一種硅片加工用勻膠機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片加工用勻膠機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片加工中，需要將光刻膠涂布在硅片上，以滿足硅片曝光的需要，該光刻膠為從廠家購買的成品負(fù)性光刻膠加二甲苯稀釋劑進(jìn)行調(diào)稀而成。現(xiàn)有技術(shù)中，稀釋劑添加至光刻膠內(nèi)、并攪拌均勻的操作由人工進(jìn)行，但該操作方式具有工人勞動(dòng)量大、混合時(shí)間長(zhǎng)、混合均勻程度差的缺點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，提供一種硅片加工用勻膠機(jī)，由該機(jī)將添加至光刻膠瓶?jī)?nèi)的稀釋劑混合勻勻，采用的技術(shù)方案是:一種硅片加工用勻膠機(jī)，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)有勻膠部分，其特征在于:所述勻膠部分包括勻膠輥，所述勻膠輥包括主動(dòng)勻膠輥和從動(dòng)勻膠輥，所述勻膠機(jī)還包括動(dòng)力部分，所述動(dòng)力部分包括電機(jī)及在所述電機(jī)帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)的傳動(dòng)部件，所述主動(dòng)勻膠輥與所述傳動(dòng)部件連接。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還有:所述傳動(dòng)部件包括安裝在轉(zhuǎn)軸上的主動(dòng)帶輪、安裝在所述主動(dòng)勻膠輥上的從動(dòng)帶輪，所述主動(dòng)帶輪與所述從動(dòng)帶輪之間由傳動(dòng)帶連接。
[0005]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還有:所述電機(jī)固定在所述機(jī)架上，所述電機(jī)與減速器連接，所述減速器的輸出軸即為所述轉(zhuǎn)軸。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)特征還有:所述從動(dòng)勻膠輥為兩根，分別位于所述主動(dòng)勻膠輥的兩側(cè)，所述主動(dòng)勻膠輥和從動(dòng)勻膠輥的軸線相互平行。
[0007]本實(shí)用新型的有益效果在于:本勻膠機(jī)設(shè)有主動(dòng)勻膠輥和從動(dòng)勻膠輥，主動(dòng)勻膠輥通過摩擦力帶動(dòng)膠瓶轉(zhuǎn)動(dòng)，多次旋轉(zhuǎn)后稀釋劑與光刻膠混合均勻;本勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用便利、成本低廉，大大減少了人工勞動(dòng)量，適用于添加劑與膠液之間的均勻混合之用途。
【附圖說明】
[0008]附圖1是本實(shí)用新型主視圖，附圖2為附圖1的俯視圖，I是機(jī)架，2是主動(dòng)勻膠輥，3是從動(dòng)勻膠輥，4是電機(jī)，5是減速器，6是主動(dòng)帶輪，7是從動(dòng)帶輪，8是傳動(dòng)帶，9是轉(zhuǎn)軸。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行說明。本實(shí)用新型公開了一種硅片加工用勻膠機(jī)，該勻膠機(jī)包括機(jī)架1、勻膠部分和動(dòng)力部分，勻膠部分設(shè)置在機(jī)架I上，勻膠部分包括勻膠輥，勻膠輥包括主動(dòng)勻膠輥2和從動(dòng)勻膠輥3，主動(dòng)勻膠輥2在傳動(dòng)部件帶動(dòng)下勻速旋轉(zhuǎn)，從動(dòng)勻膠棍3不與傳動(dòng)部件連接，不做主動(dòng)運(yùn)動(dòng)。傳動(dòng)部件包括安裝在轉(zhuǎn)軸9上的主動(dòng)帶輪6、安裝在主動(dòng)勻膠輥2上的從動(dòng)帶輪7，主動(dòng)帶輪6與從動(dòng)帶輪7之間由傳動(dòng)帶8連接。
[0010]動(dòng)力部分包括電機(jī)4及在電機(jī)4帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)的傳動(dòng)部件，主動(dòng)勻膠輥2與傳動(dòng)部件連接。電機(jī)4固定在機(jī)架I上，電機(jī)4與減速器5連接，減速器5的輸出軸即為轉(zhuǎn)軸9。
[0011]本實(shí)施例中從動(dòng)勻膠輥3為兩根，分別位于主動(dòng)勻膠輥2的兩側(cè)，主動(dòng)勻膠輥2和從動(dòng)勻膠輥3的軸線相互平行。
[0012]使用時(shí)，將二甲苯稀釋劑添加至盛放光刻膠的膠瓶?jī)?nèi)，然后將膠瓶置于主動(dòng)勻膠輥2與從動(dòng)勻膠輥3之間；打開本勻膠機(jī)的控制按鈕，主動(dòng)勻膠輥轉(zhuǎn)動(dòng)，借助主動(dòng)勻膠輥與膠瓶之間的摩擦力，膠瓶轉(zhuǎn)動(dòng)，完成稀釋劑與光刻膠之間均勻混合;混合好后，取下膠瓶即可。
[0013]當(dāng)然，上述說明并非對(duì)本實(shí)用新型的限制，本實(shí)用新型也不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片加工用勻膠機(jī)，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)有勻膠部分，其特征在于:所述勻膠部分包括勻膠輥，所述勻膠輥包括主動(dòng)勻膠輥和從動(dòng)勻膠輥，所述勻膠機(jī)還包括動(dòng)力部分，所述動(dòng)力部分包括電機(jī)及在所述電機(jī)帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)的傳動(dòng)部件，所述主動(dòng)勻膠輥與所述傳動(dòng)部件連接。2.按照權(quán)利要求1所述的勻膠機(jī)，其特征在于:所述傳動(dòng)部件包括安裝在轉(zhuǎn)軸上的主動(dòng)帶輪、安裝在所述主動(dòng)勻膠輥上的從動(dòng)帶輪，所述主動(dòng)帶輪與所述從動(dòng)帶輪之間由傳動(dòng)帶連接。3.按照權(quán)利要求2所述的勻膠機(jī)，其特征在于:所述電機(jī)固定在所述機(jī)架上，所述電機(jī)與減速器連接，所述減速器的輸出軸即為所述轉(zhuǎn)軸。4.按照權(quán)利要求2所述的勻膠機(jī)，其特征在于:所述從動(dòng)勻膠輥為兩根，分別位于所述主動(dòng)勻膠輥的兩側(cè)，所述主動(dòng)勻膠輥和從動(dòng)勻膠輥的軸線相互平行。
【專利摘要】一種硅片加工用勻膠機(jī)，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有勻膠部分，勻膠部分包括勻膠輥，勻膠輥包括主動(dòng)勻膠輥和從動(dòng)勻膠輥，勻膠機(jī)還包括動(dòng)力部分，動(dòng)力部分包括電機(jī)及在電機(jī)帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)的傳動(dòng)部件，主動(dòng)勻膠輥與所述傳動(dòng)部件連接。本勻膠機(jī)具有主動(dòng)勻膠輥和從動(dòng)勻膠輥，通過與膠瓶之間的摩擦力，打動(dòng)膠瓶勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，以完成稀釋劑與光刻膠之間的均勻混合；本勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用便利、成本低廉，大大減少了人工勞動(dòng)量，適用于添加劑與膠液之間的勻？勻混合之用途。
【IPC分類】B05C11/10
【公開號(hào)】CN205199854
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520933669
【發(fā)明人】張運(yùn), 孫者利
【申請(qǐng)人】濟(jì)南卓微電子有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2015年11月23日