一種用于石英坩堝的噴涂設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及石英坩禍設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]石英坩禍為制作硅棒時硅料的容器，在硅棒拉制過程中石英坩禍易崩裂影響硅棒的制作，當娃棒殘渣碰撞娃棒時會影響娃棒的同心度使得娃棒產(chǎn)生大量同心圓，嚴重影響硅片性能，一般為增強石英坩禍抗裂性都會在石英坩禍壁上涂覆一層氫氧化鋇，但在現(xiàn)有工序中一般都是人工涂覆，如此一來就對操作人員的操作水平要求較高，使得其涂覆必須均勻，且氫氧化鋇易于二氧化碳反應(yīng)，易對操作人員的身體造成傷害。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]針對上述所提及現(xiàn)有的石英坩禍在涂覆保護層的過程中工作量大且易對操作人員身體造成損傷的問題而提供了一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備。
[0004]針對上述問題提供了如下技術(shù)方案:
[0005]—種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其包括機臺，該機臺具有用于容納石英坩禍的噴涂倉，在噴涂倉的底壁上設(shè)有坩禍旋座，在機臺外壁上設(shè)有高壓噴涂裝置，所述的高壓噴涂裝置包括自吸噴槍、與高壓氣體相通的高壓氣管、與涂層液源相通的涂層液管，高壓氣管的出氣端與自吸噴槍的進氣口接通，涂層液管的出液端與自吸噴槍的進液口接通。
[0006]進一步的，還包括驅(qū)動電機，驅(qū)動電機架設(shè)在噴涂倉下方，在坩禍旋座的底面上連接一旋軸，旋軸穿過噴涂倉的底壁與驅(qū)動電機相連。
[0007]進一步的，所述的高壓噴涂裝置還包括容液瓶、與氮氣源相連的惰氣管，在容液瓶內(nèi)設(shè)有氫氧化鈉溶液，所述的惰氣管插入到容液瓶內(nèi)，惰氣管的出氣端位于氫氧化鈉溶液液面上方，所述涂層液管插入到容液瓶內(nèi)，涂層液管的進液端位于氫氧化鋇溶液內(nèi)。
[0008]進一步的，所述的坩禍旋座由旋盤、在旋盤頂面上環(huán)形均等設(shè)置的夾塊組成。
[0009]進一步的，所述的夾塊為楔形塊，楔形塊的指向向外呈擴散狀。
[0010]進一步的，所述的機臺的噴涂倉的口面上鉸接有艙門，艙門上開有矩形開口。
[0011]有益效果
[0012]使用轉(zhuǎn)臺帶動坩禍旋轉(zhuǎn)，保證了噴涂均勻度，提高了工作效率，間接降低了對操作工人的身體的損傷。
[0013]旋臺配合自吸噴頭，簡化了操作步驟，降低操作工人的勞動強度。
[0014]整體設(shè)備機構(gòu)連接合理，一體化程度較高，便于使用。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型正視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本實用新型高壓噴涂裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖中的附圖標記為:機臺一 1、驅(qū)動電機一 2、坩禍旋座一 3、高壓氣管一 4、惰氣管一5、涂層液管一6、自吸噴槍一7 ;
【具體實施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖對本實用新型做進一步詳細說明:
[0019]提供了一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其包括，機臺1，該機臺I具有用于容納石英坩禍的噴涂倉，所述的機臺I的噴涂倉的口面上鉸接有艙門，艙門上開有矩形開口，在噴涂倉的底壁上設(shè)有坩禍旋座3，所述的坩禍旋座3由旋盤、在旋盤頂面上環(huán)形均等設(shè)置的四個夾塊組成，所述的夾塊為楔形塊，各個楔形塊的斜面相對且斜面由上向下逐漸靠近旋盤頂面中央，在噴涂倉下方架設(shè)有驅(qū)動電機2，在坩禍旋座3的底面中央處連接一旋軸，旋軸穿過噴涂倉的底壁與驅(qū)動電機2的主軸相連，在機臺I外壁上設(shè)有高壓噴涂裝置，所述的高壓噴涂裝置包括自吸噴槍7、與高壓二氧化碳氣源相通的高壓氣管4、與氫氧化鋇溶液相通的涂層液管6、容液瓶、與氮氣源相連的惰氣管5、在容液瓶內(nèi)設(shè)有氫氧化鋇溶液，所述的惰氣管5插入到容液瓶內(nèi)，惰氣管5的出氣端位于氫氧化鈉溶液液面上方，所述涂層液管6插入到容液瓶內(nèi)，涂層液管6的進液端浸入氫氧化鋇溶液內(nèi)，涂層液管6的出液端與自吸噴槍7的進液口接通，高壓氣管4的出氣端與自吸噴槍7的進氣口接通。
[0020]根據(jù)圖1、2對本實用新型的使用機理進行說明。
[0021]在使用中首先將石英坩禍安置在坩禍旋座3并卡合在四個之間，啟動驅(qū)動電機2，驅(qū)動電機2帶動坩禍旋座3和石英坩禍開始旋轉(zhuǎn)，操作人員將自吸噴槍7探入噴涂倉內(nèi)，啟動自吸噴槍7高壓二氧化碳氣體帶動氫氧化鋇溶液進入噴槍，將氫氧化鋇溶液噴涂在石英坩禍外壁上完成操作。
【主權(quán)項】
1.一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其特征在于:包括機臺(1)，該機臺(I)具有用于容納石英坩禍的噴涂倉，在噴涂倉的底壁上設(shè)有坩禍旋座(3)，在機臺(I)外壁上設(shè)有高壓噴涂裝置，所述的高壓噴涂裝置包括自吸噴槍(7)、與高壓氣體相通的高壓氣管(4)、與涂層液源相通的涂層液管￠)，高壓氣管(4)的出氣端與自吸噴槍(7)的進氣口接通，涂層液管(6)的出液端與自吸噴槍(7)的進液口接通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其特征在于:還包括驅(qū)動電機(2)，驅(qū)動電機⑵架設(shè)在噴涂倉下方，在坩禍旋座(3)的底面上連接一旋軸，旋軸穿過噴涂倉的底壁與驅(qū)動電機(2)相連。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其特征在于:所述的高壓噴涂裝置還包括容液瓶、與氮氣源相連的惰氣管(5)，在容液瓶內(nèi)設(shè)有氫氧化鋇溶液，所述的惰氣管(5)插入到容液瓶內(nèi)，惰氣管(5)的出氣端位于氫氧化鋇溶液液面上方，所述涂層液管(6)插入到容液瓶內(nèi)，涂層液管￠)的進液端位于氫氧化鋇溶液內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其特征在于:所述的坩禍旋座(3)由旋盤、在旋盤頂面上環(huán)形均等設(shè)置的夾塊組成。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其特征在于:所述的夾塊為楔形塊，楔形塊的指向向外呈擴散狀。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其特征在于:所述的機臺(I)的噴涂倉的口面上鉸接有艙門，艙門上開有矩形開口。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于石英坩禍的噴涂設(shè)備，其特征在于:所述的高壓氣管(4)內(nèi)通入二氧化碳氣體。
【專利摘要】一種用于石英坩堝的噴涂設(shè)備，包括機臺，該機臺具有用于容納石英坩堝的噴涂倉，在噴涂倉的底壁上設(shè)有坩堝旋座，在機臺外壁上設(shè)有高壓噴涂裝置，所述的高壓噴涂裝置包括自吸噴槍、與高壓氣體相通的高壓氣管、與涂層液源相通的涂層液管，高壓氣管的出氣端與自吸噴槍的進氣口接通，涂層液管的出液端與自吸噴槍的進液口接通，在噴涂倉下方架設(shè)有驅(qū)動電機，在坩堝旋座的底面上連接一旋軸，旋軸穿過噴涂倉的底壁與驅(qū)動電機相連。使用轉(zhuǎn)臺帶動坩堝旋轉(zhuǎn)，保證了噴涂均勻度，提高了工作效率，間接降低了對操作工人的身體的損傷，旋臺配合自吸噴頭，簡化了操作步驟，降低操作工人的勞動強度，整體設(shè)備機構(gòu)連接合理，一體化程度較高，便于使用。
【IPC分類】B05B15/12, B05B7/02, B05B13/02
【公開號】CN204933799
【申請?zhí)枴緾N201520632183
【發(fā)明人】范玉華, 范玉東, 李衛(wèi)濤, 陳召強, 趙瑞敏
【申請人】寧晉昌隆電子材料制造有限公司
【公開日】2016年1月6日
【申請日】2015年8月21日