專利名稱：光電子放出板及使用該板的負(fù)粒子發(fā)生裝置、帶電清除裝置等設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在空氣中增加負(fù)粒子的裝置，更具體地說(shuō)，涉及利用光電效果產(chǎn)生光電子的光電子放出板及使用這種板的負(fù)粒子發(fā)生裝置等設(shè)備。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的負(fù)粒子發(fā)生裝置中，有的通過(guò)用紫外線照射光電子放出材料來(lái)產(chǎn)生光電子，通過(guò)風(fēng)扇和集塵濾網(wǎng)等將清除掉微粒子后得到的高清潔度的空氣送入裝置中，用光電子捕獲未能被集塵濾網(wǎng)等清除掉的微粒子，使之成為負(fù)粒子，然后從裝置中送出，放入空氣中(具體可參照比方說(shuō)日本專利公開第特公平8-10616號(hào)公報(bào))。
另外，在現(xiàn)有的負(fù)粒子發(fā)生裝置中，也有如圖17中所示的裝置(具體可參照比方說(shuō)日本專利第3322267號(hào)公報(bào))。
在圖17中，容器56的內(nèi)部設(shè)置有光電子發(fā)生材料51。光電子發(fā)生材料51上安裝有電氣接地線55，光源52發(fā)出的紫外線使光電子發(fā)生材料51中產(chǎn)生光電子。從空氣入口53進(jìn)入的空氣中的水及氧氣等分子或塵埃等微粒子在流向控制部件57的控制下通過(guò)光電子發(fā)生材料51的表面，將光電子捕獲，并作為負(fù)粒子從空氣出口54被排放到裝置外。
另外，現(xiàn)有的產(chǎn)生負(fù)粒子的方法中也有采用放電的形式(具體可參照比方說(shuō)日本專利公開第特開昭63-78471號(hào)公報(bào))。這一文獻(xiàn)中示出了用氣體放電來(lái)產(chǎn)生負(fù)粒子的方法。
但是，在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，雖然向光電子放出材料一照射紫外線就有負(fù)粒子產(chǎn)生，但存在著隨著時(shí)間的推移產(chǎn)生的負(fù)粒子將逐漸減少的問(wèn)題。
另外，由于設(shè)置流向控制部件后空氣的流量將減少，因此不能充分地捕捉在光電子發(fā)生材料的表面上生成的光電子，因而存在負(fù)粒子的發(fā)生量不足的問(wèn)題。
另外，由于有臭氧發(fā)生，因此還存在對(duì)人體不安全性及部件易因臭氧而劣化的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述問(wèn)題，其目的在于提供一種負(fù)粒子的發(fā)生量不會(huì)隨著時(shí)間的經(jīng)過(guò)而減少的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
另外，其目的還在于提供一種不會(huì)有臭氧發(fā)生的帶電清除裝置及使用這種裝置的設(shè)備。
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的所述問(wèn)題，本發(fā)明的負(fù)粒子發(fā)生裝置中使用位于基板上的有阻擋性、通過(guò)在光照射時(shí)能放出光電子的放出膜的光電子放出板來(lái)產(chǎn)生負(fù)粒子。
本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，負(fù)粒子數(shù)量減少的原因在于，光電子放出材料以外的化合物在光照射下沿光電子放出材料的小孔會(huì)發(fā)生擴(kuò)散，將光電子放出材料的表面覆蓋住。對(duì)此，通過(guò)設(shè)置阻擋性高的放出膜，使負(fù)粒子的發(fā)生量不隨時(shí)間的流逝而減少。
采用本發(fā)明后，負(fù)離子數(shù)量不會(huì)隨著負(fù)粒子的產(chǎn)生時(shí)間而大幅減少，因此可以實(shí)現(xiàn)一種能夠長(zhǎng)期保持其性能穩(wěn)定、耐久性優(yōu)異的光電子放出板及使用這種板的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
在技術(shù)方案1中所述的發(fā)明中，基板上設(shè)有具有阻擋性且在光照射下能放出光電子的放出膜。這樣，可以防止基底材料在受到光照射時(shí)沿放出光電子的放出膜進(jìn)行擴(kuò)散，阻止其將此膜表面覆蓋起來(lái)，使負(fù)離子數(shù)量不會(huì)隨負(fù)粒子的發(fā)生時(shí)間發(fā)生大幅減少，從而能夠?qū)崿F(xiàn)能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異的光電子放出板。
技術(shù)方案2中所述的發(fā)明的特征具體為，技術(shù)方案1中所述的基板具有導(dǎo)電性。這樣一來(lái)，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以通過(guò)使導(dǎo)電性基板電氣接地而得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案3中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案2中所述的基板為不銹鋼。這樣一來(lái)，通過(guò)不銹鋼上的細(xì)密的表面酸化覆膜可以阻止不銹鋼的金屬成分因光照射而產(chǎn)生表面擴(kuò)散，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案4中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案1至3的任一項(xiàng)中所述的基板上的放出膜的下方設(shè)有導(dǎo)電膜。這樣一來(lái)，基板即使是比方說(shuō)絕緣材料，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以通過(guò)將導(dǎo)電膜電氣接地而得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案5中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案4中所述的導(dǎo)電膜是金屬。這樣，由于上述導(dǎo)電膜的導(dǎo)電率很高，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以馬上得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案6中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案1至5的任一項(xiàng)中所述的放出膜的膜厚要比其下表面的最大表面不平整度要厚。這樣，光電子放出板的全部表面都能放出光電子，且由能夠防止基底材料擴(kuò)散的阻擋膜所覆蓋，因此，可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案7中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案1至6的任一項(xiàng)中所述的放出膜通過(guò)蒸鍍來(lái)制造。這樣，由于阻擋性能得到了提高，可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案8中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案1至7的任一項(xiàng)中所述的放出膜具有導(dǎo)電性。這樣，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以通過(guò)膜直接電氣接地而得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案9中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案1至8的任一項(xiàng)中所述的放出膜為陶瓷。這樣一來(lái)，由于阻擋性得到了提高，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案10中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案9中所述的放出膜為氮化鈦、碳化鈦、氮化鋯、碳化鋯、和炭素中的任一種。這樣，由于光電效果中的功函數(shù)量比其他材料要小，可以實(shí)現(xiàn)能放出更多負(fù)粒子、或者通過(guò)可見光放出負(fù)粒子的光電子放出板。采用炭素時(shí)，石墨的場(chǎng)合下光電效果較大，金剛石碳的場(chǎng)合光電效果雖不如石墨，但由于膜很細(xì)密，耐久性很優(yōu)異，故也可以采用。
技術(shù)方案11中所述的發(fā)明為一種設(shè)有技術(shù)方案1中所述的光電子放出板、和用于向所述光電子放出板進(jìn)行光照射的光源的負(fù)粒子發(fā)生裝置。這樣，負(fù)離子的數(shù)量不會(huì)隨負(fù)粒子的發(fā)生時(shí)間而大幅減少，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
技術(shù)方案12中所述的發(fā)明為一種包括技術(shù)方案2中所述的光電子放出板和用于向所述光電子放出板進(jìn)行光照射的光源、且所述光電子放出板的基板進(jìn)行電氣接地的負(fù)粒子發(fā)生裝置。這樣，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以通過(guò)導(dǎo)電性基板電氣接地而得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
技術(shù)方案13中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置包括技術(shù)方案4中所述的光電子放出板和用于向所述光電子放出板進(jìn)行光照射的光源，所述光電子放出板的導(dǎo)電膜進(jìn)行電氣接地。這樣，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以及時(shí)得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
技術(shù)方案14中所述的發(fā)明的具體特征為，提供在技術(shù)方案11至13的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板的表面流過(guò)氧氣而產(chǎn)生出負(fù)粒子。這樣一來(lái)，可以通過(guò)供給較多的氧氣負(fù)粒子。
采用上述的技術(shù)方案可以供給氧氣負(fù)粒子。在將其用在(比方說(shuō))空氣清凈機(jī)的場(chǎng)合下，可以對(duì)空間產(chǎn)生使人放松的效果；另外在也用在冰箱中的場(chǎng)合下，可以達(dá)到防止食品酸化、保濕的效果；此外在用在半導(dǎo)體制造設(shè)備中時(shí)，可以達(dá)到清除靜電并長(zhǎng)期保持的狀態(tài)。
另外，就具有阻擋性且在光照射下能放出光電子的膜而言，除了上述的材料之外，使用它們的復(fù)合化合物也是可以的。
另外，基板除了上面列出的材料外，也可以使用具有導(dǎo)電性的鋁等金屬或合金。另外，不具備導(dǎo)電性的玻璃、塑料等也可以采用，通過(guò)在與具有阻擋性且在光照射下放出光電子的膜之間設(shè)置導(dǎo)電膜，并使之進(jìn)行電氣接地，可以產(chǎn)生大量的負(fù)粒子。
另外，上述導(dǎo)電膜除了金屬膜之外，還可以采用如ITO、酸化錫等導(dǎo)電性陶瓷以及它們的復(fù)合化合物。
技術(shù)方案15中所述的發(fā)明中，基板上設(shè)有具有阻擋性的阻擋膜，所述阻擋膜上設(shè)有通過(guò)光照射能放出光電子的放出膜。這樣，通過(guò)阻擋膜可以防止基底材料因光照射沿放出光電子的膜發(fā)生擴(kuò)散而將此膜的表面覆蓋住，從而實(shí)現(xiàn)負(fù)離子數(shù)量不會(huì)隨負(fù)粒子的發(fā)生時(shí)間而大幅減少、且能長(zhǎng)期維持優(yōu)異的耐久性的光電子放出板。
技術(shù)方案16中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案15中所述的阻擋膜為Si、Ti、Zr、Al等各自的酸化物、Si、Al各自的氮化物或它們的復(fù)合物。這樣，阻擋膜的阻擋性可以顯著得到提高，從而可以實(shí)現(xiàn)能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異的光電子放出板。
技術(shù)方案17中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案15中所述的阻擋膜具有導(dǎo)電性。這樣，在設(shè)有具有阻擋性和導(dǎo)電性的膜和在其上方進(jìn)行光照射時(shí)能放出光電子的膜的光電子放出板中，基板即使是比方說(shuō)絕緣材料，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以通過(guò)將導(dǎo)電膜電氣接地而得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案18中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案17中所述的阻擋膜為Ti、Zr各自的氮化物、炭化物、ITO、酸化錫或它們的復(fù)合物。這樣一來(lái)，阻擋膜的阻擋性可以顯著得到提高，從而可以得到能夠在更長(zhǎng)的期間內(nèi)保持優(yōu)異的耐久性、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案19中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案17中所述的基板具有導(dǎo)電性。這樣，在導(dǎo)電性基板上設(shè)有具有阻擋性和導(dǎo)電性的膜和在其上方進(jìn)行光照射時(shí)能放出光電子的膜的光電子放出板中，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以通過(guò)將導(dǎo)電性基板電氣接地而得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案20中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案17中所述的基板是不銹鋼。這樣，通過(guò)不銹鋼的細(xì)密的表面酸化覆膜可以阻止金屬成分因光照射而發(fā)生的表面擴(kuò)散，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案21中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案15至20中的任一項(xiàng)中所述的放出膜具有導(dǎo)電性。這樣，由于產(chǎn)生負(fù)粒子而造成的光電子放出板的電子不足現(xiàn)象可以通過(guò)將該膜直接進(jìn)行電氣接地而得到補(bǔ)充，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案22中所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案15至21的任一項(xiàng)中所述的放出膜的膜厚比阻擋膜表面的最大表面不平整度要厚。這樣，光電子放出板的全部表面都能放出光電子，且由能夠防止基底材料擴(kuò)散的阻擋膜進(jìn)行覆蓋，從而可以得到能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異、且能夠放出較多的負(fù)粒子的光電子放出板。
技術(shù)方案23中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置包括技術(shù)方案15、17或19中所述的光電子放出板、和用于對(duì)所述光電子放出板的放出膜進(jìn)行光照射的光源。這樣，可以得到負(fù)離子數(shù)量不會(huì)大幅減少、能夠能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
技術(shù)方案24中所述的發(fā)明的具體特征為，以在技術(shù)方案23中所述的光電子放出板的表面流過(guò)氧氣的方式產(chǎn)生出負(fù)粒子。這樣，就可以通過(guò)供給較多的氧氣負(fù)粒子。
另外，在比方說(shuō)空氣清凈機(jī)中使用氧氣負(fù)粒子時(shí)，可以使空間產(chǎn)生使人放松的效果；使用在冰箱中時(shí)，可以防止食品的酸化，起到保濕效果；另外，在半導(dǎo)體制造設(shè)備中可以實(shí)現(xiàn)除電且可以長(zhǎng)期維持的效果。
另外，阻擋膜除了上面列出的材料外，還可以采用陶瓷膜及它們的復(fù)合化合物。
另外，基板除了上面列出的材料外，還可以采用具有導(dǎo)電性的鋁等金屬或合金。另外，還可以采用沒(méi)有導(dǎo)電性的玻璃、塑料等材料，通過(guò)設(shè)置具有阻擋性和導(dǎo)電性的膜，并使之進(jìn)行電氣接地，就可以產(chǎn)生出很多的負(fù)粒子。
另外，上述的具有阻擋性和導(dǎo)電性的膜除了上面列出的材料，還可以采用其他導(dǎo)電性陶瓷或它們的復(fù)合化合物。
另外，作為在光照射下能放出光電子的膜，可以采用金屬或?qū)щ娦蕴沾伞?br> 技術(shù)方案25中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置包括電氣接地的網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料；和用于向所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上照射光的光源的容器，在向所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上照射光的同時(shí)，還使空氣流過(guò)所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料，從而產(chǎn)生出負(fù)粒子，其特征在于在所述容器內(nèi)流動(dòng)的空氣吹到所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上，所述容器內(nèi)設(shè)有所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料。
這樣一來(lái)，通過(guò)將光電子發(fā)生材料設(shè)置成網(wǎng)狀，即使不專門設(shè)置流向控制部件，且將網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料設(shè)置在擋住容器內(nèi)的空氣流動(dòng)通路的位置上，由于空氣會(huì)穿過(guò)光電子發(fā)生材料的網(wǎng)眼流向后方，空氣的流動(dòng)實(shí)質(zhì)上不會(huì)被擋住，空氣的流量能夠被確保。另外，由于空氣的流量不因設(shè)置流向控制部件等而減少，從負(fù)粒子發(fā)生裝置發(fā)生的負(fù)粒子的數(shù)量也不會(huì)減少，從而可以實(shí)現(xiàn)一種以很高的效率產(chǎn)生出負(fù)粒子的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
技術(shù)方案26中所述了發(fā)明的具體特征為，向技術(shù)方案25中所述的網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料照射的光為紫外線。
這樣，由于從光源發(fā)生的光為紫外線，能量很高，易于通過(guò)光電效應(yīng)產(chǎn)生出較多的光電子，從而可以向裝置外放出較多的負(fù)粒子。
技術(shù)方案27中所述了發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案25或26中所述的網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料設(shè)置在網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底上。
在光電子發(fā)生材料比方說(shuō)使用金等貴金屬的場(chǎng)合下，通過(guò)將其設(shè)置在網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底上，即使光電子發(fā)生材料層很薄，也可以形成具有一定的機(jī)械強(qiáng)度的部件。
技術(shù)方案28中所述了發(fā)明為，在技術(shù)方案25至27的任一項(xiàng)中所述的發(fā)明中再加設(shè)在通風(fēng)裝置，所述通風(fēng)裝置使空氣流向所述的網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料。
光電子發(fā)生材料被光照射時(shí)放出光電子，通過(guò)將光電子發(fā)生材料進(jìn)行電氣接地，光電子跑出后留下的痕跡(正電子穴)將馬上被電氣中和，因此光電子難于返回到正電子穴中。但是，即便光電子發(fā)生材料被電氣中和，光電子和光電子發(fā)生材料之間會(huì)有電氣鏡像力發(fā)生作用，這樣的力雖然很微弱，但是具有使光電子返回光電子發(fā)生材料的趨勢(shì)。因此，需要設(shè)置將產(chǎn)生出來(lái)的光電子及時(shí)從光電子發(fā)生材料拉離的裝置，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)通風(fēng)是特別有效的手段。也就是說(shuō)，通過(guò)使光電子發(fā)生材料進(jìn)行通風(fēng)，使產(chǎn)生出的光電子一邊與氣體分子發(fā)生沖突，一邊被從光電子發(fā)生材料拉開，這樣，光電子返回光電子發(fā)生材料的傾向就變?nèi)?，結(jié)果，可以從裝置以很高的效率產(chǎn)生出負(fù)粒子。
技術(shù)方案29中所述的帶電清除裝置包括波長(zhǎng)范圍在200nm以上的光源；被光照射時(shí)放出光電子的光電子放出板；和使至少含有氧氣的氣體流過(guò)所述光電子放出板的表面附近的通風(fēng)裝置，通過(guò)使流過(guò)被所述光源進(jìn)行光照射的光電子放出材料表面附近的氣體吹到部件上，清除掉所述部件所帶的正電。這樣，可以在不發(fā)生臭氧的情況下簡(jiǎn)單生成氧氣負(fù)粒子，將其吹到部件上時(shí)可以清除掉部件所帶的正電。
技術(shù)方案30中所述的帶電清除裝置的特征在于，光電子放出板的表面在受到光照射能放出光電子，且為阻擋膜。另外，技術(shù)方案31中所述的帶電清除裝置的特征在于，光電子放出板的表面為在受到光照射時(shí)能放出光電子的膜，在其正下方設(shè)有阻擋膜。這樣，可以防止基底材料在受到光照射時(shí)沿放出光電子的膜發(fā)生擴(kuò)散而將此膜表面覆蓋起來(lái)，負(fù)離子的數(shù)量不會(huì)隨著負(fù)粒子的發(fā)生時(shí)間而大幅減少，從而可以實(shí)現(xiàn)可以能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異的帶電清除裝置。
技術(shù)方案32中所述的帶電清除裝置的特征在于，光電子放出材料的表面被電氣接地。光電子放出材料因放出電子而帶上的正電能夠及時(shí)被清除，從而可以產(chǎn)生出更多的負(fù)粒子，使部件所帶的正電及時(shí)清除，或者使灰塵及時(shí)清除掉。
技術(shù)方案33中所述的電動(dòng)吸塵器包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)從吸頭將上述帶電清除裝置的氣體吹向地面，除去附著在地面上的灰塵以及地面所帶的正電，進(jìn)而吸掉/除去附著在地面上的灰塵。由于只帶上負(fù)電，故地刷等不必摩擦地面，而且由于不產(chǎn)生臭氧對(duì)底面也不會(huì)有損害，掃除到附著在地面上的灰塵時(shí)對(duì)使用者也不會(huì)造成不舒服感。
技術(shù)方案34所述的電動(dòng)吸塵器的特征在于包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)將所述帶電清除裝置的氣體吹向集塵單元，除去所收集起來(lái)的了灰塵及集塵單元壁上所帶的正電，從而使附著在集塵單元內(nèi)部的灰塵易于取出。由于帶的只是負(fù)電，故不用與被收集的灰塵發(fā)生接觸就可以將其簡(jiǎn)單地取除，而且由于不產(chǎn)生臭氧，對(duì)墻壁面材料如塑料等等不會(huì)造成損害。另外，對(duì)使用者也不會(huì)產(chǎn)生不舒服感。
技術(shù)方案35所述的鼓風(fēng)裝置的特征在于，包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)使所述帶電清除裝置進(jìn)行高壓吹氣，除去附著在部件上的灰塵及部件上所帶的正電，并且吹掉附著在部件上的灰塵。由于帶的只是負(fù)電，因此無(wú)需強(qiáng)力的鼓風(fēng)力就可以簡(jiǎn)單地取除部件上的灰塵。另外，由于不產(chǎn)生臭氧，對(duì)部件不會(huì)造成損害。而且，對(duì)使用者也不會(huì)造成損害。
技術(shù)方案36所述的發(fā)明的具體特征為，技術(shù)方案35所述的部件為半導(dǎo)體、液晶或光盤部件。然后，這些部件比較害怕亞微米級(jí)灰塵的侵蝕，因此使用本發(fā)明中所示的方法是最適宜的。
技術(shù)方案37所述的空氣浴裝置的特征在于，包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)使所述帶電清除裝置進(jìn)行高壓吹氣，除去附著在人體上的灰塵及部件上所帶的正電，并且吹掉附著在人體上的灰塵。由于帶的只是負(fù)電，因此無(wú)需強(qiáng)力的鼓風(fēng)力就可以簡(jiǎn)單地取除附著在人體上的灰塵。另外，由于不產(chǎn)生臭氧，對(duì)于人體不會(huì)造成損害，也不會(huì)帶來(lái)不舒服感。
另外，其中的具有阻擋性、并且在光照射下能夠放出光電子的膜可以采用導(dǎo)電膜及陶瓷膜，具體說(shuō)來(lái)，可以采用氮化鈦、碳化鈦、氮化鋯、碳化鋯及它們的復(fù)合化合物。
另外，基板可以采用不銹鋼、鋁等導(dǎo)電性金屬或合金。采用這樣的構(gòu)成時(shí)，不管使其表面，其基板也可以進(jìn)行電氣接地。另外，還可以使用沒(méi)有導(dǎo)電性的玻璃、塑料等，通過(guò)在與具有阻擋性并且能在光照射下放出光電子的膜之間設(shè)置上導(dǎo)電膜，也可以實(shí)現(xiàn)電氣接地。導(dǎo)電膜除了金屬膜之外，還可以使用如ITO、酸化錫那樣的導(dǎo)電性陶瓷或者它們的復(fù)合化合物。


圖1為本發(fā)明的實(shí)施例1中的負(fù)離子發(fā)生裝置的外觀構(gòu)成圖。
圖2為該實(shí)施例中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的示意圖。
圖3為表示本發(fā)明的實(shí)施例2中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系的示意圖。
圖4為表示本發(fā)明的實(shí)施例3中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系的示意圖。
圖5為表示本發(fā)明的實(shí)施例4中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系的示意圖。
圖6為另一個(gè)表示本發(fā)明的實(shí)施例4中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系的示意圖。
圖7為表示本發(fā)明的實(shí)施例5中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系的示意圖。
圖8為本發(fā)明的實(shí)施例1中使用紫外線燈的場(chǎng)合下的光電子的發(fā)生機(jī)制的概念圖。
圖9為表示本發(fā)明的實(shí)施例7中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系的示意圖。
圖10為表示本發(fā)明的實(shí)施例8中的光電子放出板的負(fù)粒子發(fā)生數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系的示意圖。
圖11為表示本發(fā)明實(shí)施例9中所示的負(fù)粒子發(fā)生裝置的構(gòu)成的主要結(jié)構(gòu)截面圖。
圖12為上述實(shí)施例中的負(fù)粒子發(fā)生量與現(xiàn)有技術(shù)的比較結(jié)果的示意圖。
圖13為表示本發(fā)明的實(shí)施例10中所示的負(fù)粒子發(fā)生裝置的構(gòu)成的主要結(jié)構(gòu)截面圖。
圖14為表示該實(shí)施例中的負(fù)粒子發(fā)生量的示意圖。
圖15為本發(fā)明的實(shí)施例11中所示的負(fù)粒子發(fā)生裝置的構(gòu)成的主要結(jié)構(gòu)截面圖。
圖16為表示該實(shí)施例中的負(fù)粒子發(fā)生量的示意圖。
圖17為表示現(xiàn)有的負(fù)粒子發(fā)生裝置的構(gòu)成的主要結(jié)構(gòu)截面圖。
圖18為本發(fā)明的實(shí)施例12中的帶電清除裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖19為表示本發(fā)明的實(shí)施例12中的帶電清除裝置8A，8B，8C的操作時(shí)間和發(fā)生的負(fù)粒子數(shù)量之間的相關(guān)關(guān)系的示意圖。
圖20為吸頭上搭載了實(shí)施例4中的帶電清除裝置的電動(dòng)吸塵器的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖21為主機(jī)體的集塵單元中搭載了實(shí)施例5中的帶電清除裝置的電動(dòng)吸塵器的結(jié)構(gòu)示意圖。
上述附圖中，1，32為光電子放出板；2為燈(光源)；3，34為接地線；4，11為網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料；5為光源；6為空氣入口；7為空氣出口；8為電氣接地；9為容器；12為網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底；21為通風(fēng)裝置；31為波長(zhǎng)域200nm以上的光源；32A，33A為電動(dòng)吸塵器；33為風(fēng)扇(通風(fēng)裝置)；35為帶電清除裝置。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖來(lái)描述本發(fā)明的實(shí)施例。但需要指出的是，本發(fā)明并不受這些實(shí)施例的限定。
(實(shí)施例1)下面通過(guò)圖1來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例1中的負(fù)離子發(fā)生裝置。圖1中，1為光電子放出板，2為用于對(duì)光電子放出板1進(jìn)行光照射的燈(光源)，光電子放出板1設(shè)在通風(fēng)口的上、下壁上，上下夾住燈2，并且被接地。通風(fēng)口的背后設(shè)置有風(fēng)扇，向通風(fēng)口中送入空氣。另外，在沒(méi)有特別說(shuō)明的場(chǎng)合下，光電子放出板1的基板一般都設(shè)有電氣接地的接地線3。
這里的燈2使用的是6W的冷陰極管，空氣的送風(fēng)量設(shè)定為200升/分鐘。另外，在沒(méi)有特別說(shuō)明的場(chǎng)合下，所有的開關(guān)均為接通狀態(tài)。
另外，圖8中示出了燈2使用紫外線燈的場(chǎng)合下的光電子發(fā)生機(jī)制的概念圖。
本實(shí)施例中的光電子放出板是在丙烯基板上蒸鍍1μm的氮化鈦，制成光電子放出板1A，然后裝在圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，測(cè)定負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的變化。另外，電氣設(shè)置通過(guò)氮化鈦膜來(lái)進(jìn)行。
另外，為了和本實(shí)施例中的光電子放出板1A進(jìn)行比較，另外在丙烯基板上蒸鍍1μm的金制成光電子放出板1B，用作進(jìn)行比較的光電子放出板，然后也裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，對(duì)負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)定。另外，電氣設(shè)置通過(guò)金膜來(lái)進(jìn)行。
圖2中示出了光電子放出板1A和1B相對(duì)于操作時(shí)間的負(fù)粒子數(shù)量。從圖中可以看出，具有阻擋性的光電子放出板1A在很長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)可以維持負(fù)粒子數(shù)量，故光電子放出板1A能夠?qū)崿F(xiàn)本發(fā)明的效果。
(實(shí)施例2)實(shí)施例2中的光電子放出板是在黃銅基板上蒸鍍1μm的氮化鈦，制成光電子放出板2A；再在不銹鋼基板上蒸鍍1μm的氮化鈦，制成光電子放出板2B，然后裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置中，測(cè)定負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。
另外，為了和本實(shí)施例中的光電子放出板2A、2B進(jìn)行比較，在丙烯基板上蒸鍍1μm的氮化鈦制成光電子放出板2C，作為用于比較的光電子放出板，然后也裝到圖1的負(fù)離子發(fā)生裝置上，測(cè)定負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。
圖3為光電子放出板2A、2B和2C的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系?；咨暇哂袑?dǎo)電膜的光電子放出板2A和2B能夠放出較多的負(fù)粒子，并且2B能維持很長(zhǎng)的時(shí)間，故光電子放出板2A、2B能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
(實(shí)施例3)實(shí)施例3中的光電子放出板是先在丙烯基板上蒸鍍鋁，再在其上蒸鍍1μm的氮化鈦，制成光電子放出板3A，裝入圖1的負(fù)離子發(fā)生裝置中，然后對(duì)負(fù)粒子數(shù)量與操作時(shí)間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)定。另外，電氣設(shè)置通過(guò)鋁膜來(lái)進(jìn)行。
圖4中示出了光電子放出板3A和實(shí)施例2中的光電子放出板2C的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系?；咨暇哂袑?dǎo)電膜的光電子放出板3A能夠長(zhǎng)期維持放出較多負(fù)粒子的效果，光電子放出板3A能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
(實(shí)施例4)
實(shí)施例4中的光電子放出板是在不銹鋼基板上(最大表面不平整度為0.8μm)上分別蒸鍍0.1μm(4A)、0.5μm(4B)、1μm(4C)和2μm(4D)的氮化鈦，制成光電子放出板4A至4D，分別裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，然后對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。
圖5中示出了上述光電子放出板4A至4D的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。氮化鈦膜厚比基底表面的最大不平整度還厚的光電子放出板4C、4D能長(zhǎng)期維持較多的負(fù)粒子數(shù)量，故光電子放出板4C、4D能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
另外，為了與本實(shí)施例的光電子放出板4C進(jìn)行比較，在不銹鋼基板(最大表面不平整度為0.8μm)上通過(guò)濺射法制成形成1μm的氮化鈦膜，制成光電子放出板4E，作為用于比較的光電子放出板。然后也裝到圖1的負(fù)離子發(fā)生裝置上，對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。
圖6中示出了所述光電子放出板4C和4E(氮化鈦的膜厚均為1μm)的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。用細(xì)密的蒸鍍法形成氮化鈦膜的光電子放出板4C能夠長(zhǎng)期維持較多的負(fù)粒子數(shù)量，故光電子放出板4C能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
(實(shí)施例5)實(shí)施例5中的光電子放出板是在不銹鋼基板(最大表面不平整度為0.8μm)上分別形成1μm的石墨膜(5A)及金剛石碳膜(5B)，然后裝到將圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置的燈換成放出182nm的燈后的裝置中，再對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。與實(shí)施例4中的光電子放出板4C進(jìn)行比較。
圖7中示出了所述光電子放出板5A，5B及4C的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。從圖中可以看出，將石墨用作光電子放出材料的光電子放出材料5A在最初期間能夠放出較多的負(fù)粒子。另一方面，將金剛石碳用作光電子放出材料的光電子放出材料5B雖然在初期放出的負(fù)粒子較少，但是能維持很長(zhǎng)的期間。
(實(shí)施例6)下面通過(guò)圖1來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例6中的負(fù)離子發(fā)生裝置。圖中，1為光電子放出板，2為用于對(duì)1進(jìn)行光照射的燈(光源)，光電子放出板1設(shè)在通風(fēng)口的上、下壁上，上下夾住燈2并且被接地。通風(fēng)口的背后設(shè)置有風(fēng)扇，向通風(fēng)口中送入空氣。另外，在沒(méi)有特別說(shuō)明的場(chǎng)合下，光電子放出板1的基板一側(cè)均設(shè)有進(jìn)行電氣接地的接地線3。
另外，燈2使用的是6W冷陰極管，空氣的送風(fēng)量設(shè)定為200升/分鐘。另外，在沒(méi)有特別說(shuō)明的場(chǎng)合下，所有的開關(guān)均為接通狀態(tài)。
本實(shí)施例中的光電子放出板是在丙烯基板上通過(guò)濺射法設(shè)置1μm的硅石，再在其上蒸鍍1μm的金，制成光電子放出板1A，裝到圖1中所示的負(fù)離子發(fā)生裝置上。然后對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。另外，電氣接地通過(guò)金膜來(lái)進(jìn)行。
另外，為了和本實(shí)施例中的光電子放出板1A進(jìn)行比較，在丙烯基板上蒸鍍1μm的金，制成光電子放出板1B作為用于比較的光電子放出板，再裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。另外，電氣接地通過(guò)金膜來(lái)進(jìn)行。
圖2中示出了上述光電子放出板1A和1B的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。從圖中可以看出，具有阻擋性的光電子放出板1A能夠長(zhǎng)期維持較多的負(fù)粒子數(shù)量，故光電子放出板1A能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
(實(shí)施例7)接下來(lái)，實(shí)施例7中的光電子放出板是在丙烯基板上蒸鍍1μm的氮化鈦，再在其上蒸鍍1μm的金，制成光電子放出板6A，然后裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，再對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。另外，電氣接地通過(guò)氮化鈦來(lái)進(jìn)行。
另外，為了和本實(shí)施例中的光電子放出板6A進(jìn)行比較，還在丙烯基板上通過(guò)濺射法設(shè)置上1μm的硅石，再在其上蒸鍍上1μm的金，制成光電子放出板6B，作為用于進(jìn)行比較的光電子放出板。再裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。另外，電氣接地通過(guò)硅石來(lái)進(jìn)行。
圖9中示出了所述光電子放出板6A和6B的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。從圖中可以看出，基底上具有導(dǎo)電膜的光電子放出板6A能夠維持在很長(zhǎng)的期間能放出較多的負(fù)粒子的狀態(tài)，故光電子放出板6A能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
(實(shí)施例8)接下來(lái)，實(shí)施例8中的光電子放出板是在黃銅基板上蒸鍍上1μm的氮化鈦，再在其上蒸鍍上1μm的金，制成光電子放出板7A；再在不銹鋼基板上蒸鍍上1μm的氮化鈦，再在其上蒸鍍上1μm的金，制成光電子放出板7B。然后裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。
另外，為了和本實(shí)施例的光電子放出板7A進(jìn)行比較，還在丙烯上蒸鍍1μm的氮化鈦，再在其上蒸鍍1μm的金，制成光電子放出板7C，用作進(jìn)行比較的光電子放出板。然后裝到圖1中的負(fù)離子發(fā)生裝置上，對(duì)負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化進(jìn)行測(cè)定。
圖10中示出了光電子放出板7A和7B和7C的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。從圖中可以看出，基板具有導(dǎo)電性的光電子放出板7A和7B能夠放出較多的負(fù)粒子，并且7B能夠長(zhǎng)期維持這一狀態(tài)，故光電子放出板7A，7B能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
(實(shí)施例9)圖11是本發(fā)明的實(shí)施例9中的負(fù)粒子發(fā)生裝置的主要結(jié)構(gòu)截面圖。如圖11中所示，略呈圓筒形的容器9的內(nèi)壁以及空氣出口7附近設(shè)置由網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4。設(shè)在所述空氣出口7附近的光電子發(fā)生材料4被設(shè)置成與空氣的流動(dòng)方向大致呈直角。另外，網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4上還安裝有電氣接地線8。在光源5發(fā)出的紫外線等光的作用下，從網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4將有光電子發(fā)生，這些光電子被從空氣入口6進(jìn)入的空氣中的水及氧氣等分子或者灰埃等微粒子所捕獲，成為負(fù)粒子后被從空氣出口7向裝置外放出。
在本實(shí)施例中，所述的網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4使用的是從金、白金、銀、銅、不銹鋼、氮化鈦中選出的1種以上的材料。這些光電子發(fā)生材料的功函數(shù)量比較小，進(jìn)行光照射時(shí)可以從金屬表面以很高的效率產(chǎn)生光電子，因此可以用來(lái)高效率地產(chǎn)生負(fù)粒子。
另外，在本實(shí)施例中，網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4上安裝有電氣接地線8。在通過(guò)光電效果放出光電子的光電子發(fā)生材料4上，在放出光電子的位置上將產(chǎn)生正電子穴，光電子和正電子穴之間將產(chǎn)生靜電吸引力，從而使發(fā)生的光電子被吸引在光電子發(fā)生材料4上。但是，由于光電子發(fā)生材料4被電氣接地，正電子穴中將有電子補(bǔ)充，故放出的光電子不會(huì)返回到正電子穴中，因此，不會(huì)使產(chǎn)生的負(fù)粒子減少。
下面使用實(shí)驗(yàn)例來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例的效果。
容器9使用內(nèi)徑為3cm、長(zhǎng)度為7cm的不銹鋼制容器，網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4使用厚度為0.1mm的金。另外，光源5使用3W的紫外線燈。
網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4上安裝有電氣接地線8，進(jìn)行對(duì)本實(shí)施例的負(fù)粒子發(fā)生裝置的性能的評(píng)價(jià)實(shí)驗(yàn)。首先，使作為光源5的紫外線殺菌燈點(diǎn)亮，使負(fù)粒子發(fā)生。測(cè)定在離空氣出口7間隔1cm的位置上進(jìn)行，裝置開始工作后每2分鐘測(cè)一次，一共測(cè)量10分鐘。通過(guò)離子測(cè)量?jī)x測(cè)定每個(gè)單位體積的負(fù)粒子數(shù)量。
另外，還利用圖17中所示的現(xiàn)有裝置進(jìn)行同樣的試驗(yàn)，測(cè)定負(fù)粒子數(shù)量。這些試驗(yàn)的結(jié)果歸納在圖12中。
從圖12的結(jié)果可以清楚地看出，使用本發(fā)明的負(fù)粒子發(fā)生裝置的話，比起現(xiàn)有裝置來(lái)可以更穩(wěn)定地產(chǎn)生出更多的負(fù)粒子發(fā)生量。
(實(shí)施例10)圖13是本發(fā)明的實(shí)施例10中的負(fù)粒子發(fā)生裝置的主要結(jié)構(gòu)截面圖。在圖13中，除了網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料11支承在網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12的表面之上以外，其他與實(shí)施例9相同，對(duì)于相同的部分標(biāo)上了相同的符號(hào)，并省略對(duì)其的詳細(xì)說(shuō)明。
在本實(shí)施例中，所述光電子發(fā)生材料11使用的是從金、白金、銀、銅、不銹鋼、氮化鈦中選出的1種以上的材料。這些光電子發(fā)生材料的功函數(shù)量較小，在照射上紫外線時(shí)能從金屬表面以很高的效率發(fā)出光電子，因此，可以以很高的效率產(chǎn)生負(fù)粒子。
另外，在本實(shí)施例中，網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12上安裝有電氣接地線8。在通過(guò)光電效果放出光電子的光電子發(fā)生材料11上，在放出光電子的位置上將產(chǎn)生正電子穴，光電子和正電子穴之間將產(chǎn)生靜電吸引力，從而使發(fā)生的光電子被吸引在光電子發(fā)生材料4上。但是，由于使導(dǎo)電性基底進(jìn)行電氣接地，正電子穴中將有電子補(bǔ)充，故放出的光電子不會(huì)返回到正電子穴中，因此，不會(huì)使產(chǎn)生的負(fù)粒子減少。
下面使用實(shí)驗(yàn)例來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例的效果。
容器9使用的是內(nèi)徑為3cm、長(zhǎng)度為7cm的不銹鋼制圓筒狀容器，網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12使用的是厚度為0.5mm的不銹鋼，在其上面進(jìn)行鍍金，形成網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料11。另外，光源5使用的是3W的紫外線殺菌燈。
網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12上安裝有電氣接地線8，進(jìn)行本實(shí)施例的負(fù)粒子發(fā)生裝置的性能評(píng)價(jià)實(shí)驗(yàn)。首先，使作為光源5的紫外線殺菌燈點(diǎn)亮，產(chǎn)生出負(fù)粒子。測(cè)定在與空氣出口7間隔1cm的位置上進(jìn)行，從裝置開始工作后每2分鐘測(cè)一次，一共測(cè)10分鐘，使用離子測(cè)量?jī)x來(lái)測(cè)定單位體積的負(fù)粒子數(shù)量。圖14中示出了試驗(yàn)結(jié)果。
圖14的結(jié)果表明，使用本發(fā)明的負(fù)粒子發(fā)生裝置能夠持久、穩(wěn)定地產(chǎn)生出負(fù)粒子。因此，本發(fā)明能夠不減少負(fù)粒子的發(fā)生量，可以達(dá)到持久、穩(wěn)定地向空氣中供給負(fù)粒子的效果。
(實(shí)施例11)圖15是本發(fā)明的實(shí)施例11中的負(fù)粒子發(fā)生裝置的主要結(jié)構(gòu)截面圖。在圖15中，除了設(shè)置了通風(fēng)裝置21以外，其他均與實(shí)施例10相同。對(duì)于相同的部分標(biāo)上了相同的符號(hào)，并省略對(duì)其的詳細(xì)說(shuō)明。
在本實(shí)施例中，所述光電子發(fā)生材料11使用的是從金、白金、銀、銅、不銹鋼、氮化鈦中選出的1種以上的材料。這些光電子發(fā)生材料的功函數(shù)量比較小，照射上紫外線時(shí)能夠從金屬表面以很高的效率產(chǎn)生出光電子，因此適合于高效率地產(chǎn)生出負(fù)粒子。
另外，在本實(shí)施例中，網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12上安裝有電氣接地線8。在通過(guò)光電效果放出光電子的光電子發(fā)生材料11上，在放出光電子的位置上將產(chǎn)生正電子穴，光電子和正電子穴之間將產(chǎn)生靜電吸引力，從而使發(fā)生的光電子被吸引在光電子發(fā)生材料4上。但是，由于使導(dǎo)電性基底進(jìn)行電氣接地，正電子穴中將有電子補(bǔ)充，故放出的光電子不會(huì)返回到正電子穴中，因此，不會(huì)使產(chǎn)生的負(fù)粒子減少。
下面使用實(shí)驗(yàn)例1來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例的效果。
容器9使用的是內(nèi)徑為3cm，長(zhǎng)度為7cm的不銹鋼制容器，網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12使用的是厚度為0.5mm的不銹鋼，再在其表面鍍金，作為光電子發(fā)生材料11。另外，光源5使用的是3W的紫外線燈。
網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12上安裝有電氣接地線8，進(jìn)行本實(shí)施例的負(fù)粒子發(fā)生裝置的性能評(píng)價(jià)實(shí)驗(yàn)。首先，使光源5的紫外線燈點(diǎn)亮，使通風(fēng)裝置21工作，產(chǎn)生出負(fù)粒子。測(cè)定在離空氣出口7間隔1cm的位置上進(jìn)行，從裝置開始工作后每隔2分鐘測(cè)一次，一共測(cè)10分鐘，使用離子測(cè)量?jī)x來(lái)測(cè)定單位體積的負(fù)粒子數(shù)量。圖16中示出了試驗(yàn)結(jié)果。
圖16的結(jié)果表明，使用本發(fā)明的負(fù)粒子發(fā)生裝置可以持久穩(wěn)定地產(chǎn)生出負(fù)粒子。另外，使用通風(fēng)裝置后，負(fù)粒子的發(fā)生量將更多，而且可以持久、穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)向空間內(nèi)供給負(fù)粒子的效果。
接下來(lái)，使用實(shí)驗(yàn)例2來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例的效果。
光電子發(fā)生材料11使用的是從金、白金、銀、銅、不銹鋼、氮化鈦形成的負(fù)粒子發(fā)生裝置，采用與實(shí)驗(yàn)例1相同的方法，進(jìn)行負(fù)粒子測(cè)定。另外，測(cè)定是在離空氣出口7間隔1cm的位置上進(jìn)行，在裝置開始工作2分鐘后利用離子測(cè)量?jī)x測(cè)定單位體積的負(fù)粒子數(shù)量。表1中示出了測(cè)定結(jié)果。
表1

從表1中的結(jié)果可以看出，使用本實(shí)施例的負(fù)粒子發(fā)生裝置，光電子發(fā)生材料采用金、白金、銀、銅、不銹鋼、氮化鈦的話，可以產(chǎn)生出較多的負(fù)粒子。其中，特別是采用金、白金、氮化鈦的場(chǎng)合下，可以產(chǎn)生出大量的負(fù)粒子。
接下來(lái)，使用實(shí)驗(yàn)例3來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例的效果。
使用光電子發(fā)生材料11為金、網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底12為銅、鋁、不銹鋼、黃銅的負(fù)粒子發(fā)生裝置，采用和實(shí)驗(yàn)例1同樣的方法進(jìn)行負(fù)粒子的測(cè)定。另外，測(cè)定是在離空氣出口7間隔1cm的位置上進(jìn)行，在裝置開始工作后2分后使用離子測(cè)量?jī)x測(cè)定單位體積的負(fù)粒子數(shù)量。表2中示出了測(cè)定結(jié)果。
表2

從表2中的結(jié)果可以看出，使用本實(shí)施例的負(fù)粒子發(fā)生裝置，光電子發(fā)生材料采用金、導(dǎo)電性基底采用銅、鋁、不銹鋼、黃銅的話，可以產(chǎn)生出較多的負(fù)粒子。其中，特別是在使用不銹鋼的場(chǎng)合下可以產(chǎn)生出大量的負(fù)粒子。
另外，在上述實(shí)施例1至實(shí)施例3雖然使用了內(nèi)徑為3cm、長(zhǎng)度為7cm的不銹鋼制容器，但是，對(duì)其形狀、大小、厚度、種類都沒(méi)有限制，只要是適合于作為負(fù)粒子發(fā)生裝置的形狀、大小、厚度及種類，也可以采用其他的形式。
另外，實(shí)施例2和實(shí)施例3中的網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底雖然使用的是厚度為0.5mm的不銹鋼，但是，對(duì)于其厚度、種類也是沒(méi)有限制的，只要是具有導(dǎo)電性、而且可以支承光電子發(fā)生材料的話，采用其他材料也是可以。
如上所述，采用本實(shí)施例的話，可以得到向空間中添加負(fù)粒子的負(fù)粒子發(fā)生裝置。另外，本實(shí)施例的負(fù)粒子發(fā)生裝置很顯然還可以使用在各種空氣調(diào)和裝置如空氣清凈機(jī)、空調(diào)器、風(fēng)扇式加熱器、除濕機(jī)、加濕機(jī)、養(yǎng)老院用除臭器、廁所用除臭器等設(shè)備中。
另外，在上述的實(shí)施例中，雖然在容器9的內(nèi)壁以及空氣出口7附近都設(shè)置了網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4，但是，光電子發(fā)生材料設(shè)置在容器9的內(nèi)壁上并不是本發(fā)明的必要條件。另外，對(duì)于在空氣出口7附近設(shè)置光電子發(fā)生材料這一點(diǎn)，即使設(shè)置在擋住容器9內(nèi)的空氣流(由于是網(wǎng)狀的，故實(shí)質(zhì)上并不擋住)的位置也不會(huì)存在什么問(wèn)題，且不必限制在空氣出口7附近。
另外，雖然在上述實(shí)施例中網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4的方向設(shè)置成與空氣的流向大致成直角，但是并不限定于這一角度，只要設(shè)置成使在容器9內(nèi)流動(dòng)的空氣吹到網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料4上或穿過(guò)光電子發(fā)生材料4的網(wǎng)眼，就沒(méi)有問(wèn)題。
(實(shí)施例12)下面使用圖18來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例12中的帶電清除裝置。圖中，31為波長(zhǎng)范圍在200nm以上的光源，32為光電子放出板，光電子放出板32設(shè)在通風(fēng)口的上、下壁上，上下夾住光源31并且被接地。通風(fēng)口的背后設(shè)有風(fēng)扇33，成為至少讓含有氧氣的氣體通過(guò)的通風(fēng)裝置，向通風(fēng)口中送入空氣。另外，在沒(méi)有特別說(shuō)明的場(chǎng)合下，光電子放出板32的基板表面上一般設(shè)有進(jìn)行電氣接地的接地線34。
另外，光源31使用的是6W的冷陰極管，空氣的送風(fēng)量設(shè)定為200升/分鐘(壓力可變)。另外，在沒(méi)有特別說(shuō)明的場(chǎng)合下，所有的開關(guān)均為接通狀態(tài)。
(具體實(shí)施例1)在黃銅基板上鍍上1μm的金，制成光電子放出板，裝到圖18的帶電清除裝置8A上，測(cè)定能對(duì)帶正電的部件起到中和作用的負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化。另外，電氣設(shè)置通過(guò)黃銅來(lái)進(jìn)行。
(具體實(shí)施例2)在黃銅基板上蒸鍍1μm的氮化鈦，制成光電子放出板，裝到圖18中的帶電清除裝置8B上，測(cè)定能對(duì)帶正電的部件起到中和作用的負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化。另外，電氣設(shè)置通過(guò)黃銅來(lái)進(jìn)行。
(具體實(shí)施例3)
黃銅基板上蒸鍍SiOx膜，再在其上蒸鍍金，制成光電子放出板，裝到圖18的帶電清除裝置8C上，測(cè)定能對(duì)帶正電的部件起到中和作用的負(fù)粒子數(shù)量隨操作時(shí)間的變化。另外，電氣設(shè)置通過(guò)金來(lái)進(jìn)行。
(帶正電的塑料的帶電清除)將具體實(shí)施例1、2和3中生成的氣體吹到帶正電的樹脂上，再測(cè)定所帶的正電量?？梢园l(fā)現(xiàn)，帶正電的量將減少，本發(fā)明的效果得到了發(fā)揮。另外，均未聞到臭氧的臭味。
(具有阻擋性且在光照射下能放出光電子的光電子放出材料的特性)圖19中示出了帶電清除裝置8A、8B、8C的負(fù)粒子數(shù)量相對(duì)于操作時(shí)間的關(guān)系。與沒(méi)有阻擋性的光電子放出板8A相比，具有阻擋性的光電子放出板8B、8C能夠長(zhǎng)期維持負(fù)粒子數(shù)量，因此，光電子放出板8B、8C能夠發(fā)揮出本發(fā)明的效果。
(比較例1)將所述具體實(shí)施例2的帶電清除裝置8B的接地拆除，對(duì)于帶電清除裝置8D和上面同樣地測(cè)定能對(duì)帶正電的部件起到中和作用的負(fù)粒子數(shù)量。
(接地的有無(wú)引起的使帶正電的部件中和的負(fù)粒子數(shù)量變化)通過(guò)對(duì)能起到使帶正電的部件中和的作用的負(fù)離子數(shù)量進(jìn)行測(cè)定，可以發(fā)現(xiàn)，在帶電清除裝置8B的場(chǎng)合下為100萬(wàn)個(gè)/cm3，而在帶電清除裝置8D的場(chǎng)合下為3000個(gè)/cm3，本發(fā)明的效果顯而易見。
(具體實(shí)施例4)如圖20中所示的那樣，把具備與具體實(shí)施例2的帶電清除裝置8B相同的功能的帶電清除裝置35安裝到電動(dòng)吸塵器的吸頭靠近地面的一側(cè)，制成本發(fā)明的電動(dòng)吸塵器32A(吸塵功率為200W)。而且，使吸頭在附著有5g的沸石的塑料地板(寬度與吸頭相同)上來(lái)回移動(dòng)。
(比較例2)制作除了未裝有帶電清除裝置35以外其他與所述具體實(shí)施例4完全相同的電機(jī)吸塵器32B(吸塵功率為200W)。使用這一吸塵器，采用和所述具體實(shí)施例4完全相同的方法使吸頭在附著有5g的沸石的塑料地板(寬度與吸頭相同)上往復(fù)移動(dòng)。
(沸石的集塵能力的評(píng)價(jià))將電動(dòng)吸塵器32A和電動(dòng)吸塵器32B對(duì)沸石的集塵量進(jìn)行比較，電動(dòng)吸塵器32A的場(chǎng)合下為4.9g，而電動(dòng)吸塵器32B的場(chǎng)合為3.9g，安裝本發(fā)明的帶電清除裝置35后的效果得到實(shí)際證明。另外，電動(dòng)吸塵器32A中也沒(méi)有聞到臭氧的臭味。
(具體實(shí)施例5)如圖21中所示的那樣，將具備與具體實(shí)施例2的帶電清除裝置8B相同功能的帶電清除裝置35安裝到電動(dòng)吸塵器主機(jī)體中的集塵單元中，制成本發(fā)明的電動(dòng)吸塵器33A(吸塵功率為200W)。使用這一吸塵器，吸入10g的沸石，然后打開集塵單元蓋，將集塵單元蓋朝下，測(cè)定自然落下的被收集的沸石的量。
(比較例3)制作除了未裝有帶電清除裝置35以外與所述具體實(shí)施例5完全相同的電動(dòng)吸塵器33B(吸塵功率為200W)。使用這一吸塵器，采用和所述具體實(shí)施例5完全相同的方法在吸入10g的沸石之后打開集塵單元蓋，并使集塵單元蓋朝下，測(cè)定自然落下的被收集的沸石的量。
(沸石的集塵能力的評(píng)價(jià))通過(guò)比較電動(dòng)吸塵器33A和電動(dòng)吸塵器33B中的沸石的落下量，可以發(fā)現(xiàn)，電動(dòng)吸塵器32A的場(chǎng)合為7.9g，而電動(dòng)吸塵器32B的場(chǎng)合下則為5.9g，安裝本發(fā)明的帶電清除裝置35后的效果被實(shí)際得到了證明。另外，相對(duì)于10g的吸引量，集塵量卻較少的原因是有一部分灰塵附著在電動(dòng)吸塵器的吸引通路如軟管等中，因此，向這些地方也送入本發(fā)明的帶電清除裝置產(chǎn)生的氣體的話，可以預(yù)見，回收率還將上升。另外，電動(dòng)吸塵器33A中也沒(méi)有聞到臭氧的臭味。
(具體實(shí)施例6)制作使用能夠生成高壓氣體的壓縮機(jī)(送風(fēng)壓力為3kgf/cm2)來(lái)代替所述具體實(shí)施例2的帶電清除裝置8B中的風(fēng)扇33的鼓風(fēng)裝置34A(圖中未示出)。使用這一裝置，對(duì)涂有0.1g的微小玻璃珠(直徑為3μm)的13.3吋液晶屏幕玻璃部件進(jìn)行吹拂，再測(cè)定殘存的微小玻璃珠的密度。
(比較例4)制作除了未裝有帶電清除裝置8B以外與所述具體實(shí)施例6完全相同的鼓風(fēng)裝置34B(圖中未示出，吸入功率為200W)。使用這一裝置，采用與所述具體實(shí)施例6完全相同的方法對(duì)涂有0.1g的微小玻璃珠(直徑為3μm)的13.3吋液晶屏幕玻璃部件進(jìn)行吹拂，再測(cè)定殘存的微小玻璃珠的密度。
(微小玻璃珠的清除能力的評(píng)價(jià))通過(guò)比較鼓風(fēng)裝置34A和鼓風(fēng)裝置34B的微小玻璃珠的殘存量，可以發(fā)現(xiàn)，鼓風(fēng)裝置34A的場(chǎng)合為1個(gè)/cm2以下，而鼓風(fēng)裝置32B的場(chǎng)合下則為4×103個(gè)/cm2，安裝本發(fā)明的帶電清除裝置后的效果得到了實(shí)際證明。另外，在鼓風(fēng)裝置34A中也沒(méi)有聞到臭氧的臭味。
另外，本發(fā)明對(duì)于半導(dǎo)體、光盤等部件也能達(dá)到同樣的效果。
另外，不光是對(duì)部件，對(duì)于人體也有同樣的效果，本發(fā)明還可以用于半導(dǎo)體工廠等地方所需的空氣浴設(shè)備中。
權(quán)利要求
1.一種光電子放出板，其特征在于基板上設(shè)有具有阻擋性且在光照射下能放出光電子的放出膜。
2.如權(quán)利要求1中所述的光電子放出板，其特征在于所述基板具有導(dǎo)電性。
3.如權(quán)利要求2中所述的光電子放出板，其特征在于所述基板為不銹鋼。
4.如權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板，其特征在于所述基板上的放出膜的下方設(shè)有導(dǎo)電膜。
5.如權(quán)利要求4中所述的光電子放出板，其特征在于所述導(dǎo)電膜為金屬。
6.如權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板，其特征在于所述放出膜的膜厚比其下表面的最大表面不平整度要厚。
7.如權(quán)利要求1至6的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板，其特征在于所述放出膜通過(guò)蒸鍍方式進(jìn)行制造。
8.如權(quán)利要求1至7的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板，其特征在于所述放出膜具有導(dǎo)電性。
9.如權(quán)利要求1至8的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板，其特征在于所述放出膜為陶瓷。
10.如權(quán)利要求9中所述的光電子放出板，其特征在于所述放出膜為氮化鈦、碳化鈦、氮化鋯、碳化鋯和炭素中的任一種。
11.一種負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于包括如權(quán)利要求1中所述的光電子放出板和對(duì)所述光電子放出板進(jìn)行光照射的光源。
12.一種負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于包括如權(quán)利要求2中所述的光電子放出板；和用于向所述光電子放出板照射光的光源，所述光電子放出板的基板被電氣接地。
13.一種負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于包括如權(quán)利要求4中所述的光電子放出板；和用于向所述光電子放出板照射光的光源，所述光電子放出板的導(dǎo)電膜被電氣接地。
14.如權(quán)利要求11至13的任一項(xiàng)中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于通過(guò)在光電子放出板的表面流過(guò)氧氣來(lái)產(chǎn)生負(fù)粒子。
15.一種光電子放出板，其特征在于基板上設(shè)有具有阻擋性能的阻擋膜，所述阻擋膜上設(shè)有通過(guò)光照射而放出光電子的放出膜。
16.如權(quán)利要求15中所述的光電子放出板，其特征在于所述阻擋膜為Si、Ti、Zr、Al各自的酸化物、Si、Al各自的氮化物或者是它們的復(fù)合物。
17.如權(quán)利要求15中所述的光電子放出板，其特征在于所述阻擋膜具有導(dǎo)電性。
18.如權(quán)利要求17中所述的光電子放出板，其特征在于所述阻擋膜為Ti、Zr各自的氮化物、炭化物、ITO、酸化錫或者它們的復(fù)合物。
19.如權(quán)利要求17中所述的光電子放出板，其特征在于所述基板具有導(dǎo)電性。
20.如權(quán)利要求19中所述的光電子放出板，其特征在于所述基板為不銹鋼。
21.如權(quán)利要求15至20的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板，其特征在于所述放出膜為導(dǎo)電膜。
22.如權(quán)利要求15至21的任一項(xiàng)中所述的光電子放出板，其特征在于所述放出膜的膜厚比阻擋膜表面的最大表面不平整度要厚。
23.一種負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于包括如權(quán)利要求15、17或19中所述的光電子放出板；和用于對(duì)所述光電子放出板的放出膜進(jìn)行光照射的光源。
24.如權(quán)利要求23中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于通過(guò)在光電子放出板的表面流過(guò)氧氣來(lái)產(chǎn)生負(fù)粒子。
25.一種負(fù)粒子發(fā)生裝置，包括其中設(shè)有電氣接地的網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料和用于向所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上照射光的光源的容器，在向所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上照射光的同時(shí)，還使空氣流過(guò)所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料，從而產(chǎn)生出負(fù)粒子，其特征在于在所述容器內(nèi)流動(dòng)的空氣吹到所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上，所述容器內(nèi)設(shè)有所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料。
26.如權(quán)利要求25中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于照射到網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上的光為紫外線。
27.如權(quán)利要求25或26中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征在于所述網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料設(shè)在網(wǎng)狀導(dǎo)電性基底上。
28.如權(quán)利要求25至27的任一項(xiàng)中所述的負(fù)粒子發(fā)生裝置，其特征還在于設(shè)有通風(fēng)裝置，所述通風(fēng)裝置使空氣在網(wǎng)狀光電子發(fā)生材料上流過(guò)。
29.一種帶電清除裝置，其特征在于包括波長(zhǎng)范圍在200nm以上的光源；被光照射時(shí)放出光電子的光電子放出板；和使至少含有氧氣的氣體流過(guò)所述光電子放出板的表面附近的通風(fēng)裝置，通過(guò)使流過(guò)被所述光源進(jìn)行光照射的光電子放出材料表面附近的氣體吹到部件上，清除掉所述部件所帶的正電。
30.如權(quán)利要求29所述的帶電清除裝置，其特征在于所述光電子放出板的表面在受到光照射時(shí)放出光電子，并且為阻擋膜。
31.如權(quán)利要求29所述的帶電清除裝置，其特征在于所述光電子放出板的表面為受到光照射時(shí)放出光電子的膜，在其正下方設(shè)有阻擋膜。
32.如權(quán)利要求29至31的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，其特征在于所述光電子放出板的表面被電氣接地。
33.一種電動(dòng)吸塵器，其特征在于包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)從吸頭將上述帶電清除裝置的氣體吹向地面，除去附著在地面上的灰塵以及地面所帶的正電，進(jìn)而吸掉/除去附著在地面上的灰塵。
34.一種電動(dòng)吸塵器，其特征在于包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)將所述帶電清除裝置的氣體吹向集塵單元，除去所收集起來(lái)的了灰塵及集塵單元壁上所帶的正電，從而使附著在集塵單元內(nèi)部的灰塵易于取出。
35.一種鼓風(fēng)裝置，其特征在于包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)使所述帶電清除裝置進(jìn)行高壓吹氣，除去附著在部件上的灰塵及部件上所帶的正電，并且吹掉附著在部件上的灰塵。
36.如權(quán)利要求35中所述的鼓風(fēng)裝置，其特征在于所述的部件為半導(dǎo)體、液晶或者光盤部件。
37.一種空氣浴裝置，其特征在于包括如權(quán)利要求29至32的任一項(xiàng)中所述的帶電清除裝置，通過(guò)使所述帶電清除裝置進(jìn)行高壓吹氣，除去附著在人體上的灰塵及部件上所帶的正電，并且吹掉附著在人體上的灰塵。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于使光電子放出板及使用該板的負(fù)粒子發(fā)生裝置長(zhǎng)期地維持負(fù)粒子的發(fā)生狀態(tài)。在本發(fā)明中，光電子放出板(1)的基板設(shè)有具有阻擋性且在光照射時(shí)能放出光電子的放出膜。由于具有阻擋性，故能夠防止基底材料在受到光照射時(shí)沿放出光電子的放出膜發(fā)生擴(kuò)散而將放出膜表面覆蓋起來(lái)，從而使負(fù)離子數(shù)量不會(huì)隨著負(fù)粒子發(fā)生時(shí)間而大幅減少，從而可以實(shí)現(xiàn)一種能夠長(zhǎng)期保持其性能、耐久性優(yōu)異的光電子放出板，并提供一種使用這種板的負(fù)粒子發(fā)生裝置。
文檔編號(hào)B03C3/38GK1518180SQ20041000156
公開日2004年8月4日 申請(qǐng)日期2004年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月16日
發(fā)明者口野邦和, 野村幸生, 繩間潤(rùn)一, 守屋好文, 一, 文, 生 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社