專利名稱：硅片在線自動檢測裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種硅片在線自動檢測裝置。
背景技術：
硅片一般較薄，在分切、清洗或傳輸?shù)倪^程中極易發(fā)生碎片的現(xiàn)象，要進行碎片檢查后才能夠進行后續(xù)的應用，現(xiàn)有技術中多是通過人工精檢來對可能含有大量碎片的硅片進行檢測，這樣往往需要很高的人工成本，且檢測效率非常低。

發(fā)明內容
針對上述存在的技術不足，本發(fā)明的目的是提供一種用于對硅片中的碎 片進行粗檢的硅片在線自動檢測裝置。為解決上述技術問題，本發(fā)明采用如下技術方案
一種硅片在線自動檢測裝置，用于檢測隨傳輸線同步依次傳送的若干硅片是否為碎片并將碎片從所述的傳輸線上分揀出來，其特征在于包括設置在所述的傳輸線的上方的檢測單元、與所述的檢測單元信號連接的控制單元及與所述的控制單元信號連接的分揀單元;
所述的檢測單元包括用于檢測所述的傳輸線上當前是否有硅片的第一檢測件、用于檢測對應的當前硅片是碎片或完整片的第二檢測件；
所述的分揀單元包括從所述的傳輸線延伸設置的分揀傳輸軌、下料機構、碎片收集機構，所述的分揀傳輸軌具有第一位置和第二位置，當所述的分揀傳輸軌位于第一位置時，所述的分揀傳輸軌對接在所述的傳輸線與所述的下料機構之間；當所述的分揀傳輸軌位于第二位置時，所述的分揀傳輸軌對接在所述的傳輸線與所述的碎片收集機構之間；
所述的控制單元接收所述的第一檢測件及所述的第二檢測件的檢測信號并根據(jù)這些信號控制所述的分揀傳輸軌在第一位置及第二位置之間進行切換當所述的第一檢測件檢測到有硅片時，所述的控制單元控制所述的分揀傳輸軌位于第一位置；當所述的第二檢測件檢測到當前硅片為完整片時，所述的控制機構控制所述的分揀傳輸軌維持在第一位置；當所述的第二檢測件檢測到當前硅片為碎片時，所述的控制機構控制所述的分揀傳輸軌位于第二位置；
所述的第一檢測件為一個第一光纖傳感器，所述的第二檢測件為多個第二光纖傳感器，這些所述的第二檢測件在所述的傳輸線所在的水平面內的投影落在與所述的硅片的形狀、大小相同的圖形內部。優(yōu)選地，所述的分揀傳輸軌的遠離所述的傳輸軌的一端為可升降端，所述的碎片收集機構位于所述的下料機構的下方，當所述的分揀傳輸軌位于第一位置時，所述的傳輸軌、所述的分揀傳輸軌及所述的下料機構位于同于水平面內；當所述的分揀傳輸軌位于第二位置時，所述的分揀傳輸軌的可升降端下降且伸至所述的碎片收集機構處。優(yōu)選地，所述的分揀傳輸軌的可升降端處設置有驅動所述的可升降端下降或上升的氣缸，所述的氣缸信號連接至所述的控制單元。優(yōu)選地，所述的分揀傳輸軌的長度小于所述的傳輸線上的相鄰兩個硅片之間的距離。優(yōu)選地，所述的硅片呈矩形，所述的第二檢測件包括四個第二光纖傳感器，這四個第二光纖傳感器在所述的傳輸線所在的水平面內的投影大致落在與所述的硅片的大小相同的矩形的四個頂角。本發(fā)明的有益效果在于利用光纖傳感器檢測出硅片中的碎片，并通過控制分揀傳輸軌動作來將碎片分揀出來，這樣的方法可以將硅片中的絕大多數(shù)的碎片分揀出來，為后面的精檢打好基礎，以達到高效、快捷地分揀出所有的碎片，成本低，效率高，適于推廣采用。


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附圖I為本發(fā)明的硅片在線自動檢測裝置中的檢測單元檢測的當前硅片不是碎片時的結構示意 附圖2為本發(fā)明的硅片在線自動檢測裝置中的檢測單元檢測的當前硅片是對片時的結構示意 附圖3為本發(fā)明的硅片在線自動檢測裝置中的檢測單元與硅片(完整片)的檢測狀態(tài)示意 附圖4為本發(fā)明的硅片在線自動檢測裝置中的檢測單元與硅片(碎片)的檢測狀態(tài)示意圖。附圖中1、傳輸線；2、娃片；3、檢測單兀；4、控制單兀；5、分揀單兀；6、第一光纖傳感器；7、第二光纖傳感器；8、分揀傳輸軌；81、可升降端；9、下料傳輸軌；10、氣缸；11、碎片收集機構。
具體實施例方式下面結合附圖所示的實施例對本發(fā)明作以下詳細描述
如附圖I及附圖2所示，本發(fā)明的硅片在線自動檢測裝置，用于檢測隨傳輸線I同步依次傳送的若干硅片2是否為碎片并將碎片從傳輸線I上分揀出來，結構包括設置在傳輸線I上方的檢測單元3、與檢測單元3信號連接的控制單元4及與控制單元4信號連接的分揀單元5，檢測單元3包括用于檢測傳輸線I上當前是否有硅片2的第一檢測件、用于檢測對應的當前硅片2是碎片或完整片的第二檢測件；分揀單元5包括從傳輸線I延伸設置的分揀傳輸軌8、下料機構、碎片收集機構11，分揀傳輸軌8具有第一位置和第二位置，當分揀傳輸軌8位于第一位置時，分揀傳輸軌8對接在傳輸線I與下料機構之間；當分揀傳輸軌8位于第二位置時，分揀傳輸軌8對接在傳輸線I與碎片收集機構11之間；控制單元4接收第一檢測件及第二檢測件的檢測信號并根據(jù)這些信號控制分揀傳輸軌8在第一位置及第二位置之間進行切換當?shù)谝粰z測件檢測到有硅片2時，控制單元4控制分揀傳輸軌8位于第一位置；當?shù)诙z測件檢測到當前硅片2為完整片時(附圖3所示)，控制機構控制分揀傳輸軌8維持在第一位置；當?shù)诙z測件檢測到當前硅片2為碎片時(附圖4所示)，控制機構控制分揀傳輸軌8位于第二位置；第一檢測件為一個第一光纖傳感器6，第二檢測件為多個第二光纖傳感器7，這些第二檢測件在傳輸線I所在的水平面內的投影落在與硅片2的形狀、大小相同的圖形內部。進一步具體地，分揀傳輸軌8的遠離傳輸軌的一端為可升降端，碎片收集機構11位于下料機構的下方，當分揀傳輸軌8位于第一位置時，傳輸軌、分揀傳輸軌8及下料機構位于同于水平面內；當分揀傳輸軌8位于第二位置時，分揀傳輸軌8的可升降端下降且伸至碎片收集機構11處，分揀傳輸軌8的可升降端處設置有驅動可升降端下降或上升的氣缸10，氣缸10信號連接至控制單元4，分揀傳輸軌8的長度小于傳輸線I上的相鄰兩個硅片2之間的距離，硅片2呈矩 形，第二檢測件包括四個第二光纖傳感器7，這四個第二光纖傳感器7在傳輸線I所在的水平面內的投影大致落在與硅片2的大小相同的矩形的四個頂角，上述的下料機構選用與傳輸軌位于同一直線上的下料傳輸軌9，沿其將完整片輸送至下一工序。上述的第一檢測件與第二檢測件的工作原理方式一利用硅片2本身進行光反射，開啟裝置后，第一光纖傳感器6及第二光纖傳感器7發(fā)射光束，當?shù)谝还饫w傳感器6接收到反射光束，表明對應傳輸線I上當前有硅片2通過，此時控制單元4通過氣缸10控制分揀傳輸軌8位于第一位置，即對接在傳輸線I與下料傳輸軌9之間，之后在該硅片2經過第二檢測件的過程中，若第二檢測件中的四個第二光纖傳感器7同時接收到反射光束，則檢測到當前硅片2為完整片，此時控制單元4控制分揀傳輸軌8保持在第一位置，以使得當前的完整片通過分揀傳輸軌8及下料傳輸軌9傳送至下一工序；若第二檢測件中的四個第二光纖傳感器7不能夠同時接收到反射光束，則檢測到當前硅片2為碎片，此時控制單元4通過氣缸10控制分揀傳輸軌8的可升降端下降，且延伸至碎片收集機構11中(附圖所示的實施例中的碎片收集機構11為一個收集箱)，以將碎片從傳輸線I上分揀出來；方式二 利用各個光纖傳感器接收的信號的突變來判斷，對應在每個第一光纖傳感器6和每個第二光纖傳感器7的下方分布固定一個反射板，當?shù)谝还饫w傳感器6接收到的反射光信號發(fā)生突變時(從接收到反射板的反射光束變?yōu)楣杵?的反射光束)，表明傳輸線I上當前有硅片2經過，此時控制單元4通過氣缸10控制分揀傳輸軌8位于第一位置，即對接在傳輸線I與下料機構之間，在之后過程中，若第二檢測件中的四個第二光纖傳感器7所接收的光束信號同時發(fā)生突變(從接收到反射板的反射光束變?yōu)楣杵?的反射光束)，則檢測到當前的硅片2為完整片，此時控制單元4控制分揀傳輸軌8維持在第一位置上，以使得當前的完整片通過分揀傳輸軌8及下料傳輸軌9傳送至下一工序；若第二檢測件中的四個第二光纖傳感器7所接收的光束信號不同時發(fā)生突變，則檢測到當前的硅片2為碎片，此時控制單元4通過氣缸10控制分揀傳輸軌8的可升降端下降，并延伸至碎片收集機構11處，以將碎片從傳輸線I分揀出來；依此完成碎片檢測及分揀工作，上述的控制單元4采用PLC，將第一光纖傳感器6及四個第二傳感器接收到的信號經轉換作為PLC的輸入信號，并利用PLC的輸出信號相應地對氣缸10進行控制。本發(fā)明的設計利用光纖傳感器檢測出硅片中的碎片，并通過控制分揀傳輸軌動作來將碎片分揀出來，這樣的方法可以將硅片中的絕大多數(shù)的碎片分揀出來，為后面的精檢打好基礎，以達到高效、快捷地分揀出所有的碎片，成本低，效率高，適于推廣采用。上述實施例只為說明本發(fā)明的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人士能夠了解本發(fā)明的內容并據(jù)以實施，并不能以此限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本發(fā)明的保 護范圍之內。
權利要求
1.一種硅片在線自動檢測裝置，用于檢測隨傳輸線同步依次傳送的若干硅片是否為碎片并將碎片從所述的傳輸線上分揀出來，其特征在于包括設置在所述的傳輸線的上方的檢測單元、與所述的檢測單元信號連接的控制單元及與所述的控制單元信號連接的分揀單元; 所述的檢測單元包括用于檢測所述的傳輸線上當前是否有硅片的第一檢測件、用于檢測對應的當前硅片是碎片或完整片的第二檢測件； 所述的分揀單元包括從所述的傳輸線延伸設置的分揀傳輸軌、下料機構、碎片收集機構，所述的分揀傳輸軌具有第一位置和第二位置，當所述的分揀傳輸軌位于第一位置時，所述的分揀傳輸軌對接在所述的傳輸線與所述的下料機構之間；當所述的分揀傳輸軌位于第二位置時，所述的分揀傳輸軌對接在所述的傳輸線與所述的碎片收集機構之間； 所述的控制單元接收所述的第一檢測件及所述的第二檢測件的檢測信號并根據(jù)這些信號控制所述的分揀傳輸軌在第一位置及第二位置之間進行切換當所述的第一檢測件檢測到有硅片時，所述的控制單元控制所述的分揀傳輸軌位于第一位置；當所述的第二檢測件檢測到當前硅片為完整片時，所述的控制機構控制所述的分揀傳輸軌維持在第一位置；當所述的第二檢測件檢測到當前硅片為碎片時，所述的控制機構控制所述的分揀傳輸軌位于第二位置； 所述的第一檢測件為一個第一光纖傳感器，所述的第二檢測件為多個第二光纖傳感器，這些所述的第二檢測件在所述的傳輸線所在的水平面內的投影落在與所述的硅片的形狀、大小相同的圖形內部。
2.根據(jù)權利要求I所述的硅片在線自動檢測裝置，其特征在于所述的分揀傳輸軌的遠離所述的傳輸軌的一端為可升降端，所述的碎片收集機構位于所述的下料機構的下方，當所述的分揀傳輸軌位于第一位置時，所述的傳輸軌、所述的分揀傳輸軌及所述的下料機構位于同于水平面內；當所述的分揀傳輸軌位于第二位置時，所述的分揀傳輸軌的可升降端下降且伸至所述的碎片收集機構處。
3.根據(jù)權利要求2所述的硅片在線自動檢測裝置，其特征在于所述的分揀傳輸軌的可升降端處設置有驅動所述的可升降端下降或上升的氣缸，所述的氣缸信號連接至所述的控制單元。
4.根據(jù)權利要求I所述的硅片在線自動檢測裝置，其特征在于所述的分揀傳輸軌的長度小于所述的傳輸線上的相鄰兩個硅片之間的距離。
5.根據(jù)權利要求5所述的硅片在線自動檢測裝置，其特征在于所述的硅片呈矩形，所述的第二檢測件包括四個第二光纖傳感器，這四個第二光纖傳感器在所述的傳輸線所在的水平面內的投影大致落在與所述的硅片的大小相同的矩形的四個頂角。
全文摘要
本發(fā)明公開一種硅片在線自動檢測裝置，用于檢測隨傳輸線同步依次傳送的若干硅片是否為碎片并將碎片從所述的傳輸線上分揀出來，包括設置在所述的傳輸線的上方的檢測單元、與所述的檢測單元信號連接的控制單元及與所述的控制單元信號連接的分揀單元，檢測單元中采用光纖傳感器，控制單元根據(jù)檢測單元的檢測信號控制分揀單元將碎片分揀出來。利用光纖傳感器檢測出硅片中的碎片，并通過控制分揀單元將碎片分揀出來，這樣的方法可以將在線傳送的硅片中的絕大多數(shù)的碎片分揀出來，結構簡單、成本低，效果顯著，為后面的精檢打好基礎，以達到高效、快捷地分揀碎片。
文檔編號B07C5/342GK102873035SQ20121039901
公開日2013年1月16日 申請日期2012年10月19日 優(yōu)先權日2012年10月19日
發(fā)明者陳宏 申請人:張家港市超聲電氣有限公司