸附區(qū)11設(shè)置有吸附進氣通道111與吸附排氣通道112，且相對該脫附區(qū)12設(shè)置有脫附進氣通道121與脫附排氣通道122，而相對該隔離冷卻區(qū)13設(shè)置有隔離冷卻進氣通道131與隔離冷卻排氣通道132，該吸附進氣通道111的頭端、該吸附排氣通道112的尾端與該隔離冷卻進氣通道131的頭端連結(jié)至無塵室內(nèi)50，該隔離冷卻排氣通道132的尾端連結(jié)至該脫附進氣通道121的頭端，該脫附排氣通道122的尾端連結(jié)至外部的終處理設(shè)備(圖未示)；一吸附壓差產(chǎn)生器20，設(shè)置于該吸附進氣通道111或該吸附排氣通道112 ;—脫附熱源30，設(shè)置于該脫附進氣通道121 ;以及一脫附壓差產(chǎn)生器40，設(shè)置于該脫附進氣通道121或該脫附排氣通道122。
[0004]借此，該吸附壓差產(chǎn)生器20令室內(nèi)氣體通過該吸附進氣通道111與該吸附區(qū)11，而由該吸附區(qū)11將所含的有機廢氣(如IPA與PGMEA)予以吸附凈化，凈化后的氣體乃通過該吸附排氣通道112回到室內(nèi)；該隔離冷卻進氣通道131與該隔離冷卻排氣通道132令室內(nèi)氣體通過該隔離冷卻區(qū)13而將熱回收(兼具隔離及冷卻效果)，熱回收后的隔離氣流成為脫附氣流的氣源；該脫附壓差產(chǎn)生器40令通過該脫附進氣通道121且經(jīng)該脫附熱源30加熱后(約加熱至180?200°C )的脫附氣流通過該脫附區(qū)12，進而將所吸附的有機化合物予以脫附出來，再通過該脫附排氣通道122導(dǎo)引至外部的終處理設(shè)備100予以凈化。
[0005]再者，欲處理TFT-1XD黃光區(qū)無塵室內(nèi)的有機廢氣，一般每一黃光區(qū)無塵室約需處理740000SCMH的循環(huán)風(fēng)量，方能降低無塵室內(nèi)有機廢氣的濃度累積，而每400SCMH的無塵室外氣經(jīng)外氣空調(diào)箱調(diào)節(jié)到恒溫恒濕(25°C /50% RH)，夏天所需冷凍能力約需1.5冷凍能力(USRT)的耗能，造成無塵室外氣調(diào)節(jié)的耗能將會很可觀；此外，該旋轉(zhuǎn)式吸脫附器10若為沸石轉(zhuǎn)輪，假設(shè)吸附氣流比上脫附氣流的濃縮倍率為15倍(處理效率> 90% )，脫附溫度180-200°C，所需耗費的脫附熱亦會很大；然而，前述現(xiàn)有的無塵室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置，無塵室內(nèi)50至少必須從外氣補充經(jīng)該隔離冷卻進氣通道131的隔離冷卻氣流流出風(fēng)量，致使無塵室內(nèi)50所需的外氣調(diào)節(jié)耗能甚高，而高溫的脫附氣流直接導(dǎo)引至外部的終處理設(shè)備，無形中亦損失大量的脫附熱。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型所要解決的主要技術(shù)問題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，而提供一種室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置，其具有大幅降低運轉(zhuǎn)耗能及減少排氣的功效。
[0007]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0008]—種室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置，包括:一旋轉(zhuǎn)式吸脫附器，區(qū)分有一吸附區(qū)、一脫附區(qū)及一隔離冷卻區(qū)，并相對該吸附區(qū)設(shè)置有吸附進氣通道與吸附排氣通道，且相對該脫附區(qū)設(shè)置有脫附進氣通道與脫附排氣通道，而相對該隔離冷卻區(qū)設(shè)置有隔離冷卻進氣通道與隔離冷卻排氣通道，該吸附進氣通道的頭端、該吸附排氣通道的尾端與該隔離冷卻進氣通道的頭端連結(jié)至室內(nèi)，該隔離冷卻排氣通道的尾端連結(jié)至該脫附進氣通道的頭端，該脫附排氣通道的尾端連結(jié)至外部；一吸附壓差產(chǎn)生器，設(shè)置于該吸附進氣通道或該吸附排氣通道；一脫附熱源，設(shè)置于該脫附進氣通道；一脫附壓差產(chǎn)生器，設(shè)置于該脫附進氣通道或該脫附排氣通道；一氧化觸媒單元，設(shè)置于該脫附進氣通道；以及一脫附排氣回流通道，頭端叉接于該脫附排氣通道而尾端連結(jié)至該脫附進氣通道的頭端。
[0009]此外，進一步設(shè)置一脫附排氣氣流控制閥、一脫附排氣回流氣流控制閥與一隔離進氣氣流控制閥，該脫附排氣氣流控制閥設(shè)置于該脫附排氣通道而位于該脫附排氣通道與該脫附排氣回流通道叉接處的下游段，該脫附排氣回流氣流控制閥設(shè)置于該脫附排氣回流通道，該隔離進氣氣流控制閥設(shè)置于該隔離冷卻進氣通道。又，進一步設(shè)置一臭氧供給單元于該脫附進氣通道而位于該氧化觸媒單元的上游處。該脫附排氣通道的尾端連結(jié)至外部的終處理設(shè)備再凈化處理后排放，而該終處理設(shè)備為連續(xù)吸脫附沸石轉(zhuǎn)輪濃縮器、活性碳流體化浮動床、焚化爐、洗滌塔、冷凝器的任一或組合。該旋轉(zhuǎn)式吸脫附器進一步設(shè)置一再隔離區(qū)，而相對該再隔離區(qū)設(shè)置有再隔離進氣通道與再隔離排氣通道，該再隔離進氣通道的頭端叉接于該吸附排氣通道，該再隔離排氣通道的尾端叉接于該隔離冷卻進氣通道。再者，該旋轉(zhuǎn)式吸脫附器為轉(zhuǎn)輪式或轉(zhuǎn)環(huán)式。另，該氧化觸媒單元以氧化鋁承載錳或/及鐵，而錳/鐵比為1/3。
[0010]本實用新型的有益效果是，其具有大幅降低運轉(zhuǎn)耗能及減少排氣的功效。
【附圖說明】
[0011]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。
[0012]圖1是現(xiàn)有室內(nèi)低濃度有機廢氣凈化裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2是本實用新型第一實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖3是本實用新型第二實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖中標(biāo)號說明:
[0016]10旋轉(zhuǎn)式吸脫附器
[0017]11吸附區(qū)
[0018]111吸附進氣通道
[0019]112吸附排氣通道
[0020]12脫附區(qū)
[0021]121脫附進氣通道
[0022]122脫附排氣通道
[0023]13隔離冷卻區(qū)
[0024]131隔離冷卻進氣通道
[0025]132隔離冷卻排氣通道
[0026]11再隔離區(qū)
[0027]141再隔離進氣通道
[0028]142再隔離排氣通道
[0029]20吸附壓差產(chǎn)生器
[0030]30脫附熱源
[0031]40脫附壓差產(chǎn)生器
[0032]50無塵室內(nèi)
[0033]60氧化觸媒單元
[0034]70脫附排氣回流通道
[0035]81脫附排氣氣流控制閥
[0036]82脫附排氣回流氣流控制閥
[0037]83隔離進氣氣流控制閥
[0038]90臭氧供給單元
[0039]100終處理設(shè)備
【具體實施方式】
[0040]首先，請參閱圖2所示，本實用新型的第一實施例包括:一旋轉(zhuǎn)式吸脫附器10，可為圖示的轉(zhuǎn)輪式或圖未示的轉(zhuǎn)環(huán)式，而區(qū)分有一吸附區(qū)11、一脫附區(qū)12及一隔離冷卻區(qū)13，并相對該吸附區(qū)11設(shè)置有吸附進氣通道111與吸附排氣通道112，且相對該脫附區(qū)12設(shè)置有脫附進氣通道121與脫附排氣通道122，而相對