本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體顆粒檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種芯片智能檢查機(jī)的廢料處理裝置。
背景技術(shù):
芯片智能檢查機(jī)包括機(jī)座和主控制器,機(jī)座上設(shè)有檢測半導(dǎo)體產(chǎn)品表面特征的檢測設(shè)備,自動(dòng)放置料盤的放料裝置、自動(dòng)收取檢測后料盤的下料裝置、用于移動(dòng)和定位料盤的料盤移動(dòng)裝置、取放料機(jī)械手,料盤移動(dòng)裝置的移動(dòng)步距與待檢測的料盤上的器件之間的間距相同,通過放料裝置和取放料機(jī)械手將料盤輸送至移動(dòng)平臺(tái)上,在移動(dòng)平臺(tái)上定位后固定,此后便可對(duì)料盤進(jìn)行檢測,可節(jié)省大量人工操作,每檢測完料盤上的一個(gè)器件后,料盤移動(dòng)平臺(tái)會(huì)移動(dòng)一個(gè)步距對(duì)下一個(gè)器件進(jìn)行檢測,實(shí)現(xiàn)對(duì)料盤進(jìn)行流水線式檢測。
檢測到廢料后需要對(duì)廢料進(jìn)行剔除,且需要對(duì)廢料進(jìn)行歸類收集。而現(xiàn)有的料盒大多缺少分類功能。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種歸類方便的廢料處理裝置。
為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:芯片智能檢查機(jī)的廢料處理裝置,包括設(shè)有真空吸頭的機(jī)械臂、用于收集廢料的廢料盒組件以及支撐廢料盒組件的機(jī)架,機(jī)架上還設(shè)置上滑軌和電機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂在上滑軌上移動(dòng),機(jī)架底部設(shè)置下滑軌,廢料盒組件的底部設(shè)置一個(gè)與下滑軌相配合的第一滑塊,廢料盒組件在第一滑塊作用下可以在下滑軌上滑動(dòng),所述廢料盒組件上方設(shè)置擋板,擋板上與真空吸頭對(duì)應(yīng)位置設(shè)置一個(gè)過孔用于落料,廢料盒組件包括一個(gè)盒體,盒體的頂板設(shè)置多個(gè)間隔設(shè)置的落料孔,落料孔的正下方設(shè)置廢料儲(chǔ)料盒,廢料儲(chǔ)料盒與盒體之間為活動(dòng)連接。
進(jìn)一步的,所述廢料儲(chǔ)料盒由磁性材料制成,盒體的內(nèi)側(cè)壁與廢料儲(chǔ)料盒對(duì)應(yīng)位置固定設(shè)置多個(gè)永磁體,廢料儲(chǔ)料盒與永磁體吸合固定。
進(jìn)一步的,所述盒體內(nèi)還設(shè)置觸控開關(guān)用于檢測廢料儲(chǔ)料盒位置是否偏移,所述觸控開關(guān)與廢料儲(chǔ)料盒一一對(duì)應(yīng)。
進(jìn)一步的,所述盒體的外側(cè)壁還設(shè)置第二滑塊,機(jī)架上設(shè)置一個(gè)水平滑桿,第二滑塊套裝在水平滑桿上且可在滑桿上滑動(dòng)。
從上述技術(shù)方案可以看出本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):廢料盒組件根據(jù)PLC的控制信號(hào)移動(dòng)相應(yīng)的步距,每個(gè)廢料儲(chǔ)料盒對(duì)應(yīng)一種類型的廢料,實(shí)現(xiàn)對(duì)廢料的歸類,同時(shí),每個(gè)單獨(dú)的廢料儲(chǔ)料盒拆卸方便,只需要用力將其與永磁體分離即可,當(dāng)廢料滿時(shí),無需將整個(gè)廢料盒組件拆下清理,只需拆下對(duì)應(yīng)的廢料儲(chǔ)料盒即可;設(shè)置第二滑塊和滑桿可以防止盒體在滑動(dòng)過程中發(fā)生側(cè)翻。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本實(shí)用新型中廢料盒組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做詳細(xì)說明。
如圖1、2所示,芯片智能檢查機(jī)的廢料處理裝置,包括設(shè)有真空吸頭5的機(jī)械臂6、用于收集廢料的廢料盒組件以及支撐廢料盒組件的機(jī)架9,機(jī)架9上還設(shè)置上滑軌7和電機(jī)8驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂6在上滑軌7上的移動(dòng),機(jī)架底部設(shè)置下滑軌11,廢料盒組件的底部設(shè)置一個(gè)與下滑軌11相配合的第一滑塊10,廢料盒組件在第一滑塊10作用下可以在下滑軌11上滑動(dòng),廢料盒組件上方設(shè)置擋板2,擋板2上與真空吸頭5對(duì)應(yīng)位置設(shè)置一個(gè)過孔4用于落料,廢料盒組件包括一個(gè)盒體1,盒體1的頂板設(shè)置多個(gè)間隔設(shè)置的落料孔12,落料孔12的正下方設(shè)置廢料儲(chǔ)料盒3,廢料儲(chǔ)料盒3由磁性材料制成,盒體1的內(nèi)側(cè)壁與廢料儲(chǔ)料盒3對(duì)應(yīng)位置固定設(shè)置多個(gè)永磁體14,廢料儲(chǔ)料盒3與永磁體14吸合固定。
廢料盒組件根據(jù)PLC的控制信號(hào)移動(dòng)相應(yīng)的步距,每個(gè)廢料儲(chǔ)料盒對(duì)應(yīng)一種類型的廢料,實(shí)現(xiàn)對(duì)廢料的歸類,同時(shí),每個(gè)單獨(dú)的廢料儲(chǔ)料盒拆卸方便,只需要用力將其與永磁體分離即可,當(dāng)廢料滿時(shí),無需將整個(gè)廢料盒組件拆下清理,只需拆下對(duì)應(yīng)的廢料儲(chǔ)料盒即可。
在盒體內(nèi)還設(shè)置觸控開關(guān)13用于檢測廢料儲(chǔ)料盒位置是否偏移,所述觸控開關(guān)與廢料儲(chǔ)料盒一一對(duì)應(yīng),觸控開關(guān)13可以與系統(tǒng)的PLC系統(tǒng)連接,當(dāng)廢料儲(chǔ)料盒發(fā)生偏移時(shí),可以向系PLC系統(tǒng)發(fā)送偏移信號(hào),當(dāng)廢料儲(chǔ)料盒與觸控開關(guān)13相抵時(shí),表示廢料儲(chǔ)料盒位置正確。
盒體的外側(cè)壁還設(shè)置第二滑塊(圖中未畫出),機(jī)架上設(shè)置一個(gè)水平滑桿14,第二滑塊套裝在水平滑桿上且可在滑桿上滑動(dòng)。該結(jié)構(gòu)可以防止盒體在滑動(dòng)過程中發(fā)生側(cè)翻。