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一種芯片檢測分選裝置的制作方法

文檔序號:40648936發(fā)布日期:2025-01-10 18:55閱讀:7來源:國知局
一種芯片檢測分選裝置的制作方法

本技術涉及芯片檢測分選的,尤其涉及一種芯片檢測分選裝置。


背景技術:

1、在芯片制造過程中,為保證產(chǎn)品的質(zhì)量和精度,對每片芯片進行檢測是非常重要的,通過檢測設備進行全檢,可以確保每一片芯片的外觀、尺寸、完整度都符合要求,從而提高產(chǎn)品的整體質(zhì)量。

2、現(xiàn)有技術的芯片的外觀檢測通常依靠人工檢測通過ccd將芯片放大到顯示屏,通過人眼識別芯片的缺陷、臟污、劃痕以及有無檢測標識等外觀。人工檢測外觀效率低,長時間人工肉眼觀看容易疲勞,有誤判可能。

3、因此,需要對現(xiàn)有技術進行改進,以解決現(xiàn)有技術依靠人工檢測芯片,檢測周期長且準確率低下的問題。


技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是提供一種芯片檢測分選裝置,以解決現(xiàn)有技術的依靠人工檢測芯片,檢測周期長且準確率低下的技術問題。

2、為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用以下技術方案:

3、一種芯片檢測分選裝置,其包括檢測件、限位機構(gòu)和移動機構(gòu),所述移動機構(gòu)包括驅(qū)動組件和移動塊,所述驅(qū)動組件用于帶動所述移動塊移動,所述移動塊設有觀察窗和送料通道,芯片通過所述送料通道移動至第一位置時,所述芯片抵接所述限位機構(gòu),并正對所述觀察窗,所述檢測件用于檢測所述芯片,并電連接所述驅(qū)動組件和限位機構(gòu)。

4、較佳地,所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動器、皮帶輪組件和皮帶,所述皮帶繞設于所述皮帶輪組件上,所述驅(qū)動器連接所述皮帶輪組件,所述移動塊連接所述皮帶,所述驅(qū)動器電連接所述檢測件。

5、較佳地,所述限位機構(gòu)包括限位塊和氣缸,所述移動塊設有出料口,所述氣缸的伸縮端連接所述限位塊,并電連接所述檢測件,第一狀態(tài)下,所述限位塊封堵所述出料口,第二狀態(tài)下,所述氣缸帶動所述限位塊沿遠離觀察窗方向運動,所述出料口連通所述送料通道。

6、較佳地,所述芯片檢測分選裝置還包括滑軌,所述移動塊設于所述滑軌上并滑動連接所述滑軌。

7、較佳地,所述芯片檢測分選裝置還包括良品槽,所述良品槽設有第一開口,所述移動塊移動到第二位置時,所述第一開口正對所述送料通道。

8、較佳地,所述芯片檢測分選裝置還包括不良品槽,所述不良品槽設有第二開口,所述移動塊移動到第三位置時,所述第二開口正對所述送料通道。

9、較佳地,所述檢測件包括采集單元和檢測單元,所述采集單元通過所述觀察窗采集芯片的圖像信息,所述檢測單元電連接所述采集單元、驅(qū)動器和氣缸。

10、較佳地,所述芯片檢測分選裝置還包括儲料件,所述移動塊設有與送料通道相通的進料口,所述儲料件存儲有若干芯片,并設有放料口,所述移動塊移動到第二位置時,所述進料口正對所述放料口。

11、較佳地,所述芯片檢測分選裝置還包括啟動器和推塊,所述儲料件設有避讓口,所述推塊通過所述避讓口,所述啟動器連接所述推塊,并帶動所述推塊推動所述若干芯片沿靠近所述放料口方向運動。

12、較佳地,所述芯片檢測分選裝置還包括調(diào)節(jié)件,所述調(diào)節(jié)件調(diào)節(jié)所述啟動器單次運動的步長,所述啟動器單次運動的步長與芯片的厚度尺寸一致。

13、與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益效果:

14、本實用新型設計了一種芯片檢測分選裝置,其包括檢測件、限位機構(gòu)和移動機構(gòu),移動機構(gòu)包括驅(qū)動組件和移動塊,驅(qū)動組件用于帶動移動塊移動,移動塊設有觀察窗和送料通道,芯片通過送料通道移動至第一位置時,芯片抵接限位機構(gòu),并正對觀察窗,檢測件用于檢測芯片,并電連接驅(qū)動組件和限位機構(gòu)。初始狀態(tài)時,本實用新型的移動塊位于第二位置,芯片通過送料通道并被限定在第一位置時,檢測件可以采集芯片的圖像信息,并進行檢測,檢測結(jié)果為通過時,檢測件可以發(fā)送第一信號,此時驅(qū)動組件不動,限位機構(gòu)啟動沿遠離觀察窗方向運動,芯片可以下滑到良品槽,檢測結(jié)果為不通過時,檢測件可以發(fā)送第二信號,此時驅(qū)動組件帶動移動塊移動至第三位置,限位機構(gòu)啟動,芯片沿遠離觀察窗方向運動,芯片可以下滑到不良品槽,無需人工檢測,檢測效率和準確率大大提升,集檢測與分選功能于一體,普適性大大增強。



技術特征:

1.一種芯片檢測分選裝置,其特征在于:包括檢測件、限位機構(gòu)和移動機構(gòu),所述移動機構(gòu)包括驅(qū)動組件和移動塊,所述驅(qū)動組件用于帶動所述移動塊移動,所述移動塊設有觀察窗和送料通道,芯片通過所述送料通道移動至第一位置時,所述芯片抵接所述限位機構(gòu),并正對所述觀察窗,所述檢測件用于檢測所述芯片,并電連接所述驅(qū)動組件和限位機構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動器、皮帶輪組件和皮帶,所述皮帶繞設于所述皮帶輪組件上,所述驅(qū)動器連接所述皮帶輪組件,所述移動塊連接所述皮帶,所述驅(qū)動器電連接所述檢測件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:所述限位機構(gòu)包括限位塊和氣缸,所述移動塊設有出料口,所述氣缸的伸縮端連接所述限位塊,并電連接所述檢測件,第一狀態(tài)下,所述限位塊封堵所述出料口,第二狀態(tài)下,所述氣缸帶動所述限位塊沿遠離觀察窗方向運動,所述出料口連通所述送料通道。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:還包括滑軌,所述移動塊設于所述滑軌上并滑動連接所述滑軌。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:還包括良品槽,所述良品槽設有第一開口,所述移動塊移動到第二位置時,所述第一開口正對所述送料通道。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:還包括不良品槽,所述不良品槽設有第二開口,所述移動塊移動到第三位置時,所述第二開口正對所述送料通道。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:所述檢測件包括采集單元和檢測單元,所述采集單元通過所述觀察窗采集芯片的圖像信息,所述檢測單元電連接所述采集單元、驅(qū)動器和氣缸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:還包括儲料件,所述移動塊設有與送料通道相通的進料口,所述儲料件存儲有若干芯片,并設有放料口,所述移動塊移動到第二位置時,所述進料口正對所述放料口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:還包括啟動器和推塊,所述儲料件設有避讓口,所述推塊通過所述避讓口,所述啟動器連接所述推塊,并帶動所述推塊推動所述若干芯片沿靠近所述放料口方向運動。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的芯片檢測分選裝置,其特征在于:還包括調(diào)節(jié)件,所述調(diào)節(jié)件調(diào)節(jié)所述啟動器單次運動的步長,所述啟動器單次運動的步長與芯片的厚度尺寸一致。


技術總結(jié)
本技術公開了一種芯片檢測分選裝置,其包括檢測件、限位機構(gòu)和移動機構(gòu),移動機構(gòu)包括驅(qū)動組件和移動塊,驅(qū)動組件用于帶動移動塊移動,移動塊設有觀察窗和送料通道,芯片通過送料通道移動至第一位置時,芯片抵接限位機構(gòu),并正對觀察窗,檢測件用于檢測芯片,并電連接驅(qū)動組件和限位機構(gòu)。本技術的驅(qū)動組件可以根據(jù)檢測件的檢測結(jié)果驅(qū)動移動塊,檢測通過時限位機構(gòu)啟動,芯片可以下滑到良品槽,檢測不通過時限位機構(gòu)啟動,芯片可以下滑到不良品槽,無需人工檢測,檢測效率和準確率大大提升,集檢測與分選功能于一體,普適性大大增強。

技術研發(fā)人員:藍春合,張佳天,梁光照,雷壘
受保護的技術使用者:上海芯丑半導體設備有限公司
技術研發(fā)日:20240122
技術公布日:2025/1/9
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