超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型本實(shí)用新型屬于超聲霧化熱解噴涂領(lǐng)域，具體地說，尤其涉及一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]超聲霧化熱解噴涂(簡稱USP)是一種常見的薄膜材料制備工藝，在科研和生產(chǎn)中有廣泛的用途，這種方法擅長氧化物、硫化物、氯化物等化合物薄膜的制備。合理的工藝參數(shù)下，USP薄膜的質(zhì)量可以與濺射法、CVD方法制備的薄膜材料相當(dāng)，但成本卻大幅度降低。
[0003]現(xiàn)有的熱解噴涂反應(yīng)室內(nèi)設(shè)有一個可以轉(zhuǎn)動的樣品載臺，該樣品載臺用于固定樣品基體，并在樣品載臺的下方設(shè)有霧化器。工作時，霧化器自下而上噴出霧化后的霧滴，并射向樣品載臺附近的高溫區(qū)域及樣品基體，且通過熱分解和薄膜沉淀在樣品基體上形成薄膜。
[0004]在使用過程中，我們發(fā)現(xiàn)高溫反應(yīng)尾氣會聚集在樣品載臺附近，進(jìn)而形成一個高溫反應(yīng)尾氣層，該高溫反應(yīng)尾氣層會阻礙霧化器噴出的霧滴射向樣品基體，并減小霧滴入射樣品基體表面的動量，這樣就不便于薄膜的形成；同時，由于存在高溫反應(yīng)尾氣層，那么高溫反應(yīng)尾氣層可能會污染霧滴，從而導(dǎo)致薄膜的成分發(fā)生變化，這樣就無法得到想要成分的薄膜。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)，欲消除樣品載臺附近的高溫反應(yīng)尾氣層。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)，在反應(yīng)室(1)上部水平設(shè)有一個樣品載臺(2)，該樣品載臺可在驅(qū)動組件的帶動下轉(zhuǎn)動，且樣品載臺⑵上方的反應(yīng)室⑴內(nèi)設(shè)有熱反射罩(3)，其特征在于:所述樣品載臺(2)外面罩有一個抽尾氣罩(4)，該抽尾氣罩上部豎直連接有一根尾氣抽氣管(5)，所述樣品載臺(2)處的高溫尾氣及時通過該尾氣抽氣管排到反應(yīng)室(1)外，從而避免在樣品載臺(2)處形成高溫反應(yīng)尾氣層。
[0007]在上述技術(shù)方案中，本實(shí)用新型通過抽尾氣罩(4)罩住樣品載臺(2)附近的高溫反應(yīng)尾氣，防止高溫反應(yīng)尾氣充滿反應(yīng)室(1)的內(nèi)腔，又由于高溫反應(yīng)尾氣的密度比較小，這樣就能自動通過尾氣抽氣管排到反應(yīng)室(1)外，從而避免在樣品載臺(2)附近形成高溫反應(yīng)尾氣層，這樣不僅可以霧滴入射樣品基體表面時的動量，利于薄膜的形成，而且能夠有效防止高溫反應(yīng)尾氣污染霧滴，保證得到想到成分的薄膜。
[0008]作為優(yōu)選，所述抽尾氣罩⑷包括內(nèi)罩體(4a)和環(huán)形連接板(4c)，其中內(nèi)罩體(4a)外同軸設(shè)有一個外罩體(4b)，這兩個罩體的上端通過所述環(huán)形連接板(4c)連接，并將兩個這兩個罩體上端的敞口封閉，并在環(huán)形連接板(4c)上設(shè)有一根所述尾氣抽氣管(5)，且環(huán)形連接板通過螺栓與一個安裝支架(6)與所述熱反射罩(3)底面固定連接；
[0009]所述內(nèi)罩體(4a)和外罩體(4b)的下端均通過向內(nèi)傾斜形成一個圓錐面，這兩個罩體下端的圓錐面之間形成一個環(huán)形區(qū)域，并通過該環(huán)形區(qū)域罩住高溫反應(yīng)尾氣。
[0010]采用以上結(jié)構(gòu)，本抽尾氣罩(4)能更加有效地罩住高溫反應(yīng)尾氣，以便抽除高溫反應(yīng)尾氣，進(jìn)而避免在樣品載臺(2)附近形成高溫反應(yīng)尾氣層。
[0011]在本案中，所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動電機(jī)(7)和傳動桿(9)，其中驅(qū)動電機(jī)(7)通過支架安裝在所述反應(yīng)室(1)頂部，該驅(qū)動電機(jī)的輸出軸下端通過聯(lián)軸器(8)與一根所述傳動桿(9)的上端同軸連接，該傳動桿下端與所述樣品載臺(2)的頂面同軸固定。
[0012]采用以上結(jié)構(gòu)，本驅(qū)動組件能可靠地驅(qū)動樣品載臺(2)，且本驅(qū)動組件的結(jié)構(gòu)簡單，易于實(shí)施。
[0013]有益效果:本實(shí)用新型通過抽尾氣罩罩住樣品載臺附近的高溫反應(yīng)尾氣，防止高溫反應(yīng)尾氣充滿反應(yīng)室的內(nèi)腔，又由于高溫反應(yīng)尾氣的密度比較小，這樣就能自動通過尾氣抽氣管排到反應(yīng)室外，從而避免在樣品載臺附近形成高溫反應(yīng)尾氣層，這樣不僅可以霧滴入射樣品基體表面時的動量，利于薄膜的形成，而且能夠有效防止高溫反應(yīng)尾氣污染霧滴，保證得到想到成分的薄膜。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0016]如圖1所示，一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)，主要由反應(yīng)室1、樣品載臺2、熱反射罩3、抽尾氣罩4、尾氣抽氣管5和驅(qū)動組件構(gòu)成。其中，在反應(yīng)室1上部水平設(shè)有一個樣品載臺2，該樣品載臺2可在驅(qū)動組件的帶動下轉(zhuǎn)動，且樣品載臺2上方的反應(yīng)室1內(nèi)設(shè)有熱反射罩3。在本案中，驅(qū)動組件由驅(qū)動電機(jī)7、聯(lián)軸器8和傳動桿9構(gòu)成，其中驅(qū)動電機(jī)7通過支架安裝在反應(yīng)室1的頂部，該驅(qū)動電機(jī)7的輸出軸下端通過聯(lián)軸器8與一根傳動桿9的上端同軸連接，該傳動桿9的下端與樣品載臺2的頂面同軸固定。
[0017]在樣品載臺2的外面罩有一個抽尾氣罩4，該抽尾氣罩4的上部豎直連接有一根尾氣抽氣管5，樣品載臺2處的高溫尾氣及時通過該尾氣抽氣管排到反應(yīng)室1外，從而避免在樣品載臺2處形成高溫反應(yīng)尾氣層。在本案中，抽尾氣罩4由于內(nèi)罩體4a、外罩體4b、和環(huán)形連接板4c構(gòu)成。其中，內(nèi)罩體4a外同軸設(shè)有一個外罩體4b，這兩個罩體的上端通過環(huán)形連接板4c連接，并將兩個這兩個罩體上端的敞口封閉。在環(huán)形連接板4c上設(shè)有一根尾氣抽氣管5，該尾氣抽氣管5的上端伸到反應(yīng)室1外面。環(huán)形連接板4c通過螺栓與一個安裝支架6與熱反射罩3的底面固定連接。內(nèi)罩體4a和外罩體4b的下端均通過向內(nèi)傾斜形成一個圓錐面，這兩個罩體下端的圓錐面之間形成一個環(huán)形區(qū)域，并通過該環(huán)形區(qū)域罩住高溫反應(yīng)尾氣。
[0018]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不以本實(shí)用新型為限制，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)，在反應(yīng)室(1)上部水平設(shè)有一個樣品載臺(2)，該樣品載臺可在驅(qū)動組件的帶動下轉(zhuǎn)動，且樣品載臺(2)上方的反應(yīng)室(1)內(nèi)設(shè)有熱反射罩(3)，其特征在于:所述樣品載臺(2)外面罩有一個抽尾氣罩(4)，該抽尾氣罩上部豎直連接有一根尾氣抽氣管(5)，所述樣品載臺(2)處的高溫尾氣及時通過該尾氣抽氣管排到反應(yīng)室(1)外，從而避免在樣品載臺(2)處形成高溫反應(yīng)尾氣層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述抽尾氣罩⑷包括內(nèi)罩體(4a)和環(huán)形連接板(4c)，其中內(nèi)罩體(4a)外同軸設(shè)有一個外罩體(4b)，這兩個罩體的上端通過所述環(huán)形連接板(4c)連接，并將兩個這兩個罩體上端的敞口封閉，并在環(huán)形連接板(4c)上設(shè)有一根所述尾氣抽氣管(5)，且環(huán)形連接板通過螺栓與一個安裝支架(6)與所述熱反射罩(3)底面固定連接； 所述內(nèi)罩體(4a)和外罩體(4b)的下端均通過向內(nèi)傾斜形成一個圓錐面，這兩個罩體下端的圓錐面之間形成一個環(huán)形區(qū)域，并通過該環(huán)形區(qū)域罩住高溫反應(yīng)尾氣。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動電機(jī)(7)和傳動桿(9)，其中驅(qū)動電機(jī)(7)通過支架安裝在所述反應(yīng)室(1)頂部，該驅(qū)動電機(jī)的輸出軸下端通過聯(lián)軸器(8)與一根所述傳動桿(9)的上端同軸連接，該傳動桿下端與所述樣品載臺(2)的頂面同軸固定。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種超聲霧化熱解噴涂反應(yīng)室的抽尾氣機(jī)構(gòu)，反應(yīng)室上部設(shè)有樣品載臺，樣品載臺可在驅(qū)動組件的帶動下轉(zhuǎn)動，且樣品載臺上方的反應(yīng)室內(nèi)設(shè)有熱反射罩，樣品載臺外面罩有一個抽尾氣罩，抽尾氣罩上部豎直連接有尾氣抽氣管，樣品載臺處的高溫尾氣及時通過尾氣抽氣管排到反應(yīng)室外，從而避免在樣品載臺處形成高溫反應(yīng)尾氣層。本實(shí)用新型通過抽尾氣罩罩住樣品載臺附近的高溫反應(yīng)尾氣，防止高溫反應(yīng)尾氣充滿反應(yīng)室的內(nèi)腔，又由于高溫反應(yīng)尾氣的密度比較小，這樣就能自動通過尾氣抽氣管排到反應(yīng)室外，從而避免在樣品載臺附近形成高溫反應(yīng)尾氣層，這樣不僅可以霧滴入射樣品基體表面時的動量，利于薄膜的形成，而且能夠有效防止高溫反應(yīng)尾氣污染霧滴。
【IPC分類】B05B15/12
【公開號】CN205008162
【申請?zhí)枴緾N201520614384
【發(fā)明人】龔恒翔, 劉星
【申請人】重慶理工大學(xué)
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年8月14日