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一種全自動(dòng)方形晶片角度分選儀的制作方法

文檔序號(hào):5084611閱讀:271來源:國(guó)知局
專利名稱:一種全自動(dòng)方形晶片角度分選儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種對(duì)晶片進(jìn)行檢測(cè)、分選的設(shè)備,特別是對(duì)晶片的角度進(jìn)行檢 測(cè)的全自動(dòng)方形晶片角度分選儀。
背景技術(shù)
目前,使用的一種全自動(dòng)方形晶片角度分選儀(申請(qǐng)?zhí)枮?2^4366. 3),主要是 由中央處理器、壓片器、吸片器、晶片槽及其支架構(gòu)成,該結(jié)構(gòu)由于只有一個(gè)機(jī)械手,晶片測(cè) 完角度后,機(jī)械手吸氣送到應(yīng)分的角度檔,再轉(zhuǎn)回原位后才能壓片、測(cè)角度,而且X光機(jī)用 大電容濾波,測(cè)角速度只有600多片/小時(shí),同時(shí)不同批次的晶片,因厚度及長(zhǎng)寬尺寸不同, 需調(diào)整壓片狹縫的寬度,由于有的晶片僅0. 15mm厚,調(diào)整操作非常困難,很費(fèi)時(shí)間,再加上 晶片槽長(zhǎng)度只有250mm,一次只能上少量的片,上片時(shí)還需停機(jī),用鑷子人工一摞摞小心謹(jǐn) 慎地放進(jìn)槽內(nèi),既難又費(fèi)時(shí),整體效率很低,速度很慢,遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了數(shù)字技術(shù)與網(wǎng)絡(luò)技術(shù) 的發(fā)展對(duì)晶片元件的需求;而且在檢測(cè)過程中,由于晶片很薄,壓片時(shí)易卡片碎片,有損耗, 造成生產(chǎn)中的浪費(fèi),生產(chǎn)效率低,晶片成本提高,不利于晶片的生產(chǎn)與發(fā)展;再者現(xiàn)有分選 儀在晶片測(cè)角時(shí)分士X上下方向,長(zhǎng)方片兩端面有斜面時(shí)可分出上下,小長(zhǎng)方片若斜面已 去掉,就無(wú)法分方向,只有盲目測(cè),分選率僅有50%,余片需整理后再重測(cè),這部分也只有 50%被選出,費(fèi)工費(fèi)時(shí),在反復(fù)整理分選中晶片受到污染,測(cè)角不準(zhǔn),大大影響了晶片的分 選質(zhì)量,因此,如何提供一種更快速高效確保測(cè)片質(zhì)量的晶片角度分選儀勢(shì)在必行。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述情況,本實(shí)用新型之目的就是提供一種改進(jìn)的新型全自動(dòng)方形晶片角度 分選儀,可有效解決測(cè)片速度慢及晶片分選的質(zhì)量問題。本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題的方案是,一種全自動(dòng)方形晶片角度分選儀,是中 央控制器由信號(hào)傳輸線分別接分選電機(jī)、計(jì)數(shù)管和吸片裝置,吸片裝置由氣管及軟管接分 選機(jī)械手吸嘴處,分選機(jī)械手裝在分選電機(jī)上,吸片裝置經(jīng)氣管接靠板吸嘴處,分選機(jī)械手 下面裝有角度分選盒,其特征在于,吸片裝置經(jīng)氣管及軟管接上料機(jī)械手吸嘴處,上料機(jī)械 手裝在上料電機(jī)上,上料電機(jī)與中央控制器由信號(hào)線相連通,上料機(jī)械手端部下面裝有晶 片輸送裝置,晶片輸送裝置上部平板上裝有與中央控制器連通的光電開關(guān),角度分選盒末 檔處裝有晶片收集裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎獨(dú)特,易操作,測(cè)角分選速度快,效率高,測(cè)角準(zhǔn),質(zhì)量好,應(yīng) 用面廣,是對(duì)現(xiàn)有分選儀的創(chuàng)造性改進(jìn),其推廣應(yīng)用,必為晶片的生產(chǎn)與發(fā)展作出積極的貢 獻(xiàn)。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)主視圖;圖2為晶片槽套立體結(jié)構(gòu)圖;[0008]圖3為晶片槽結(jié)構(gòu)立體圖;圖4為靠板主視圖;圖5為靠板側(cè)視圖;圖6為靠板后視圖;圖7為本實(shí)用新型的上料機(jī)械手及分選機(jī)械手工作運(yùn)動(dòng)情況圖(圖中虛線為運(yùn)動(dòng) 軌跡)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施 例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案,而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍。如圖1所示,本實(shí)用新型是中央控制器1由信號(hào)傳輸線分別接分選電機(jī)10、計(jì)數(shù) 管7和吸片裝置8,吸片裝置8由氣管及軟管19接分選機(jī)械手11吸嘴處,分選機(jī)械手11裝 在分選電機(jī)10上,吸片裝置8經(jīng)氣管接靠板6吸嘴處,分選機(jī)械于11下面裝有角度分選盒 12,吸片裝置8經(jīng)氣管及軟管9接上料機(jī)械手3吸嘴處,上料機(jī)械手3裝在上料電機(jī)2上, 上料電機(jī)2與中央控制器1由信號(hào)線相連通,上料機(jī)械手3端部下面裝有晶片輸送裝置,晶 片輸送裝置上部平板上裝有與中央控制器1連通的光電開關(guān)1. 6,角度分選盒12末檔處裝 有晶片收集裝置。所述的晶片輸送裝置是在升片電機(jī)15上部裝晶片槽套13,晶片槽M置入晶片槽 套內(nèi),晶片槽M處有限位立柱17,升片電機(jī)15的電機(jī)軸上在升片槽內(nèi)裝有升降螺桿14,升 降螺桿14上裝有升片平臺(tái)18,升片電機(jī)15接中央控制器1 ;所述的晶片收集裝置是在電 機(jī)22上裝有晶片槽套21,晶片槽套內(nèi)裝有晶片槽,晶片槽處內(nèi)在電機(jī)軸上裝有螺桿,螺桿 上有升降平臺(tái)23,晶片槽上部平板上有光電開關(guān)及喇叭形滑道20,電機(jī)22接中央控制器1。 需指出的是,晶片收集裝置其結(jié)構(gòu)除滑道20外,均與上述的晶片輸送裝置結(jié)構(gòu)是一樣的, 僅兩者光電開關(guān)作用相反(因防圖中畫出太亂,故此部分未有像送片裝置一樣詳盡畫出, 僅給出文字說明)。為了適應(yīng)長(zhǎng)方片及正方片均能進(jìn)行有效測(cè)角分選,其靠板6上部前面上有三個(gè)凸 圓25 (見圖4所示),克服了原靠板上只有凸細(xì)長(zhǎng)條,只能適應(yīng)長(zhǎng)方晶片的需要而不適應(yīng)正 方片的問題,擴(kuò)大了使用范圍。吸片裝置8基本上同已有結(jié)構(gòu),只是在其氣室上增加一個(gè)吸氣管和一個(gè)電磁閥接 于上料機(jī)械手3的吸嘴處,不再詳述;分選機(jī)械手11是由電機(jī)、機(jī)械手和傳感器構(gòu)成,因同 原有結(jié)構(gòu),這里也不再贅述??傊彩桥c原有部件相同的,本說明書中均不再詳述,請(qǐng)見申 請(qǐng)?zhí)枮?2284366. 3的專利。本實(shí)用新型在使用時(shí)將其固定在X光定向儀上,X光定向儀上的X光5的射線管 與計(jì)數(shù)管相對(duì)應(yīng),晶片4置于晶片槽M內(nèi),其工作情況是,當(dāng)晶片4由晶片輸送裝置沿晶片 槽由螺桿及升片平臺(tái)向上運(yùn)送時(shí),當(dāng)晶片高度未達(dá)到設(shè)定高度時(shí),光電開關(guān)接通,將信號(hào)傳 給中央控制器,發(fā)出指令給升片電機(jī)將晶片向上送,當(dāng)晶片升至設(shè)定高度,擋住光電開關(guān), 將信號(hào)給中央控制器,中央控制器指令升片電機(jī)停止,晶片4處在設(shè)定高度,此時(shí)上料機(jī)械 手吸走一片晶片,光電開關(guān)接通,下一循環(huán)送片開始,如此可使晶片永遠(yuǎn)保持在同一設(shè)定高度,機(jī)械手不停的工作;當(dāng)上料機(jī)械手處在晶片上方時(shí),中央控制器指令吸片裝置中同上料 機(jī)械手連通的電磁閥導(dǎo)通,上料機(jī)械手吸起一片晶片,中央控制器再指令上料機(jī)械手垂直 旋轉(zhuǎn)180度,將晶片送到靠板前(見圖7中虛線所示),之后,中央控制器指令電磁閥斷開, 不再吸片,同時(shí)指令靠板電磁閥導(dǎo)通,將晶片吸到靠板上,再指令測(cè)角步進(jìn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)測(cè)量角 度,同時(shí)上料機(jī)械手轉(zhuǎn)回晶片上方,進(jìn)行下一次循環(huán)送片動(dòng)作。由于吸嘴與機(jī)械手臂間是軸 承連接,利用吸嘴重心在軸承外的重力作用及機(jī)械手旋轉(zhuǎn)停止的慣性,吸嘴實(shí)際旋轉(zhuǎn)為270 度,這樣可使晶片由原始的水平放置到靠板前改為垂直放置,以便靠板吸片并測(cè)角,測(cè)角是 由步進(jìn)電機(jī)通過較大傳動(dòng)比帶動(dòng)測(cè)角手輪慢速旋轉(zhuǎn)致使旋轉(zhuǎn)編碼器顯示角度的(其測(cè)角 情況同已有設(shè)備,故圖中未顯示)。當(dāng)角度測(cè)完后,中央控制器指令電磁閥斷開,靠板不再 吸片,同時(shí)指令分選機(jī)械手吸嘴吸晶片,根據(jù)測(cè)角旋轉(zhuǎn)編碼器及計(jì)數(shù)管測(cè)出角度的脈沖數(shù) 及步進(jìn)電機(jī)旋轉(zhuǎn)的步數(shù)輸送到中央控制器,再將這些數(shù)據(jù)歸類到預(yù)先設(shè)定的某檔,指令分 選機(jī)械手轉(zhuǎn)至應(yīng)分的角度分選盒上方,中央控制器指令分選機(jī)械手電磁閥斷開,晶片落入 應(yīng)分檔角度分選盒內(nèi),此時(shí)下一晶片測(cè)角已完,中央控制器指令轉(zhuǎn)回靠板前進(jìn)入下一循環(huán) 動(dòng)作,分選機(jī)械手分檔定位是由安裝在其末端下方的霍爾傳感器<或光電傳感器)感應(yīng)安 裝在各分選盒上方中心位置的磁鋼(或光電管)的次數(shù)來完成的(與原有分選盒結(jié)構(gòu)及 工作情況相同);當(dāng)測(cè)角測(cè)出不符合要求的晶片置于最后一檔超標(biāo)分選盒內(nèi)(測(cè)不出角度 的),上下方向不同,角度相差6度左右,而測(cè)角時(shí),角度旋轉(zhuǎn)很小,小方片上下方向無(wú)法從 外形確認(rèn),因此上下方向放反的晶片需按同一方向收集起來,置入末檔處的收集裝置內(nèi)待 重測(cè)。上述各步,即上片、測(cè)角、分選、收集都在中央控制器統(tǒng)一指令下工作。不會(huì)沖突及 延誤時(shí)間,自動(dòng)化高,測(cè)角速度快,測(cè)角速度可由原來的600片/小時(shí)提高到1200片/小時(shí) 以上,準(zhǔn)確,機(jī)械自動(dòng)化操作,省工省時(shí),無(wú)碎片,無(wú)污染,不但提高了測(cè)角準(zhǔn)確度,大大提高 了生產(chǎn)效率和晶片質(zhì)量,而且減少材料的浪費(fèi),降低了生產(chǎn)成本,具有巨大的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效 益,其推廣應(yīng)用必為晶片生產(chǎn)作出創(chuàng)造性貢獻(xiàn)。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾,這些改 進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種全自動(dòng)方形晶片角度分選儀,是中央控制器(1)由信號(hào)傳輸線分別接分選電機(jī) (10)、計(jì)數(shù)管(7)和吸片裝置(8),吸片裝置⑶由氣管及軟管(19)接分選機(jī)械手(11)吸 嘴處,分選機(jī)械手(11)裝在分選電機(jī)(10)上,吸片裝置(8)經(jīng)氣管接靠板(6)吸嘴處,分 選機(jī)械手(11)下面裝有角度分選盒(12),其特征在于,吸片裝置(8)經(jīng)氣管及軟管(9)接 上料機(jī)械手C3)吸嘴處,上料機(jī)械手C3)裝在上料電機(jī)( 上,上料電機(jī)( 與中央控制器 (1)由信號(hào)線相連通,上料機(jī)械手C3)端部下面裝有晶片輸送裝置,晶片輸送裝置上部平板 上裝有與中央控制器(1)連通的光電開關(guān)(16),角度分選盒(1 末檔處裝有晶片收集裝 置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)方形晶片角度分選儀,其特征在于,所述的晶片輸送 裝置是在升片電機(jī)(15)上部裝晶片槽套(13),晶片槽04)置入晶片槽套內(nèi),晶片槽04) 處有限位立柱(17),升片電機(jī)(1 的電機(jī)軸上在升片槽內(nèi)裝有升降螺桿(14),升降螺桿 (14)上裝有升片平臺(tái)(18),升片電機(jī)(15)接中央控制器(I)0
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)方形晶片角度分選儀,其特征在于,所述的晶片收集 裝置是在電機(jī)(2 上裝有晶片槽套(21),晶片槽套內(nèi)裝有晶片槽,晶片槽內(nèi)在電機(jī)軸上裝 有螺桿,螺桿上有升降平臺(tái)(23),晶片槽上部平板上有光電開關(guān)及喇叭形滑道00),電機(jī) (22)接中央控制器(I)0
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)方形晶片角度分選儀,其特征在于,所述的靠板(6)上 部前面有三個(gè)凸圓05)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種全自動(dòng)方形晶片角度分選儀,可有效解決原分選儀測(cè)角速度慢及晶片分選的質(zhì)量問題,其解決的技術(shù)方案是中央控制器由信號(hào)傳輸線分別接分選電機(jī)、計(jì)數(shù)管和吸片裝置,吸片裝置經(jīng)氣管及軟管接分選機(jī)械手,分選機(jī)械手接分選電機(jī),吸片裝置經(jīng)氣管接靠板,分選機(jī)械手下面有角度分選盒,吸片裝置經(jīng)氣管及軟管接上料機(jī)械手,上料機(jī)械手裝在上料電機(jī)上,上料電機(jī)與中央控制器由信號(hào)線相連通,上料機(jī)械手端部下面裝有晶片輸送裝置,其上部有與中央控制器相連的光電開關(guān),角度分選盒末檔處裝有晶片收集裝置,其結(jié)構(gòu)新穎獨(dú)特,易操作,測(cè)角分選快,效率高,無(wú)污染,無(wú)碎片,測(cè)角準(zhǔn),應(yīng)用面廣,其推廣應(yīng)用必為晶片生產(chǎn)作出創(chuàng)造性貢獻(xiàn)。
文檔編號(hào)B07C5/34GK201862582SQ201020584428
公開日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月1日
發(fā)明者李向清, 沈彪, 胡德良 申請(qǐng)人:江陰市愛多光伏科技有限公司
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