硅片切削廢料中碳化硅回收劑及其制備方法
【專(zhuān)利摘要】硅片切削廢料中碳化硅回收劑，由下列重量份的原料制成：硫氮腈酯1-2、水楊酸2-3、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯1-2、硫化鈉1-2、異丙基乙基硫氨酯4-5、三硫代碳酸鈉1-2、2-萘磺酸鈉3-4、二聚酸4-5、松醇油5-7、檸檬酸1-2、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯5-7、甲醇30-35、柴油45-50、助劑10-12、水30-34；所述的助劑由下列重量份的原料混合而成：12-15%鹽酸溶液20-24、乙醇40-45、擴(kuò)散劑MF3-4、水100。本發(fā)明藥劑能高效分離硅和碳化硅，工藝簡(jiǎn)單、成本低廉,硅與碳化硅的富集率與回收率高。
【專(zhuān)利說(shuō)明】硅片切削廢料中碳化硅回收劑及其制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及硅片線(xiàn)鋸工藝產(chǎn)生的砂漿中的硅與碳化硅的粉體分離【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種硅片切削廢料中碳化硅回收藥劑及其制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]各種硅片，包括單晶硅和多晶硅太陽(yáng)能電池片、微電子產(chǎn)業(yè)用的硅晶圓，普遍采用鋼絲線(xiàn)鋸配合碳化硅磨料漿切割生產(chǎn)，一下簡(jiǎn)稱(chēng)砂漿。硅片厚度一般為0.22mm,目前還沒(méi)有減薄的發(fā)展趨勢(shì)，線(xiàn)鋸縫寬度一般為0.18-0.30mm，這意味著將有20-60%的高純硅料成為鋸屑進(jìn)入砂漿，其提取回收等于開(kāi)辟一種新的規(guī)?？捎^的高純硅原料來(lái)源。
[0003]雖然回收高純硅的效益可觀，但是硅和碳化硅的物化性質(zhì)較為接近，目前為止關(guān)于該項(xiàng)目的研究成果還很少，也沒(méi)有實(shí)際生產(chǎn)成功的案例，需要進(jìn)一步研究可行的用于實(shí)際生產(chǎn)的分離藥劑和方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種硅片切削廢料中碳化硅回收劑及其制備方法，使用該藥劑碳化硅回收率高，碳化硅純度高。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
一種硅片切削廢料中碳化硅回收劑，其特征在于由下列重量份的原料制成:硫氮腈酯1-2、水楊酸2-3、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯1-2、硫化鈉1-2、異丙基乙基硫氨酯4-5、三硫代碳酸鈉1-2、2-萘磺酸鈉3-4、二聚酸4-5、松醇油5_7、檸檬酸1_2、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯5-7、甲醇30-35、柴油45-50、助劑10-12、水30-34 ;所述的助劑由下列重量份的原料混合而成:12-15%鹽酸溶液20-24、乙醇40-45、擴(kuò)散劑MF 3_4、水100。
[0006]所述的硅片切削廢料中碳化硅回收劑的制備方法，其特征在于包括以下步驟:將水、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯、硫化鈉、異丙基乙基硫氨酯、2-萘磺酸鈉混合，力口熱至45-55°C，加入二聚酸、松醇油、檸檬酸、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯，攪拌均勻，加熱至65-70°C，加入其他剩余成分，攪拌10-15分鐘，即得使用該浮選劑時(shí)，浮選劑與砂漿重量比為1:2-3 ;將砂漿與浮選劑混合，以1000-1200rad/min的轉(zhuǎn)速攪拌4_6min，靜置時(shí)體系分層，上層為碳化硅、中間為液體層、下層為硅，刮取上層碳化硅，收集下層硅而實(shí)現(xiàn)分離。
[0007]本發(fā)明的有益效果
本發(fā)明藥劑能高效分離硅和碳化硅，工藝簡(jiǎn)單、成本低廉，硅與碳化硅的富集率與回收率高。
【具體實(shí)施方式】
[0008]一種硅片切削廢料中碳化硅回收劑，由下列重量份(公斤)的原料制成:硫氮腈酯1、水楊酸3、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯1、硫化鈉2、異丙基乙基硫氨酯4、三硫代碳酸鈉2、2_萘磺酸鈉4、二聚酸4、松醇油7、檸檬酸1、0_烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯5、甲醇30、柴油45、助劑12、水30;所述的助劑由下列重量份的原料混合而成:12-15%鹽酸溶液20、乙醇40、擴(kuò)散劑MF 4、水100。
[0009]所述的硅片切削廢料中碳化硅回收劑的制備方法，其特征在于包括以下步驟:將水、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯、硫化鈉、異丙基乙基硫氨酯、2-萘磺酸鈉混合，力口熱至45-55°C，加入二聚酸、松醇油、檸檬酸、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯，攪拌均勻，力口熱至65-70°C，加入其他剩余成分，攪拌10-15分鐘，即得。
[0010]使用該浮選劑時(shí)，浮選劑與砂漿重量比為1:2.5;將砂漿與浮選劑混合，以1100rad/min的轉(zhuǎn)速攪拌5min,靜置時(shí)體系分層,上層為碳化娃、中間為液體層、下層為娃，刮取上層碳化硅，收集下層硅而實(shí)現(xiàn)分離。
[0011]該實(shí)施例收集的碳化中殘存的娃少于0.4%wt,砂衆(zhòng)中殘存的碳化娃少于5%wt。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片切削廢料中碳化硅回收劑，其特征在于由下列重量份的原料制成:硫氮腈酯1-2、水楊酸2-3、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯1-2、硫化鈉1-2、異丙基乙基硫氨酯4-5、三硫代碳酸鈉1-2、2_萘磺酸鈉3-4、二聚酸4-5、松醇油5_7、檸檬酸1_2、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯5-7、甲醇30-35、柴油45-50、助劑10-12、水30-34 ;所述的助劑由下列重量份的原料混合而成:12-15%鹽酸溶液20-24、乙醇40-45、擴(kuò)散劑MF 3_4、水100。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片切削廢料中碳化硅回收劑的制備方法，其特征在于包括以下步驟:將水、甘油聚氧乙烯醚聚氧丙烯醚脂肪酸酯、硫化鈉、異丙基乙基硫氨酯、2-萘磺酸鈉混合，加熱至45-55°C，加入二聚酸、松醇油、檸檬酸、O-烷基-N-烷基硫逐氨基甲酸酯，攪拌均勻，加熱至65-70°C，加入其他剩余成分，攪拌10-15分鐘，即得。
【文檔編號(hào)】B03D101/00GK103599850SQ201310615229
【公開(kāi)日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月28日
【發(fā)明者】吉衛(wèi)宏, 田疆 申請(qǐng)人:安徽蘇源光伏科技有限公司