本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施例一般涉及一種高速半導(dǎo)體分類設(shè)備以及一種包括這種分類設(shè)備的半導(dǎo)體檢查系統(tǒng)。更具體地說(shuō)，本文公開(kāi)的實(shí)施例涉及一種用于對(duì)在高速載具上行進(jìn)的基板進(jìn)行分類的基板分類器以及其方法。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體基板在處理之前由計(jì)量系統(tǒng)例行檢查，以獲得基板的特性和缺陷，用于確保嚴(yán)格遵守預(yù)定的質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。計(jì)量系統(tǒng)可以提供關(guān)于基板的全面數(shù)據(jù)，諸如物理尺寸、光學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)、晶體結(jié)構(gòu)等。在檢查完成之后，基板被分類并轉(zhuǎn)移到根據(jù)其具體特性而分配的指定容器中。

2、由于基板可以由計(jì)量站并行檢測(cè)，檢查的基板的分類和轉(zhuǎn)移可能是計(jì)量系統(tǒng)的處理量的限制因素。例如，用于分類和轉(zhuǎn)移檢查的基板的旋轉(zhuǎn)分類器采用以走走停停的方式旋轉(zhuǎn)的分度運(yùn)動(dòng)。在這種分類器中，拾取臂旋轉(zhuǎn)到拾取區(qū)域中，然后停止所述運(yùn)動(dòng)以允許由拾取臂拾取基板。一旦基板已經(jīng)由拾取臂拾取，拾取臂的運(yùn)動(dòng)將重新開(kāi)始，以將拾取臂旋轉(zhuǎn)出拾取區(qū)域。然而，開(kāi)始和停止分度運(yùn)動(dòng)限制了通過(guò)系統(tǒng)的處理量，并且為提高處置檢查的基板的速度提供了重大挑戰(zhàn)。

3、此外，開(kāi)始和停止分度運(yùn)動(dòng)需要頻繁地加速和減速拾取臂，因此，需要非常強(qiáng)大的馬達(dá)和制動(dòng)器。因此，這種分度運(yùn)動(dòng)不可避免地引起振動(dòng)。此外，隨著分度運(yùn)動(dòng)的速度增加，維修和預(yù)防性維護(hù)頻率也不希望增加。

4、因此，需要改進(jìn)的分類和轉(zhuǎn)移系統(tǒng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本文公開(kāi)了一種基板分類器、一種包括所述基板分類器的檢查和分類系統(tǒng)以及一種用于所述檢查和分類系統(tǒng)的方法?；宸诸惼靼ǎ涵h(huán)形夾持器，包含旋轉(zhuǎn)器和圍繞軸共圓地設(shè)置的多個(gè)真空施加器；載具，可操作以將基板朝向旋轉(zhuǎn)器移動(dòng)并且進(jìn)入旋轉(zhuǎn)器下方的裝載區(qū)域；以及致動(dòng)器，與環(huán)形夾持器耦接并且可操作以在多個(gè)真空施加器中的一個(gè)或多個(gè)抵靠旋轉(zhuǎn)器固持基板的同時(shí)使旋轉(zhuǎn)器相對(duì)于多個(gè)真空施加器圍繞軸旋轉(zhuǎn)。

2、在另一個(gè)示例中，本文公開(kāi)了一種用于檢查和分類多個(gè)基板的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包含：裝載單元，可操作以裝載基板；計(jì)量單元，與裝載單元耦接；以及分類單元，如本申請(qǐng)中闡述并且與計(jì)量單元耦接。

3、在又一個(gè)示例中，本文公開(kāi)了一種用于檢查和分類多個(gè)基板的方法。所述方法包含以下操作：在計(jì)量單元中對(duì)基板執(zhí)行計(jì)量處理，基于通過(guò)計(jì)量處理獲得的基板信息將基板分配到收集倉(cāng)；將載具上的基板從計(jì)量單元中轉(zhuǎn)移出來(lái)，并且通過(guò)載具和分類器相交的裝載區(qū)域，分類器包含旋轉(zhuǎn)器和多個(gè)真空施加器；保持多個(gè)真空施加器相對(duì)于軸靜止；在多個(gè)真空施加器中的一個(gè)或多個(gè)抵靠旋轉(zhuǎn)器固持基板的同時(shí)，旋轉(zhuǎn)器相對(duì)于多個(gè)真空施加器圍繞軸旋轉(zhuǎn)；在旋轉(zhuǎn)器連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，由旋轉(zhuǎn)器從載具拾取基板；將旋轉(zhuǎn)器和基板旋轉(zhuǎn)到收集倉(cāng)；以及將基板從旋轉(zhuǎn)器釋放到收集倉(cāng)。

技術(shù)特征：

1.一種基板分類器，包含：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分類器，其中所述多個(gè)真空施加器相對(duì)于所述軸保持固定。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板分類器，其中所述多個(gè)真空施加器包含在所述裝載區(qū)域上方設(shè)置并且可操作以在所述旋轉(zhuǎn)器圍繞所述軸旋轉(zhuǎn)的同時(shí)拾取所述基板的第一真空施加器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板分類器，進(jìn)一步包含：

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板分類器，其中所述旋轉(zhuǎn)器是透氣的并且包含兩個(gè)同心部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板分類器，進(jìn)一步包含：

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板分類器，其中所述致動(dòng)器包含被構(gòu)造為與所述兩個(gè)同心部分接合并且旋轉(zhuǎn)所述兩個(gè)同心部分的多個(gè)輥。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板分類器，其中所述致動(dòng)器包含在所述旋轉(zhuǎn)器上方設(shè)置并且被構(gòu)造為支撐所述多個(gè)輥的梁。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分類器，其中所述多個(gè)真空施加器包含對(duì)應(yīng)于基板收集位置的第二真空施加器，使得當(dāng)所述第二真空施加器的壓力升高到閾值量以上時(shí)，由所述旋轉(zhuǎn)器保持的所述基板被釋放到所述基板收集位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分類器，進(jìn)一步包含：

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分類器，進(jìn)一步包含：

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分類器，進(jìn)一步包含：

13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板分類器，進(jìn)一步包含：

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板分類器，進(jìn)一步包含：

15.一種用于檢查和分類基板的系統(tǒng)，包含：

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述多個(gè)真空施加器相對(duì)于所述軸保持固定并且包含在所述裝載區(qū)域上方設(shè)置且可操作以在所述旋轉(zhuǎn)器圍繞所述軸旋轉(zhuǎn)的同時(shí)拾取所述基板的第一真空施加器。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述旋轉(zhuǎn)器包含兩個(gè)同心部分；并且所述致動(dòng)器包含被構(gòu)造為與所述兩個(gè)同心部分接合且旋轉(zhuǎn)所述兩個(gè)同心部分的多個(gè)輥。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包含：

19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中所述多個(gè)真空施加器包含對(duì)應(yīng)于基板收集位置的第二真空施加器，使得當(dāng)所述第二真空施加器的壓力升高到閾值量以上時(shí)，由所述旋轉(zhuǎn)器保持的所述基板被釋放到所述基板收集位置。

20.一種用于檢查和分類多個(gè)基板的方法，所述方法包含：

技術(shù)總結(jié)
本文公開(kāi)了一種基板分類器、一種具有所述基板分類器的檢查和分類系統(tǒng)以及一種用于所述檢查和分類系統(tǒng)的方法?；宸诸惼靼ǎ涵h(huán)形夾持器，包含旋轉(zhuǎn)器和圍繞軸共圓地設(shè)置的多個(gè)真空施加器；載具，可操作以將基板朝向旋轉(zhuǎn)器移動(dòng)并且進(jìn)入旋轉(zhuǎn)器下方的裝載區(qū)域；以及致動(dòng)器，與環(huán)形夾持器耦接并且可操作以在多個(gè)真空施加器中的一個(gè)或多個(gè)抵靠旋轉(zhuǎn)器固持基板的同時(shí)使旋轉(zhuǎn)器相對(duì)于多個(gè)真空施加器圍繞軸旋轉(zhuǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：阿薩夫·施勒岑杰,馬庫(kù)斯·J·施托佩爾
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2