專利名稱：分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法、系統(tǒng)及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體晶粒進(jìn)行分選的分選機(jī)，涉及利用分選機(jī)對晶粒進(jìn)行重排、
按規(guī)格挑選晶粒。
背景技術(shù)：
在LED芯片的制造過程中，需要通過分選機(jī)對LED晶粒進(jìn)行分選、重排等工作。
其中分選的過程簡述為在LED芯片點(diǎn)測完成后，將點(diǎn)測數(shù)據(jù)文件轉(zhuǎn)換成分選機(jī) 可以識別的文件，通過設(shè)置不同的分選條件分選機(jī)對圓片中的LED芯片進(jìn)行分選，挑選出 不同檔次的芯片。 晶粒重排的目的是將方片片體中的芯片進(jìn)行重新排列，使新的方片中不再存在芯 片空洞，即缺失芯片，以提高方片的整體外觀。目前的重排方法為先將分選機(jī)設(shè)置在重排 模式，在重排模式下，分選機(jī)通過鏡頭尋邊的方式搜索定位方片上的芯片，在找到芯片后分 選機(jī)再將其挑出，按順序放到新的方片中。 上述重排存在的問題是鏡頭定位效率很低，而且尋邊經(jīng)常出現(xiàn)差錯(cuò)，會(huì)經(jīng)常漏掉 很多邊緣的芯片或者間距很大的芯片，例如，有些芯片之間有很多芯片空洞，鏡頭通常會(huì)在 尋邊后仍無法找到芯片的情況下因?yàn)樾示壒剩瑫?huì)換行跳過該行，致使該行后面的芯片被 漏掉。分選機(jī)不得不多次重復(fù)對原方片進(jìn)行分選才能最大程度的將原方片上的芯片全部轉(zhuǎn) 移到新的方片上。這個(gè)過程重復(fù)多次，致使重排效率非常低。 對于混檔方片，在發(fā)現(xiàn)原始圓片發(fā)生問題后，目前的處理方式是將混有該圓片的 方片全部降檔處理或者報(bào)廢處理。如果將含有該圓片芯片的所有方片降檔處理，即使其中 含有較高質(zhì)量的芯片，也按低檔次芯片售價(jià)，這會(huì)給企業(yè)造成不必要的損失；如果將含有該 圓片芯片的所有方片報(bào)廢處理，則造成很大的浪費(fèi)。如果人工將方片中較好的芯片挑選出 來，會(huì)非常耗費(fèi)人工，效率非常低下。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的第一個(gè)技術(shù)問題是提供一種分選機(jī)處理半導(dǎo)體的方法，該方 法可以用來處理上述重排以及挑選混擋芯片的工作，可以提高重排芯片或挑選芯片的效 率，以節(jié)約芯片的生成成本。 本發(fā)明所要解決的第二個(gè)技術(shù)問題是提供一種分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系統(tǒng)， 該系統(tǒng)可以用來處理上述重排以及挑選混擋芯片的工作，可以提高重排芯片或挑選芯片的 效率，以節(jié)約芯片的生成成本。 本發(fā)明所要解決的第三個(gè)技術(shù)問題是提供一種根據(jù)圖檔操作的分選機(jī)，該分選 機(jī)可以用來處理上述重排以及挑選混擋芯片的工作，可以提高重排芯片或挑選芯片的效 率，以節(jié)約芯片的生成成本。 本發(fā)明所要解決的第四個(gè)技術(shù)問題是提供一種圖檔制作裝置，該圖檔制作裝置 可以用來處理上述重排以及挑選混擋芯片的工作，可以提高重排芯片或挑選芯片的效率，
4以節(jié)約芯片的生成成本。 為了解決上述第一個(gè)技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法， 包括 制作片體圖檔文件的步驟，在圖檔文件中通過修改參數(shù)設(shè)置芯片檔；
使用圓片文件做模板的步驟； 將圖檔文件中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件中，生成圓片數(shù)據(jù)文件的步驟； 對圓片數(shù)據(jù)文件中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分檔數(shù)據(jù)的步驟； 使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件，且分檔文件的格式為分選機(jī)能夠讀取的格式的步驟； 將分選機(jī)設(shè)置在分選模式下的步驟； 將分檔文件導(dǎo)入分選機(jī)的步驟； 分選機(jī)按分檔文件指令進(jìn)行操作的步驟。
優(yōu)選地所述片體為方片。所述方片優(yōu)選為110X 110晶粒陣列位。
優(yōu)選地所述半導(dǎo)體為LED或者IC，也可以是其他半導(dǎo)體晶粒。 優(yōu)選地所述圖檔文件為晶粒重排的圖檔文件，或者為所述圖檔文件為晶粒規(guī)格 挑選的圖檔文件。 優(yōu)選地所述分選機(jī)挑選晶粒的方式包括蛇形抓取、橫向抓取或豎向抓取任一種 方式。 為了解決本發(fā)明的第二個(gè)技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系 統(tǒng)，包括 圓片數(shù)據(jù)文件單元的生成裝置用于制作片體圖檔文件單元，在圖檔文件中通過 修改參數(shù)設(shè)置芯片檔，使用圓片文件單元作為模板，將圖檔文件單元中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件 單元中； 分檔文件單元的轉(zhuǎn)換裝置對圓片數(shù)據(jù)文件單元中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分 檔數(shù)據(jù)，并使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件單元，且分檔文件單元的機(jī)讀格式為分選機(jī)能夠讀取 的格式； 分選機(jī)控制裝置使分選機(jī)處于分選模式，將導(dǎo)入的分檔文件單元的執(zhí)行信息轉(zhuǎn) 換成分選機(jī)的操作指令； 分選機(jī)執(zhí)行裝置根據(jù)操作指令執(zhí)行操作動(dòng)作。 優(yōu)選地所述圖檔文件單元為具有晶粒重排數(shù)據(jù)的載體，或者為具有晶粒規(guī)格挑 選數(shù)據(jù)的載體。 優(yōu)選地，分選機(jī)控制裝置包括蛇形抓取控制單元、橫向抓取控制單元或豎向抓取 控制單元任一種。 為了解決本發(fā)明的第三個(gè)技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種根據(jù)圖檔操作的分選機(jī)，包 括根據(jù)操作指令執(zhí)行操作動(dòng)作的分選機(jī)執(zhí)行裝置，其特征在于還包括 分選機(jī)控制裝置使分選機(jī)處于分選模式，將導(dǎo)入的分檔文件的執(zhí)行信息轉(zhuǎn)換成 分選機(jī)的操作指令；其中分檔文件的生成包括以下步驟 制作片體圖檔文件的步驟，在圖檔文件中通過修改參數(shù)設(shè)置芯片檔；
使用圓片文件做模板的步驟； 將圖檔文件中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件中，生成圓片數(shù)據(jù)文件的步驟；
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對圓片數(shù)據(jù)文件中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分檔數(shù)據(jù)的步驟； 使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件，且分檔文件的格式為分選機(jī)能夠讀取的格式的步驟。 優(yōu)選地所述圖檔文件具有晶粒重排數(shù)據(jù)，或者具有晶粒規(guī)格挑選數(shù)據(jù)。
為了解決本發(fā)明的第四技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種圖檔制作裝置，其包括 圓片數(shù)據(jù)文件單元的生成裝置用于制作片體圖檔文件單元，在圖檔文件中通過
修改參數(shù)設(shè)置芯片檔，使用圓片文件單元作為模板，將圖檔文件單元中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件
單元中； 分檔文件單元的轉(zhuǎn)換裝置對圓片數(shù)據(jù)文件單元中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分 檔數(shù)據(jù)，并使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件單元，且分檔文件單元的機(jī)讀格式為分選機(jī)能夠讀取 的格式。
本發(fā)明的有益效果如下 相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明要求將片體信息制成了圖檔文件，并且以圓片文件作所述 圖檔文件的模板，這樣分選機(jī)就可以對圖檔數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，按圖檔中信息執(zhí)行挑選晶粒的 任務(wù)。 對于重排任務(wù)，以方片為例，包含本發(fā)明技術(shù)的分選機(jī)的吸嘴會(huì)嚴(yán)格移動(dòng)到方片
上的每個(gè)由圖檔中定義的晶粒位，然后由鏡頭判斷該晶粒位上是否存在晶粒，對于有晶粒
的晶粒位，吸嘴上的吸盤將該晶粒吸走轉(zhuǎn)移到新的方片上，直到完成該行或該列最后一個(gè)
晶粒位的判斷取芯工作。這樣就不會(huì)存在現(xiàn)有技術(shù)中，鏡頭尋邊判斷失誤的問題。這個(gè)重
排過程只要對原方片進(jìn)行一遍從首至尾的挑選，即可完成該原方片所有晶粒的轉(zhuǎn)移工作，
重排的工作效率大大提高，基本上不會(huì)剩余晶粒，不會(huì)造成浪費(fèi)，從而節(jié)約了企業(yè)的成本。 對于挑選混擋芯片任務(wù)，先制作圖檔，圖檔中有需要挑選的芯片的檔次的信息，按
照本發(fā)明的技術(shù)，可以很方便的將需要挑選的芯片挑選出來，從而使該方片中芯片不受到
影響，特別是對于從混擋芯片中挑選出較差檔次芯片后，較高檔次的芯片可以進(jìn)行重排，這
相對現(xiàn)有人工挑選方式，效率高很多，也可以解決因?yàn)榛鞊醯膯栴}使整個(gè)方片報(bào)廢的浪費(fèi)
問題。由于較高檔次的芯片可以賣到更好的價(jià)格，本發(fā)明技術(shù)可以提高企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶粒的生產(chǎn)工藝中的分選，可以適用較小體積的LED芯片、IC 等半導(dǎo)體晶粒。以下以LED芯片為例，IC同樣適用。
對方片重排的實(shí)施例說明如下。 等待重排的方片狀況。方片為110X110粒的晶粒陣列，其上有12100個(gè)晶粒位。 該方片經(jīng)過多次分檔挑選后，其上有大量的芯片空洞，即有些晶粒位上沒有LED芯片。為了 使方片達(dá)到出售的標(biāo)準(zhǔn)，需要使方片上的每個(gè)晶粒位上都有芯片。 現(xiàn)有重排的方式是在分選機(jī)自帶的重排模式下進(jìn)行的。分選機(jī)在重排模式下，通 過分選機(jī)的攝像頭來搜索方片上的芯片，而且需要將方片上的多處的多個(gè)芯片作為參考坐 標(biāo)。在這種模式下，為了提高搜索效率，通常會(huì)設(shè)定攝像頭尋邊條件，即連續(xù)n個(gè)晶粒位沒 有晶粒，分選機(jī)認(rèn)為該行或該列的尋邊結(jié)束。在設(shè)置尋邊條件的情況下，可以避免攝像頭無 針對某一行或某一列無限制的搜索芯片，導(dǎo)致時(shí)間的浪費(fèi)或人工干預(yù)。設(shè)有尋邊條件后，攝 像頭如果在連續(xù)多個(gè)晶粒位上找不到芯片，就認(rèn)為該行或該列沒有了芯片，分選機(jī)的吸嘴就會(huì)換行或者換列。這樣一個(gè)周期下來，方片上會(huì)剩余很多間隔很開的芯片以及多個(gè)用做 參考坐標(biāo)的芯片。對于剩下的芯片，或者重新進(jìn)行重排，或者人工挑選出來，或者廢棄處理。
本發(fā)明技術(shù)可以明顯提高重排效率。 先在電腦上制作一個(gè)方片圖檔文件，該方片文件中的數(shù)據(jù)與該方片中芯片信息一 致，其中要求將所有芯片的檔參數(shù)設(shè)為相同，例如，將工作電壓全部改成ov，在分選模式下， 分選機(jī)可以使攝像頭逐一進(jìn)行定位，吸嘴逐一吸取非空位上芯片。然后選用一個(gè)圓片文件 作為模板，圓片文件中有分選機(jī)可以識別的頭文件信息。將該方片圖檔文件數(shù)據(jù)整體考入 圓片文件中對應(yīng)的部分，這樣就生成了一個(gè)圓片數(shù)據(jù)文件。然后將圓片數(shù)據(jù)文件導(dǎo)入一個(gè) 具有分檔功能和格式轉(zhuǎn)換功能的軟件中，設(shè)置分選條件，如工作電壓0V，由該軟件將方片上 的芯片全部分為同一檔，且將圓片數(shù)據(jù)文件的格式轉(zhuǎn)換成分選機(jī)可以讀取并執(zhí)行的分檔文 件。將分選機(jī)設(shè)置在分選模式下，將分檔文件導(dǎo)入分選機(jī)，分選機(jī)按照分檔文件執(zhí)行操作命 令。 分選機(jī)執(zhí)行命令過程與現(xiàn)有技術(shù)不同。由于方片上所有晶粒位坐標(biāo)都已經(jīng)輸入分 選機(jī)的控制系統(tǒng)中，分選機(jī)的攝像頭會(huì)依次訪問方片上的每一個(gè)晶粒位，而不需要進(jìn)行攝 像頭尋邊。選擇重排的坐標(biāo)原點(diǎn)只需要選擇方片上的第一個(gè)芯片就可以了。以蛇形抓取方 式為例，攝像頭依次由左到右訪問每個(gè)晶粒位，當(dāng)發(fā)現(xiàn)晶粒位上有芯片時(shí)，吸嘴將該芯片吸 走，如果該晶粒位上沒有芯片，攝像頭轉(zhuǎn)而移動(dòng)到下一個(gè)晶粒位上，直到訪問到該行最后一 個(gè)晶粒位，再由右至左訪問晶粒位。這樣的抓取方式，在對一個(gè)方片抓取的周期內(nèi)，不會(huì)落 掉一個(gè)芯片(除了第一個(gè)作為參考原點(diǎn)的芯片)。 使用上述方法重排，不用多次重復(fù)全方片搜索，也基本上不會(huì)剩余芯片，雖然存在 攝像頭訪問空晶粒位耗費(fèi)時(shí)間的問題，但是，比起多次重復(fù)全片搜索的現(xiàn)有方式，還是要更 節(jié)約時(shí)間，特別是對于經(jīng)過一兩次分檔、其上空晶粒位不是很多的方片重排，本發(fā)明效果非 常明顯。在實(shí)際應(yīng)用中，同樣的規(guī)格的方片按現(xiàn)有方式需要大于1小時(shí)才能完成整個(gè)方片 重排，而采用本發(fā)明方法后，一般只需要40分鐘左右就可以完成了，工作效率提升很明顯， 而且重排過程中，人工參與更少，可以撿漏更多的芯片，減小了 LED芯片的生成成本。
對方片中晶粒規(guī)格的挑選的實(shí)施例說明如下。 如果發(fā)現(xiàn)某一初始圓片出了問題，需要對有該圓片制造的芯片進(jìn)行重新檢測和分
檔，由于圓片裂分的芯片在分選的過程中，會(huì)被分散到不同的方片中，這樣會(huì)對將屬于該圓
片的芯片的挑選造成很大的麻煩。特別是出現(xiàn)報(bào)廢該圓片的時(shí)候，現(xiàn)有方式，可能會(huì)將包含
由該圓片裂分的芯片的方片全部報(bào)廢處理，這樣的處理方式造成很大的浪費(fèi)，造成生產(chǎn)成
本的增加。而對于出現(xiàn)降檔該圓片的時(shí)候，現(xiàn)有方式會(huì)將包含有由該圓片裂分的芯片的方
片全部降檔處理，這樣的處理方式降低了方片中混有的高質(zhì)量芯片的檔次，減小了廠家的
效益。有的時(shí)候，還需要對將某一初始圓片裂分出來的芯片全部重新進(jìn)行檢測或進(jìn)行試驗(yàn)
測試，將這些已經(jīng)分布在很多方片中的芯片挑選出來非常的麻煩，現(xiàn)有技術(shù)的通常的做法
是操作員根據(jù)記錄的芯片坐標(biāo)將芯片挑選出來，這個(gè)過程費(fèi)時(shí)費(fèi)力，可操作性差。 本發(fā)明對上述晶粒規(guī)格挑選的各種情況均表現(xiàn)出很好的可操作性，效果明顯優(yōu)于
現(xiàn)有方式。 以從方片中挑選報(bào)廢芯片為例。當(dāng)發(fā)現(xiàn)某一初始圓片存在不合格的質(zhì)量問題時(shí)， 需要將屬于該圓片、但是已經(jīng)歸檔分布到方片的芯片全部挑選出來。此時(shí)按照本發(fā)明技術(shù)，需要針對方片先制作一個(gè)方片圖檔文件。方片圖檔文件中包含有該問題芯片的數(shù)據(jù)信息， 該信息來源于問題圓片相關(guān)數(shù)據(jù)。改變具有問題圓片編號的問題芯片的某一參數(shù)，比如說 刪除光強(qiáng)參數(shù)A，即光強(qiáng)為Ocd，保留沒有問題的芯片的光強(qiáng)參數(shù)B，使該方片上具有該問題 圓片編號的問題芯片具有相同的光強(qiáng)參數(shù)0cd。 然后將方片圖檔文件中的數(shù)據(jù)信息復(fù)制到作為模板的圓片文件中，生成圓片數(shù)據(jù) 文件。然后將圓片數(shù)據(jù)文件導(dǎo)入一個(gè)具有分檔功能和格式轉(zhuǎn)換功能的軟件中，設(shè)定分檔條 件，如光強(qiáng)《lcd，由該軟件按分檔條件將方片上的芯片分成兩檔，其中一檔為Ocd光強(qiáng)的 芯片檔。該軟件將圓片數(shù)據(jù)文件的格式轉(zhuǎn)換成分選機(jī)可以讀取并執(zhí)行的分檔文件。將分選 機(jī)設(shè)置在分選模式下，將分檔文件導(dǎo)入分選機(jī)，分選機(jī)按照分檔文件執(zhí)行操作命令，將Ocd 光強(qiáng)的芯片全部悉數(shù)挑出來。這樣的方式可以使混擋的方片不至于因?yàn)槟承┬酒膯栴}導(dǎo) 致整個(gè)方片的報(bào)廢。 從方片中挑選具有試驗(yàn)價(jià)值的芯片的舉例。當(dāng)發(fā)現(xiàn)某一初始圓片具有試驗(yàn)價(jià)值的 時(shí)候，需要將屬于該圓片、但是已經(jīng)分檔分布到很多方片中的芯片全部挑出來。這種情況， 將該有價(jià)值的芯片當(dāng)問題芯片按前述方式挑選出來即可。相比手工挑選，效率要高很多。
上述舉例針對片體為方片的情況，片體的形狀可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)計(jì)選擇其 他不同的形狀。各種適于形成晶粒陣列矩形、圓形、橢圓形等形狀的片體均在本發(fā)明的保護(hù) 范圍內(nèi)。 本發(fā)明制作方片圖檔文件可以在電腦上操作，以excel軟件進(jìn)行編輯制作。制作 方片圖檔文件需要導(dǎo)入或考入方片數(shù)據(jù)信息，方片數(shù)據(jù)信息在該方片的制造檢測過程中產(chǎn) 生。圓片文件為具有圓片頭文件信息的excel可讀文件，其為分選機(jī)讀取文件的模板。將 方片圖檔文件考入圓片文件中，形成圓片數(shù)據(jù)文件。上述整個(gè)過程需要借助于電腦和相關(guān) 編輯軟件來實(shí)現(xiàn)，因此具有該功能的電腦以及軟件共同組成整個(gè)系統(tǒng)中的圓片數(shù)據(jù)文件單 元的生成裝置。在本發(fā)明中的用到的具有分檔功能和格式轉(zhuǎn)換功能的軟件，可以單獨(dú)看作 為一個(gè)分檔文件單元的轉(zhuǎn)換裝置，其對圓片數(shù)據(jù)文件單元中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分 檔數(shù)據(jù)，并使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件單元，且分檔文件單元的機(jī)讀格式為分選機(jī)能夠讀取 的格式。而分選機(jī)包括軟件部分和硬件部分，軟件部分可以看作為分選機(jī)控制裝置，其可以 使分選機(jī)處于分選模式，將導(dǎo)入的分檔文件單元的執(zhí)行信息轉(zhuǎn)換成分選機(jī)的操作指令。硬 件部分則包括分選機(jī)的執(zhí)行裝置，其根據(jù)操作指令執(zhí)行操作動(dòng)作。
權(quán)利要求
一種分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法，包括制作片體圖檔文件的步驟，在圖檔文件中通過修改參數(shù)設(shè)置芯片檔；使用圓片文件做模板的步驟；將圖檔文件中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件中，生成圓片數(shù)據(jù)文件的步驟；對圓片數(shù)據(jù)文件中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分檔數(shù)據(jù)的步驟；使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件，且分檔文件的格式為分選機(jī)能夠讀取的格式的步驟；將分選機(jī)設(shè)置在分選模式下的步驟；將分檔文件導(dǎo)入分選機(jī)的步驟；分選機(jī)按分檔文件指令進(jìn)行操作的步驟。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法，其特征在于所述片體為方片。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法，其特征在于所述半導(dǎo)體為 LED或者IC。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法，其特征在于所述圖 檔文件為晶粒重排的圖檔文件，或者為所述圖檔文件為晶粒規(guī)格挑選的圖檔文件。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法，其特征在于所述分選機(jī)挑 選晶粒的方式包括蛇形抓取、橫向抓取或豎向抓取任一種方式。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法，其特征在于所述方片為110X110晶粒陣列位。
7. —種分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系統(tǒng)，包括圓片數(shù)據(jù)文件單元的生成裝置用于制作片體圖檔文件單元，在圖檔文件中通過修改 參數(shù)設(shè)置芯片檔，使用圓片文件單元作為模板，將圖檔文件單元中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件單元 中；分檔文件單元的轉(zhuǎn)換裝置對圓片數(shù)據(jù)文件單元中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分檔數(shù)據(jù)，并使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件單元，且分檔文件單元的機(jī)讀格式為分選機(jī)能夠讀取的格 式；分選機(jī)控制裝置使分選機(jī)處于分選模式，將導(dǎo)入的分檔文件單元的執(zhí)行信息轉(zhuǎn)換成 分選機(jī)的操作指令；分選機(jī)執(zhí)行裝置根據(jù)操作指令執(zhí)行操作動(dòng)作。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系統(tǒng)，其特征在于所述片體為方片。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體為LED或者IC。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7、8或9所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系統(tǒng)，其特征在于所述圖 檔文件單元為具有晶粒重排數(shù)據(jù)的載體，或者為具有晶粒規(guī)格挑選數(shù)據(jù)的載體。
11. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系統(tǒng)，其特征在于分選機(jī)控制裝 置包括蛇形抓取控制單元、橫向抓取控制單元或豎向抓取控制單元任一種。
12. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的系統(tǒng)，其特征在于所述方片為110X110晶粒陳列位。
13. —種根據(jù)圖檔操作的分選機(jī)，包括根據(jù)操作指令執(zhí)行操作動(dòng)作的分選機(jī)執(zhí)行裝置， 其特征在于還包括分選機(jī)控制裝置使分選機(jī)處于分選模式，將導(dǎo)入的分檔文件的執(zhí)行信息轉(zhuǎn)換成分選 機(jī)的操作指令；其中分檔文件的生成包括以下步驟制作片體圖檔文件的步驟，在圖檔文件中通過修改參數(shù)設(shè)置芯片檔； 使用圓片文件做模板的步驟；將圖檔文件中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件中，生成圓片數(shù)據(jù)文件的步驟； 對圓片數(shù)據(jù)文件中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分檔數(shù)據(jù)的步驟； 使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件，且分檔文件的格式為分選機(jī)能夠讀取的格式的步驟。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的根據(jù)圖檔操作的分選機(jī)，其特征在于所述片體為方片。
15. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的根據(jù)圖檔操作的分選機(jī)，其特征在于所述方片由LED或 者IC晶粒組成。
16. 根據(jù)權(quán)利要求13、14或15所述的根據(jù)圖檔操作的分選機(jī)，其特征在于所述圖檔 文件具有晶粒重排數(shù)據(jù)，或者具有晶粒規(guī)格挑選數(shù)據(jù)。
17. —種圖檔制作裝置，其包括圓片數(shù)據(jù)文件單元的生成裝置用于制作片體圖檔文件單元，在圖檔文件中通過修改 參數(shù)設(shè)置芯片檔，使用圓片文件單元作為模板，將圖檔文件單元中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件單元 中；分檔文件單元的轉(zhuǎn)換裝置對圓片數(shù)據(jù)文件單元中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分檔數(shù) 據(jù)，并使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件單元，且分檔文件單元的機(jī)讀格式為分選機(jī)能夠讀取的格 式。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的圖檔制作裝置，其特征在于所述片體為方片。
19. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的圖檔制作裝置，其特征在于所述方片由LED或者IC晶粒組成。
20. 根據(jù)權(quán)利要求17、 18或19所述的圖檔制作裝置，其特征在于圖檔文件單元為具 有晶粒重排數(shù)據(jù)的載體，或者為具有晶粒規(guī)格挑選數(shù)據(jù)的載體。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種分選機(jī)處理半導(dǎo)體片體的方法、系統(tǒng)及裝置，涉及利用分選機(jī)對晶粒進(jìn)行重排、按規(guī)格挑選晶粒的工藝。本發(fā)明簡述為制作片體圖檔文件的步驟，在圖檔文件中通過修改參數(shù)設(shè)置芯片檔；使用圓片文件做模板的步驟；將圖檔文件中數(shù)據(jù)導(dǎo)入圓片文件中，生成圓片數(shù)據(jù)文件的步驟；對圓片數(shù)據(jù)文件中記錄的晶粒進(jìn)行分檔，形成分檔數(shù)據(jù)的步驟；使分檔數(shù)據(jù)生成分檔文件，且分檔文件的格式為分選機(jī)能夠讀取的格式的步驟；將分選機(jī)設(shè)置在分選模式下的步驟；將分檔文件導(dǎo)入分選機(jī)的步驟；分選機(jī)按分檔文件指令進(jìn)行操作的步驟。本發(fā)明適用于LED、IC等半導(dǎo)體晶粒。
文檔編號B07C5/342GK101780457SQ200910186810
公開日2010年7月21日 申請日期2009年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月25日
發(fā)明者耿林 申請人:晶能光電(江西)有限公司