專利名稱：測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測(cè)試分選機(jī)，尤其涉及測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置。
背景技術(shù)：
測(cè)試分選機(jī)(Test Handler)是提供按預(yù)定的制造工程所制造的半導(dǎo)體元件，使得 測(cè)試機(jī)(Tester)測(cè)試該半導(dǎo)體元件的支援設(shè)備。測(cè)試分選機(jī)將承載于用戶托盤(pán)(Customer Tray)的半導(dǎo)體元件裝載到測(cè)試托盤(pán)(Test Tray)，以將承載于測(cè)試托盤(pán)的半導(dǎo)體元件供給 至測(cè)試機(jī)，而且將完成測(cè)試的半導(dǎo)體元件從測(cè)試托盤(pán)卸載到用戶托盤(pán)。
如圖1所示， 一般的用戶托盤(pán)100的使用目的在于保管半導(dǎo)體元件SC，因此為了盡 可能多地承載半導(dǎo)體元件SC，半導(dǎo)體元件SC之間的行間距a和列間距b設(shè)計(jì)為最小值。
另外，如圖2所示， 一般的測(cè)試托盤(pán)200其半導(dǎo)體元件SC之間的行間距c和列間 距d設(shè)計(jì)為測(cè)試半導(dǎo)體元件SC所需的間距， 一般來(lái)講，測(cè)試托盤(pán)200中半導(dǎo)體元件SC之間 的間距c、d要大于用戶托盤(pán)100中半導(dǎo)體元件SC之間的間距a、b。 因而，當(dāng)從用戶托盤(pán)100向測(cè)試托盤(pán)200裝載半導(dǎo)體元件SC，或者從測(cè)試托盤(pán)200 向用戶托盤(pán)100卸載半導(dǎo)體元件SC時(shí)，需要調(diào)整半導(dǎo)體元件SC之間的行間距和列間距，為 此使用拾放裝置(Pick-And-Place A卯a(chǎn)ratus)。 拾放裝置具有用于吸附及脫附半導(dǎo)體元件的多個(gè)拾取器(Picker)，并具有能夠調(diào) 整拾取器之間間距的功能。 這種拾放裝置所具備的拾取器的數(shù)量呈逐漸增加的趨勢(shì)，以便提高測(cè)試分選機(jī)的 運(yùn)行速度。 g卩，以往將8個(gè)拾取器布置為一行，但后來(lái)其行數(shù)逐漸增加到2行、3行，而現(xiàn)如今 的趨勢(shì)為在一個(gè)拾放裝置上設(shè)置4行的拾取器，即使用32個(gè)拾取器。 如此，隨著布置在拾放裝置的拾取器數(shù)量的增加，出現(xiàn)了各種技術(shù)以在將半導(dǎo)體 元件在用戶托盤(pán)與測(cè)試托盤(pán)之間移動(dòng)時(shí)，用于調(diào)整拾取器之間的X軸間距和Y由間距。
作為這種技術(shù)，可以例舉由本發(fā)明的申請(qǐng)人所提出的韓國(guó)授權(quán)專利0800312號(hào) (發(fā)明名稱為"測(cè)試分選機(jī)及其裝載方法(TEST HANDLER ANDLOADING METHOD OF TEST HANDLER)"，以下稱之為"背景技術(shù)1")。
技術(shù)背景1包括機(jī)動(dòng)型裝載平臺(tái)，可在承載位置與裝載位置之間做往復(fù)移動(dòng)且 具有元件安置部，該元件安置部的前后節(jié)距等于測(cè)試托盤(pán)的元件安置部的前后節(jié)距；第一 拾取裝置，以用于從用戶托盤(pán)拾取半導(dǎo)體元件，在調(diào)整半導(dǎo)體元件之間前后節(jié)距的同時(shí)將 半導(dǎo)體元件裝載到處于承載位置的機(jī)動(dòng)型裝載平臺(tái)；第二拾取裝置，以用于從處于裝載位 置的機(jī)動(dòng)型裝載平臺(tái)向測(cè)試托盤(pán)移送及裝載半導(dǎo)體元件，與此同時(shí)調(diào)整半導(dǎo)體元件之間的 左右節(jié)距。 但是，背景技術(shù)1使用了兩個(gè)拾取裝置，以及機(jī)動(dòng)型裝載平臺(tái)，因此相比使用一個(gè)
拾取裝置的情況，其構(gòu)成復(fù)雜，并且還需要確保使得機(jī)動(dòng)型裝載平臺(tái)移動(dòng)的空間。 另外，還可以例舉由本發(fā)明的申請(qǐng)人所提出的韓國(guó)授權(quán)專利0553989號(hào)(發(fā)明名
3稱為"測(cè)試分選機(jī)的裝載機(jī)械手(LOADER HAND FOR TESTHANDLER)"，以下稱之為"背景技術(shù) 2")。
背景技術(shù)：
2中，利用凸輪盤(pán)調(diào)節(jié)半導(dǎo)體元件之間的X軸間距，利用氣缸調(diào)節(jié)半導(dǎo)體元 件之間的Y軸間距。 但是，背景技術(shù)2例舉了拾取器布置為兩行的技術(shù)，當(dāng)利用背景技術(shù)2欲實(shí)現(xiàn)三行 以上的拾取器時(shí)，為了調(diào)節(jié)X軸間距需要在布置有拾取器的各行都設(shè)置凸輪盤(pán)。而且，為了 調(diào)節(jié)Y軸間距除了一對(duì)氣缸裝置以外，還需要追加設(shè)置氣缸裝置，因此其構(gòu)成會(huì)變得非常 復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種通過(guò)相比背景技術(shù)1和背景技術(shù)2更簡(jiǎn)單的構(gòu)成，從 用戶托盤(pán)同時(shí)拾取半導(dǎo)體元件，并將拾取的半導(dǎo)體元件同時(shí)裝載到測(cè)試托盤(pán)，而且對(duì)上述 動(dòng)作也可反向操作的測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置，包括拾取器，以N 行XM列的形態(tài)布置，所述N和M分別為大于等于2的自然數(shù)；行間距調(diào)節(jié)裝置，用于引導(dǎo) 所述拾取器的列向移動(dòng)，并調(diào)整所述拾取器的行間距；列間距調(diào)節(jié)裝置，用于引導(dǎo)所述拾取 器的行向移動(dòng)，并調(diào)整所述拾取器的列間距。其中，所述行間距調(diào)節(jié)裝置包括多個(gè)列向引 導(dǎo)部件，用于引導(dǎo)所述拾取器的列向移動(dòng)；行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，呈垂直板形狀，用于調(diào) 整所述列向引導(dǎo)部件之間的行間距；行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源，用于驅(qū)動(dòng)所述行間距調(diào)節(jié)用凸 輪部件。所述列間距調(diào)節(jié)裝置包括多個(gè)行向引導(dǎo)部件，用于引導(dǎo)所述拾取器的行向移動(dòng)； 列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，呈垂直板形狀，用于調(diào)整所述行向弓I導(dǎo)部件之間的列間距；列間距 調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源，用于驅(qū)動(dòng)所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件。 而且，所述拾取器位于所述列向引導(dǎo)部件與所述行向引導(dǎo)部件相互交叉的位置。
而且，所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件具有多個(gè)行間距引導(dǎo)槽，該行間距引導(dǎo)槽分別 與所述列向弓I導(dǎo)部件可滑動(dòng)地相結(jié)合，從而通過(guò)調(diào)整所述列向弓I導(dǎo)部件之間的行間距來(lái)改 變所述拾取器之間的行間距；所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件具有多個(gè)列間距引導(dǎo)槽，該列間 距引導(dǎo)槽分別與所述行向引導(dǎo)部件可滑動(dòng)地相結(jié)合，從而通過(guò)調(diào)整所述行向引導(dǎo)部件之間 的列間距來(lái)改變所述拾取器之間的列間距。 所述行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源提供用于平移所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件的動(dòng)力，所述 列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源提供用于平移所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件的動(dòng)力。 另外，所述行間距調(diào)節(jié)裝置包括多個(gè)列向引導(dǎo)部件，用于引導(dǎo)所述拾取器的列向 移動(dòng)；行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，呈垂直板形狀，用于調(diào)整所述列向引導(dǎo)部件之間的行間距； 行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源，用于驅(qū)動(dòng)所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件；所述列間距調(diào)節(jié)裝置包括 列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，呈垂直板形狀，用于改變?cè)O(shè)置在布置于第一行或第N行拾取器上 的引導(dǎo)凸起之間的間距；列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源，用于驅(qū)動(dòng)所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件；多 個(gè)行向引導(dǎo)部件，用于引導(dǎo)與設(shè)有所述引導(dǎo)凸起的拾取器布置在同一列上的拾取器沿行向 移動(dòng)。 而且，所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件能夠限制結(jié)合有具備所述引導(dǎo)凸起的拾取器的 列向引導(dǎo)部件沿行向移動(dòng)。 在此，測(cè)試分選機(jī)通過(guò)利用拾放裝置將半導(dǎo)體元件從用戶托盤(pán)移送至測(cè)試托盤(pán)的
4過(guò)程中調(diào)整拾取器的列間距和行間距。 如上所述的本發(fā)明，通過(guò)利用在引導(dǎo)拾取器的列向移動(dòng)的同時(shí)調(diào)整拾取器行間距的行間距調(diào)節(jié)裝置和在引導(dǎo)拾取器的行向移動(dòng)的同時(shí)調(diào)整拾取器列間距的列間距調(diào)整裝置，調(diào)整拾取器的行間距以及列間距，從而具有如下的效果。 第一、只需設(shè)置數(shù)量少于拾取器行數(shù)的行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件以及數(shù)量少于拾取器列數(shù)的列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，因此可以簡(jiǎn)化拾放裝置的構(gòu)成。 第二、只需設(shè)置用于驅(qū)動(dòng)行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件及列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件的驅(qū)動(dòng)源，從而使驅(qū)動(dòng)源的數(shù)量達(dá)到最少，降低制造成本。 第三、當(dāng)利用行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件和列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，將半導(dǎo)體元件從用戶托盤(pán)移動(dòng)至測(cè)試托盤(pán)時(shí)，由于利用一個(gè)拾放裝置調(diào)整行間距和列間距，因此可以提高將半導(dǎo)體元件從用戶托盤(pán)移送至測(cè)試托盤(pán)的速度。


圖1為承載有半導(dǎo)體元件的一般用戶托盤(pán)的平面圖；圖2為承載有半導(dǎo)體元件的一般測(cè)試托盤(pán)的平面圖；圖3為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的拾放裝置的立體圖；圖4為表示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖；圖5為適用于根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的拾放裝置的球軸套的立體圖；圖6為圖4所示拾放裝置的正面圖；圖7為圖4所示拾放裝置的側(cè)面圖；圖8為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的拾放裝置的工作狀態(tài)立體圖；圖9為圖8所示拾放裝置的正面圖；圖10為圖8所示拾放裝置的側(cè)面圖；圖11為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置的立體圖；圖12為表示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖；圖13為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置中，示出列向引導(dǎo)部件、行向引導(dǎo)部件
和拾取器之間的結(jié)合結(jié)構(gòu)的局部立體圖14為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置中，將列向引導(dǎo)部件、行向引導(dǎo)部件和
拾取器之間的結(jié)合結(jié)構(gòu)應(yīng)用實(shí)施的局部立體圖15為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的拾放裝置的立體圖；圖16為表示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖；圖17為圖15所示拾放裝置的正面圖；圖18為圖15所示拾放裝置的側(cè)面圖；圖19為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的拾放裝置的工作狀態(tài)立體圖；圖20為圖19所示拾放裝置的正面圖；圖21為圖19所示拾放裝置的側(cè)面圖；圖22為根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的拾放裝置的立體圖；圖23為表示根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖；圖24為根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的拾放裝置的行向引導(dǎo)裝置的概略圖。
*附圖中主要符號(hào)說(shuō)明*300、1100、1500、2200:拾放裝置310、1110、1510、2210:殼體320、1120、1520、2220:拾取器330、1130、1530、2230:行間距調(diào)節(jié)裝置331、1131、1531、2231:列向引導(dǎo)部件332、1132、1532、2232:行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件335、1135、1535、2235:行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源340、1140、1540、2240:列間距調(diào)節(jié)裝置341、1141、1541:行向引導(dǎo)部件
342、1142、1542、2242:列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件345、1145、1545、2245:列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源 2241 :行向引導(dǎo)裝置
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，對(duì)于重復(fù)的內(nèi)容或顯而易見(jiàn)
的事項(xiàng)將省略或簡(jiǎn)要說(shuō)明。(注本文中所說(shuō)的"行向"和"列向"請(qǐng)參照?qǐng)D3、4、8、11、12、
15、16、19、22、23，S卩，"行向"為行的布置方向，"列向"為列的布置方向) 圖3是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的拾放裝置的立體圖，圖4是表示根據(jù)本發(fā)明第一
實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖。 參照?qǐng)D3及圖4，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的拾放裝置300包括殼體310、拾取器320、行間距調(diào)節(jié)裝置330、列間距調(diào)節(jié)裝置340。 拾取器320用于拾取半導(dǎo)體元件，其通過(guò)在可供給空氣的空氣孔321內(nèi)部形成真空而真空吸附半導(dǎo)體元件，并通過(guò)向空氣孔321供給空氣而解除對(duì)半導(dǎo)體元件的吸附。
拾取器320能夠以N行XM列的形態(tài)布置，在此N為大于等于2的自然數(shù)，M為大于等于2的自然數(shù)。 本實(shí)施例中，例舉拾取器320以4行X 8列形態(tài)布置的情況進(jìn)行說(shuō)明。
行間距調(diào)節(jié)裝置330用于調(diào)整拾取器320之間的行間距，包括列向引導(dǎo)部件331、行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332、行間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌333、行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件334、行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源335以及行向LM導(dǎo)軌336。(拾取器之間的行間距是指各拾取器中心之間的行間距，拾取器之間的列間距是指各拾取器中心之間的列間距)。 列向引導(dǎo)部件331用于引導(dǎo)拾取器320的列向移動(dòng)，其設(shè)置在拾取器320的每一行而引導(dǎo)布置于同一行上的拾取器320的列向移動(dòng)。 拾取器320形成有使得列向引導(dǎo)部件331通過(guò)的列向通孔322，以用于拾取器320可滑動(dòng)地結(jié)合到列向引導(dǎo)部件331。列向引導(dǎo)部件331的兩端向布置于列向外緣的拾取器320的外側(cè)延長(zhǎng)預(yù)定距離。此時(shí)，列向通孔322上設(shè)有球軸套350，如圖5所示，球軸套350具有用于插入列向引導(dǎo)部件331的插入孔351和設(shè)在插入孔351內(nèi)部的多個(gè)球軸承352。由此，可最小化當(dāng)拾取器320沿列向引導(dǎo)部件331移動(dòng)時(shí)所發(fā)生的摩擦。
行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332呈板狀，設(shè)置在殼體310的前面開(kāi)口部311。所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332具有多個(gè)行間距引導(dǎo)槽332a，以用于可滑動(dòng)地分別與列向引導(dǎo)部件331相結(jié)合，從而調(diào)整列向引導(dǎo)部件331之間的行間距。(列向引導(dǎo)部件之間的行間距是指各列向引導(dǎo)部件中心之間的行間距)。 S卩，沿著各行間距引導(dǎo)槽332a，與之對(duì)應(yīng)的列向引導(dǎo)部件331發(fā)生移動(dòng)，據(jù)此可以調(diào)整與列向引導(dǎo)部件331相結(jié)合的拾取器320的行間距。此時(shí)，由于在列向引導(dǎo)部件331的端部設(shè)有軸承(bearing) 360，所以可最小化當(dāng)列向引導(dǎo)部件331沿著行間距引導(dǎo)槽332a移動(dòng)時(shí)所發(fā)生的摩擦。 行間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌333設(shè)在殼體310的前面，用于引導(dǎo)行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件334的上下移動(dòng)，行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件334固定在行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332。
行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源335用于提供使得行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332上下移動(dòng)的動(dòng)力，包括與行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件334相結(jié)合的行間距調(diào)節(jié)用活塞335a ;固定在殼體310使得行間距調(diào)節(jié)用活塞335a做升降運(yùn)動(dòng)的氣缸335b。 行向LM導(dǎo)軌336固定設(shè)置在殼體310，以用于支撐列向引導(dǎo)部件331，使其能夠沿行向移動(dòng)。為此，在列向引導(dǎo)部件331的下面設(shè)有行向LM引導(dǎo)塊337，該行向LM引導(dǎo)塊337的下面形成有用于插入行向LM導(dǎo)軌336的行向引導(dǎo)槽337a。 列間距調(diào)節(jié)裝置340用于調(diào)整拾取器320的列間距，包括行向引導(dǎo)部件341、列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342、列間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌343、列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件344、列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源345以及列向LM導(dǎo)軌346。 行向引導(dǎo)部件341用于引導(dǎo)拾取器320的行向移動(dòng)，其設(shè)置在拾取器320的每一列而引導(dǎo)布置于同一列上的拾取器320的行向移動(dòng)。 拾取器320形成有使得行向引導(dǎo)部件341通過(guò)的行向通孔323，以用于拾取器320可滑動(dòng)地結(jié)合到行向引導(dǎo)部件341。行向引導(dǎo)部件341的兩端向布置于行向外緣的拾取器320的外側(cè)延長(zhǎng)預(yù)定距離。此時(shí)，行向通孔323上設(shè)有球軸套350，由此可最小化當(dāng)拾取器320沿行向引導(dǎo)部件341移動(dòng)時(shí)所發(fā)生的摩擦。 列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342呈板狀，設(shè)置在殼體310的側(cè)面開(kāi)口部312(參照?qǐng)D8)。所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342具有多個(gè)列間距引導(dǎo)槽342a，以用于可滑動(dòng)地分別與行向引導(dǎo)部件341相結(jié)合，從而調(diào)整行向弓I導(dǎo)部件341之間的列間距。(行向引導(dǎo)部件之間的列間距是指各行向引導(dǎo)部件中心之間的列間距)。 S卩，沿著各列間距引導(dǎo)槽342a，與之對(duì)應(yīng)的行向引導(dǎo)部件341發(fā)生移動(dòng)，據(jù)此可以調(diào)整與行向引導(dǎo)部件341相結(jié)合的拾取器320的列間距。 此時(shí)，由于在行向引導(dǎo)部件341的端部設(shè)有軸承(bearing) 360，所以可最小化當(dāng)行向引導(dǎo)部件341沿著列間距引導(dǎo)槽342a移動(dòng)時(shí)所發(fā)生的摩擦。 列間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌343設(shè)在殼體310的側(cè)面，用于引導(dǎo)列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件344的上下移動(dòng)，列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件344固定在列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342。
列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源345用于提供使得列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342上下移動(dòng)的動(dòng)力，包括與列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件344相結(jié)合的列間距調(diào)節(jié)用活塞345a ;固定在殼體310使得列間距調(diào)節(jié)用活塞345a做升降運(yùn)動(dòng)的列間距調(diào)節(jié)用氣缸345b。 列向LM導(dǎo)軌346固定設(shè)置在殼體310，以用于支撐行向引導(dǎo)部件341，使其能夠沿列向移動(dòng)。為此，在行向引導(dǎo)部件341的下面設(shè)有列向LM引導(dǎo)塊347，該列向LM引導(dǎo)塊347的下面形成有用于插入列向LM導(dǎo)軌346的列向引導(dǎo)槽347a。 通過(guò)如上所述的構(gòu)成，拾取器320位于列向引導(dǎo)部件331與行向引導(dǎo)部件341相交叉的位置，由此可沿列向及行向移動(dòng)。 在本實(shí)施例中，說(shuō)明了行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332和列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342分別設(shè)置為一個(gè)時(shí)的情況。 但是，行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332和列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342也可以分別設(shè)置為一對(duì)。據(jù)此，可以使列向引導(dǎo)部件331和行向引導(dǎo)部件341更加穩(wěn)定地移動(dòng)。
圖6是圖4所示拾放裝置的正面圖，圖7是圖4所示拾放裝置的側(cè)面圖。
參照?qǐng)D6及圖7，由于列向引導(dǎo)部件331之間的行間距為a，因此拾取器320之間的行間距同樣為a。 而且，由于行向引導(dǎo)部件341之間的列間距為b，因此拾取器320之間的列間距同樣為b。 在此狀態(tài)下，拾放裝置300從如圖1所示的用戶托盤(pán)100拾取半導(dǎo)體元件SC，并移送到如圖2所示的測(cè)試托盤(pán)200。 承載于測(cè)試托盤(pán)200的半導(dǎo)體元件SC之間的行間距為c，半導(dǎo)體元件SC之間的列間距為d。 根據(jù)本發(fā)明的拾放裝置300向圖2所示的測(cè)試托盤(pán)200移動(dòng)的過(guò)程中，按照?qǐng)D8至圖IO所示工作。 參照?qǐng)D8至圖IO，若行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件332根據(jù)行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源335向上側(cè)移動(dòng)，則位于圖6所示Al線上的列向引導(dǎo)部件331移動(dòng)至A2線上，從而拾取器320之間的行間距變?yōu)閏。 而且，若列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件342根據(jù)列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源345向上側(cè)移動(dòng)，則位于圖7所示Bl線上的行向引導(dǎo)部件341移動(dòng)至B2線上，從而拾取器320之間的列間距變?yōu)閐。 如此，當(dāng)拾取器320之間的行間距和列間距被調(diào)整之后，拾放裝置300將半導(dǎo)體元件SC裝載到如圖2所示的測(cè)試托盤(pán)200。 圖11是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置的立體圖，圖12是表示根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖。 如圖11及圖12所示，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的拾放裝置1100包括殼體1110、拾取器1120、行間距調(diào)節(jié)裝置1130、列間距調(diào)節(jié)裝置1140。 行間距調(diào)節(jié)裝置1130用于調(diào)整拾取器1120之間的行間距，包括列向引導(dǎo)部件
1131、行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1132、行間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌1133、行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件1134、
行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源H35、行向LM導(dǎo)軌1136以及行向LM引導(dǎo)塊1137。 列間距調(diào)節(jié)裝置1140用于調(diào)節(jié)拾取器1120之間的列間距，包括行向引導(dǎo)部件
1141、列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1142、列間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌1143、列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件1144、
列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源1145、列向LM導(dǎo)軌1146以及列向LM引導(dǎo)塊1147。 根據(jù)本實(shí)施例的拾放裝置1100，除了拾取器1120、用于引導(dǎo)拾取器1120列向移動(dòng)
的列向引導(dǎo)部件1131、用于引導(dǎo)拾取器1120行向移動(dòng)的行向引導(dǎo)部件1141之外，其他的構(gòu)
成與第一實(shí)施例的構(gòu)成實(shí)質(zhì)上相同，因此省略重復(fù)說(shuō)明。
根據(jù)本實(shí)施例的列向引導(dǎo)部件1131設(shè)置在拾取器1120的每一行而引導(dǎo)布置于同一行上的拾取器1120的列向移動(dòng)，列向引導(dǎo)部件1131布置在拾取器1120的上側(cè)。
列向引導(dǎo)部件1131的一端形成有列向引導(dǎo)凸起1131a，以用于可滑動(dòng)地結(jié)合到行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1132的行間距引導(dǎo)槽1132a。 S卩，沿著各行間距引導(dǎo)槽1132a，與之對(duì)應(yīng)的列向引導(dǎo)凸起1131a移動(dòng)，據(jù)此可以調(diào)整與列向引導(dǎo)部件1131相結(jié)合的拾取器1120的行間距。 行向引導(dǎo)部件1141設(shè)置在拾取器1120的每一列而引導(dǎo)布置于同一列上的拾取器1120的行向移動(dòng)，行向引導(dǎo)部件1141布置在拾取器1120的側(cè)面。 行向引導(dǎo)部件1141的一端形成有行向引導(dǎo)凸起1141a，以用于可滑動(dòng)地結(jié)合到列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1142的列間距引導(dǎo)槽1142a。從而，沿著各列間距引導(dǎo)槽1142a，與之對(duì)應(yīng)的行向引導(dǎo)凸起1141a移動(dòng)，據(jù)此可以調(diào)整與行向引導(dǎo)部件1141相結(jié)合的拾取器1120的列間距。 此時(shí)，列向引導(dǎo)凸起1131a和行向引導(dǎo)凸起1141a的端部設(shè)有軸承1150，因此可最小化當(dāng)列向引導(dǎo)部件1131及行向引導(dǎo)部件1141移動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的摩擦。
以下，參照?qǐng)D13說(shuō)明列向引導(dǎo)部件1131、行向引導(dǎo)部件1141以及拾取器1120之間的結(jié)合結(jié)構(gòu)。各拾取器1120的上部設(shè)有列向滑動(dòng)凸起1121，列向引導(dǎo)部件1131的下部形成有與列向滑動(dòng)凸起1121相對(duì)應(yīng)形狀的列向滑動(dòng)槽1131b。在此，列向滑動(dòng)凸起1121的兩側(cè)面呈傾斜狀，從而能夠防止從列向滑動(dòng)槽1131b脫離。 而且，各拾取器1120的側(cè)面設(shè)有行向滑動(dòng)凸起1122，行向引導(dǎo)部件1141的側(cè)面形成有與行向滑動(dòng)凸起1122相對(duì)應(yīng)形狀的行向滑動(dòng)槽1141b。 另外，列向引導(dǎo)部件1131'、行向引導(dǎo)部件1141'及拾取器1120可以如圖14所示相結(jié)合。各拾取器1120的上部設(shè)有列向LM引導(dǎo)塊1123，列向LM引導(dǎo)塊1123的上面形成有與列向引導(dǎo)部件1131'相對(duì)應(yīng)形狀的列向引導(dǎo)槽1123a，以用于可滑動(dòng)地插入列向引導(dǎo)部件1131'。此時(shí)，列向引導(dǎo)部件1131'形成為兩側(cè)面傾斜的形狀，從而防止從列向引導(dǎo)槽1123a脫離。 而且，各拾取器1120的側(cè)面設(shè)有列向LM引導(dǎo)塊H24，列向LM引導(dǎo)塊1124的側(cè)面
形成有列向引導(dǎo)槽1124a，以用于可滑動(dòng)地插入行向引導(dǎo)部件1141'。 由于根據(jù)本實(shí)施例的拾放裝置1100實(shí)質(zhì)上以與第一實(shí)施例的拾放裝置300相同
的方式工作，因此不再贅述。 圖15是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的拾放裝置的立體圖，圖16是表示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖。 參照?qǐng)D15及圖16，根據(jù)本實(shí)施例的拾放裝置1500包括殼體1510、拾取器1520、行間距調(diào)節(jié)裝置1530以及列間距調(diào)節(jié)裝置1540。 行間距調(diào)節(jié)裝置1530用于調(diào)節(jié)拾取器1520之間的行間距，包括列向引導(dǎo)部件
1531、行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1532、行間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌1533、行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件1534、
行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源1535、行向LM導(dǎo)軌1536以及行向LM引導(dǎo)塊1537。 列向引導(dǎo)部件1531設(shè)置在拾取器1520的每一行而引導(dǎo)布置于同一行上的拾取器
1520的列向移動(dòng)，由于列向引導(dǎo)部件1531與拾取器1520之間的結(jié)合結(jié)構(gòu)與第二實(shí)施例相
同，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。
列向引導(dǎo)部件1531的一端形成有與行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1532相結(jié)合的列向引導(dǎo)凸起1531a。 行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1532呈板狀，設(shè)置在殼體1510的前面開(kāi)口部1511。所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1532具有多個(gè)行間距引導(dǎo)槽1532a，以用于可滑動(dòng)地分別與列向引導(dǎo)部件1531的列向引導(dǎo)凸起1531a相結(jié)合，從而調(diào)整列向引導(dǎo)部件1531之間的行間距。
進(jìn)而，沿著各行間距引導(dǎo)槽1532a，與之對(duì)應(yīng)的列向引導(dǎo)凸起1531a移動(dòng)，據(jù)此可以調(diào)整與列向引導(dǎo)部件1531相結(jié)合的拾取器1520的行間距。 此時(shí)，行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1532具有行間距引導(dǎo)槽1532a，該行間距引導(dǎo)槽1532a能夠限制結(jié)合有布置于第四行(圖15、16中，最靠近列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542的行，以下均相同)的拾取器1520的列向引導(dǎo)部件1531沿行向的移動(dòng)。這是為了防止后述的引導(dǎo)凸起1521從列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542脫離。 由于行間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌1533、行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件1534、行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源1535、行向LM導(dǎo)軌1536以及行向LM引導(dǎo)塊1537與第一實(shí)施例的構(gòu)成相同，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。 列間距調(diào)節(jié)裝置1540用于調(diào)節(jié)拾取器1520之間的列間距，包括行向引導(dǎo)部件
1541、列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542、列間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌1543、列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件1544、
列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源1545、列向LM導(dǎo)軌1546以及列向LM引導(dǎo)塊1547。 行向引導(dǎo)部件1541設(shè)置在拾取器1520的每一列而引導(dǎo)布置于同一列上的拾取器
1520的行向移動(dòng)，由于行向引導(dǎo)部件1541與拾取器1520之間的結(jié)合結(jié)構(gòu)與第二實(shí)施例相
同，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。 列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542呈垂直的板狀，設(shè)置在殼體1510的側(cè)面開(kāi)口部1512。
在此，布置于第四行的拾取器1520具有向列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542側(cè)凸出的引導(dǎo)凸起1521。列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542具有多個(gè)列間距引導(dǎo)槽1542a，以用于分別可滑動(dòng)地與引導(dǎo)凸起1521相結(jié)合而調(diào)整引導(dǎo)凸起1521之間的間距，從而改變布置于第四行的拾取器1520之間的間距。 若布置于第四行的拾取器1520通過(guò)所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542列向移動(dòng)，則與布置于第四行的各拾取器1520位于相同列上的拾取器1520由于結(jié)合在行向引導(dǎo)部件1541，因此與布置在第四行上的拾取器1520 —同沿列向移動(dòng)。 此時(shí)，引導(dǎo)凸起1521的端部設(shè)有軸承1550，從而可以最小化當(dāng)引導(dǎo)凸起1521沿著列間距引導(dǎo)槽1542a移動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的摩擦。 由于列間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌1543、列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件1544、列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源1545、列向LM導(dǎo)軌1546以及列向LM引導(dǎo)塊1547與第一實(shí)施例的構(gòu)成相同，因此省略詳細(xì)說(shuō)明。 本實(shí)施例中，雖然例舉說(shuō)明了引導(dǎo)凸起1521形成在布置于第四行的拾取器1520上的情況，但引導(dǎo)凸起1521也可以形成在布置于第一行(圖15、16中，最遠(yuǎn)離列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542的行)的拾取器1520上。此時(shí)，列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542應(yīng)當(dāng)設(shè)置在能夠與引導(dǎo)凸起1521相結(jié)合的位置。 圖17是圖15所示拾放裝置的正面圖，圖18是圖15所示拾放裝置的側(cè)面圖。
參照?qǐng)D17及圖18，列向引導(dǎo)部件1531之間的行間距為a，因此拾取器1520之間的行間距同樣為a。 而且，行向引導(dǎo)部件1541之間的列間距為b，因此拾取器1520之間的列間距同樣為b。 在此狀態(tài)下，拾放裝置1500從圖1所示的用戶托盤(pán)100拾取半導(dǎo)體元件SC，并移送至圖2所示的測(cè)試托盤(pán)200，其工作過(guò)程如圖19至21所示。 參照?qǐng)D19至圖21，若行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1532根據(jù)行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源1535向上側(cè)移動(dòng)，則位于圖17所示C1線上的列向引導(dǎo)部件1531的列向引導(dǎo)凸起1531a將移動(dòng)至C2線上，由此拾取器1520的行間距變?yōu)閏。 而且，若列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件1542根據(jù)列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源1545向上側(cè)移動(dòng)，則位于圖18所示D1線上的引導(dǎo)凸起1521將移動(dòng)至D2線上，由此拾取器1520之間的列間距變?yōu)閐。 如此，拾放裝置1500，當(dāng)拾取器1520之間的行間距和列間距被調(diào)節(jié)時(shí)，將半導(dǎo)體元件SC裝載到圖2所示的測(cè)試托盤(pán)200。 圖22是根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的拾放裝置的立體圖，圖23是表示根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的拾放裝置的主要構(gòu)成的分解立體圖。 參照?qǐng)D22及圖23，根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施例的拾放裝置2200包括殼體2210、拾取器2220、行間距調(diào)節(jié)裝置2230以及列間距調(diào)節(jié)裝置2240。 行間距調(diào)節(jié)裝置2230用于調(diào)節(jié)拾取器2220之間的行間距，包括列向引導(dǎo)部件
2231、行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件2232、行間距調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌2233、行間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件2234、
行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源2235、行向LM導(dǎo)軌2236以及行向LM引導(dǎo)塊2237。 列間距調(diào)節(jié)裝置2240用于調(diào)整拾取器2220之間的列間距，包括形成在布置于第
四行(圖22、23中，最靠近列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件2242的行，以下均相同)的拾取器2220
上的引導(dǎo)凸起2221、行向引導(dǎo)裝置2241 (參照?qǐng)D24)、列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件2242、列間距
調(diào)節(jié)用導(dǎo)軌2243、列間距調(diào)節(jié)用滑動(dòng)部件2244、列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源2245。 根據(jù)本實(shí)施例的拾放裝置2200除了行向引導(dǎo)裝置2241之外，其他構(gòu)成與第三實(shí)
施例均相同，因此省略重復(fù)說(shuō)明。 參照?qǐng)D24，根據(jù)本實(shí)施例的行向弓|導(dǎo)裝置2241設(shè)置在拾取器2220的各列上，用于引導(dǎo)布置于同一列上的拾取器2220的行向移動(dòng)，行向引導(dǎo)裝置2241包括引導(dǎo)桿2241a、引導(dǎo)塊2241b。 引導(dǎo)桿2241a為桿(bar)狀，設(shè)置在布置于第二行至第四行的拾取器2220的一側(cè)面。(圖24中，從左到右依次為第一行、第二行、第三行、第四行)。 引導(dǎo)塊2241b設(shè)置在第一行至第三行的拾取器2220的另一側(cè)面，引導(dǎo)塊2241b具有使得引導(dǎo)桿2241a可滑動(dòng)地插入設(shè)置的插入槽2241c。 通過(guò)上述的構(gòu)成，設(shè)置在布置于第二行的拾取器2220上的引導(dǎo)桿2241a與設(shè)置在布置于第一行的拾取器2220上的引導(dǎo)塊2241b相滑動(dòng)結(jié)合，同理，設(shè)置在布置于第三行的拾取器2220上的引導(dǎo)桿2241a與設(shè)置在布置于第二行的拾取器2220上的引導(dǎo)塊2241b相滑動(dòng)結(jié)合，設(shè)置在布置于第四行的拾取器2220上的引導(dǎo)桿2241a與設(shè)置在布置于第三行的拾取器2220上的引導(dǎo)塊224lb相滑動(dòng)結(jié)合。 根據(jù)本實(shí)施例的拾放裝置2200除了行向引導(dǎo)裝置2241的動(dòng)作之外，實(shí)質(zhì)上與第
11三實(shí)施例的拾放裝置1500以相同的方式工作，因此省略對(duì)其工作的說(shuō)明。 如上所述，參照附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但是上述的實(shí)施例只是
說(shuō)明了本發(fā)明的優(yōu)選技術(shù)方案，因此本發(fā)明并不局限在如上所述的實(shí)施例中，本發(fā)明的保
護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)依據(jù)權(quán)利要求及其等同概念來(lái)確定。
權(quán)利要求
一種測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置，其特征在于包括拾取器，以N行×M列的形態(tài)布置，所述N和M分別為大于等于2的自然數(shù)；行間距調(diào)節(jié)裝置，用于引導(dǎo)所述拾取器的列向移動(dòng)，并調(diào)整所述拾取器的行間距；列間距調(diào)節(jié)裝置，用于引導(dǎo)所述拾取器的行向移動(dòng)，并調(diào)整所述拾取器的列間距；其中，所述行間距調(diào)節(jié)裝置包括多個(gè)列向引導(dǎo)部件，用于引導(dǎo)所述拾取器的列向移動(dòng)；行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，呈垂直板形狀，用于調(diào)整所述列向引導(dǎo)部件之間的行間距；行間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源，用于驅(qū)動(dòng)所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件；所述列間距調(diào)節(jié)裝置包括多個(gè)行向引導(dǎo)部件，用于引導(dǎo)所述拾取器的行向移動(dòng)；列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件，呈垂直板形狀，用于調(diào)整所述行向引導(dǎo)部件之間的列間距；列間距調(diào)節(jié)用驅(qū)動(dòng)源，用于驅(qū)動(dòng)所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置，其特征在于所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪部件具有多個(gè)行間距引導(dǎo)槽，該行間距引導(dǎo)槽分別與所述列向 引導(dǎo)部件可滑動(dòng)地相結(jié)合，從而通過(guò)調(diào)整所述列向引導(dǎo)部件之間的行間距來(lái)改變所述拾取 器之間的行間距；所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件具有多個(gè)列間距引導(dǎo)槽，該列間距引導(dǎo)槽分別與所述行向 弓I導(dǎo)部件可滑動(dòng)地相結(jié)合，從而通過(guò)調(diào)整所述行向弓I導(dǎo)部件之間的列間距來(lái)改變所述拾取 器之間的列間距。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置，其特征在于所述拾取器位于所述列 向弓I導(dǎo)部件與所述行向弓I導(dǎo)部件相互交叉的位置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置，其特征在于所述列向引導(dǎo)部件和所 述行向引導(dǎo)部件相互垂直地設(shè)置在所述拾取器上，所述列向引導(dǎo)部件和所述行向引導(dǎo)部件 中的某一個(gè)設(shè)置在所述拾取器的上側(cè)，而另一個(gè)設(shè)置在所述拾取器的側(cè)面。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置，其特征在于所述行間距調(diào)節(jié)用凸輪 部件和所述列間距調(diào)節(jié)用凸輪部件分別設(shè)置為一對(duì)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種測(cè)試分選機(jī)的拾放裝置，該拾放裝置包括拾取器，以N行×M列的形態(tài)布置，所述N和M分別為大于等于2的自然數(shù)；行間距調(diào)節(jié)裝置，用于引導(dǎo)所述拾取器的列向移動(dòng)，并調(diào)整所述拾取器的行間距；列間距調(diào)節(jié)裝置，用于引導(dǎo)所述拾取器的行向移動(dòng)，并調(diào)整所述拾取器的列間距。本發(fā)明可以簡(jiǎn)化拾放裝置的構(gòu)成，降低制造成本，并且可以提高將半導(dǎo)體元件從用戶托盤(pán)移送至測(cè)試托盤(pán)的速度。
文檔編號(hào)B07C5/36GK101767095SQ20091021510
公開(kāi)日2010年7月7日 申請(qǐng)日期2009年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月31日
發(fā)明者樸榮大 申請(qǐng)人:泰克元有限公司